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摘要 @~g][O#Fu 4+?d0 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 3Q;XvrGA ~!//|q^J]
xQA6!j T*pcS'?' 设计任务 \+,%RN. Z@f4= 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 V\|V1c >/J!:Htk+K
_|1m]2'9 zfGS=@e]G 光栅级次分析模块设置 ZlEQzL~ D^dos`L0b VelR8tjP 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 3]MSS\uB &[#iM0;)W0
Z~[EZgIg R%EpF'[~[ K."%PdC 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 E=3UaYr 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 @a~GHG[x 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 x%]5Q/|Ur 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 3OZu v};k P[L] S7FTr
e<Bwduy 衍射分束器表面 B QxU~s E!rgR5Bd
<<vT"2Q] P,RdYM06 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 z\g6E/ %% }}s.0Q
+ $Yld{i P&kjtl68Y
N0mP
EF2 wbImE;-Z 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 9$Dsm@tX 42B_8SK
%D_pTD\ !8jr $ 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 +!6dsnr8 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 /$-Tg)o5i 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 'h*^;3@* IN!,|)8s
d(t$riFX} Gm1[PAj 光栅级次和可编程光栅分析仪 a9%^Jvm" {];8jdg/?
aK+jpi4? 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 0x1#^dII I&Dp~aEM] 0D.qc8/V4. 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 yRdME>_L L`6 R aMq|xHZ 设计与评估结果 "54t7 相位功能设计 k.@OFkX. 结构设计 7Z7e}|
\W TEA评价 |XV@/ZGl~ FMM评估 V/,@hv`+ 高度标度(公差) +r<d z Bsc 通用设置 ~k[mowz0 kKlcK_b; sgxD5xj}4 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 [OU[i(,{ 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 <n|ayxA) W3~xjS"h A@81wv
纯相位传输设计 gq|]t<' jwQ(E
:d{-"RAG" 1[U`,(C1 结构设计 c8<qn+=%? xa&5o`>1G
7}%Z> i"Z l.3|0lopX) 更深的分析 Z!eW_""wp •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 /$Ca}> •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 YQ
_]Jv k •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 I|eYeJ3 XhEJF !
[!'fE#"a ,)beK*Iw 使用TEA进行性能评估 }\Ri:&? 6-6ha7]s
#*|Gp_l+% w;=g$Bn 使用FMM进行性能评估 T-)lnrs^ !=SBeq
*74VrAo ekV|a1) 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 vDit&Lh{T @en*JxIM
'OjsV$_ fnZ?YzLI 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 n=1_- ) 5N
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#[B]\HO sO$X5S C9 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 j.O+e|kxU 7^<{aE:
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