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摘要 XxGm,A+>Ty rr*IIG&.5 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 e:#\Oh p=zjJ~DVd
??F{Gli"C` ^6=nL<L 设计任务 q#Bdq8 xc!"?&\* 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 ;tHF$1!J /1Eg6hf9B
C$P3&k#W w/UsEIr 光栅级次分析模块设置 )9*WmF c+# }*%%GPJ B>R6j}rh'k 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 bV"0}|A~K ?h{ &
b@7
ItzD ^71sIf;+ vm(% u!_P 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 milU,!7J 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 .e6 :/x~p* 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 ]!/1qF 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 # RtrHm $ZA71TzMV
+iXA|L9= 衍射分束器表面 EfOJ%Xr[,l n@*NQ`(_
3h4>edM P63f0F-G 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 H]SnM'Y {9z EnVfg
6,!]x>B hgm`6TQ
GR"Jk[W9 |[*b[O
1W 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) n04Zji(F@ /vBp Rm
RJ0w3T]7 @6\8&(| 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 4YKb~1qkk 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 /@0wbA 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 3o z] _Ab|<!a/R
o0AREZ+I $} ~:x_[ 光栅级次和可编程光栅分析仪 K(hqDif*6 'E6)6N
E}~GX G 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 ^)X^Pcx 0%v
p'v u{HB5QqK 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 &QvWT+]c'0 9= :!XkT. {4
*ob@w* 设计与评估结果 18F7;d N8 相位功能设计 #*5A]"k 结构设计 _Nw-|N . TEA评价 sq*sb dE FMM评估 lE /" 高度标度(公差) SFTThM]8M1 J3C"W794} 通用设置 1SQ&mH/ !tN]OQ)' L~~;i'J 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 ]@Q14
通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 s<n5^Vxy :h" Y >1P L[D}pL= 纯相位传输设计 nXXyX[c4e {,,w5/k^
evq*&.6\ p^NYJV 结构设计 Wo\NX05-? iYR8sg[' #
bq]af.o* F?3a22Zg# *joM[ML` 6 更深的分析 t-e:f0iz •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 gFJd8#6t •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 5s`NR<|2L •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 5yuR[VU CKyX Z
Za5*HCo YEQ}<\B\& 使用TEA进行性能评估 cW%F%:b ~#N^@a
}3ty2D#/: xrS;06$ 使用FMM进行性能评估 ^|(F|Z Z#%4QIz?
!Hxx6/ yS %J$o& 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 U8;k6WT| Sm{idky)[
Bzw~OB{!=J 6l<q 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 *q\Ve)E} 8W9kd"=U
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8J 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 NN>,dd3T zvL;.U
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T32C=7 VirtualLab Fusion技术 S)T~vK(n lo5,E(7~h
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