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摘要 0P&rTtU6 !f Z{ = 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 qAHQZKk
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fg^$F9@ 设计任务 Mp}aJzmkB; 68W&qzw.[r 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 +{4ziqYj
.Hc ]?R ]
 ^4h/6^b0c xW!2[.O5H 光栅级次分析模块设置 ;| )&aTdH J *5 )g o.* 8$$
使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 }&bO;o&>
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1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 >01& 3-r
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 CcG{+-= H)
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 Uf 1i "VY
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 iQ~;to;Y
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 9l+'V0?` 衍射分束器表面 QcU&G*
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为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 U\*}}
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9o@5:.b<j 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 9nu!| re S
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一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 K -cRNt
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 g\ [?U9qN
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 | :7O
)*}2L _5]
 7_ xQa$U[ 7O', X Y 光栅级次和可编程光栅分析仪 =]X_wA;%
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光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述，作为许多可能的输出。 G~b/!clN
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G6]W'Kk
使用可编程光栅分析仪，用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 (,*e\o
efW<
f*)8b ZDD
设计与评估结果 2uu jA*
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相位功能设计 #e|G!'wdj
结构设计 5 Yj qN
TEA评价 'M8wjU
FMM评估 C ^oj/} ^
高度标度（公差） $o 2 H#" m?G@#[
l 通用设置 .dM4B'OA?
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提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 V9
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通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 !6.}{6b pbc<326X" "V|&s/9
纯相位传输设计 onqfmQ,3E h]W PWa)M
 }h{8i_R > 8%<ML 结构设计 7-S ?\:J
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gkkT<hEV=
W@S>#3,
更深的分析 X^Dklqqy
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 5A Fy6Ab
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 &}}UdJ`
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 iR(=< >
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SY lJly fN 使用TEA进行性能评估 )c432). Z
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aUZh_<@ 使用FMM进行性能评估 =emcs%
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^W8kt KAkD" (! 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 g+v.rmX
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 % )o'9 Yf&P|Iiw 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 ?F=^&
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X>-|px$vy 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 ,ICn]Pdz@
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l4O&*,}l## VirtualLab Fusion技术 -6KNMk
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