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摘要 eD(;Wn cEdf&*_-'I 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 l i @: ax.;IU
S7B7'[ru 6`c5\G+ 设计任务 |)Q#U$ m H%nA"- 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 As}eI! *?JNh;
65HP9`5Tm {h}0"5 光栅级次分析模块设置 .83{NF <:n!qQS6 ?M/H{ 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 .jXD0~N8q '%H\k5^
]ZMFK>"^% @#j?Z7E| [$Dzf<0 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 ir{li?kV 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 rWP
-Rm 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 tk5zq-/d 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 xg^Z. q)d CE|iu!-4
f@j )t%mh 衍射分束器表面 zao=}j? 8PB 8h
m8T< x> t=;P1d?E; 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 4:I'zR5 HM]mOmL90N
G%HuB5:u x+;a2yE~
.eHOG]H 61 @;3yV 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) sQXj?5! <2V:tj)?P
!U"?vS l (-[73v-w 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 \C}_l+nY 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 lVYrP|# 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 8#{DBWU 4G_At
l+UUv]:1 [["az'Lrk? 光栅级次和可编程光栅分析仪 z[sP/{~z pQNTN.L9NZ
h@{mcz 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 R_zQiSwG< '* eeup Bln($lOz 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 wj{[g^y% | zyO; /wX5>^ 设计与评估结果 IZs NMY 相位功能设计 {g]Mx|5Q 结构设计 Fl}{"eCF8 TEA评价 *A([1l&]i FMM评估 0}3Xry,{ 高度标度(公差) KK';ho,W '/'dg5bfV 通用设置 $.F.xYS9IJ DLH|y%" l2ARM3" 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 #oD; ?Mi 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 ku5vaP( z=6zc-$y 9 l{mC|8X 纯相位传输设计 ( u^ `3=%n ae>B0#=
WyU\," =mYwO=:D 结构设计 E<[Y KY z'9U.v'M)
2_GbK- _$P1N^}Zs 1d 1
~`B 更深的分析 \P;2s<6i\ •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 &7r73~TXm •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 ECk*
H •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 n.7-$1 -oT3`d3
o/hj~;(] LUzn7FZk 使用TEA进行性能评估 }u]7 x:lh -BC`p 8
1\Z/}FT ;~GBD] 使用FMM进行性能评估 PJL
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-sxu7I lx<!*2
-^ 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 4+J>/ xiZ "i,ZG$S#E
8 .t3`FGH tz9"#=}0 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 a"D'QqtH .dsB\C
# TZ` #A&49a3^1 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 s+E:
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