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摘要 *#Lsjk~_- PG^j} 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 v7o?GQ75 N"Y K@)*Q
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(<TM l$k]O 设计任务 `qf\3JT\ lruF96C/Y 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 `W"a!,s2 Vq3]7l
OX)#F'Sl} 7m|`tjQ1 光栅级次分析模块设置 %w'/n>]j MtpU~c VM-qVd- 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 m4Phn~>Gg 6\,DnO
cy=I0 }b_R5U$@@ MekT?KPQ{L 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 :"M9*XeHO 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 935-{h@k 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 $i,6B9 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 +={ XGE
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8%;}LK 衍射分束器表面 Smq r
q 6Gs{nFw
Y%78>-2L 4*0:bhhhf_ 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 $R A4U< ]$m#1Kj
Zg)_cRR dV5PhP>6
DNm(:%)0 q%OcLZ<, 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) &_"ORqn& \ V[;t-
x`]Ofr' ^~ Ekg:` 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 M0cd-Dn 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 %*$5!; 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 NFB*1_m c:=7lI
AI&qU/} pTcbq 光栅级次和可编程光栅分析仪 C1h#x'k f=t:[<
)
tRLE,(S,- 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 rlR
!& 8{R&EijC S4L-/<s[* 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率
WHp97S'd F(d:t! TG1P=g5h 设计与评估结果 yt. f!" 相位功能设计 8$\Za,)g 结构设计 8V6=i'GK TEA评价 A/!<kp{S FMM评估 inYM+o!Ub 高度标度(公差) 7e1dEgn lwVk(l
Z 通用设置 8jRs=I :%N*{uy F7\BF 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 8h@q 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 VLiIO"u; G;/Q>V 1hR
(N 纯相位传输设计 X` ATH^S 5B1G?`]?
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~ O]t\B*%} 结构设计 L~IE,4 K]X`sH:
gc##V]OD @|BD|{k ,I ZqLA 更深的分析 Z(p*Z,?u •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 b \:~ ; •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 $`pd|K` •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
}g>kpa0c {-HDkG' 8
O16r!6=-n hd5$ yU5JQ 使用TEA进行性能评估 Dzr e' t)} \9^Uo
#EJP(wXa q]TqI' o 使用FMM进行性能评估 '99@=3AB:` \QGa4_#
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进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 |H
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;2 W 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 _42Z={pZZq vG~+r<:
}~F~hf>s 9*\g`fWc}{ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 F}'wH-qp L6+C]t}>6
GF'f[F6oI MU1E_"Z) VirtualLab Fusion技术 XFQNr` H-,TS^W
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