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摘要 b<u3 hln%, 7J&4akT{9 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 BFW&2 Zj4Uak
BL58] P84 vVcob}ZH 设计任务 5rUdv}. h `.& f 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 YT8F#t8 aFIw=c(nP
P
L+sR3bR H7+,* 光栅级次分析模块设置 s(roJbJ_; HE_8(Ms;8 kz7(Z'pw 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 O<W_fx8_' G9@0@2aY8
w)jISu;RG 8sK9G`
k Nl(Foya%) 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 RY*U"G0#w 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 maR"t+ 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 y L~W.H 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 O%HHYV%[m ~.lPEA %%
Lq!>kT<]! 衍射分束器表面 HiJE}V;Vq t@+}8^M
$]2vvr O!bOp= 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 W'u># F^fdIZx
63x?MY6 N=g"(%
&XUiKnNW [;myHI`tw 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) t.\dpBq U\!X,a*ts{
=zs`#-^8 w917N4$ 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 @2v_pJy^ 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 7W.~ 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 @49S` Hl
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QUQ'3 ('p5:d 光栅级次和可编程光栅分析仪 }?v )N).kW I ?.^ho
0NX,QD 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 _``=cc J`1rJ g5r(>, vY 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 4x[S\,20 G9<X_ uOdl*| T? 设计与评估结果 [Cv/{f3]u{ 相位功能设计 w_u\sSQ`! 结构设计 7EO_5/cY TEA评价 l_%6 FMM评估 0>Z_*U~6 高度标度(公差) fXQNHZ|4 C'}KTXiRW 通用设置 \v)+.m?n e6RPIg x{WD;$J 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 i@M[>~ 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 UByv?KZi K0Fh%Y4)QH l0A&9g*l2 纯相位传输设计 W-zP/]Dh f^XOUh
iTU5l5U z x5 *!Wx
结构设计 mvT(.R ..s O/(xj2~$J
fNZ__gO!% \.#>=!Ie '$zIbQ: 更深的分析 fMyti$1~ •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 ,',o'2=! •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 Pw!MS5=r •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 1Nd2{( y>e.~5;
scLll ,~ 3HY9\'t6 使用TEA进行性能评估 QbpFE)TYJ| s(q_
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t"/q]G5 qR+!l( 使用FMM进行性能评估 `XEr(e9 >>fH{/l
agW@{c s>n)B^64W 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 >_ 2dvg=U :@A9](gI
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j< bYQRBi 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 Is?La gn".u!9j
PGV/ h L"*/:$EJL. 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 mZ"4&U P:]^rke~&
O2dW6bt N `F~n%N VirtualLab Fusion技术 |02gup qqi GKc`xIQ
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