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摘要 J 5(^VKj S1[, al 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 ^
L]e]<h( 3RanAT.nu:
P{x6e/ "BVp37m;? 设计任务 'b0r?A~c= Cs(sar:7 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 ?;y-skh L6ap|u
ah%Ws#& 9GRQ^E 光栅级次分析模块设置 qX*xQA|ak, YS#*#!ZMn? ;{aGEOP'U 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 L9<\vJ \_
|dz"uIrT :0,yq?M Vef!5]t5 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 v$D U
q+ 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 ''(rC38 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 damG*-7Svx 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 peF)U
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xr{Ym99E$ 衍射分束器表面 q-+:1E F}7sb#G
NYr)=&)Ke. KzP{bK5/ 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 i!RfUod 7FJ4;HLQ
+ c+i u6+" ]'"Sa<->
s[sv4hq h=0a9vIXF 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) A.Wf6o !\<a2>4$T
hPUAm6b; ,:e~aG,B 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 swxX3GR 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 ;Y[D#Ja- 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 e6>G8d )
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DnFzCJ /IG{j} 光栅级次和可编程光栅分析仪 Uns%6o Ps>:|j+
e.skE>& 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 W} i6{Vh 0cE9O9kE rHTZM,zM=H 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 6e rYjq cZQ8[I 5E-;4o;RI( 设计与评估结果 X!qK[b@Z 相位功能设计 D>[Sib/@ 结构设计 O7Jux-E1C TEA评价 2t9UJu4 FMM评估 w8w0:@0( 高度标度(公差) (0H=f6N S)rr 通用设置 CYLab5A [9${4=Kq b9RHsr]V 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。
C3{hf 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 gns}%\, 9gcW; &U7v=a 纯相位传输设计 ;ND$4$ r=5S0
-0d9,,c hHN[K 结构设计 pE&G]ZC \Q|-Npw
3e&+[j `P;r[j" RJ'[m~yl5X 更深的分析 "-$}GUK?Z •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 OUi;f_*[r •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 l.o/H| •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 Q38+`EhLA P|<V0
Vs.
Ze~P6 d\JaYizp 使用TEA进行性能评估 Q;$k?G=l C P}fxDW
=G:Krc8w@ N!(mM;1X) 使用FMM进行性能评估 G0UaE1n 6}TunR
%NrH\v{7Q EwzR4,r\M 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化
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#y! X\h.@+f=
1 %P-X! }#FV{C] 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 Oj c Tu Vc(4d-d5
._G,uP$ 09-8Xzz 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 |Gf<Ql_.4 <{kPa_`'
<?KPyg2 }ssV"5M VirtualLab Fusion技术 m[}k]PB> -i`jS_-Cv-
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