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摘要 @4B+<,i
sT[)r]`T 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 HLg/=VF7? miCt)Qd
qo}-m7 ?O8NyCeb7 设计任务 T [N:X0 :&mYz(1q 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 =%znY`0b56 E8T4Nh_
W'E!5T^ t LdBnf 光栅级次分析模块设置 FAjO-T4( D'YF[l k;3Bv 6 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 Nv,[E+a2 O_nk8
b,Ed}Ir 3P6pQm'.f P!,\V\TY] 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 xrA(#\}f$ 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 tE]g*]o 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 <]b}R;9v 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 };+ ' 'X_iiR8n@p
DdJxb{y7 衍射分束器表面 /"- k
;jz ];R5[%:5
n>Y3hY 5>t&)g 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 yc+#LZ~(a yv9~
LbJtU! >B>CV8p6w
-WB?hmx =w?-R\ 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) NS#qein~i iv?'&IUfK
owCQ71Q o$\{&:y 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 D2[wv+#) 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 [@";\C_I 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 #KXaz Zu" 1T%Y:0
PkLRQ} ::dLOf8o 光栅级次和可编程光栅分析仪 -fj;9('YJ Oe'Nn250
'# "Z$ 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 J@oGAa%3) ~B:Lai4" F]
+t/ 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 la8se=^ H #E
R#
8D}5[& 设计与评估结果 ,vrdtL 相位功能设计 ,YSQog 结构设计 s2@N&7"u) TEA评价 o2W pi FMM评估 TIW6v4 高度标度(公差) vROl}s; kNI m90,g 通用设置 HoT5 5v!o U#-&%|b$ 4.,e3 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 ?p. dc~tZ 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 *na7/ysT< 9u1_L`+b |^S[Gr w 纯相位传输设计 Q~,E
K 6O"Vy
3HO4h\mp Y">Q16( 结构设计 j~\\,fl= %;yo\
7Hf6$2Wh |E53
[:p K
*{C:Y 更深的分析 =V"ags •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 Cs^o- g!L •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 :B$=Pp1 •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 VDPqI+z (+Gd)iO
`vDg~o ,T|iA/c 使用TEA进行性能评估 ,<R/x[ (^qcX;-
4-E9a _ ,G"?fQ7z R 使用FMM进行性能评估 x)BG%{h csRba;Z[
U^VFHIm 6:v8J1G(< 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 0w< iz;30 k,X)PQc
aMm`G}9n I4m)5G?O2 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 s<E_74q1 )09_CC!a
tK g%5;v '(+l77G 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 XwX1i!'54 ^nkwT~Bya
@F=ZGmq SK;f#quUQ VirtualLab Fusion技术 A
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