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摘要 ec`re+1r p_(En4QSH 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 oR,6esA+6n zhm 0J-g
[sjkm+
? nmts% u 设计任务 ]%y>l j?Y yCA8/)>Gm 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 \=7jp|{Yl d,?Tq
nJGs ,~" El@*Fo 光栅级次分析模块设置 7F6B [`oVMR <e?Eva%t` 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 [61*/=gWe hxK;f
~D>pu%F bc4 V& KbtV> 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 W7
dSx 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 \Dy|}LE 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 b0YEIV<$ 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 6o7t eX E_aBDiyDf
6[4VbIBSI 衍射分束器表面 /KX+'@ !{(Bc8
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{x.0Yh7 )0iN2L]U; 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 Zi.' V i/%lB
9i}$245lB Pv/v=s>X
giX[2`^NG |Ia9bg'1U 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) GPK\nz} r+8D|stS
F{!pii5O9 8>,w8(Nt 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 5N;'CAk 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 a
\1QnCy 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 &.\7='$F +IWH7 qRtp
%z-*C'j5H )/%5f{+} 光栅级次和可编程光栅分析仪 e5>'H!) &<]f-
w CB*v<* 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 z'_Fg0kR{ ur\6~'l4 nYjrEy)Q 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 o#e8
Piw 32<D9_ /oHCV0!0
设计与评估结果 &Y=0 0 相位功能设计 ERV]N:( 结构设计 d@$|zr6 TEA评价 > 0MP[ FMM评估 G/<zd) 高度标度(公差) eKvr1m- - Iz09O:ER 通用设置 >8"Svt$ /;#kV]nF uLS]=:BT 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 vTO9XHc E 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 #`*uX6C B#Ybdp ; _|#abLh% 纯相位传输设计 9kH~=`: ? X3l>GeUi
Q+T#J9Y E]OexRJ^i 结构设计 y9 {7+] /GIGE##1F
UhDQl%&He W^tD6H; *#mmk1` 更深的分析 O8@65URKx •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 9:USxFM •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 DQQ]grU •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 })/P[^ K$,Zg
T(D6'm:X .[O{,r 使用TEA进行性能评估 $*#^C;7O 89FAh6u E
,=u;1 /grTOf& 使用FMM进行性能评估 [`\VgKeu ]<>cjk.ya
^Spu/55_ k4K.
mlIO 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 #Q8_:dPY '@t$3
hk
f CU] Zd[rn:9\ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 =GX5T(P8k +;KUL6
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j!dbT~5 f8:nKb>nq$ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 e"S?qpJK D;pI!S<#
odhS0+d^ %;'~TtW5 VirtualLab Fusion技术 loVg{N: m)tu~neM
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