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摘要 yf lt2 R *8WcRx 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 Syf0dp3 xJ0Q8A
-5&|"YYjr{ RyAss0Sm^ 设计任务 eD#R4 z~Ec * 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 =Wgz\uGJ ?E6*Ef
6+Y^A})(F- `S&$y4|Vs 光栅级次分析模块设置 <"&I'9 mbZS J =P,h5J 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 z 8w&;Ls c)7i%RF'
A,WZ}v}_ /q3]AVV qi ;X_\v 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 ;$0)k(c9 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 H&yK{0H 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 Ah|,`0dw 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 f{[ ]m(X; fw[Z7`\Q5
<<ze84E 衍射分束器表面 ~EV7E F 0-N"_1k|?
Zy<gA > oD@~wcMIT0 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 bPe|/wp !_ng_,J
@Yl&Jg2l' nw)yK%`;M
['G@`e*\ ~boTh 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) EWr8=@iU oX;D|8f
O%Mi`\W@ j9bn|p$DA 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 O< \i{4}} 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 Bq20U:f 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 ]P5|V4FXo [VsTyqV a
rEM#J"wF SDW_Y^Tb 光栅级次和可编程光栅分析仪 4"=(kC~~ =/|2f; Q
nO{m2&r+ 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 Q&X#(3&' 65~X!90k 7FTf8 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 [Ju5O[o ly8IrgtKy a%fMf[Fu 设计与评估结果 2<
"- 相位功能设计 Q`ALyp,9b 结构设计 '/ >7pB TEA评价 V"r2 t9A FMM评估 ?FRuuAS 高度标度(公差) &F!Ct(c99 -/7[\S 通用设置 :B(vk3;U! ISbhC!59 "s6\l~+9l 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 qrK\f 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 pSzO)j 'H]&$AZ;@ BwpSw\\?@ 纯相位传输设计 6^'BhHP y>5??q
3O'6 Ae sgc pH 结构设计 T=kR!Gx Fr,qVYf
v{T%`WuPRf FthrI |@+/R .l 更深的分析 9c}mAg4 •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 }C<<l5/ z •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 {?zBc E: •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 ~kJ}Z<e 8(b
C.
jnu!a.H (:spA5 使用TEA进行性能评估 ^_Ap?zn [PI!.9H
?4^8C4 q9^6A90 使用FMM进行性能评估 RXbhuI eL` }j9
Vp.&X 8 y-/,,,r 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 \%!
t2=J! QR#L1+Hn
)v+R+3< jk\04k 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 ~@Wg3'& xaSg'8-
A'=,q
vK10p)ZV 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 ?e. Ge0& ,2R7AHk
tS@J)p+_( ]w+n39da VirtualLab Fusion技术 keMfK]9 CU7WK}2h2C
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