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摘要 {OT:3SS7 ,]Zp+>{
直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 K:yr-#(P/ ~9D~7UR
|!d"*.Q@F K8^kJSF\ 设计任务 __p_8P ZF#Rej? 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 |'HLz=5\ i(2y:U3[@
WV kR56 `PI(%N 光栅级次分析模块设置 P\~{3U W( *V2<$o ned2lC&'d> 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 K2'O]# IGj`_a
:ipoD%@ Q^eJ4{Ya: 3$M3Q]z 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 9w;?- 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 TbE:||r?^ 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 (7$$; 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 /jD-\,:L} fW0$s`
){Mu~P 衍射分束器表面 Kf7WcJ4b b_$1f>
~krS#\ ((DzUyK 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 Q]JX`HgPaU HV]Ze>}
9\O(n> EU`T6M
G`]w?Di4 PE@+w#i7* 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) ~o15#Pfn/ B0mLI%B
OOy}]uYF` =_=*OEgO] 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 Ya4?{2h@+ 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 ZykrQ\q9 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 {E,SHh BD;H
E)YVfM SX+RBVZU 光栅级次和可编程光栅分析仪 #V 43= E'dX)J9e$/
V7<eQ0;m
光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 #1Z7R/ f{Q p F&@ |M( 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 o42`z>~ +g\;bLT OeTu?d&N 设计与评估结果 h
W.2p+ 相位功能设计 `^8*<+ 结构设计 $B _Nc*_e TEA评价 Lx+`<<_dJ FMM评估 yFeeG3n3 高度标度(公差) d/j@_3' q.oLmX 通用设置 y lL8+7W 3VP $x@AV L$JI43HZ 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 r,'O).7 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 |`]oc,1h@ O-GxUHwWr G(OFr2M 纯相位传输设计 3V-6)V{KaE :EB,{|m
T\3 [F%? ,YlQK; 结构设计 do'ORcZ s-6:N9-
rWr/ p^~ ,f<B}O 1P5LH5 更深的分析 e[4V%h •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 =~,l4g\ •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 BED@?:U# h •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 nLd~2qBuv pG28M]\
5c;En6W JD&U}dJ 使用TEA进行性能评估 5;
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C~Z 使用FMM进行性能评估 r<_2qICgP DB8s
uGCtLA+sL FNJ!IkuR 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 )*HjRTF6G t?.\|2
pzSqbgfrQ #Q+R%p[D 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 0BXs&i-TP5 )k~1,
=h[yAf j0?>w{e 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 uQ1jwYK`7 E0jUewG
MCd F!{ d#7]hF VirtualLab Fusion技术 `oPLl0 -pX|U~a[
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