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摘要 uAzVa!) 1uB}Oe2~ 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 *X %`MN .w$v<y6C
rM [Ps=5 lxbbyy25 设计任务 sN-5vYfC* {zbH.V[ 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 >P\Tnb"Q\ :U?P~HI
wH|\;M{0V1 X?>S24I"9 光栅级次分析模块设置 "kP.Kx! e6sL N xg'0YZ\t 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 'G-VhvMv (d#?\
gQ?>%t] Vy}:Q[ g'pE z 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
`Yoafa 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 bXJ,L$q 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 E'MMhlo 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 H@G7oK 2$\1v*:
.]r[0U 衍射分束器表面 {zVJlJKxs 0>Mm |x*5
D3XQ>T [*q XHN?pVZ7 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 >#!n"i; Fi7pq2
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-|f9~(t }E?s*iP 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) c%xxsq2n rB=1*.}FLc
lV]l`$XI tQ`tHe 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
U,Z(h 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 SvI 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 ^gb2=gWZ< _BR>- :Jr
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d:21 B 光栅级次和可编程光栅分析仪 Nkv2?o>l nHZ 4):`
{jk {K6 } 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 dZnq 96<:| 0CTI=<; m1+DeXR_g 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 .Ta$@sP h} jRgv
8n 1
#EmZ{* 设计与评估结果 ,
/ 4}CM 相位功能设计 D.?KgOZ 结构设计 (q
+Q.Q TEA评价 v[Ar{t& FMM评估 +d#ZSNu/ 高度标度(公差) yP-.8[; &<!I]:Y 通用设置 j4G,Z4 -sc@SoS [k1N `K(M 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 Nk^#Sa? 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 {BKI8vy %kVpW&
~ i(U*<1y 纯相位传输设计 JNMZn/ @x{;a 9y
h V=)T^Q 66z1_lA 结构设计 @Vb-BC, "G4{;!0C
N'[^n,\(: nnr(\r~ C:P, q6 更深的分析 ;PLby]=O •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 n*_FC •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 I^lb;3uR •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 d]a*)m& iCw~4KG
@-u/('vpB [m('Y0fwO^ 使用TEA进行性能评估 wcV~z:&^5 z?E:s.4F
]2Lwd@ &|gn%<^ 使用FMM进行性能评估 wAy;ZNu /4=O^;
gv<9XYByt 0!!pNK%( 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 2;6p2GNSh v?Y9z!M
neOR/] mtJI#P 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 tR2IjvmsX =zI
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#x"pG zXMIDrq 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 !&19%C4 yQCfn1a)
%] ZRcY; ? VirtualLab Fusion技术 #PtV=Ee1 6AzH'HF
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