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摘要 Zsmv{p s@GE(Pu7 众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ;PnN$g]Q Ts3!mjn [_(uz,' _wX(OB 设计任务 ~)[pL(4 QDVSFGwr og~a*my3 5rc3jIXc{| 光栅光学装置 .726^2sx Nl/
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ygX!'evY vRD(* S9^ 偏振相关衍射特性 e%4vvPp ~X %cbFom= g>'6"p; 7;C~>WlU 固定周期二维参数优化 R/Sm wV{j CQ p]?eIovi 二维参数优化——设计#1 gp~-n7'~O sSD&'K=lq
j0O1?? 9&<c)sS&B 二维参数优化——设计#2 K`ygW|?gt VkJTcC:1 _ Qek|> Z0D&ayzkh^ 制造公差分析 3,{;wJ
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