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摘要 * iF]n2g: JW3B'_0 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 MpF$xzh TZY3tUx0|G
Uk6HQQ }Nf%n@ 设计任务 |v({-*7 ,.}]ut/Tm 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 mD^jd+ jW
3c"
23DiW#o' C,NJb+J 光栅级次分析模块设置 C,v(:ZE$J7 /,g ,Ch<d M)2VcDy 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 ,f[>L|?e @
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Q|5
Vz= PiMO !Rhlf.x 1f":HnLRM 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 *U
P@9D 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 UOxkO 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 ''0fF_P 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 [E/\#4b CD~z=vlK-
a- |*?{o 衍射分束器表面 yrC7F`. 3_MS.iM
iqe%=%ZR xUa{1!Y8 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 yFtd=AI'E _s .G
=AEBeiz SV~cJ]F
MMx9(`t*. H\0~#(z?. 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 4}eepJOn nv~%#|v_W
6er-{.L= B(n{e53 9f 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 CTZh0x 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 aPm`^
q 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 no9;<]4 5*,f
Fib
4<lRPsvgc ~;#Y9>7\\' 光栅级次和可编程光栅分析仪 8q,6}mV
V;:j ZpG
L_wk~z 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 \ywXi~+kUv n8" .XS ck.w
5|$ 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 (K)] qNH Vp3ZwS }Du}c3 设计与评估结果 j]aoR 相位功能设计 2&^]k`Aj6D 结构设计 =A!@6Nw TEA评价 4:dH] FMM评估 zhpt%7So 高度标度(公差) y*tZ
!m2Gg |ayVjqJ* 通用设置 oBzfbg8p {:]9Q Tq s3R(vd 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 [g:$K5\64 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 jN6uT&{T MBhWMCN2 9Bw|(J 纯相位传输设计 ]jmL]Ny^ r?Wk<>%>
(<}&DE ZRg;/sX] 结构设计 %|oJ>+ EioB%f3
PEuIWXr n3D;"a3 hR
Ue<0o: 更深的分析 lMg+R<$~I •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 sU@nc!&Y@ •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 7w/4QiI •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 bS"fkf9 VI'hb'2
Xt@Z}B))pu 7[5.> h 使用TEA进行性能评估 Gr^E+#; glF; eT
|qmu_x\ BC&9fr 使用FMM进行性能评估 D~$r\]av fvF?{k> ~}
p%R Ko&>C_N 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 ZfgJ.<< 'zGo?a
m|:_]/*qE ,Qnd3[2[ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 _J?
Dq vDxe/x%
kMt 8/ E` NwG= <U* 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 R]btAu;Z GP:77)b5
XAe%m^ yRfSJbzaf\ VirtualLab Fusion技术 *UmI]E{g3( }t%!9hr5D
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