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摘要 Mw5!9@Fc7 1aMBCh<}JN 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 ?R{?Qv 6nSk,yE'hE
c!\y\r Q}.y"|^ 设计任务 K6oXnz} LA@}{hU 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 +`Bn]e8O s*YFN#Wuc
ze\~-0ks+ Q6W)rJ[| 光栅级次分析模块设置 d<b,LD^ 6$dm-BI h+^T);h};| 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 YV940A-n o%9>elOju
1W!n"3# B# H O.}gG6u5 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 tx1jBh:e= 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 tr/dd&(Y1 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 }Voh5*$E` 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 I~qiF%?d imhq*f#A[
8k`zMT 衍射分束器表面 6uXYZ.A ?-84_i
B:r-')!0$# HgBg,1 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 k"7eHSy, @
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4g1
?(<AT]h V: #
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q5W'P> S7q&|nI 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 2,;t%GB Z=c@Gd
rpT<cCem1 uY~A0I5Z 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 |YFD| 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
U44H/5/ 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 _z 5CplO uRy6~'
e,*[5xQ /a|NGh% 光栅级次和可编程光栅分析仪 c6m,oS^ Xh/av[Q
fx-*') 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 5l}h8So4 bN&da
[K K)@}Ok"#\4 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 iP%=Wo. rw2|1_AF w$ { 设计与评估结果 6v#G'M#r 相位功能设计 NLGr=*dq 结构设计 (Qm;]?/ TEA评价 7$=@q|$ FMM评估 %4Zy1{yKs_ 高度标度(公差) y21uvp' wcf_5T 通用设置 1W[(+TZ&s |]cDz
OP}p;( 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 5,ahKB8 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 vB*oI~< )x &@j4, 8w[EyVHA 纯相位传输设计 3raA^d3!? >NA7,Z2.
[1^wy# Vb9N~v 结构设计 Ds_
"m, *$C[![
5z ^UQq Fd&!-`T? j]"xck 更深的分析 z44~5J] •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 -$t,}3 •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 <SZO-
-+lB •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 p\;)^O4 WUS9zK
u/'sdt b_Jq=Gk` 使用TEA进行性能评估 arKmc@"X =>\-ma+
B!ibE<7, >wO$Vu
`t 使用FMM进行性能评估 h)^A3;2F hyfnIb@~}
.<^YE% WcO,4: 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 \N , ' + oImgj4C2L
"ak9LZQ9z A'QGTT 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 wKS-O%? $YY)g$
Y*cJ4hQ M03i4R@h( 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 #x@lZ! Y !LOors za
Guw|00w,Q$ 0&IXzEOr VirtualLab Fusion技术 uE#,c\[8 t`YZ)>Ws
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