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摘要 Ke?gz:9j ^dnz=FB 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 mp,e9Nd; ES\Q5)t/fo
=b<<5N s dA}
72D? 设计任务 qX+gG",8 ;:4P'FWm^ 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 v"r9|m~ ' T]6c9_
l-S'ATZ0p Z SRRlkU 光栅级次分析模块设置 !wd'::C ],F}}pv k&A7alw 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 AM[jL'r| %i&/$0.8
i.t9jN 6%kJDY. '^Utbp2< 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 Y#lk!#\Y 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 {zz6XlKPj 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 Aw4?y[{H 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 ``$%L=_m l#b|@4:I
WBr:|F+~s 衍射分束器表面 /c@*eU t0bhXFaiE
}r}RRd 'B3Wz a. 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 nuSN)}b<Q eA?uny
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5@czK*5 9q1HSJ1)
ZU|6jI} I7dm \|# 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) Tr8AG> #2PrGz]
,-(T"Ph< O3kg 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 _F`$ d2 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 RpO@pd m 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 Z5G]p4 B;Xoa,
&yxNvyA[u xF(
bS+(o 光栅级次和可编程光栅分析仪 q=6Cc9FN p)B33ZzC
qH#r- 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 A~Z6jK >4n+PXRXX ~;M)qR?]W 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 E/mubA(& #NvQmz?J? &?.n2+T+
= 设计与评估结果 3 p/b 相位功能设计 D]IBB>F 结构设计 Y5dD|]F| TEA评价 G2.|fp_}pG FMM评估 +|y*}bG 高度标度(公差) d<Ggw#}:m -S"5{ N73 通用设置 @#RuSc 0b/ir 2 I eG=J4:* 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 M|\^UF2e 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 V0K16#}1gM JD6aiI!Su x_*%*H 纯相位传输设计 fUC9-?(K jY7=mAd
B:4Ka]{YO !fY7"E{%% 结构设计 pb!V|#u" z{S:X:X
t\h$&[[l'z sI_7U^"[ lDN"atSf
更深的分析 +l`65!" •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 \(I0wEQo$ •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 veeI==] •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 .it#`Yz; HBH$
X) V7bVW m9in1RI% 使用TEA进行性能评估 zuSq+pxL@ vY6oVjM
,`k_|//}= RK[D_SmS 使用FMM进行性能评估 lVz9k `vd= ec
<$%X<sDkq x2co>.i 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 9mlIbEAb $9 +YNgW>
rLU'*} 6i.gyD 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 bB!#:j>(v B
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';0 qj$# "13"`!m 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 (D<(6? `s|]"'rX
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