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摘要 |l;
Ot=C= PN
l/}' 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 T>&
q8'lD cERIj0~
z3tx]Ade My8d%GfM 设计任务 SH{@yS[c! JY#vq'dl| 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 f=F:Af! .n]"vpWm[
_YF>Y=D- ?$f.[;mh 光栅级次分析模块设置 &)1.z7T 4^L;]v,|7 <T}U 3lL^ 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 2X@9o4_4q rFg$7
x.+T65X~4 T7,]^
1 (u@:PiU/eP 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 Ek)drt7cy 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 6!m#;8 4 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 Z6Fu~D2Uy 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 bej(Ds0 Te+(7
Z
P51M?3&=l 衍射分束器表面 <a6pjx>y zr.\7\v
p3=Py7iz 1Toiqb/ 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 O+}py{ st S0^a)#D &
t eY@)F ,UY1.tR(
i/9iM\2 c;VqEpsbl 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) y8k8Hd1<f 6'Q{xJe?
[Yt{h9 >O-KJZ'GV 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 u<ed O+ 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 V"YeF:I 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 {=Zy;Er Z =+Z96
^K?-+ :wC\IwG~CE 光栅级次和可编程光栅分析仪 }=-0DSLVj PK[mf\G\
su%(!XJQpg 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 B0@
Tz39= >w
S'z]T9 eY<<Hld 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 (7Z+ De? dCd~]CI 4?R979 设计与评估结果 _,J+b R+b 相位功能设计 EF`}*7) 结构设计 P.]h`4 TEA评价 A=N$5ZJ FMM评估 <s9{o
uZ 高度标度(公差) U^dfNi@q C"I
jr=w 通用设置 ;{ifLI0# y :;.r: Scrj%h%[ 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 6("_}9ZOc 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 7ch9Pf W"NI^OX cC/h7odY 纯相位传输设计 sINQ?4_8T xp^RAVXq`
hF2e-- 42dv3bE" 结构设计 6w^P{%ul 'UlVc2%{
2v{WX J,Sa7jv[ QG5WsuT 更深的分析 U{2xgNJ •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 e*:K79y •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 LF7-??' •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 _ ;HdX$op $.`o
@:>"VP<( ,Z{\YAh1 使用TEA进行性能评估 _C !i(z!d <,} h8;Fr
c1f"z1Z a-NTA 使用FMM进行性能评估 2*Qv6
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94tfR$W;- Btm,'kBG 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 <`nShP>vl q`<vY'&1
~q`!928Gu H*W>v[> 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 dNe!X0[ ~c)&9'
m{q'RAw ` Ig5*X4| 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 pD{OB eRMN=qP.q
)9eIo&Nl sfXFh VirtualLab Fusion技术 F6\{gQ<E B;9,Qbb
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