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摘要 Xgl
%2' &G[W$2`@ 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 oB @)!' MR: H3
q Y!LzKM0 ;dtA-EfOZ 设计任务 ]<ay_w; dKP| TRd 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 bl^pMt1fv ,S
m?2<
dNCd-ep lYS " 光栅级次分析模块设置 +K8T%GAr eA3NyL bMsThoePT 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 A/&u/?*C O>I%O^
~[kI![ M04u>|
, $C,`^n' 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 t'yh&44_ 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 vR pO0qG 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 O'(D:D? 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 ONZ(0H{ 1$ [S-#}C?~
J0YNzC4 衍射分束器表面 3g56[;Up? WRRR "Q$
.g7\+aiTUd nEP3B'+ 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 :o87<)
_F D51s)?
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rUHP U]B-B+- 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) h#dfhcU> 6OJhF7\0&
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3 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 4H@7t,> 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 Q
\SSv;3_ 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 b\kA pV!WZUfg
loHMQKy@ {lUaN0O: 光栅级次和可编程光栅分析仪 [ \%a7ji# ZN&9qw*
iSfRo31 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 g&Uu~;jq] e2>AL yigq#h^ 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 ^4p$@5zH !w0=&/Y{R ]r%fAmj 设计与评估结果 dB QCr{7 相位功能设计 6\v4# 结构设计 bj_/ TEA评价 +D[C.is>]} FMM评估 Mhb~wDQl 高度标度(公差)
m;TekJXm ytb1h Fs 通用设置 X`-o0HG k!x`cp OHnsfXO_V 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 p;D
{?H/ 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 S!^I<#d K W[e2J&G Po.by~| 纯相位传输设计 ?%D nIl> ~fzuz'"^
!9.\A:G NF-@Q@ 结构设计 )jjaY1E o3NB3@uj<
}I#_H I*g[Y= EN,}[^Z 更深的分析 l%?()]y •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 {d)L0KXK •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 LY#V)f •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 H:WuMw D4 mgodvX
64<*\z_ 9A|9:OdG1 使用TEA进行性能评估 K!2%8Ej,J wS
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r]aI=w<(f F ^m;xy 使用FMM进行性能评估 ZXIz.GFy+ TQ%F\@"
uU-1;m#N? Bo'v!bI7 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 r029E- ZqjLZ9?q
&]A0=h2{P* Ka%#RNW 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 M7-2;MZ 5dbj{r)s6i
1F+JyZK}w 5{v uN)K3 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 ^oClf( P{: 5i%qC
IP)%y%ycw /xBO;'rR VirtualLab Fusion技术 dOKe}?}== qG]0z_dPE~
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