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摘要 B^?XE(. ACYn87tq 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 TMCA?r%Y\ uCfp+
[]0~9,u UYOn
p7R< 设计任务 BD-=y 9`{2 h$U 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 n5/Tn7hY QZox3LM1&.
*KH@u T_[\(K`w! 光栅级次分析模块设置 K>6k@okO U.'@S8 "'B%.a#k 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 a?~csP^?} [B @j@&
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-+lB ~J{[]wi m@u`$rOh 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 _ng= 5 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 +|YZEC
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 S)@vl^3ec 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 /+`<X%^U jY+S,lD
]GPJ(+5 衍射分束器表面 eI rmD PZRn6Tc
qU*&49X X\2hKUkT 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 'A!/pUML 2\B9o `Y
XuoEAu8] fbTw6Fde$
S} Cp&}G{P cievC,3* 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) _JTxm>
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x .#kx6 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 hdJwNmEA> 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 DE\bYxJ 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 q,+kPhHEgy xTFrrmxOf
D>b5Uwt ]Bd3d% 光栅级次和可编程光栅分析仪 ~gWd63%8x ,,gLrVk
F0'A/T'ht 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 66@3$P%1p !_-sTZ I,4- 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 R =9~*9 ~J>gVg%66 ~K-*q{6Q 设计与评估结果 BT#=Xh 相位功能设计 G k"L%Zt) 结构设计 YG 5Z8@kH TEA评价 AOlt,MNpQ FMM评估 ]ZKt1@4AY 高度标度(公差) =PFR{=F CnSX 通用设置 ezr\T n^pZXb;Y Uy59zB2|= 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 FfxX)p1t 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 &xBK\ ,d>X/kd|o Vvyrty 纯相位传输设计 V(2j*2R! -e{)v' C)
qH
h'l;. ..]*Ao2 结构设计 ?
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%$NJ G=C5T( 更深的分析 ,zN3? /7 •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 oT|P1t. •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 lP@) •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 %[Zqr;~l s~Lfi.
9P7xoXJ@y T,WKoB 使用TEA进行性能评估 ntj`+7mw 1C0Y0{6,
r*6"'W>c6 8
)mjy!, 使用FMM进行性能评估 DIG0:)4R. 9U|<q
1iNsX\M f`hyYp`d5 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 ,C{^`Bk-W -}Cc"qm
1m>^{u CJ9cCtA 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 1KTabj/C &gGs) $f[
K,eqD< " WYA 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 cxXbo a oe(9mYWKa6
Pgn_9Y?< /7k.r}6\R VirtualLab Fusion技术 /~i.\^HX 9W1;Kb|Z<
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