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摘要 N9*UMVU 2?1}ZXr 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 $h]NXC6J "yri[X
[tN` :}? Iv1c4" 设计任务 K{FhT9R' 3Q$c'C 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 `(T!>QVW+g [D9 :A
ylim/`u}6 P' FKk< 光栅级次分析模块设置 GiqBzV3" @Y NGxg~*g $O]^Xm3{@ 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 iE+6UK 4g'}h`kh
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oS|f0 K Dz]wNf D?J#u;h~f 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 !3?~#e{_ 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 p.aE 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 Wa}"SqYr h 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 500>
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Nc"NObe 衍射分束器表面 1!s!wQgS @|]G0&gn&?
Xiw@ ytob/tc 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 t}c v2S #O><A&FrF`
mR!rn^<l |87W*
[^Q&suy $&Ac5Zo%} 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) Bj+wayMi 79a9L{gso
2gH_$ vQcUaPm\$ 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 l)%mqW% 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 J[MVE4& 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 pbFYiu+ h\2}875
oM2|]ew) k|l5 "&K~. 光栅级次和可编程光栅分析仪 9G+y.^/6 m.Twgin
bbO+%-(X 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 uGM>C" `{%-*f^ q1P :^<[ 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 nc-Qz !4_!J (q% *qbRP"#[$ 设计与评估结果 ([1=> Jw" 相位功能设计 +fkP+RVY 结构设计 G}s;JJax TEA评价 ~U/8 @gR FMM评估 NuIT{3S 高度标度(公差) ]|t9B/()i l,^xX=, 通用设置 1x8(I&i ( e0_RQ J&'>IA 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 $m{{,&}k 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 oO8]lHS?@ xP42xv9U x
Ridc^ 纯相位传输设计 PVZEB >J9IRAm}sc
j`{fB} Ia=&.,xub 结构设计 i_|h{JK) Io2,% !D
5s#R`o%Z CgN]dx*` H&w(]PDh 更深的分析 LH bZjZ2 •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 l.sm~/ •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 s z;=mMr/Z •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 m=#aHF RA!x
t>XZ3 (H'_KPK 使用TEA进行性能评估 b?sAEU; Tw?Pp8'
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$:qI&)/ 使用FMM进行性能评估 @ysJt b (g_.1[
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