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摘要 yU"G|Ex ~8(X@~Tn* 众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ^-u HdafP +{%(_< Ye2];(M dV{Hn {( 设计任务 P(epG?Qg 2\{uqv 7omGg~!k( 49oW 'j 光栅光学装置 'w[d^L s ;s-6%p <IyLLQ+v ^-GX&ODa 偏振分析器 Qz+d[%Q}x @>2rz xm|4\H&Bg df6Ν4L 优化 M/a/H=J =t$mbI kA%OF*%|6 d._gH#&v 参数运行 O2]r]9sh* gAA
%x7 ; axaZV >zg8xA1zL 关于光栅周期选择的考虑 &JhIn%=- 3>9 dJx4I {O kik}Oh UD<^r]'x 偏振相关衍射特性 qH%L"J ~5 pC$SC6> /P!X4~sTM V,XP&,no\j 偏振相关衍射特性 8U2wH B:- KZuO _RaVnMJKX4 EB2^]? 偏振相关衍射特性 ;}eEG{`Y 7tl)4A6 O&gwr 2x`xyR_Q.R 固定周期二维参数优化 Wqs.oh :qCm71* I0l.KiBm 二维参数优化——设计#1 L2>?m`wp Iz?Wtm } e,#+Xx0M Tt <-<oyU. 二维参数优化——设计#2 L\:YbS~] =o{: -EKQF )|Vg/S 8?j&{G 制造公差分析 or!D GrLM${G "`jZ(+ BBU84s[ 变光栅周期三维参数优化 Jl}!CE@- p~,3A:i ##`;Eh0a F`;TU"pDf 制造公差分析 U-~*5Dd XU;{28P XgiI6-B~ g`)/ x\ VirtualLab Fusion 技术 KtfkE\KP !8
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