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摘要 (d'j'U:C >@^yj+k 众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 4%fN\f q _] n*m"L|:ff f;Bfh3 设计任务 n;kciTD%wK W-!Bl&jF[ #A/]Vs$ KM5DYy2 A6 光栅光学装置 <duBwkiG a()6bRc~T qHR^0& _(6B. 偏振分析器 [7e{=\`= .:Bwa rO(TG Z;fm;X%4 优化 2z.8rNwT uRm _ =X`]Ct8Z XewXTd#x 参数运行 ;<kZfx gVa+.x]
U1> V5u}C-o 关于光栅周期选择的考虑 5%QC
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<78$]Z2we 3?.1~ "-J 偏振相关衍射特性 .'^6QST 8h&oSOkQk, &G-#*OG Lp:Nw4 _ 固定周期二维参数优化 &RKH2R |
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#Mj$o;SX 二维参数优化——设计#1 R`@8.]cpPy xvwD3.1 S'Z70 zJ MkG`w, 二维参数优化——设计#2 @-wNrW$ KInUe(g<9M 'Q:i&dTg V!T^wh; 制造公差分析 3>-[B`dD( I~\O FOOQ'o[} Js\-['` 变光栅周期三维参数优化 4Qa@` <i\UMrD]`:
J)9 AnGWe 1YOg1 n+k 制造公差分析 ?,ZELpg n V";mWws+?# 5f;n<EPy BFBR/d[& VirtualLab Fusion 技术 z.eJEK F&=I7i ;_mgiKHg 5;IT64&]
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