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    [技术]非近轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-08-09
    摘要 kXWC o6?  
    xyP 0haE  
    直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 ~\*wt(o  
    6<%b}q9Mo  
    Z,-J tl  
    4d_Az'7`4  
    设计任务 HXN. ,[  
    33ZHrZ  
    使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 ;Kh[6{W  
    g)ofAG2  
    @X2zIFm  
    -k  }LW4  
    光栅级次分析模块设置 l1.eAs5U  
                           Z6zLL   
    .NJ Ne  
    使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数 ]5Q)mWF  
    4av  
    l*Q OM  
    [s+FX5'K  
    uF ;8B]"  
    1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 ?Ld:HE  
    2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 dP<i/@21Wm  
    3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 g7w#;E  
    4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 =eR#]d  
    E<p<"UjcCJ  
    ,g1~4,hqQ  
    衍射分束器表面 &gP1=P,!  
    v5I5tzt*%H  
    UhXVeGO  
    *&5./WEOH  
    为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 >_#A*B|  
    <vzU}JA\  
    &Z}}9dd  
    Q>xp 90&.n  
    @.=2*e.z|b  
    l}FA&c"  
    衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) ^Ge|tBMoKE  
    DB'3h7T  
    ivSpi?   
    Snq0OxS[v  
     一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 o9v.]tb  
     薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 2h) *  
     傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 bWZ oGFT  
    fG<[zt\e  
    1`1Jn*|TI  
    H:t2;Z'  
    光栅级次和可编程光栅分析仪 =T$2Qo8  
    BPy pA $  
    qvs[Gkaa@  
    光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 T2to!*T  
    Va/}|& 9  
    :FixLr!q  
    使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 xw*/8.Md6f  
    L(/wsw~y*  
    v){X&HbP  
    设计与评估结果 r3YfY \  
    相位功能设计 2bf#L?5g/  
    结构设计 "9RW<+  
    TEA评价 5(DnE?}vo  
    FMM评估 `J}FSUn\  
    高度标度(公差)
    2~)q080jh  
    x&gS.b*  
    通用设置 g:>dF#  
    I^QB`%v5  
    Lf,C5 0  
    提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 <$ %Y#I'zX  
    通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
    b~+\\,q}  
    hw&~OJeo  
    1k)`C<l  
    纯相位传输设计
    r+n hm"9  
    Y2>*' nU  
    H"rIOoxf  
    z.:IUm{z  
    结构设计 AH ]L C6-  
    }& 01=nY  
    rgu7g  
    =1j`VJU9  
    Eqh&<]q  
    更深的分析 oX-h7;SD  
    •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 lW@i,1  
    •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 &&n-$WEl  
    •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 ~ [=2d a  
    =!2(7Nr  
    }}v28"\TA  
    G]I^zd&P  
    使用TEA进行性能评估 E"%G@,|3*  
    ;4(FS  
    ,,(BW7(  
    "\kr;X'  
    使用FMM进行性能评估 |R>I#NO5  
    J]Qbg7|  
    Z9lfd6MU,  
    K9UWyM<(2C  
    进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 G6j9,#2@  
    o n?8l?iQ  
    mr`EcO0  
    qo0]7m7|  
    进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 ?;Ge/~QU5  
    Ks^EGy+O:-  
    Z65]|  
    ,:/3'L  
    进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 b~m|mb$  
    CFx$r_!~  
    4+r26S,T  
    ,xIWyI.  
    VirtualLab Fusion技术 (~n0,$  
    @c{b\is2  
    @&]%%o+  
    KfLp cV  
     
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