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摘要 *91iFeKj= yv=LT~ 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 BG_m}3j z6#N f,
TviC1 {2 QU|{(c 设计任务
T8h.!Vef =unMgX]$ 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响
m(,vymt Wp/!;
)HNbWGu >d!w&0z> 光栅级次分析模块设置 i;;CU9`E2q 6^F"np{w 'C)^hj. 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 #Z;ziM: v%n'_2J =^
3Q*K+(`{ 4Z)`kS}=] /Mb?dVwA 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 \u?z:mV 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 UeV2`zIg` 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 zYO+;;*@ 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 3P 3x^NI XeX0\L')R
?`V%[~4_I 衍射分束器表面 E#JDbV1AC rVd (H
.%_scNP U~-Z`_@^- 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 4SCb9|/Q S!A)kK+
z=<x.F wvvMesX<L
} R!-*Wk RE Dh`Wd 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) ,uqSq ?1?D[7$
!^cQPX2< gm~Ka%O|F 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 zD}dvI} 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 wr,X@y%(! 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 ZGK*]o=) cG1-.,r
{c`kC]9 mwVH>3{j 光栅级次和可编程光栅分析仪 C9`#57 Pp pm$,B7Q`oO
kKAK;JQ 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 ,pE{N&p9 " NnUu8x P9;
=O$s 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 -1d2Qed x9XQ /*!K4)$-*2 设计与评估结果 pE@Q
(9`b{ 相位功能设计 %$|=_K)Ks 结构设计 rU`#3}s TEA评价 Q+'mBi} FMM评估 >M[wh> 高度标度(公差) 5VdF^.:u g0GCg 通用设置 z40uY]Ck Tn,'*D@l S{gB~W 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 \M(0@#-$C 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 $Q*h+)g< ^M6xRkI E9TWLB5A)( 纯相位传输设计 ?ORG<11a 3Xyu`zS&
fBBNP) f{MXH&d 1\ 结构设计 d|CSWcU ]+\;pb}bq
%Ez= jPU:&1(_ n f(!:_!m* 更深的分析 `wz@l:e •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 Lb;:< •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 mlc0XDS%
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 H!mNHY_fA {^zieP!
NwbB\Wl kSoa' 使用TEA进行性能评估 .si!`?K%[
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5:v"^"S z E+-ahvk 使用FMM进行性能评估 F33&A<(, ;zVtJG`
k/bY>FY2r #AHX{< 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 gFlUMfKh <yzgZXxIaS
VsEMF i= <nDuN*| 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 N T+%u- s8;/'?K
@9S3u#vP tDn{;ED< 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 -DD2
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(#^jAj fui;F"+1 VirtualLab Fusion技术 )fSO|4 i i&kfy
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