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摘要 [A*vl9= 8{%/!ylJz 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 3"I 1'+ zr8 4%_^
+;FF0_
pfZn<n5p 设计任务 W
86S)+h .?!{. D 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 wqA5GK>m2 \m5:~,p=
^row=5]E AWD &K! 光栅级次分析模块设置 }! zjj\g^ 1hi^ nHyWb6 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 JXUO?9 ; bP7|
-_>c P Yk?uxZ4)H asPD>j c 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 oJyC{G 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
78qf 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 -s:JD J* 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 uZ<Bfrc OK3B6T5w=
2kCJqyWy 衍射分束器表面 m_\CK5T_ n$#^gzU4
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q66 =wS:)%u 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 Og30&a!~F #z~D1Zl
YwB5Zqr .}Bb
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K8284A8v O}IS{/^7 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) Q6Jb]>g\H "]zq<LmX
,,fLK1 Pvbw>k; 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 .!)7x3|$[ 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 yU .B(| 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
"thfd"- Z;WqKIM#
1(On.Y= ;qG a|`#j 光栅级次和可编程光栅分析仪 {Z-5 !X[lNtO
9&rn3hmP 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 |mMW"(~ ~a/yLI"'g
Ge(r6"%7 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 &^&k]JBaV f)"O( c CZwZ#WV6 设计与评估结果 %,6@Uu#%6 相位功能设计 w5qhKu!1 结构设计 u@==Ut TEA评价 Y;-" Z FMM评估 RsTpjY*Xb 高度标度(公差) 8&`s wu& |$bZO`^ 通用设置 Nm\I_wjX K;[V`)d' E.6^~'/ 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 m#%5H 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 b3Y9 Z)6bqU<LQE nNBxT+3*i 纯相位传输设计 9J2%9,^ LR9dQ=fHS
V4VTP]'n p(f)u]1` 结构设计 m;Sw`nw? dzbzZ@y
0m*0I> F\Tlpp9 To=1B`@- 更深的分析 Zu~ #d)l3N •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 /xf%Rp4} •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 2! &:V] •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 ^f3F~XhY3 3fM
7F+w o B;G|2um:$ 使用TEA进行性能评估 QD"V=}'? =>S5}6
A!iV iX &y ~rn82an@G 使用FMM进行性能评估 2psI\7UjA] LuQ=i`eXx
Qj0@^LA CXA)Zl5# 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 {u9VHAXCf (M5=8g%>d
4P2)fLmc qx`*]lX 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 =A=er1~% lza'l
6S`eN\s 7CwG(c/5 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 N],A&}30 (Ptv#LSUX
UyK|KL w6#hsRq[C VirtualLab Fusion技术 B8B^@
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