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摘要 P\z1fscnK yD8Qy+6L 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 */$] kE `R lWhdE
A.r.tf}: uv{*f)j/d 设计任务 Q
trU_c2k KxfH6:\RB 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 f}?pY"yvO 0G+qF96
Qk@BM Q^?$2ck= 光栅级次分析模块设置 vSH-hAk pF}E`U=Z 0$U\H>r 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 [DTe zW. Ltz
DLe>EU;vS Q2Uk0:M eQqCRXx 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 i"E_nN"V 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 ``kesz 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 j2 >WHh 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 (@O,U 2%`8
hIa,PZ/Q 衍射分束器表面 " ;\EU4R V{}TG]
8|\xU9VT =H}}dC<) 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 Ie8K[ > G2:.8ok
qs9r$o.\l C"k]U[%{
|(Xxi T+!0`~` 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) Ow-;WO_HQ ^vOEG;TR<-
clIn}wQ V:g XP1P 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 q1/ mp){ 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 owO&[D/ 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 q+lCA#Sx Ti#x62X{
!VvM K-@cn*6 光栅级次和可编程光栅分析仪 ?.nD!S@ cZw_^@!
@ZcI]G% 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 7TZ,bD_ A5G@u}YS5 #}UI 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 \6/!{D, ZP.~Y;Ch;- 01+TVWKX 设计与评估结果 ^3Z~RK\} 相位功能设计 Js9EsN% 结构设计 qqu]r TEA评价 )fc+B_ FMM评估 ' KNg; 高度标度(公差) Z$K[e =jRC4]M}) 通用设置 08nA}+k s>ZlW:jY LT/*y= 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 ,WS{O6O7 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 Pm|S>r JvtbGPz j|y"Lcq 纯相位传输设计 /I0}(;^y ->@iw!5xu
%){) /~e& rmhL|!
Y 结构设计 @P<Mc)o^ i0[mU,
Odbm"Y 5Ja[p~^L WL<f! 更深的分析 bm(.(0MI •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 ZJ|&t •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 ~4ysg[` •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 C.hRL4+;Zm r} a,
lD?]D& @}A3ie'w 使用TEA进行性能评估 ?4lEHef :ZU-Vi.b
K%NgZ(x( IlMst16q5 使用FMM进行性能评估 ^xF-IA#ZeB [J43]
6Zq7O\ Ly`FU) 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 6G?7>M QZ_8r#2x
S(hT3MAW Rj/ y.g 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 &^])iG,Ew rJc=&'{&)N
5@{~830 3>buZ6vh 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 z]=jer k\lU
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P+W*87J bODyJ7=[ VirtualLab Fusion技术 5Q@4@b{C 8DZ
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