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摘要 j,CVkA*DY y.+!+4Mg| 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 i f ! Rs;Y|W4'
QrRnXlEM8 =}m'qy 设计任务 ve@E.` 1y7FvD~ v 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 C[Nh>V7= Fd1jElt
MKZq* :BpXi|n; 光栅级次分析模块设置 4StoEgFS ( Qj;B) *rv7#!]. 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 ;I!Vba ,B,:$G<
v#b( 0G W:V.\ @nxpcHj 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 `!l Qd}W 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 &"mWi-Mpl 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 -AZ\u\xCB 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 %1z`/B xY<*:&
`IH*~d] 衍射分束器表面 {I]>!V0j! 0^mCj<g
,^@z;xF :@K~>^+U 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 fO,m_
OR:) 3%YDsd vQx
Q1[EiM3 (\M+E
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buA/G-<e AGK{t+` 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) dr^MW?{a\ yt1dYF0Xq
E3QyiW `{ ` W-C 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 .F/0:) 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 QR{>]I 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 iE,/x^&,& CM4#Nn=i~
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T gzD"d 光栅级次和可编程光栅分析仪 p61F@=EL g-DFcwO,V
PXo^SHJ+gt 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 O~D]C Z=zD~ka 37 d-! 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 )}i|)^J k`NXYf: xew s~74L 设计与评估结果 A75z/O{ 相位功能设计 e~PAi8B5 结构设计 kS<9cy[O TEA评价 ,nSapmg FMM评估 {)Pg N 高度标度(公差) -~ H?R i^}ib
RQbN 通用设置 5q
_n69b l09SWug {;+9A}e 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 #BwOWra 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 +%?\#E QJ s7s@!~
u+qj_Ej 纯相位传输设计 U[|o!2$ Tzr'3m_
.05x=28n% J
Mm'JK? 结构设计 D|g{]nO dyVfDF
\T {<{<n M"5S ][B>`gC- 更深的分析 a\tv,Lx •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 _[,7DA.qc •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 @waY+sqt= •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 }xpo@(e z?
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~'0W(~Q8 Y@limkN: 使用TEA进行性能评估 {QVs[
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)f5 >r.W \ 使用FMM进行性能评估 qKk|2ecTB5 FY"csZ
XPT@ LM 4nKlW_{, 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 }Apn.DYbbf y=LN|vkQ
z4 KKt& 3c[]P2Bh 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 ?63ep:QEk :(#5%6F
UnOcw j> dL:V&` 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 'M,O(utGv Y'76! Y
w]O,xO X9;51JV VirtualLab Fusion技术 <v3pI!)x PLRMW2
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