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摘要 K6|R ;r5e{ e0<O6 众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 r d)W+W9 9\0$YY% QbY@{"" ` 8Dn~U:F/? 设计任务 eo.B0NZsF 9`M7 -{ sk
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90K&oof?M DJAKF 偏振相关衍射特性 M>}_2G]#F 0=K8 nxdx .t/@d(R )4m`Ya,E3 固定周期二维参数优化 C\B4Uu6q _ElG&hyp =|8hG*D8 二维参数优化——设计#1 `#vbV/sM ga(k2Q;y 8@RtL,[d !&NrbiuN 二维参数优化——设计#2 ={+8jQqi1 [m%]C iq[IZdza Ez-Q'v(9 制造公差分析 0/9]TIc CPMGsW^ SD<a#S\o ?~!9\dek, 变光栅周期三维参数优化 >?rMMR+A ;_2+Y^Qb
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