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摘要 e+P|PW ,v*<yz/ 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 s h^&3} J|[`8 *8
xm}`6B^f aW#_"Y}v' 设计任务 @)m+b; /A/k13 J 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 %TRH,-@3h S]&7
&|)
(lX YM]ZL,8 光栅级次分析模块设置 +G>;NiP_ fIcra 'C|yUsBC 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 ~yuj;9m3 jRzQ`*KC#
gSu3\keF {"w4+m~+te Vch!&8xii 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 \ .jT"Z~ 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 E>6:59+ 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 (_O_zu8_ 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 KmlpB IOi 6'
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NIf@ 衍射分束器表面 kVb8 $Sp OM
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l> A* 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 eA(c{ gAgP("
S[W|=(f9 5UHxB"`C
Nm]\0m0p-
;qT7BUh(% 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) jNA^
(|: E-q*u(IW
="*8ja-K ^zr]#`@G 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 7`f',ZK% 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 @7aSq-(_l* 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 ,:QDl +e%U6&l{
ij=}3;L_! 0jN?5j 光栅级次和可编程光栅分析仪 Z[{ :
` *@,>R6)jI
tgbr/eCoU 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 9
6'{ES9D xPi/nWl`| q={\|j$X 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 :9`T.V<? Mo2b"A;}| s~(iB{- 设计与评估结果 Ya)s_Zr7 相位功能设计 Lh5d2}tcO 结构设计 ,??%["R TEA评价 4F+n`{~ FMM评估 {~"6/L 高度标度(公差) ?Q)z5i'g# ^3L6mOoA 通用设置 Bld $<uU $3Ct@}=n 6Q._zk 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 eiaLzI,O 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 ^{T3lQvt LA.xLU3 r%g?.4o*b 纯相位传输设计 ''f07R Uaho.(_GP
N'nqVYTU }'KVi=qnHb 结构设计 VzR(OB YolO-5
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\E+@ 更深的分析 ?N,'1I •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 @]#0jiS •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 b&;1b<BwD •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 F-)lRGw [*j
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?5qo>W<7 M[ (mH(j 使用TEA进行性能评估 [y73
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>69+e+|I Hb3+$vJ^ 使用FMM进行性能评估 Eg"DiI)7 q9RCXo>Y+1
->oQ,ezB yWACIaj 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 g< |