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摘要 pFUW7jE 0D\b;ju< 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 6z (eW]p }EW@/; kC
mp\`9j+{ Y?^1=9?6 设计任务 ZgXn8O[a il)LkZ@ 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 @ZD/y%e nCj_4,O
#]BpTpRAe< AIx,c1G]K 光栅级次分析模块设置 5T,In+~Kd 'A|OVyH 0UHX Li47Y 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 [qMFLY$ oQkY@)3.w
F$;vPAxbK" 1 o;*` @rTAbEk{U 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 ]{[8$|Mg 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 6]#\|lds1 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 iTt#%Fs)4M 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 VHyP@JB
>-~2:d\M3
pO~VI$7 衍射分束器表面 )ZU=`!4 xSQ0] vE
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+# hKT ]M[Pv 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 OfR\8hAY \n@S.Y?P
(,J`!Y hS w(P\+ m <%
CQq'x+{F L?@TF; 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) )BuS'oB xTnd9'Pk`:
.Y.{j4[LQ lZ3o3" 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 F^],p|4f 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 ) OqQz7' 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 x bG'![OX ~N i#xa
.>(?c92 U#B,Q6~ 光栅级次和可编程光栅分析仪 NZ\aK}?~! S;o U'KOY
xLE+"6;W 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 V/0?0VKG 0I.9m[<Fc ZOFhX$I 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 ,RkL|'1l b}G4eXkuj ^J8sR4p# 设计与评估结果 u@`)u# 相位功能设计 }OeEv@^ 结构设计 [;c'o5M& TEA评价 G -U% FMM评估 +[ _)i9a 高度标度(公差) iA~b[20& Dm@wTt8N( 通用设置 * &j)"hX ~&/|J)} 3:$hC8 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 _v=@MOI/J 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 q%4l!gzF3 gTK5z.] ~P*t_cpZ 纯相位传输设计 VV(>e@Bc4 2a;vLc4
%6`{KT? J&{qe@^ 结构设计 W{OlJRX8 }2Lh'0 xY
XpzdvR1 ZQvpkO7}M \TG!M]D: 更深的分析 ^4LkKYMS •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 _nR8L`l*z •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 H_'i.t 'SS •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 ~U:{~z :&=TE 2
d 7A08l{ 4C(v BKl 使用TEA进行性能评估 A>6b
6 i0uBb%GMT
^R.#n[-r2 JMu|$"o&{ 使用FMM进行性能评估 L<>;E 'sJ=h0d_[V
1<]g7W Wh%qvV6] 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 y
D.S" v{ .-x\;
09"C&X~ pb`F_->uq 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 m",wjoZe* ^*C+^l&J!
uROt h_/ Q>nq~#3? 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 3A k,M-Jp <@n/[ +3
)2}{fFa% TX]4Y953D VirtualLab Fusion技术 ZLdvzH@' %R5APMg1
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