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摘要 io4/M<6<
m<:g\_< 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 G:|=d0 /p[lO g
*W1:AGpz 53?B.\ 设计任务 PZCOJK rqi|8gKY 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 2E=vMAS f`,isy[
1n+JHXR\ rp,PhS 光栅级次分析模块设置 UE%~SVi.# ]1i1_AR'` /Os;, g 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 *Zk$P.] $N17GqoC
!"
7ip9a |),3`*N eTY""EWU 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 .c2Zr|X 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 ;{Su:Ixg 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 UhF+},gU 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 $@4(Lq1. ~z*A%vp6ER
Uz;
pNWMk 衍射分束器表面 K6;
s xF OLgW.j:Ag
DM)%=C6< tGh!5EZ6` 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 F\hU
V[ c/ABBvd|
@G>Q(a*, -PH!U Hg
i slg5 4?cIn4} 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) e8ZMB$byP ~OQ/ |ws
^bDh[O bpWEF b'f 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 K
trR+: 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 M?zwXmTVW0 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 K#<cuHGC >`!Lh`n7_
h oL"K pz@wbu=($4 光栅级次和可编程光栅分析仪 ;Jq 7E f6-OR]R5
` p)$7! 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 HOrD20 is [p7- 4!
V--F 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 q_|YLs` i*g>j <` !XJS"o wr 设计与评估结果 Fj~,> 相位功能设计 V]$J&aD 结构设计 XrD@q TEA评价 xsIuPL#_ FMM评估 o?l9$"\sqb 高度标度(公差) BVk&TGa;[$ mUW4d3tE 通用设置 %uWq)D4r @z!|HLD+ kX)Xo`^Ys 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 W8R"X~!V 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 !xz0zT. 5bKm)|4z6 [b<AQFh<c 纯相位传输设计 20XN5dTFT o> i`Jq&
s;eOX\0 p Y[dJxB 结构设计 :6r)HJ5sg v0}R]h~>\H
!.nyIA( sF`ELrR \ ClvqI"Rd 更深的分析 ^k7`:@
z0U •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 FnFJw;:,{ •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 3RyB 0
n •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 R!8 qkG )Kw
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A=S_5y nr t3wqJ 使用TEA进行性能评估 KDODUohC *$eMM*4
O-D${== !b0ANIp 使用FMM进行性能评估 D|`I"N[< "`jey)&H*M
GYq.!d@O cU^Z=B 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 I#m0n%-[ uGxh}'&
zFn-VEJ) 6ofi8(n[ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 NQx`u"= O_u2V'jy9
<lBY ?Thh7#7LM 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 mjwh40x.o 6/Pw'4H9$
iksd^\]f lLb"><8a VirtualLab Fusion技术 OcBKn=8 /kLG/ry8l:
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