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摘要 .GW)"`HbU CTc#*LJx>j 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 3LVL5y7| HA0yX?f]
AgdU@&^ y<y9'tx 设计任务 B{1yMJA QW%xwV?8 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 ay28%[Q b4 2{L[D9c/6
k:1|Z+CJ oMN
Qv%U 光栅级次分析模块设置 j*_#{niy: m9Dg%\B <|:$_&( 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 Z0Qh7xWve `P;uPQDzZ3
=&vRT;6 1,6Y)_ CWnRRZ}r 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 m9aP]I3g]\ 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 JWQ.Efe 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 SxM5'KQ 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 Zg >!5{T sAPYQ
JRw)~Tg @ 衍射分束器表面 Ly6) ,[q~ &s&Ha{(!w
"ScY'< W-vEh 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 et6@);F x4@IK|CE
L4Si0 K 4[K6 ZDBU
;3sJ7%`v iIg99c7/&9 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) )`m/vYKWL P/dT;YhL
"ODs.m oq W;
?' 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 IN!IjInaT@ 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 w;T?m," 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 +/8KN %>:d5"&Lbs
`,FvYA" XO4r rAYvW 光栅级次和可编程光栅分析仪 D-\z'gS Iy{&T#e"
u-~?ylh 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 2aW"t.[j Qx[
nR/ &?yVLft 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 gz"I=9 0'^zIL#. _gP-$&JC 设计与评估结果 BO-=X
78f@ 相位功能设计 mybjcsV4
结构设计 OW8"7*irT TEA评价 [+4--#&{ FMM评估 =h}IyY@o 高度标度(公差) 8@4)p.{5I P 4jg]g 通用设置 MIWI0bnf 'B$qq[l]S ,W~a%8* 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 NxQ+z^o\ 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 v8o{3wJ ;/.XAxkFL wr;8o*~ 纯相位传输设计 9WsGoZPn EX^j^#N
"]D2}E>U; =lqGt.x 结构设计 H-1y2AQ Ue)8g#
N6_<[` S,TK;g R} aHo0r 更深的分析 X3;|h93.a •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 7tr;adjs •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 <xQHb^: •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 o w<.Dh ~Fd<d[b?
jB!Q8#&Q !|gln)|A 使用TEA进行性能评估 X(ZouyD< `FL!L59nz
Iz<}>J B _e3kO6X 使用FMM进行性能评估 3mnq=.<(w i0-zGEMB.
-hIDL'5u-I Ju"*>66 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 amK.H" i-4pdK u
%XieKL @4N@cM0
进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 p%v+\T2r U^$o<2
%2)'dtPD~ "e\:Cq>\ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 sA u ;i EJrn4QOs
,!?&LdPt> *MFsq}\ $ VirtualLab Fusion技术 lJloa'%v9 g&30@D"
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