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摘要 9 )B >|#\ G+[>or} 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 hl}#bZ8] ?O4Dhu
F&lc8 y(.WK8
设计任务 ;~~Oc d;lp^K
M 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 &%u,b~cL? c}Z,xop<P{
1I3u~J3]/ 3Un/-4uL 光栅级次分析模块设置 JPQ02&e
4EB$e? w0/W=!_ 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 UMhM8m!=o 6El%T]^
w#PaN83+ vW$]:). R~RY:[5?w 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 " "a+Nc 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 7C2/^x P 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 vo71T<K 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 p6=#LwL' iXl1S[.l
Ur&: Rr 衍射分束器表面 _%zU^aE iUI,r*
-m'a%aog |xKB>< 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 eA4*Be;9e '3hvR4P
ui 2RTAb svo^#V~h'
1~7y]d?% yAi4v[ 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) =?*V3e3{ } |SVt`n
J.?p?-" :cynZab 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 @XIwp2A{+ 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 9(X
*[X# 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 cuKgO{.GH &R^mpV5
, JZ@qmQ, .!6ufaf$ 光栅级次和可编程光栅分析仪 "R9kF- ,RT\&Ze5
T@vVff 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 YYM A1'IK. @~N#)L^ 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 y4?>5{`W O/-OW: 03 ih YfWG| 设计与评估结果 3t_5Xacj 相位功能设计 /:USpuu 结构设计 1gm{.*G TEA评价 D3HB`{ FMM评估 Tf[]vqa`G 高度标度(公差) s~63JDy"E DHJnz>bE 通用设置 \@F{Q- rvfl~<G* \Fe5<G'v 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 ?t%5 / 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 bFJn-g n ^a}{u$< d[Fsp7U} 纯相位传输设计 q{5Vq_s\ {U<htl4
~,guw7F 02+^rqIx5 结构设计 mcR!P~"i @v'<~9vG
]E3g8?L ?nn,RBS- "l@~WE 更深的分析 (J;?eeP •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 =1JRu[&]8 •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 6x7=0}' •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 h7w<.zwu
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6 \ lKQ'_ 使用TEA进行性能评估 jGWLYI=V2 G?g7G,|d
S:j0&* ~iSW^mi 使用FMM进行性能评估 Af%?WZlOq eyG.XAP
$k?L?R1 t.TQ@c+,J 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 QRjt.Ry| %In"Kh*
i0!F 4CCux4)N 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 FSB$D)4z>b K_xOY
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&sWyh[`P +Oscy-; 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 ",+uvJT1O z~_\onC
r]S9z IY:O? M VirtualLab Fusion技术 +OmSR*fA0 5a&wM
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