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摘要 o[)*Y`xq<w q~`dxq`} 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 FxmHy{JG xauMF~*
pp@O6 6bN8}\5 设计任务 9,[AfI |]5`T9K@b# 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 K[yP{01 AQwai>eL
+{0v@6<(02 CaC \\5wl 光栅级次分析模块设置 [}!0PN?z~A @FZbp +xd@un[r< 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 ]>B4 WK0:3q(P
Vh?RlIUA (67byO{ cn: L]%< 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 +)LCYDRV7 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 09qfnQG 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 BA[ uO3\4 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 ,^RZ1tLz IhRdn1&
6-z(34&N 衍射分束器表面 )-0+O=v 0SQrz$y
"
sC]z} '{-Ic?F<P 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 @]!9;?so {Fqwr>e
/b\c<'3NY [(eX\kL
N0%q66]1 "j&'R#$&d 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) `NTtw;%Y CF
3V)3}
!nq`Py MR W*%(J$E 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 1[J|AkN 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 XOLE=zdSp 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 Ot)S\s> % m"Qg<
"7'P Lo3O #uF`|M$u 光栅级次和可编程光栅分析仪 9)t[YE:U3! @v#,SF {
684|Uuf7 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 8Ihl}aguW DJ*mWi. TMo DN%{ 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 o2'Wu:Y" ^`B;SSV e`:^7$ 设计与评估结果 <nb%$2r1 相位功能设计 8d2\H*a9~ 结构设计 w$Fg0JS TEA评价 Rj4C-X4= FMM评估 %<!YjJ 高度标度(公差) <_ENC>NP ec`re+1r 通用设置 !l=)$RJKdD !^ad{#|X _6V1oe2 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 YSB=nd_ 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 V[uSo$k+> vS)>g4 s2<[@@@q 纯相位传输设计 L~^5Ez6U Dk>6PBl
0#DEh|? 7RWgc]@?> 结构设计 7F6B vg5_@7
RgA"`p7{ [61*/=gWe ~!!\#IX 更深的分析 92t.@!m` •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 \hZ%NLj •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 3F@P$4!#l •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 o{! :N> ( &b`W<PAc?4
=#,`k<v%I -F[@)$L 使用TEA进行性能评估 DJ@n$G`^^ [!yA#{xl,
~mARgv B~N3k 使用FMM进行性能评估 >Rd~-w)!| 3V?x&qlP>
5.oIyC^Ik : S3+UT 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 @qan &?-Y <JH,B91
z-606g bY=[ USgps 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 )?UoF&c/ 3_Xu3hNH!
/De~K+w7o `vgaX,F* 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 ,d,2Q m|B=
D,ZLo~ %:d7Ts&?Z VirtualLab Fusion技术 +Gt9!x}#e *>KBDFI
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