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摘要 :&9s,l ]3.;PWa: 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 |_@>*Vmg
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 @r/n F5
^,T(mKS 设计任务 +!.^zp21 _>X+ZlpU: 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 b!5~7Ub.No
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 J{fH ['tzO 9m~p0 ILh 光栅级次分析模块设置 `&c kZiq GDiBl* D q'Tf,a
使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 ^ sLdAC
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1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 *mvlb
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2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 ={@6{-tl
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 V{3x!+q
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 |imM# wF
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 aE$[5 2 衍射分束器表面 @O^6&\s>
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为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 68C%B9.b'
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O`t&ldU 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) V#gK$uv
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一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 c2 C8g1n
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 m'=Cr ei
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 yZ U6xY
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 h_,i&d@( 0gP}zM73 光栅级次和可编程光栅分析仪 bI9~jWgGp
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光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述，作为许多可能的输出。 FxWS V| Z
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使用可编程光栅分析仪，用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 6 Vnsi%{
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设计与评估结果 C]`$AqKl
相位功能设计 ,77d(bR <
结构设计 RmeD$>7
TEA评价 yfjWbW
FMM评估 [
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高度标度（公差） sW'AjI bSi%2Onj 通用设置 cj|80$cSA
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提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 /cQueUME`
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 =M [bn q*\ +YKi, 1POmP&fI(
纯相位传输设计 b;W3 j &P}_bx
}Gm>`cw- x$.^"l-vX 结构设计 :B5Fdp3
:tB1D@Cb6
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更深的分析 bL+_j}{:N
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 m_?~OL S
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 %G/ h D
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 17[3/m8a
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 < #}5IQ5`Z BB!THj69a6 使用TEA进行性能评估 ,,&* :<Q
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NED5 使用FMM进行性能评估 *K6g\f]b #
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 2~1SQ.Q<RY 9`A;U|~E@ 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 $%CF 8\0
$m%f wB
 ,c$_t+ fF$<7O)+] 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 0w \z LU
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j&I 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 h-#6av :
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,.83m%i VirtualLab Fusion技术 hk(ZM#Bh
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