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摘要 H<rnJ w^:V."}-$ 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 +cPE4(d *` @XKK
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!M [H6X2yjj| 设计任务 *G2)@0
{ ? 6yF{!F* 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 )[@YHE5g NB!'u)
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7- *(a a>&;K@ 光栅级次分析模块设置 UX-_{I
QW [*Aqy76Qa 4Vb}i[</ 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 v&[X&Hu[ &;~2sEo,
Q`@$j,v ;Sx'O Tc'{i#%9j 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 t+W=2w& 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 t?du+: 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
Gh)sw72 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 4."o.:8x A;kw}!
W|r+J8 衍射分束器表面
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tn:/pPap !yV,|)y5F 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 p ,[XT`q^ uK4'n+_>\
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v3hQv)j) 8XS{6< 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) XL. CJ5y> },Re5W nl
"&~?Hzm p^4;fD 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 [d^: 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 fzkCI 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 :EQme0OW Jm);|#y
UgD'Bi .5KC'? 光栅级次和可编程光栅分析仪 C<wj?!v,F[ lEYT{
8~[C'+r 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 %!HnGwv- }n2-*{)x /_VRO9R\V 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 #<tWYE f,`}hFD ot>EnHfV 设计与评估结果 $ )TF,-#x 相位功能设计 _r?;lnWx@ 结构设计 z:i X]df TEA评价 e??{&[ FMM评估 F~Z 0 高度标度(公差) Y)4Nydq c~L6fvS 通用设置 Dt~}9HrU 8SCW.;0 $?/Xk%d+ 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 \_I)loPc8 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 SJ~I
r# d*\C^:Z X%9xuc 纯相位传输设计 DKVt8/vq ap'kxOf"1
9+is?Pj ?k:])^G5 结构设计 "!6 B5Oz 'MdE}
}DUDA%U ad$Qs3)6o $vGEY7, 更深的分析 WtdkA Sj •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 oCdOC5 •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 MMA@J •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 JbC\l Bc|x:#`C\{
^9*|_\3N xXU/m| 使用TEA进行性能评估 qn"T?
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iUG/ A%m`LKV~@ 使用FMM进行性能评估 +@],$=aE? Obc3^pV&
!VJa$>, RBD7mpd 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 LjQ1ar\ x&fCe{5
QUw5~n ;- U)/Ul>dY 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 T4}?w $9i5<16
tEX~72v ])wMUJWg2 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 ]o+|jgkt] 9]F&Fz/G
v3JIUdU=P XsN#<"f;i VirtualLab Fusion技术 OO
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