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摘要 3~v'Ev faH113nc 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 <d!_.f}v #Duz|F+%
}j9V0`Q ?[{_*qh 设计任务 =s3f{0G N6yPuH 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 91Bl{ Ch;C\H:X
67<Ym0+ = #'s}=i}y"C 光栅级次分析模块设置 C8 [W rik-C7 QfqosoP\D 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 hI249gW9 B^Z %38o
;.*n77Y cVCylRU" 2rK%fV53b 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 &,~0*&r0 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 P")duv 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 !58j xh 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 UOh%"h mFoE2?Y
*htv:Sr 衍射分束器表面 9[#9cv x%<oeM3U
*2wFLh kC~\D?8E= 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 R Ptc \4 k4WUfL d
g?Jx99c; II(7U3
u!wR MBlhlMyI 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) '#JC 6#X dS9L( &
ey4RKk, ^eu={0k 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 ]r6S|;: 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 Q#+y}pOLP 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 0|mF
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~cHpA;x9<^ 9/[1a_
r 光栅级次和可编程光栅分析仪 u/W 2|2'?
,LD[R1TU8 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。
v E4ce >\J({/ #O WKjE^u 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 TCb 7-s 8HL$y-F ?f}lYQzM 设计与评估结果 Id_? 相位功能设计
;S,k
U{F 结构设计 h?cf)L TEA评价 /3( a'o[ FMM评估 ~96fyk| 高度标度(公差) ey icMy`7{ /HlLfW 通用设置 ,\t:R1.
RXo!K iQO 6
GL.bS 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 bLSZZfq 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 hT
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VMc 6I5,PB km%c0: 纯相位传输设计 PAYbsn l'Oz-p.@
Zq,[se'nh" uL.)+E 结构设计 l+%2kR LYYz =gvZl
;"d>lyL V5]}b[X +0{$J\s 更深的分析 %
~!A, •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 osBwX.G'l •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 I-L52%E] •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 %s|`1`c aicvu(%EE
_zuaImJ0o lfle7; 使用TEA进行性能评估 nTy8:k '] 1R}rL#h;=
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o~ 使用FMM进行性能评估 !z EW) wW.V>$q
H<Ne\zAv !]^,!7x,8j 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 r)4GH%+?fv ;7;=)/-
]npsclvJ E:_m6
m 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 MXVQ90 xZMQ+OW2i
fN!ci'] <./r%3$;7 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 -[h2fqu1 L6>;"]:f`
*h <_gn F rKI=8 VirtualLab Fusion技术 w<qn @f Fj_6jsDb
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