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摘要 {~'H oxzq!U 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 H O*YBL w"~<h;
h&`y$Jj wt?o
7R2 设计任务 Z7z]2v3}c m(_9<bc> 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 YG`?o ugLlI2 nJ
_{)9b24(
{[W(a<%bXm 光栅级次分析模块设置 9->q| E4 /8c&Axuv 6pp $-uS 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 QIK
9 N=~~EtX
`*_CElpP" t7*#[x)a 50$W0L$ 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 Ee)xnY%( 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 S-c ^eLzQ 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 n_23EcSy 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 [E|uY]DR vFhz!P~
?lKhzH.T 衍射分束器表面 ?JXa~.dA wxdyF&U
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x-;`-Uo% [>Fm[5x 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 pW|u P8# Zh'&-c_J
*x(Jq?5O7X Cy@ cLdV
:NE/Ddgc' }r3~rG<D71 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) yWb4Ify J=H)JH3
H=~9CJ+tc /tj$luls5 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 Ia4)uV8 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 8ObeiVXf) 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 tC)6 /.Q4~Hw%}
G%{0i20_ D$q'FZH 光栅级次和可编程光栅分析仪 ~ap2m H"Dn]$Q\Z
#g9ZX16} 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 ;rR/5d1! r:g9 Z_ |"Z{I3Umg 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 $k%Z$NSN= $[ z y i$uN4tVKT 设计与评估结果 (.23rVvnT@ 相位功能设计 5v
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Oq 结构设计 y7lWeBnC TEA评价 )jDJMi_[ FMM评估 c0rk<V%5+ 高度标度(公差) go'j/4Tp K7(MD1tk 通用设置 3yO=S0` `u_Qa l=={pb 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 MesRa( 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 lpmJLH.F \".^K5Pm zm#nV
Y` 纯相位传输设计 #R&H&1
jNyoN1M
wCKj7y[ PK2~fJB 结构设计 \RG!@$i i$^ZTb^
egR-w[{ s0"e' anN#5jt 更深的分析 s8mr'' •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 e%O0hE •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 5M_Wj*a}7 •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 ~Y!kB:D5;~ 04@cLDX8uB
nsuX*C7 TnH\O$ 使用TEA进行性能评估 Dr#c)P~Wd nE W31 8
}}{Yw 3Ofc\ 使用FMM进行性能评估 rofNZ;nu rZ03x\2
>SmV74[s2 19U]2D/z 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 CI7A#
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%Y nmuZ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 S?0$? w? ,_
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^+|De}`u uaPx" 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 uE5X~ +cu^%CXT
|NFZ(6vNh 9$*s8}| VirtualLab Fusion技术 %&<LNEiUN A*yi"{FLi
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