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摘要 B1Cu?k);. *k
^?L 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 'Q F@@ 48 H^C$2 f
?_bzg' L4-v'Z; 设计任务 t bEJyA |(\T;~7' 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 ae|j#!~oi Z1ZjQt#~+
fjm(C#^- 2 VyJ 光栅级次分析模块设置 2h5L#\H" YPNG9^Y &pZncm 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 ~V6wcXd ZQY?wO: [
MGE8S$Z 24Uvi:B?~ ]ovb!X_ 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 ErXzKf 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 _?QVc0S! 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 :M
_N 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 tzV^.QWm \olYv!f
S{#L7S 衍射分束器表面 Ek%mX" w=feXA3-S
&Y3r'" '| rhm 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 ap|$8G H^r;,Q$9
Uon^z?0A S5>?jn1
>JckN4v rK} =<R 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) urK~]68 b:t|9FE%
%"CF-K@th ^9fY%98 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 !
n13B 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 f1,VbuS9I 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 ^e\H V4s >&%#`PKT
&UfP8GE9 R;3nL[{U 光栅级次和可编程光栅分析仪 GLWEoV9< (utk)
My<.^~ 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 uyDPWnYk L-eO_tTh0 d`9ofw~3= 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 X([p0W
9V( L~|_C Rw *!m(oP 设计与评估结果 V
0z`p" 相位功能设计 8 @A}.: 结构设计 Ym|%ka TEA评价 GW,RE\Q: FMM评估 '@dk3:3t 高度标度(公差) 9oQ$w?=#$ as3*49^9 通用设置 A"i$.dR{ *%CDQx0} @id!F<+%oD 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 ex6QHUQ 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 F4DJML-( ,{2= nb[ QERj`/g 纯相位传输设计 ;u;_\k<qK 9%Qlg4~<s
H/}W_ h^^ zS*vKyye> 结构设计 crQ_@@X?< =*{Ii]D
Pl\NzB,` 3HqTVq`& Q8D#kAYw 更深的分析 of8
>xvE| •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 unc8WXW •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 M$s9 •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 s"5wnp6pW GB4^ 4Ajx
:!yPR "7J38Ej\ 使用TEA进行性能评估 -% \LW1 ,!dVhG#
x%W% aGNbCm 使用FMM进行性能评估 V3(8?Fz. =[,EFkU?B
.iYp9?t zl<D"eP 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 B ?l0u |7QSr!{_
uCoy~kt292 YI>9C 76L 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 \aN7[>R.Q Je4hQJ<h
35JVF*z dU-nE5 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 RFPcH8-u7 n0Qp:_2z
p<+Y;,+ ?[;>1+D VirtualLab Fusion技术 7(d#zu6n 5Od&-~O
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