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摘要 A2fuNV_ IF? 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 R_:-Z.
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{?IUf~< ve(@=MJ 设计任务 "+4r4 2QIo|$ 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 3+D4$Y" S?~/
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*AYjMCo $I\lJ8 光栅级次分析模块设置 v #Q(g/^ F;Ubdxwwl l-[5Zl;" 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 ob(~4H- &+pp;1ls
hXn@vK6 9z?B@;lMc Yp9%u9tNq 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 7{
QjE 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 ogE|8`Tq^ 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 t~]tw 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 2fdC @V sH)40QmO{
8';huq@C{ 衍射分束器表面 ]i'gU(+;` 9
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为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 KWT[b? }cI _$
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\H\ d7L|yeb" 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) +}!FP3KgT
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d0 yZ9-t 0]t7(P"F6 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 K9euNa 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 + WFa4NZ 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 Tn\59 ( ?rububDT{
1BA5| JztSP? 光栅级次和可编程光栅分析仪 Gv}~ :.NCS`z_
x?-kt.M 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 DP7B X^e *[wj ) {FNq&)#` 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 uze5u\ ;"DI)hdz *6P)HU@ 设计与评估结果 H}&4#CQ'! 相位功能设计 RB/;qdqR 结构设计 a6.0$' TEA评价 '9q:gFO FMM评估 Fpf-Fa-K\b 高度标度(公差) bjGQ04da Ewczq1%l: 通用设置 ?$rHyI Lk]/{t0 iQ_^MzA 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 \I`g[nT| 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 @k,}>Tk g7U>G=,;?U S.A|(?x 纯相位传输设计 5Gsjt+
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$79-)4;z4 _i+7O^=d6X 结构设计 -
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ol joJ:*oL K_E- Hgg_ 更深的分析 #^&.*'z%z •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 naB`@ •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 hO}nc$S •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 5Dlx]_ Qp]-4%^Vz
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VGGSLr 使用TEA进行性能评估 (qXl=e8 `SSUQ#@
`h|>;u P _3U4J 使用FMM进行性能评估 vAp?Zl?g h9 &V
AilfeHG &SE+7HXw 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 n32.W?9 0ge^pO\Z
9F"Q2^l' z ''-AH, 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 5.e.
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y?s8UEC C2 ] x 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 eEG]JH PC}m.tE
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