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摘要 B3I\= FswMEf-| 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 1B3,lYBM Rl 4r 9
ixJUq o .?SClTqg 设计任务 7YRDQjg @LY 5]og 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 PN:8H> ?o0#h
`w Sg/ LvpHR#K)F5 光栅级次分析模块设置 {nQ}t
}B _ED1".f H+zn:j@~L 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 *jWU8.W ADX}
Q}jbk9gM5 hMJ \a vg5zsR0u 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 T[))ful 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 TJY$<: 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 e,E;\x
& 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 K/[v>(< Y=G *[G#
/2u;w!oi. 衍射分束器表面 f/)3b`$Wu AW'tZF"
Coq0Kzhsab 5q]u: 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 OxF\Hm)( T
GMHo{]
./<3jf : HkvCQ H
0jv9N6IM if5Y!Tx?G 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) mUy/lo'4 jTws0=F*
6@2p@eYo VhSKtD1 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 va8:QHdU 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 gb(\c:yg1R 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 mC~W/KReA F__>`Dol
3|:uIoR{
q\#3G 光栅级次和可编程光栅分析仪 #`"' 6X|KKsPzX
l^`!:BOtR 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 Q,\lS >\DXA)nc |[34<tIN 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 6}NvVolr dc&Qi_W SO p%{b 设计与评估结果
=hl-c 相位功能设计 ^ioTd 结构设计 g8kw|BgnL TEA评价 !.t'3~dUf$ FMM评估 5!nZvv 高度标度(公差) wuYo@DDU# 3SIB #"9 通用设置 UjKHGsDi4 3C,e>zE} N_0&3PUSM 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 #gN{8Yk> 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 XVv7W5/q] VDnAQ[T@d KktTR`W 纯相位传输设计 !Rb7q{@>
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j|aT`UH03 Mx r# 结构设计 jilO% " r kD4}jV
t*}<v@, [2\`Wh:%P T@Q<oNU 更深的分析 G,"$Erx •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 A`N;vq, •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 ]`4QJ;# •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 gdG:
&{|x r*p%e\ 3
3:;%@4f gSe{S 使用TEA进行性能评估 l%w7N9 F 1zc4l6
c//W#V2Q 8c/Ii"1 使用FMM进行性能评估 8v6rS-iHP 57MoO
e5XikLu 1b!l+ 8! 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 WI~%n
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&1u?W%(Px 9=}/t9k 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 =H?Nb:s qnm9Lw#
G7=8*@q>: C9iG`? 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 ``z="oD kg@J.
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dk1fh VirtualLab Fusion技术 S8cFD):q Qv=Z
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