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摘要 f2WVg;Z )Te\6qM 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 o?baiOkH 7{#p'.nc5
2{ F-@}= E`)e
;^ 设计任务 Wg|6{'a G_F_TNO 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 opfnIkCe 56Wh<i3
-H60T,o
vMzL+D2) 光栅级次分析模块设置 {sw|bLo|+ ygz2bHpD~ XJ7B?Zg 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 OxJHhF EXSH{P O+
&lzY"Y*hA0 GgpE"M? zA#pgX[# 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 *). 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 u>'0Xo9R 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 nAP*w6m0j 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 B&MDn']fV/ WI1YP0V
+Z"Wa0wA 衍射分束器表面 upMs yLp( }9ulHiR
(#dR\Di 7{r7 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 z(A60b} 3Dr\ O_`u
#'/rFT4{v zTue(Kr
"smU5 s,P tar/n o 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 5YrzOqg= PS~_a
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uLG: 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 V dJ 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 HL{aqT2 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 $}4ao2 }X9&!A8z
i6bUJtL 2 4od74\ 光栅级次和可编程光栅分析仪 3ko
h!q+ +wj}x?ZeV
z^wod 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 O=K0KOj 13@emb =o~mZ/ 7=M 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 >JNdtP8s/1 +184|nJ<2 +_X*one 设计与评估结果 2?qT,pN 相位功能设计 GYtgw9 "Y 结构设计 g8/ ,E-u TEA评价 8}BM`@MG FMM评估 fx>QP?Z 高度标度(公差) SOPair <r w!`e!} 通用设置 3B]E2 ~APS_iG[ < |