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摘要 CSNz8
y O[|X=ZwR:l 众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 9sv#TT5V ,,S 2>X*L /}eb1o 1@~ 1vsJ 设计任务 I-Hg6WtB #nj;F'O]( Tx'anP .^ba*qb`{ 光栅光学装置 md/h\o& -BwZ !rZZ/M"i OU?.}qc<wE 偏振分析器 :j32 :/u '@^mesMG rfh`;G5s =66'33l2 优化 4#B56f8 _@_EQ!= e%=SgXl2t
LGYg@DR 参数运行 G//hZwf0 \@{TF((Y
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9r z 偏振相关衍射特性 bq}`jP~# ' XOWSx;Y "_+8z_ E$v!Z; A 偏振相关衍射特性 {!1RlW dvAz}3p0]
5'|W(yR} 8rLhOA 偏振相关衍射特性 u!FF{~5cs JI&.d: /3;]e3x q{xF7}i 固定周期二维参数优化 `2M*?.vk +Ur75YPh R)=){SI:1) 二维参数优化——设计#1 5YgT*}L+, K d{o/R %@HuAcNi 9LSV^[QUH 二维参数优化——设计#2 sy(.p^Z j.\0p-, CFu^i|7o sH%Ts@Pl 制造公差分析 p?4,YV|# CsjrQ-#9yn `~NjBtQ Q&w"!N 变光栅周期三维参数优化 ,}l|_GGj @z`eqG,']
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