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摘要 K+ehr FN{/.?w( 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 N du7nKG `!Ln|_,d
Q_lu`F| Q]i[.ME 设计任务 U>3
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wixD\t59X 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 5Bj77?Z Ru7L>(Njs
Uz>Yn&{y6 nZW4} ~0j 光栅级次分析模块设置 Vu|dV\N0* ABiC9[Q0 b+$o4l/x 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。
kgc.8 wO.B~`y
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o+7xom |>JmS 9S"N4c> 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 ?'LM7RE$X6 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 $~o3}&az 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 E3tj/4:L 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 BD4"pcr TAAR'Jz S
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zIfC>@R 衍射分束器表面 Zjt9vS) 8>v7v&Bh|
0~.)GG%R>D cUVTRWV 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 Sgx+V"bkT e@+v9Bs]q
|$ w0+bV* 5F03y`@ u
ZpTi:3> jDp]R_i 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) *vXDuhQ ?:JdRnH \
z=%IcSx; CH#kvR2 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 KMe.i' 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 e18T(g_i 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 $uTlbAuv S#hu2\9D,
B,:23[v _we3jzMW 光栅级次和可编程光栅分析仪 _32/WQF6 +E)e1:8
P69>gBZYD 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 6|i`@|# i!y\WaCp B
;;cbY 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 @u<0_r
t (OQi%/Oy LP8o7%sv! 设计与评估结果 UT% #K % 相位功能设计 "1\(ZKG8^Q 结构设计 bL#sn_(m TEA评价 @eA %(C FMM评估 ]~ >@%v& 高度标度(公差) @gY'YA8m O} (E(v 通用设置 H2s*s[T
- ?F!W# y K=S!7p\ 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 J~fuW?a]r 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 EOofa6f&l 9k*^\@\\x ho(5r5SNE 纯相位传输设计 ?@yank| ,WzG.3^m
,q/tyGj _Eszr(zJ 结构设计 '"'D.,[W2 m]Hb+Y=;h
,,zd.9n Ixyvn#ux) |2[S/8g! 更深的分析 ;,()wH •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 BJ_+z gf` •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 t@l(xns V •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 fpI;`s Ax :3}
5~v(AB(x rDK;6H:u{ 使用TEA进行性能评估 Ompi~ m*Q[lr=
BLWA!- .G7]&5s 使用FMM进行性能评估 +R3\cRM "u .)X3
TXZ(mj? bS_y_9K 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 j;$6F/g l{M;PaJ`}
2V#c[%vI V:nMo2'hb 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 GhSL%y rC* sNy2
61ON ]}UeuF\ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 >!:$@!6L ,6S_&<{
i}v}K'` u|]mcZ,ZW VirtualLab Fusion技术 (M+,wW[6 1(#*'xR
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