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摘要 ZO}*^ w1Kyd?~%] 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 H.e@w3+h $U1'n@/J
D!CGbP( BL7%MvDQ 设计任务 dBkB9nz W\/0&H\i 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 x.aUuC,$x Mmn[ol
1RLSeT HukHZ;5 光栅级次分析模块设置 r iz({ o3yZC z 1Pbp=R/7ar 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 $kdfY'u K4~dEZ
Z|.z~53; M&L" yQA 5M3QRJ! 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 gS!M7xy 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 Gl+}]Vn[n 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 GIp?}tM
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 H74hv`G9 MFVFr "
{.ph)8 衍射分束器表面 $O[ut. `7NgQ*g.d/
HH dc[pJ0D 3 Xy>kG} 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 >Kxl+F 9P]TIV.
Z@>>ZS1Do Sng V<J>zR
:geXplTx wvfCj6}S& 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) u931^~Ci f!87JE=<
{^~{X$YI 1oC/W?l^ 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 <1ai0] 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 0 X@5W$x 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 q.*qZ\;K :x_l"y"
E;N+B34 Vi]D](^! 光栅级次和可编程光栅分析仪 d;f,vN( ar{Yq
b{(:'. 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 >$}nKPC,Y &c A?|(7-
^s%Qt 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 #GTmC|[ b*,R9 &Zov9o:gx 设计与评估结果 9[:nWp^ 相位功能设计 _ TUw0:& 结构设计 0<e7!M=U1 TEA评价 seJc,2Ex FMM评估 NvYgRf}uh 高度标度(公差) }D0j%~&"e %e_WO,R 通用设置 !\p-|51 F
M`pPx e{"d6pF= 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 l.C{Ar 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 Yd]f}5F L&l>?"_ ])e6\) 纯相位传输设计 MEg|AhP X]`\NNx
7m8L!t9 -O2QzzE& 结构设计 tr):n@ |]Ockg[
aX0sy\Z]j 1V)0+_Yv qD2<-E&M/ 更深的分析 ZWYwVAo •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 wjpkh~qo •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 Il!iqDHz3 •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 i^j{l_-JE RL($h4d9
W.>yIA% x%LWcT/ 使用TEA进行性能评估 2f F)I& }Dk_gom_
!! #\P7P aRfkJPPa[ 使用FMM进行性能评估 T-JJc# l~!#<=.
{?, :M ~d28"p.7 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 V5R``Tp Bf[D&O
QiY7m<3 aNfgSo05@n 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 0p![&O M=@U]1n*c
=T;%R^@ 7M5HIK6_ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 c~@I1M +STT(b Mn
)6Z)z;n]aW 350 y6pVh VirtualLab Fusion技术 B7va#'ne4{ *F2ob pU
90M:0SH 0A\o8T.12
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