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摘要
+h9 U V h| !B;D 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 U4 m[@wF
J.$<Lnt>u
 N>/*)Frt
PUlt n}M 设计任务 >m:.5][yu q&<#)#+ 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 Zv 7@
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 d;m Q=k
1 \xDu#/ ^ 光栅级次分析模块设置 Jtd@8fVi 1.p?P]
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使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 ` eND3c
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1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 D4
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2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 ,H22; UV9
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 >h[tHM
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4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 rHT8a^MO
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 xXA$16kd 衍射分束器表面 -fL|e/
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为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 n\,TW&3
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%bDd 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) Xuh_bW&zF
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一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 T 2Y`q'
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 OiM{@
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 mKe{y.
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 Gk[P-%%b / 5Hr(9 ) 光栅级次和可编程光栅分析仪 <R GRv v
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光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述，作为许多可能的输出。 } {K)5 k@
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使用可编程光栅分析仪，用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 :6HMb^4
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设计与评估结果 yA%[ u.{
相位功能设计 ni~45WX3
结构设计 /jj@ =H
TEA评价 N..9N $+(
FMM评估 zN2sipJS8
高度标度（公差） NA/+bgyuT> `&pb`P<` 通用设置 cgz'6q'T
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提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 Jc:G7}j6
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 y:2o-SJn B5I(ai7<M (/@o7&>*50
纯相位传输设计 R`1$z8$ L {B#x@9tQ
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k T ( _nkscf 结构设计 .zegG=q
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更深的分析 u{H_q&1
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 =A!I-@]q<
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 N#[/h96F
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 "UA W
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 A@DIq/^xM q5HHM HB 使用TEA进行性能评估 G53!wIW2:
E&[ox[g{
 S:1! )7
ait/|a 使用FMM进行性能评估 _ ')KDy7
8=2)I.
 @l;f';+ w^ DAu1 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 ")sq?1?X
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 ol:_2G2xQ .5I1wRN49 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 ]]7s9PCN
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DAv AozM 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 Wo2M }]0
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