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摘要 6Tn.56 X H_<X\( 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 z\fmwI 7C%z0/
A[@xTqs{{ CHqRCQR. 设计任务 CG(G){u& MwN.Ll 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 ny:4L{) O%.c%)4Xo
D`2c61jyc '
?3e 1 光栅级次分析模块设置 2/K38t'- &xG>"sJ jF}u%T)HL 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 8MH ZWi VgHVj)ir
Tq7cZe"6 ~hSr06IY }&Gt&Hm>K 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 4#o Lf1 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 gxS*rzCG 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 7n,*3;I 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 O|opNr [nO\Q3c|@$
*-gd k9 衍射分束器表面 t<Iy`r71 tp-PE?
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为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 b42"Y,sbB [J'O5"T
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Lb2bzZbhx p,hDZea 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) ,U\F<$O DM3W99PWA
D\}A{I92F4 |#p`mc%f~\ 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 `@$qy&AJ 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 Flrpk`4 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 7$8YBcZ6 Cy'0O>v5
WJp9io[GM umt*;U= 光栅级次和可编程光栅分析仪 +}eGCZra
\G+ hi9T(
o(=\FNe 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 HAof,* h$ Z%]s+V)st 9ZbT41 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 r2WW}W
gVM&wo | 5C}1iZEJ 设计与评估结果 ZK1H%&P=R 相位功能设计 B:-qUuS?R 结构设计 ^W&qTSjh TEA评价 O$=[m9V FMM评估 X,)`<
>=O 高度标度(公差) n]?KDID; I\%a< 通用设置 f~HC%C
YH tVB9kxtE I{e[Y_ 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 Pz+2(Z 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 Y[=X b F/91Es 4CUzp.S`h 纯相位传输设计 UcZ20inj0 (#uz_/xXa
O;bnyB$ E}7@?o7u} 结构设计 |@6t"P ]@ cPFs K*w
}XJA#@ 3}:(.K (n4\$LdP- 更深的分析 b4Y< •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 `7v"( •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
Ez\TwK •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 _,,w>q6K 4^3}+cJ7j
S!'Y:AeD& d`}t!]Gg 使用TEA进行性能评估 aYJTSgW uq.!{3)8
qK_jgj=w &7K 4tL 使用FMM进行性能评估 Wu}84W"!.V 0|a ,bwZ
E79'<;K,zs /0.m|Th'm 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 {WYJQKs8 cdBD.sg
jN[P$}#b` xaPaK- 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 zJ"`40V*; |Ok@:Au
50<QF Q%_QT0H9Kz 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 ZNHlq5 J~}%j.QQ7
mz[Q]e~&i -o+<m4he VirtualLab Fusion技术 (uW$ch@2K W@bZ~Q9
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