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摘要 9]=J + (M 85&7WAco"B 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 tP|/Q 5s
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QO;Dyef7b 设计任务 /a3 2QuS M%ecWr!tj 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 GZaB z# U
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s*g qKQ; 光栅级次分析模块设置 ir. RO7f ,4"N 7_!7 2EM6k|l5
使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 }'wZ)N@
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1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 hev;M)t
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 `G!HGzVx;j
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 Ti )Me-g
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 _ }p [(sTV
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 *ilh/Hd> 衍射分束器表面 :u9'ZHkZ
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为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 +:^l|6%}
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8:c=h/fa
衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) $Z)u04;&@
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一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 ~ 3M4F^
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 1LS1 ZY
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 B0|W
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 /v 9qrZ$$ } .045 Wuu 光栅级次和可编程光栅分析仪 (y;
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 f@YdL6&d-
光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述，作为许多可能的输出。 MuMq%uDA"
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使用可编程光栅分析仪，用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 :AlvWf$d
m2^vH+wD
s i2@k
设计与评估结果 + F o^NT
相位功能设计 DqW y@7
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结构设计 "9'3mmZm=?
TEA评价 J|{50?S{^
FMM评估 OR6vA5J
高度标度（公差） T1$p%yQH swZi
O_85 通用设置 kCEuzd=$V
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J:W+'x`@
提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 D+:s{IcL<
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 &c!6e<o[p 94&t0j _ y}oA!<#3
纯相位传输设计 /7"V~c6 !0hyp |F:>
 c&wg`1{Hal ^G`6Zg ;
结构设计 }*rS g .
A^M]vk%dg
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更深的分析 0,~s0]h0V
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 xltN-<n7
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 "{~FEx4
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 3 .#L
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 xP ~GpVhLF ;/kd.Q 使用TEA进行性能评估 _!zc <&~I
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WqefH{PB 使用FMM进行性能评估 ?jfh'mCA
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 #!z-)[S.+ X7OU =+g 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 C)FO:lLr\
FVl,
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 9Br+ ]F _i kSEA 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 *LhwIY
^A&{g.0
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X%s5D&gr 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 ): hz /vZ
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%8I^&~E1 VirtualLab Fusion技术 3HXeBW
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