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摘要 N0EJHS,>e Yhu
6QyRV 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 CCp&P5[67 h^#K4/
#Pi}2RBRu 3#7D
g't 设计任务 V$O{s~@ti bM`7>3
d7E 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 _U<sz{6 QF 2Eg
sr(f9Vl |pB[g>~V 光栅级次分析模块设置 NQCJ '%L6 |ho|Kl `= |/B2Bm 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 K1c@]]y) <a_Q1 l
f(Jz*el
S Y/Yp+W6n z Qtg]@S 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 -'
7I|r 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 > D:(HWL 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 J6 }J / 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 S0+nQM% j_2-
Dk&@AjJga 衍射分束器表面 8jyg1NN D qF!oP
ZujPk- e-vwve 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 z)$X/v v{7Jzjd
Cf#[E~2 4 `em}vdY
J)R;NYl >gNVL
( 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 5AV5`<r. m4FT^^3yE
% j4 5e^t; 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 U2 0@B`< 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 +c@s
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 uH'n.d"WG f>d aK9$(
1^<R2x ~3YN;St- 光栅级次和可编程光栅分析仪 Y0`=h"g R{zAs?j
=<nx[J 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 w#EP`aM2$= dq$H^BB+> oZ%rzLH 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 +AVYypql8K {ir8n731p
,r<!30~f 设计与评估结果 KrwG><+j 相位功能设计 24u;'i-y5 结构设计 @SH%l] TEA评价 P{qi>FJqe FMM评估 "5 \<. 高度标度(公差) d ;GF<bz y^"[^+F3 . 通用设置 n_}=G
RR ;{xk[fm= M~ =Bln5 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 NE Br)~ 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 9|19ia@[\ )%e`SGmp l#!p?l 纯相位传输设计 p-d2HXo L`>uO1O
[d+f#\ut )m .KV5K! 结构设计 q'u^v PO Gt9(@USK
*`]LbS `Mj>t( 6$#p}nE 更深的分析 :xdl I`S •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 !)1r{u •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 {pEay|L_ •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 ,9T-\)sT w9QY2v,U
cuenDw=eC +:@lde]/p 使用TEA进行性能评估 KW^#DI6tr <=m@Sg{o
mj\]oWS7d Hggp*(AQK 使用FMM进行性能评估 U&DD+4+28: {FV_APL9_
ruMS5OqM u=epnz:< 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化
5X2&hG* U
Ke!zI
v;=F$3 zoFCHsr 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 E1p?v! +&t`"lRl&
UPs7{We W U-uBz4Gha 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 ~`7L\'fs p#['CqP8
Bismd21F6= zT;F4_p3G- VirtualLab Fusion技术 g\%vkK&I Q>`|{m
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