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摘要 [szwPNQ_ .AV--oA~ 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 mMa7Eyaf ?$o8=h
|D^[]*cEH v=/V<3 设计任务 1dKLNE ,2]6cP(6qQ 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 >`lf1x W58\V
K&S~IFy %i^%D 光栅级次分析模块设置 vF*H5\ m<a l\(t~Q [,fMh $t 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 5[;^Em)C K7y}R%QF
5 :AAqMa sGzd c 6%5A&&O(b 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 "PuP J| 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 U"ga0X5 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 zS?L3*u 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 K J~f ~2; gzuM>lf*{
z? cRsqf 衍射分束器表面 HM<V$
R $YW z~^f
lQ)8zI WLizgVM 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 dLo%+V#/A jIEK[vJ`
m>a6,#I ^^)Pv#[3
`!rHH !.F`8OD`u 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) id*UTY
Tg n RXf \*"3
H,?AaM[V esxU44 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 zf^!Zqn[8z 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 AU)Qk$c 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 Vg2s~ce{ |>p\*Dl}H
9}5Q5OZ ;;UvK
v 光栅级次和可编程光栅分析仪 B_:K.]DK` \24neD4cM@
:JPI#zZun 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 S6Kaw uD<*g(R R`/nsou 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 8 v&5)0u zQ7SiRt7* -V<i4X<|,+ 设计与评估结果 \alRBH qE 相位功能设计 9B<y w. 结构设计 D<nTo&m_ TEA评价 U4Qc$&j> FMM评估 Vrz<DB^-e 高度标度(公差) l=kgRh 3``$yWWg 通用设置 "j~=YW+l 1{"e'[L '"=C^f 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 AEEy49e 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 IDcu#Nz` W"z!sf5U Px)VDs=k 纯相位传输设计 KLbP;:sr R1?g6. Mq
E-&=I> B5 F4d L{0;j 结构设计 -rU *)0PR y8
`H*s@
Cm>8r5LG U4M!RdG Qx$Yj 更深的分析 2D&tDX< •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 1jQz%^~ •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 p`XI (NI •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 H@OYtPHGR u:fiil$
RYmk6w!w O8n\>p kI 使用TEA进行性能评估 `N2zeFG .rax`@\8
FWPkvL IOt!A 使用FMM进行性能评估 ]Kil/Y @lBR;B"
zn@tLLX BxlpI[yWq 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 C{+~x@
|PTL!>ym2
03_tt7 L,Uqt, 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 !d%OoRSU' N\ GBjr-d
CEZ*a 0}= !P#lTyz 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 A+:K!|w LV'v7 2yUH
%xkqiI3Ff ~99Ta]U VirtualLab Fusion技术 42
8kC, 5-aCNAF2
,SS@]9A& X]Sr]M^EK
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