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摘要 4=([v;fc z3+@[I$ 众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 2e1KF=N+ .C%
28fH \sAaVdZJH( o%t4WQ|bj 设计任务 \0b}Z#'0 oZvG Kf q*3OWr ^z{szy?Fg 光栅光学装置 t>\sP ukSv70Ev 5g7@Dj,. <=*f 偏振分析器 t@qf/1 1D*=ZkA) LORcf 1X/ Z10Vx2B 优化 SndR:{ z%wh|q t%lat./yT ?R)]D:` 参数运行 U
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0 关于光栅周期选择的考虑 dht0PZdx? WoEK #,I;
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)E}v~GW.+ +=3=% %?C 偏振相关衍射特性 ]q]xU, npdljLN nuce(R !"L.g u-' 固定周期二维参数优化 YWFE*wQ! yKc-:IBb{u r]3-}:vU 二维参数优化——设计#1 :7v'[b y)G-6sZ/ aGD< #] V(7,N( 二维参数优化——设计#2 8SGaS& -YA,Stc- aB,-E>+ 3Ua?^2l 制造公差分析 #<*Vc6pC +,76|oMsQ% lzEynMO+ ^hIdmTf6 变光栅周期三维参数优化 WXQ@kQD u^Q`xd1
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