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摘要 KoY F] ?2a $*( 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 s2?&! @HW*09TG
hZ3bVi)L\ ysN3 设计任务 9mgIUjz G3]4A&h9v~ 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 0(Ij%Wi, eyaNs{TV
w!CNRtM:~ \v{=gK 光栅级次分析模块设置 8MBAtVmy ^8tEach `/g
UV 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 ^aQ"E9 K,]=6Rj
n%-0V> =;k|*Ny .hiSw 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 J1kM\8%b\ 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 !wNO8;( 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 e)ZUO_Q$ 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 >/\'zi]L wzaV;ac4K
Mtv?:q 衍射分束器表面 H]!"Zq k U.TA^S]`g
Jwp7gYZ !BI;C(,RL 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 tgaO!{9I? l~.-e^p?
)+M0Y_r E9}C #
':W[ A *A< 5*Db:F 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) -8Xf0_ -N@|QK>
:4s1CC+@\ :EH=_" 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 t
Pf40`@ 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
cAy3^{3: 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 C?Ucu]cW J;%Xfx]
3F0 N^)@ 9cgUT@a 光栅级次和可编程光栅分析仪 2%>FR4a -+5>|N#
uMv1O{ 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 j4b4!^fV &R siVBA [V!tVDs&'o 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 S$k&vc(0 Wf<LR3 *dF>_F 设计与评估结果 qNr}
\J| 相位功能设计 a>)f=uS 结构设计 kl,3IKHa TEA评价 6Iw\c FMM评估 .KC++\{HE 高度标度(公差) V,9cl,z+ !wp3!bLp 通用设置 8] ikygt" ~v83pu1!2s B;WCTMy} 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 ;wVwX6:ZKr 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 lLD12d _rYkis^u GF
WA>5n' 纯相位传输设计 3~\[7I/ -![|}pX
tu?MY p; 2JFpZU"1 结构设计 *'X3z@R PVOv[%
T>GM%^h,7- N<-Gk6`C/ }&e5$lB 更深的分析 c|1&lYal; •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 fT{Yg /j •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 "\=U)CJ •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 d7i]FV E E'!|N3
nOz.G" 05k0n E 使用TEA进行性能评估 N&pCx& g*"P:n71
'\GbmD^F J$!iq| 使用FMM进行性能评估 D0q":WvE 4aY|TN/|
>*n0n!vF ?
qA]w9x 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 #,.Hr#3nI _y>~
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:lzrgsW 0LKRN|@ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 wT\49DT"7 9S -9.mvop
-]=@s \15nSB 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 `g})|Gx m_l[MG\
5Dl/aHb ;'Nd~:-] VirtualLab Fusion技术 <o= 8FO H4JTGt1"
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