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摘要 Tj0qq . D(bQFRBY6" 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 IIj
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"d1~(0=6<m 设计任务 eI20)t`j *@; Pns]L- 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 KK-}&N8
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 Ql 2zC9C ~m`j=ot 光栅级次分析模块设置 _x +)Tv B!J~ t8 X
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使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 iX]tL:,~i
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1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 86 $88`/2
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 5t=7-
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 KE$ I!$zO
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 H6o_*Y
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 CdZS"I 衍射分束器表面 M9C
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为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 ^*g= 65!1
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#[ odjSb 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) xj<
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一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 U;w|
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薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 KA/ ~q"N
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 3[*x'"Q;H
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 ]broU%#" ^1w<wB\B 光栅级次和可编程光栅分析仪 ]H-5
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光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述，作为许多可能的输出。 -`cNRd0n
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使用可编程光栅分析仪，用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 4R}$P1 E
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设计与评估结果 -IE=?23Do?
相位功能设计 |-Q="7b%
结构设计 w678
TEA评价 W.s H
FMM评估 b O9PpOk+z
高度标度（公差） HO}eu o>^ @s4t 通用设置 ?m bI6fYv
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提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 :G4)edwe
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 W<\*5oB%H /4>|6l= (.~,I+Cz'
纯相位传输设计 LZ4Z]! V Uqd2{fji=#
 M?v`C>j 5E!Wp[^ 结构设计 zgPUW z
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更深的分析 +  f-5}`)`.+ AiUK#I 使用TEA进行性能评估 JPM W|JT
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.B_a3K4'{^ 使用FMM进行性能评估 yIf>8ed]#
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 V_ P,~! ` 7jdV 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 F QBAt0
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VirtualLab Fusion技术 x0ICpt{;
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