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摘要 }J4BxBuV8 |\{J`5gr 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 ]c~ rPi "1pZzad
]2u7?l 0Zp<=\!; 设计任务 f(zuRM^5 =r@ie>*U 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 g*\v}6
h ).@)t:uNa
:7'0:'0$t ~T{d9yNW1 光栅级次分析模块设置 ek_i{'hFd TO;]9`~;Mu ))we\I__8 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 ! a8h '! 2
4'u|L&ow aO;Q%]VL' vzgudxG'z 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 >goAf`sqo 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 ]'z^Kt5S 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 }9fV[zO 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 SJY"]7 Yru1@/;
sC'A_ -' 衍射分束器表面 c_j)8 bN~'cs8 e
[~rk` ^9m^#"ZW` 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 EXScqGa] bB[*\
}F9?*2\/ EJiF_
Fb`7aFIf [&k& $04_ 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) \c`r9H^v{ '3kL=(
-O,O<tOm $f@-3/V6{ 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 nD{;4$xP` 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 d4rJ?qw 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 41_sSqq;^ Zm'::+tl
[!|d[ nCmrt*&} 光栅级次和可编程光栅分析仪 nV6g]#~@ MyS7AL
Ab|NjY: 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 AhFI, x 7D1`^,? (VF4] 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 ^bgm0,M GA@Q:n8UuR 7m)ykq:? 设计与评估结果 ;$&5I9N 相位功能设计 9kiy^0
7G 结构设计 4% .2= TEA评价 T<~[vjA FMM评估 ,'0oj$~S: 高度标度(公差) rG'k<X~7 loVvr"&g 通用设置 V?pO ~qo ##\ZuJ^- @9Pn(fd] 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 wUPywV1UO 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 |a~&E@0c 0BZOr-i kj"_Y"q= 纯相位传输设计 vxfh1B& lfG&V +S1
CX2q7azG RIpq/^Th 结构设计 ?;QKe0I^ iPL'JVPZ
].+G-<.:
"S} hcAL/ !6`nN1A 更深的分析 .j@n6RyN •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 ?At-
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 ,#FH8%Yf •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 hA19:H=7R0
vX )Y%I
Sgk{NM7|k h | 使用TEA进行性能评估 S~9kp?kR$ uy%PTi+A
U.9nHo{ \O4=mJ 使用FMM进行性能评估 yodrX&" 545xs`Q_
`SbX`a0p2 *qOCo_=P8 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 n8ya$bc yc}t(*A5
<qiap2 h^X.e[ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 jpS#'h N8Q{4c
7im;b15j`' C#cEMKa 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 M|u5Vs1 cHd39H9
HC}C_Q5c91 `215Llzk; VirtualLab Fusion技术 2UJ0%k Za?&\
f%l#g ]] jC7XdYp
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