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摘要 "7v-`i !I\!;b 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 l?iSxqdT ^T.E+2=>z
Q.Aw2 0I{gJSK., 设计任务 E0/mSm"(T 0A:n0[V:] 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 s!9dQ. WO6/X/#8b
$o +5/c?| !6G?zipB 光栅级次分析模块设置 J>^\oAgpE TM8=U-A g}f9dB,F 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 [Px'\nVf p7ir*r/2
m'-|{c F3oQ^;xB @R m-CWa 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 \*\R1_+ 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 -B$~`2- 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 @h?shW=^ 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 v_S4hz6w\ za'6Y*CGgX
s!+"yK 衍射分束器表面 Y:ldR +Ug/rtK4
6r"u$i`o =V97;kq+v 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 &t(0E:^TRU \#'TNmS
H +bdsk OquAql:
>O/D!j| J!ntXF 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 0)m8)!gj O|cu.u|
65,(4Udz! +fKtG]$ 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 >%Ee#m 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 QFPfIb/ 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 QMo}W{D qP!P
+'B
sP'0Sl~NU x\s,= n3z 光栅级次和可编程光栅分析仪 JIO$=+p ~^)^q8
Q6C-4ja 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 r'BAT3 ftk%EYT; ~n!!jM:N 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 rSP_:} [O
", Dbx~n#n G 设计与评估结果 s|bM%!$1 相位功能设计 I-NN29Sk 结构设计 >i,iOx|E- TEA评价 P
,eH5w" FMM评估 !SHj$Jwa' 高度标度(公差) ']ood! qu6DQ@
~YC 通用设置 7yI@"c#O ! o,5h|\ pL1s@KR 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 tZWrz
e^ 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 d6 _C"r FdOFE.l (3,.3)%` 纯相位传输设计 +UWU|: )wzV
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&217l2X
/ $<)Yyi>6E 结构设计 E^ h=!RW{ 5iFV;W
K%KZO`gO ":?T%v> -[#n+`M 更深的分析 1ywU@].6J] •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 u~ F;xQ •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 j;P+_Hfe/E •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 `kBnSi o~ v$|mo;6
MXAEX2xmme =F%RLpNU4 使用TEA进行性能评估 3-wD^4)O, h%#_~IA:|
V/#v\*JHFc E%k7wM { 使用FMM进行性能评估 h#f&|*Q5m nf%4sIQ*x
1IA5.@G: (7q^FtjA# 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 .{rbw9 L-'k7?%(
p%RUHN3G[ R ZcH+?7 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 mc@M ,2@D X.J
[QEwK|!L |+E KF.K 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 $AwZ2HY 1Kc^m\
)bW<8f2 (wL3 + VirtualLab Fusion技术 ,Aa|Bd]b
5RhF+p4
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