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摘要 -FQC9~rR;g \El|U#$u' 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 ll^Th > r3n=<l!Jr
TFAYVK~ es.jh 设计任务 n;e."^5 ;gZwQ6)i 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 U*
-% M Tm(Q@
x eJ9H~^ H|grbTv, 光栅级次分析模块设置 2 9&sydu =6.8bZT\ b{Z^)u2X 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 xR\D(FLVS kA?X^nj@
WAtg }@3Ud'
Y h`z2!F4 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 H+S~ bzz 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 SNQz8(O 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 <9Lv4`]GU5 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 6H(fk1E ;b, -$A
Fg_?!zR>6 衍射分束器表面 4JX`>a{< L!CX&
L~@ma(TV{K 3r,1^h 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 aK8bKlZe jlYD~)
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\[Sm2/9v FQ;4'B^k] 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) ZA*b9W 9oZ}
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8QkWgd7y )e4WAlg8c 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 J!21`M-Ue 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 bYwI==3 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 o|R*POM
`_NnQ%
jF%)Bhn( ,Y+r<; 光栅级次和可编程光栅分析仪 aukk|/3Ih tYI]LL
AzLbD2Pl 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 ga4/, Jngll Cfv L)f 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 v#Cz&j 0EL\Hd Hs:4I 设计与评估结果 K7t&fDI 相位功能设计 F&W0DaH 结构设计 e5*5.AB6& TEA评价 |i,zY{GI+2 FMM评估 /3CHE8nSh 高度标度(公差) nx!qCgo JcvHJ0X~a 通用设置 2*~JMbm )64LKb$ %Y)PH-z 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 Zu2m%=J` 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 fZka%[B b>hBct} "e1{V8
4 纯相位传输设计 |'V<>v.v JfZL?D{NM
-Z`( ?
k E%wV 结构设计 8]cv &d1f <3SFP3^:
_ 6+,R "4Vi=* 2V
WrE-Zti 更深的分析 %5Q7 #xU •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 J)7,&Gc6 •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 _1w.B8Lyz@ •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 (uuEjM$3% EuKrYY] g
E"9/YWv %fn'iKCB 使用TEA进行性能评估 mJ6t.%'d ~>}dse
I,],?DQX2) Gx(K N57D 使用FMM进行性能评估 7
SjF9x OBKC$e6I
%8Z|/LGg C|.$L<` 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 /I`cS%U r)9i1rI+
N27K E>l#0Zw 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 ~_dBND? Q>SPV8s
*#prSS YO.`l~ v 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 SxLHFN] M\Uc;:) H
uJ|5Ve >+A1 V[ VirtualLab Fusion技术 :w
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