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摘要 ,.<[iHC}9 dBWi1vTF 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 8fI]QW ec8iZ8h8
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VudE>; 设计任务 hFW{qWP 2|6E{o 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 _nUvDdEs, DB=^Z%%Z
/JqNiqvh 0uZL*4A+C 光栅级次分析模块设置 c"wk_# a)o-6 !#NGGIp; 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 E;o
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~ERA 4MFdhJoN 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 |8{c|Qz 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 3+<f7 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 9} *Pb6 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 \kR:GZ`{UV +A;AX.mr
7hzd. 衍射分束器表面 y/.I<5+Bu dED&-e#
VYo2m (r9W[ 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 .UGbo.e ML!>tCT
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2lu A F2 d71|(`& 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) :Z R5<Y> =C(((T.
g7l?/p[n Puq 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 :z^,>So : 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 _'}Mg7,V 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 9F"^MzZ FoX,({*Ko~
7Eo;TNbb 1$S`>M%a 光栅级次和可编程光栅分析仪 )JXlPU !+)5?o
@Rw]boC 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 /J5)_>R: .At^b4#( -Q MO*PY 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 6k6}SlN[ ^Z>Nbzr{ ~7$jW[i 设计与评估结果 |44 E:pA 相位功能设计 B1k;!@@14 结构设计 Koi-b TEA评价 s= bP@[Gj FMM评估 %0_}usrsk 高度标度(公差) ?3yrX_Qm{ ~vscATQ 通用设置 ]j+J^g 2u%YRrp |@Ze{\
提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 pmuT7*<19 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 *3A)s
O ~N]pB]/][ H{,qw%.|KA 纯相位传输设计 s(8e)0Tl r
E&}B5PN=
j58'P 5N yfZYGhPN( 结构设计 y4N2gBTKu nU,~*Us
!-~sxa280r y7T<Auue` VLcwBdo 更深的分析 +GL[uxe" •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 1'!%$D •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 ^D?{[LBc •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 Nz%Yi?AF )?<V-,D
7{Zs"d{s hiw>Q7W 使用TEA进行性能评估 ;$g?W" 4G'-"u^g
#]*]qdQWV^ >Q2kXwN 使用FMM进行性能评估 ziXI$B4- oIGF=x,e8
3a0% J' jk{m8YP)E 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 9R99,um$ }=fls=c/0
]2rCn}; M~g{}_0Z 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 jP\5bg-} nk"nSXm3SR
]92=PA>75 ke2}@|?t 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 MogIQ l}~9xa}:D|
gTk*v0WBm &*; Z(ul&9 VirtualLab Fusion技术 v9 8s78 i>
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