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摘要 "L ,)4v/J <KB V 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 b&]_5 GGc }[2
`hpX 97v uUmkk 设计任务 }KFf *BdKQ/Dk 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 K3g<NC :[P)t
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zH)M,+P =Pj+^+UM 光栅级次分析模块设置 $F&m('aB8
cl,\N\ z.d1>w 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 76 ]X ,76xa%k(U|
>G#SfE$0 9szUN;:ZZ cpLlkR O 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 ."X}A
t 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 $tm%=g^ 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 9Ub##5$[, 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 p<[gzmU9\b kMS&"/z
T5<851rH 衍射分束器表面 (D5sJ$&E@\ AT{rg/oSf
oeKVcVP|'& (i 2R1HCa 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 c;6[lv #S4lRVt5
AX{X:L8Ut2 i$?$X,
/8Wfs5N j-$F@p_2F 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 3bU(ea^e$ 5 *R{N
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NB^+Hcb$ <@448,9& 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 ,h<xL- 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 \>]C 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
-ZVCb@% ' pN[H\Ia
'X%5i2 qdCcMcGt 光栅级次和可编程光栅分析仪 ybY[2g2QJ R\T1R"1
x$L(!ZDh 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 93[&' F$6JzF$|F ~NV 8avZ 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 :w,#RcW ! 'qY h<0&|s*a) 设计与评估结果 |PNPOj0 相位功能设计 G^%FP!'D? 结构设计 MW|*Z{6* TEA评价 )Vf!U" FMM评估 Hy~+|hLvh 高度标度(公差) P]^BE;7T Q94Lq~?YF 通用设置 N|5fkx<d^ $o%:ST4 DQI
b57j 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 Rp0`%}2
o 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 E#zLm pNnZ-R|u VV+gPC 纯相位传输设计 S HxD(6 [X"pOz
AW<"3 !@
eQU~A9 结构设计 4K(oOxc9. 2
r';)8:
oAprM Z7Y nh'TyUd! "$krK7Z 更深的分析 |>zYUT[V •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 +l27y0>t •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 : *8t,f~s^ •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 <ebC]2j8cK <N(r-
8= "01 fNk0&M 使用TEA进行性能评估 f2iA5 rCV] :*I='M9B
~?JNI8 1:;S6{oQ 使用FMM进行性能评估 OK" fFv Whl^~$+f
I} .9 (.pi ,+Ws 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 hA=}R.gi 1k0*WCfZ
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ATF}x
~J![Nx/ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 83!{?EPE mFrDV,V
+5x{|!Pn (91 YHhk{ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 0dW*].Gi: 8J)Kn4jq
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2$1': A~X| vW VirtualLab Fusion技术 eb>jT: Oq*;GR(Q
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