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摘要 \CB{Ut+s Oe^3YOR#j{ 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 ,>2ijk# =+97VO(w]G
AShJtxxa 0[xum 设计任务 jwTb09 \rcbt6H
使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 t</rvAH E Wk'KN o
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4cHv]F 18Vtk"j 光栅级次分析模块设置 Q0!gTV T%KZV/ !~m)_Q5?~ 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 0X`Qt[ 3ZU`}
S3:Pjz}t Dz]&|5'N +e%9P%[+ 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 A"\kdxC 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 7h<Q{X<A 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 >yg mE`g 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 2JYyvJ> D.j'n-yw
1s=M3m&H 衍射分束器表面 {~k/xM.- ^P~%^?(
WHqp7NPl ]P(:z 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 "dXRUg" yd`xmc)
Z BcZG F5wCl2I
hkJ4,. Iu jly f 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 8uM >Up X
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Cv>|>Ob# *O#%hTYq 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 A$WE:<^ 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 S WVeUL#5 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 "'4R_R gtyo~f
rC14X} X6 gV):3mWC 光栅级次和可编程光栅分析仪 2w'Q9&1~ 4cRF3$amd
>zFe) 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 Q'~kWmLf Z%y>q|: Y
_m4:9p 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 ,@tkL!"9q A)kx,,[ 8E&}+DR? 设计与评估结果 4vT!xn 相位功能设计 sHyhR: 结构设计 cNtGjLpx; TEA评价 zu5'Ex`gQa FMM评估 A`TVV 高度标度(公差) UZi^ & @ H=
d8$ 通用设置 =dHM)OXD" "fdgBso 8B JxD< 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 wdS^`nz| 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 C<?}?hhb AV Gu* =<e|<EwSZ 纯相位传输设计 -$f~V\M mM!'~{r[-
P,k~! F^L QM2Y?."# 结构设计 f_}/JF
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u =z$**M^ SUINV_>7 '$YB
- 更深的分析 U&yXs'3a& •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 15+>W4v •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 _Db=I3.HJ •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 `uM:> z8_m<uewz
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I] 使用TEA进行性能评估 'MRvH
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GR@!mf ^hzlR[ 使用FMM进行性能评估 FRd!UqMXY T6h-E^Z
'9c`[^ NUbw]Y90~ 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 /ts=DxCC; p4Cw#)BaS
59!yz'feF 1j0OV9 -| 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 S-}MS" Z"#eN(v.N
g}"`@H(9r3 %KHO}gad1 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 jWJq[l I=o[\?u*_
Z>gxECi |x@)%QeC VirtualLab Fusion技术 4)0 %^\p (MhC83|?
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