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摘要 fgj^bcp- n$aA)"A # 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 X]loJoM9 QW_agm &vovA} F /cK%n4l.y 设计任务 O,<IGO ZvGgmLN 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 f/kI|Z !vn1v)6 NWfAxkz{/ E`j-6: 光栅级次分析模块设置 F/1#l@qN fZKt%m |+U<S~ 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 z5*=MlZ)R. a{[+<8=@1 $DBGLmw +uWYK9 |xoF49 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 WS2osBc 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 7B3w\ 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 NA$zd( 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 !TAp+b
@>x pYV NDO\B,7 衍射分束器表面 I =Wc&1g OTB$V k '<iK*[NW m6
s7F/ 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 Y`6rEA0 i77GE 8_H=^a>2 6+K_ Z\ IgL_5A WqrgRpM{ 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 2eQdQwX XA_FOw!cX #kkY@k$4 4*Z6}" 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 =\,
qP 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 K:y^OAZfV 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 >yJ-4lgZ i;PL\Er:tX 4y}"Hy MVCl.o 光栅级次和可编程光栅分析仪 "()sb? & bVr*h2p lz |
64J 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 ']ood! qu6DQ@
~YC vOI[Z0Lq9h 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 %qsvtc` pL1s@KR tZWrz
e^ 设计与评估结果 ;%q39U} 相位功能设计 o[6y+ <'o 结构设计 ]"fsW 9s TEA评价 j%Y\A~DV FMM评估 Ja^ 5?Ar| 高度标度(公差) t@bt6J .{ o5Rz%k#h 通用设置 9vGs; 3mt%!}S 8_\W/I!7b 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 |E/L.gdP7 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 ZX`J8lZP 1@sM1WMX ES:!Vx9t0| 纯相位传输设计 WNa0, s0LA^2U {6vEEU ,35&G"JK5 结构设计 \94j rr *8g<R XbvDi+R2A ^Ip3A fJ80tt?r 更深的分析 JSMPyj •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 yDd[e]zS` •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 V/#v\*JHFc •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 E%k7wM { h#f&|*Q5m nf%4sIQ*x 1IA5.@G: 使用TEA进行性能评估 d;suACW /r$&]C:Fi +$beo2x6 r:.uBc&_ 使用FMM进行性能评估 ?s{C// ?AsDk ~3 %JoxYy- mb\t/p 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 0'ZYO.y m3
IP7h' Z^6#4Q]YC H*U` 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 [QEwK|!L d?Y-;-|8Qh w6,*9(;$Pk B\<ydN 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 P1d,8~; m4**>!I N~#D\X^t. u(vw|nj` VirtualLab Fusion技术 ?n*fy hLA;Bl Zq?_dIX
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