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摘要 t^t% >9o s='+[*&& 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
:|7#D,2 eRauyL"Q+
r-2k<#^r sE1cvAw9l 设计任务 8%@|/ C*9X;+S0J 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 "tK%]c d- En5oi
%x)bZ=An 5~Y`ikwxL 光栅级次分析模块设置 f0<zK! L74Mz]v CSk]c9= 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 [U\?+@E* 5pO|^Gj1
|"H 2'L$ 1^iBS *O?c~UJhhV 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 )P$(]{ 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 `i7r] 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 8v:{BHX 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 7
,Rg~L X/!_>@`7?
@=J|%NO 衍射分束器表面 Bd>~F7VWs yDWIflP0;
E?m~DYnU %!|w(Povq 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 cHFi(K]|1 ;C]Ufk
Tc2.ciU QFh1sb)]d)
f60w% K^-1M? 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) I[Ra0Q>([k 5&Oc`5QD
+A9~h/"kt %pWn9 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 bbm\y] !t 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 5/H,UL 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 $KHm5*;nd CB@7XUR
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WXXuO] 光栅级次和可编程光栅分析仪 E&[5b4D@< _1"
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g40Hj Y 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 %E?Srs}j gGqrFh\ ]5!3|UYS 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 VK}4<u $-4](br| +X?ErQm 设计与评估结果 igO>)XbsM 相位功能设计 9>}&dQ8 结构设计 x`CjFaE~F TEA评价 |Q?h"5i"( FMM评估 ]5Cr$%H= 高度标度(公差) :uL<UD,vu3 i,Ct AbMx 通用设置
tm1= r924!zdbR =C\Tl-$\f 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 $ {yct 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 fHt \KP PK\Z Rl X1o",,N^M 纯相位传输设计 ;p`1Y<d-O 3i^X9[.
>CB-a : 6F\ 6,E 结构设计 @!ChPl &OR(]Wt0
]4:QqdV tr<~:&H4T fI.|QD*$b 更深的分析 rYUIFPN •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 hA=uoe\ •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 jP@ @<dt •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 + NlnK6T/ ~(kEGEF
Nc[@QC{ SX4*804a_ 使用TEA进行性能评估 "ubp`7%67 Ds1h18
lu=a e<M ^F^g(|(K 使用FMM进行性能评估 -jH|L{Iyq} g_>&R58
Kda'N$|` 6<&~R3dQ 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 *d._H1zT F:j@ JMpQ
dX(JV' 18A j^G=9r[, 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 v^"\e&XL &raqrY|V
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进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 S^O9}<2g n 0!8)Sth
|)x7qy` qxZIH VirtualLab Fusion技术 !do`OEQKR @yp0WB
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