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摘要 7-2,|(Xg A1/[3Bz 众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 }080=E ^=,N]
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偏振相关衍射特性 -K U@0G r!HB""w O:Ob{k ["XS|"DM 固定周期二维参数优化 ff<adl- @d_;p<\l kH>^3(Q\ 二维参数优化——设计#1 WDQw)EUl& 4&'_~ qU oLz9mqp2% `%Uz0h F 二维参数优化——设计#2 "i/3m'<2 ?,Zc{ C!J6"j Dd$CN&Ca 制造公差分析 9Qhk~^ngg X^ZUm qr[+^*Ha p:gM?2p1 变光栅周期三维参数优化 8@'Q=".J "f3KE=cUm
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