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摘要 x FY;aK ^KJIT3J(# 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 6"W~%FSJX
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 DN@T4!
6Hn3 设计任务 `MtPua\_ }X3SjNd q 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 ToN$x^M
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4yH=dl4=44
 Osdw\NNH~M ZAPT5 光栅级次分析模块设置 _azg
0.) 1v4( cFo DR
使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 >]k'3|vV
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1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 1;[\xqJ
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 gC#PqK~
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 {7)D/WY5
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 "K z =Z C
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 por[p\ M. 衍射分束器表面 V>j6Juh
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 Z 2WA VSw
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为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 ` =!&9o
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o)7gKWjujP 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) F
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一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 a2*WZc`
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 Xz0jjO,
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 SU9# Y|I
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X 光栅级次和可编程光栅分析仪 I -i)D
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光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述，作为许多可能的输出。 ?^us(o7-
\@Gyl_6^
h%(dT/jPL)
使用可编程光栅分析仪，用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 S'HM|&
G. O0*E2V
}.7!@!q.
设计与评估结果 Va06(Cq
相位功能设计 Gu<3*@Ng
结构设计 gy _86y@
TEA评价 L*9^-,
FMM评估 %L{ H_;z
高度标度（公差） dZR z 'd *J?QXsg 通用设置 Lm9y!>1"O
*~M=2Fj;i
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提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 }#q9>gx
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 i)\`"&.j>N 7C ABM ;'dw`)~jQ
纯相位传输设计 cg<10KT 1&Rz'JQ+
 M'W@K QR'"Zw&q5/ 结构设计 U}6'_ PRQ
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YU[93@mCh
更深的分析 ;or(:Yoc-
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 {LY$
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 ?
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•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 N6 $pOQ
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 8=T;R&U ^M vAq `*]W+ 使用TEA进行性能评估 6t
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 Mvrc[s+o
s9~W( Wi 使用FMM进行性能评估 4
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 f$iv+7<B^ De4U GX 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 ;) 5d
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 >yg mE`g AASw^A3p 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 cG,B;kMjo
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@ I LG3" 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 l n'7kg
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