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摘要 MLmk=&d 2Aq+:ud)P 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 ?`SBGN; ]V"B`ip[2
?zXlLud8 aTLr%D:Ka 设计任务 $yZP"AsAR - :x6X$= 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 J
B
!Q KXo[;Db)k
Nm0|U.< cn
;2& 光栅级次分析模块设置 PiX(Ase M[Jy?b) `]2y=f<{X 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。
({t6Cbw `b5pa `\4
C:}"?tri e5sQl1 oPA m* 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 e0o)Jo.P 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 8rjiW# 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 a&`Lfw" 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 =NL(L Oyjhc<6
z0tm3ovp 衍射分束器表面 Y#Pg*C8>8 sTYA
*i7|~q/u 9C1\?)"D^e 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 SDW!9jm>R kAk+Sq^n
!*-|s}e LZ~}*}jy
?w "zW6U , *Z!Bd8 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 5q.)K
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EYKV}` )L7h:%h# 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 HS
1zA 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 $)M5@KT 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 yUFT9bD D3;#:
kCU(Hi`Q $+[
v17lF 光栅级次和可编程光栅分析仪 8}!WJ2[R [`|gj
;XGO@*V5T 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 ]hi5nA 0\yA6`}! A>J,Bi 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 (wZ/I(4 [-JU(:Rh .d%CD`8! 设计与评估结果 i~EFRI@ 相位功能设计 2G BE=T 结构设计 6n$g73u<=3 TEA评价 8A2 _4q@34 FMM评估 5g;i{T/6~x 高度标度(公差) F]KAnEf nHF%PH#|o 通用设置 &X
OFc.u /~;om\7r 59M\uVWR 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 !"QvV6Lq\ 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 tx||<8 UrEfFtH' y^hCO:`l3 纯相位传输设计 #Q61c F>[T)t{m=
AqucP@ K0]42K 结构设计 me&'BQ C{U"Nsu+1
J'Y;j^ O
p,_d^ <e@+w6Kp'7 更深的分析 (od9adSehV •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 aLt2fB1 ) •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 Alpk5o5B •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 SK;c
D>) w>h\643
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. 使用TEA进行性能评估 8XdgtYm )>U7+ Me
|kh7F0';" 6_kv~`"t Z 使用FMM进行性能评估 g!DJW M A
2*ByVK M#;"7Qg 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 B'8/`0^n5 R-J^%4U`7
2c1L[]h' 6-J%Z%yT # 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 ?n(OH~@$i 1paLxR5
EE$\8Gx']! r6gfxW5 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 Bw25+l Px FDCc?>,o
(]N- HN]v M2lvD& VirtualLab Fusion技术 jiqE^j3; ZGj ^,? a
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