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摘要 z,bK.KFSs upZtVdd 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 SSq4KFO1 [b_qC'K[
GS7'pTsYH !^o{}*]Pi 设计任务 \C>+ubF r-*j"1 e 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 Q7-iy yZN~A:
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%qr*| B]vR=F}* 光栅级次分析模块设置 #d06wYz= ]s!id[j dS\!tdHP-Q 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 u:Ye`]~o '1(6@5tyWk
*nc3A[B#C evpy%/D ANJL8t-m 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 ve:Oe{Ie{ 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 <EQaYZY= 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 bWSc&/9y 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 `HO]
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[$pb 衍射分束器表面 Zw _aeJ 00{a}@n
H%etYpD X6T[+]Gc 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 `SOQPAnK+; ~Uey'Xz
_RbM'_y+E SM%/pu;
{}rnn$HQe lSlZ^.& 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) tv`b## 4w#2m>.
5gII|8>rQ jvAjnh# 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 e&*b{>1* 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 p*)I QM<B 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 -FI)o`AE y:^o._
r>7+&s*yk %l14K_ 光栅级次和可编程光栅分析仪 *^Ges;5$" /-i m
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9#m3<oSJ 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 ^,mN-.W idGn{f((f nlI3|5 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 /CMgWGI K*{RGE L6DYunh}^N 设计与评估结果 3;VH'hh_ 相位功能设计 B :S8{ 结构设计 sW'_K.z TEA评价 Jwfb%Xge~ FMM评估 7}y@VO6] 高度标度(公差) (QL:7 CLk,]kA'r 通用设置 ]jC{o,?s ]s\vc:cc? -CuuO=h 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 7s3=Fa:9Q 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 ^<-)rzTI E:dN) U,Uy0s2r 纯相位传输设计 8>W52~^fU :"Otsb7
rab$[?] U# S-x5Gn 结构设计 y<w_>O r~YBj>}
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v=q &M<"Fmn 更深的分析 H#D:'B j29 •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 +_$s9`@]6 •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 VevG 64o •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 yj#FO'UY \8!CKnfs
Q~qM;l\i /;d 5p 使用TEA进行性能评估 |9\i+)C m$^5{qpg
M!5=3>Z J$42*S Y 使用FMM进行性能评估 E;{CoL ZD'mwj+K
n44 T4q 4'*-[TKC 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 >6jal?4u- Anu:
?A7 AVR 9aLd!PuTN 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化
ar\|D\0V =pi,]m
)Sb-e(sl Z!~_#_Ugl 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 w(aj' i Q"D
2wB*c9~ nRB3VsL VirtualLab Fusion技术 89^g$ ac Qs
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