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摘要 {okx*]PIc UUuB Rtau 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 R}S@u@mOE >;9+4C<z0  pm.Zc'23
j-% vLL/ 设计任务 `wzb}"gLsM eMDO;q  63EwV p /| n*Q~< `T 光栅光学装置 W>*9T? @Z fQ)q\  vs`"BQYf *T+Bjj;w 偏振分析器 xlW`4\ Pa =[7[F)I~O  VXM5
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关于光栅周期选择的考虑 d [p-zn. .d4L@{V
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 5\?\ |* WT u@ "nVHgMJ 偏振相关衍射特性 &"h 9Awn2 ^~iFG+g5
 \Y4>_Mk re$xeq\1P? 偏振相关衍射特性 #jc+2F,+{ q$<M 2  GmON hh(k aR2 Vvo 固定周期二维参数优化 .w.jT"uD! FS(bEAk}  wh A 二维参数优化——设计#1 -F-RWs{yS e\[z Q
2Z3  <fZ?F= swfcA\7R 二维参数优化——设计#2 Dm")\"5\? P_ [A  U@ 6bH@v5 g?}$"=B 制造公差分析 +p:?blG kwcH$ w<I  z`?{5v -Qs Gl4(-e'b 变光栅周期三维参数优化 ?tf/#5t} 5*q!:$
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