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摘要 "z=SO1 "Yj'oE%\ 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 *8_wYYH Uu(SR/R}
9g"2^^wD g($DdKc|g 设计任务 M`i\VG `Kr,>sEAM 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 ~`\?"s: MgrLSKLT
nd1+"-,q h*$y[}hDuv 光栅级次分析模块设置 gPsi Vq?p|wy ?fjuh}Q5h 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 ssRbhlD/*1 9-DZU,`P
ft KTnK. OAkZKG| \2"I; 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 v`zJb00DT 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 o`P%& 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 i?g5_HI 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 [8,yF
D_U {~sDYRX
% <*g!y ` 衍射分束器表面 @u]rWVy;\[ P5nO78
cm[&? ZR]25Yy 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 Qqvihd Yc
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s,=i_gyPQ K3;nY}\>
G) 7;; M#VE ]J 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) @EpIh& Q/_f
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EzV96+ db6b-Y{ 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 (Cd\G=PK 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
4/1d&Sg 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 xScLVt<\e a]/>ra5{
]<pjXVRt" _m'Fr
7 光栅级次和可编程光栅分析仪 WIf0z#JMJm )3w@]5j
r1LViK 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 TAF
PawH {{MRELipW 7:3$Ey 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 &LVn6zAba ac.Ms (D ^Z#W_R\l 设计与评估结果 U,q\emR 相位功能设计 i Ae<&Ms 结构设计 *c*0PdV TEA评价 vIwCJN1C FMM评估 "xHg qgFyO 高度标度(公差) &n?^$LTPY ;Q[mL(1: 通用设置 5HO9+i \lC T {Uc:Z 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 g(J&m<I 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 @reeO= Dzs[GAQ] )ZqJh 纯相位传输设计 ~UjGSO)z} e\JojaV
{=QiZWu q**G(}K 结构设计 )>-ibf`#? <l9-;2L4
;Uu(zhbj Yvjc1 5<j%EQN|D 更深的分析 GF%314Xu •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 '07P&g- •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 sWblFvHqrU •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 sZm$|T0 lBFMwJU)
+d!v}aJ Za8#$`zq 使用TEA进行性能评估 J8)#PY[i4 <xC#@OZ
? Cg>h wz.6du6- 使用FMM进行性能评估 yK2^Y]Ku? "=za??\K}
~\3kx]^10 @wC5 g 4E 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 3UQ;X**F [[Y0
w MP
\qR %%S 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化
D"ehWLj ]mXLg:3B
9Q-*@6G M7+h(\H]2 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 <rL/B
k RxN,^!OV
-yg?V2 ]B]*/ VirtualLab Fusion技术 lmSo8/%T fH?ha
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