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摘要 Yb,G^+; Yj|c+&Ng 众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 3<V.6'*k LR
8e|H0 roK4RYJ7) ?S;et2f 设计任务 !XG/,)A BV_a-\Sa= B8P@D"u $~;6 hnrm 光栅光学装置 ?STI8AdO
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|<5J )gm \e?^ 偏振相关衍射特性 cmC&s'/8`D hPX2 Bp x Ps&CyI ~>wq;T:= 固定周期二维参数优化 $;g%S0:3) !'UsC6Y4 0v,`P4_k 二维参数优化——设计#1 55)ep WA)lk>(+ x,@O:e &~f*q?xR 二维参数优化——设计#2 !15@M|,OL kA->xjk o::ymAj iJ~iJ'vf 制造公差分析 9/^Bj ;L/T}!Dx 1OJD\wc 1QdB`8in 变光栅周期三维参数优化 OYCFx2{ }j5@\c48
f+(w(~O ;z=C^' 制造公差分析 :/?R9JVI %PNm7s4x2 . KSr@Gz iH -x VirtualLab Fusion 技术 RM=+ZmA ?&t|?@ E`LIENm "{1}
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