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摘要 bLx70$ =y3gnb6 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 !fFmQ\|)4S >R5qhVYFb
:#M(,S"Qq "HWl7c3q 设计任务 P7IxN)b7 1dhp/Qh 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 SE0"25\_G R/H?/
ulnG|3A9 +C~,q{u 光栅级次分析模块设置 }2sc|K^ G0sg\] LK8K=AA3P 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 ;SBM7fwRk =rj5 q
Ga\E`J$c wW4/]so M MB<oWH[e) 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 ~%Y*2i
f 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 }r&^*"
2= 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 &[BDqi 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 a#X[V5|6Q )Cuc]>SC
A[lkGQtS4 衍射分束器表面 e_6@oh2s- &~
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aHKv*-z- EP#3+BsH 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 A"S{W^iL }U$Yiv
UzVnC: clz6;P
6:i(<7 6Lw34R 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 7Rr(YoWa 9N>Dp N
H*_:IfI! wK@k}d 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 XW6>;:4k 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 4/S% eZB 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 iARIvhfdi >^%]F[Wo
EfY|S3Av 8W?/Sg` 光栅级次和可编程光栅分析仪 h?2qX Q4Mp[
(3C6'Wt 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 8D
eRs# 2<Pi2s' 9;u$a^R. 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 %s~MfK.k /jih;J| 50Z$3T 设计与评估结果 XW6Ewrm=vT 相位功能设计 ^B2>lx\n 结构设计 .63:G< TEA评价 nG&=$7x^ FMM评估 ,Z*?"d 高度标度(公差) UJ1Ui'a(!! [QA@XBy6 通用设置 xZt] s3? )sG`sET]`f :(,uaX>{ 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 )'(7E$d 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 @giipF2$ o
Y_(UIa F+R4nFA 纯相位传输设计 P:&XtpP {:c*-+?
$x]'6 [*w^|b? 结构设计 b|t` )BF %..{ c#V
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yT%V.l s"`uE$6N #
)-Kf 更深的分析 WlU^+ctS •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 "exph$ •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 EY;C5P4 •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 wI\v5&X-B 6rMGlzuRo
&Cp)\`[y jx a? 使用TEA进行性能评估 |lAu6d
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E[HXbj" 0XFJ/ 使用FMM进行性能评估 t8 g^W K =@;uDu:Q
P4"_qxAW a) GLz 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 m5r65=E MrEyN8X
W4Nbl ]&w>p#_C 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 .ICGGC`O Q~<$'j
J2 {?P
cs AB40WCu]* 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 K5No6dsD |=2E?&%?
Xu $_%+46 n; ;b6s5 VirtualLab Fusion技术 Fp..Sjh
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