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摘要 jA"}\^%3
fDYTupKXH 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 +aOevkY] 6EC',=)6R ln_&Ux+l W$]qo|2P 设计任务 v
RD/67 >!5RY8+ 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 v[|-`e* }S iR;2W r?)1)?JnHe TQb/lY9* 光栅级次分析模块设置
/- Gq`9Z O+&;,R: >4@w|7lS 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 `Ku:%~$/ j f4<LmR :PV3J0pB~ p7AsNqEp ok6t|
7sq 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 RQ0^
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R 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 :YLs]JI< 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 !{,2uQXe 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 2r2: xw{K,;WeO J#:`'eEG 衍射分束器表面 nt"\FZ*;3 S?Cd,WxT 8'E7Uj Y*b$^C%2 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 uj)vh }!xc@ ?6"U('y>n G5|nt#> \DlMOG BNk >D|D; 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) PE;<0Cz\ A1;'S<a x
[vbi kXdXyq 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 o5RvxGN 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 43g1/,klm 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 k]AL\)
&W e{5O>RO ^d#
AU7V| 3rMi:*? 光栅级次和可编程光栅分析仪 w^cQL% >KQ/ c ]w,|WZm 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 ^:$ShbX"P f/z]kfgw SnX)&>B 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 OI0@lSAo< %qqCpg4 !yi*Zt~ 设计与评估结果
n gJ{az 相位功能设计 pm9sI4S 结构设计 G,+3(C TEA评价 ~233{vh$=> FMM评估 45BpZ~- 高度标度(公差) 3QXsr< g`Q!5WK* 通用设置 )b%zYD9p H>D? Pxkh;:agD 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 InRRcn( 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 "5ISKuL O9<oq F(/Ka@
纯相位传输设计 } gwfe
H +2p}KpOsL iZ/iMDfC [5!{>L` 结构设计 4Wvefq" `|&0j4(Pg ,y-!h@( "9X!Ewm"P NBBR>3nt 更深的分析 f8UJ3vB •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 lSoAw-@At8 •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 ![4_K':= •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 Hj1?c,mo4 aMT=pGU oO7)7$|1 =j20A6gND 使用TEA进行性能评估 ~PAI0+*"q y\CxdTs CRiqY_gBf 8 .K; 2 使用FMM进行性能评估 8$ RiFD, zmu+un"\j \J#&]o)Y 1A*
"v 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 UxF9Ko( ]d
V_e b>#=7; nW K7* 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 TI2K_' j,
*=D6 2 p}I zN)) .a 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 / $s(OFbi# X(.[rC> f`}/^*D +T4}wm VirtualLab Fusion技术 ZCBF&.! @)!N{x? `}L{gssv '.gi@Sr5
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