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摘要 ?5Z-w zN9@.!?X2 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 g&B7Y|Es c uAp,!  JSh'iYJ . .ozBa778u 设计任务 =$~x] V^D 1:9i  v{lDEF@2^N 8z eD%Uv 光栅光学装置 JKp@fQT * y&4im; X0  N/ 0Q`cQ- #Sg/ 偏振分析器 YP"%z6N@v &, XP MT  eon(C|S7eK DVs$3RL 优化 hI<$lEB r!>=G%  A1zV5-E/ @ *T8> 参数运行 q _;# EV Y\1& Uk
 v"sU87+ Ax!@vL&@ 关于光栅周期选择的考虑 2j>C4Ck '+^XL6$L
 =`(\]t"I ~ te{9/ 偏振相关衍射特性 kc2E4i ER]C ;DYX  =o"sBVj y(K:,CI 偏振相关衍射特性 \gZjq]3 5= MM^$QG
 2)^T[zHe aJNsJIY+ 偏振相关衍射特性 k|_
>I K ,HR= 5  ]=0D~3o3 X.)1>zk 固定周期二维参数优化 =)6|lz^ 97 !VH> MX  LrV4^{9( 二维参数优化——设计#1 {}PBYX R uUpOa+t  c*> SZ'T\ A56aOI= 二维参数优化——设计#2 yF&?gPh& ##Now O  0ipYXbC !jJH}o/KW 制造公差分析 f9E.X \" vi.q]$ohbV  F>3fP dG]s_lb9H 变光栅周期三维参数优化 j~9,Ct ;V~~lcD&Y`
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