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摘要 "S'Yn- g&w~eWpk 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 7>MG8pf3a 7;TMxO=bra
NA0Z~Ug> &J9 + 5L8 设计任务 uUq= L SnUR?k1 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 abS~'r14 & uwOyb
7>r[.g w1zMY:9 光栅级次分析模块设置 zXlerQWUv lq3D!+m 7p!f+\kM 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 $E; Tj|W J1gnR
8"d??3ZXJ se>\5k vA6onYjA 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 -Mrt%1g 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 FaWc:GsfB 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 6)i>qz). 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 7 J6Z? 6; )5v
M?P\ YAn$ 衍射分束器表面 ;C1#[U1Uy zHNBX
Rx
a0A=R5_ tG9C(D`G 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 <?DI!~ >;j&]]-&
'ks .TS& |XNw&X1VF
jd5kkX8= Q qj9o2 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) x7gd6"10^ :nl,Ac
yeIS} O ?A .ah 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 z"QtP[_m 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 L|s\IM1g 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 Pq{p\Qkj vy={ziJ
J2oh#TGp ?0sTx6x@ 光栅级次和可编程光栅分析仪 ;[P> 2g_mQT
X$Q.A^9 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 hHDLrr q&6|uV])H rxy5Nrue 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 B2LXF3#/ g;[t1~oF LH_U#P`E 设计与评估结果 (OwGp3g 相位功能设计 XMP4YWuVc 结构设计 <ycR/X TEA评价 *""W`x
FMM评估 H)&iFq 高度标度(公差) x11r iK HFyQ$pbBU 通用设置 tGXH)=K OfA+|xT& #v~dhx=R 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 z_KCG2=5 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 1BEc" cZoj|=3a =;I+:K 纯相位传输设计 't*]6^ ve.P{;;Ky
%{^|Av1Uz }1Mf0S 结构设计 glROT@ cAVdH{$"
cCx{
") &{qKoI] =^{MyR7 更深的分析 :.a184ax •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 f4d-eXGwx` •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 (@^ySiU •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 XUUP#<,s `e3$jy@
:Zob"*T t7V7 TL!5' 使用TEA进行性能评估 [[N${ C ug;\`.nT^
bBo>Y7% w"QZ7EyJ 使用FMM进行性能评估 7D'D7=Z. k w
` ` Yk DYgB_Iak 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 R(P(G;#j Z8Vof~
nr}Ols
yn<J>e 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 Ix@B*Xz:` ,D<U PtPQ
a+~b3 NNE(jJ`/ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 ?(Plb&kR O1DUBRli!q
7#9%,6Yi anfnqa8 VirtualLab Fusion技术 E:A!tu$B vW? /:
R1%J6wZq 7(^F@,,@
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