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摘要 ib- H
jJ8 "'74GY8, 众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Ctx`b[&KXX CB^.N>' YY4q99^K /m|U2rrqb 设计任务 Q<>b3X>O *f o> B}+li1k 7yQw$zG,Iz 光栅光学装置 Y/ I32@ B!1h"K5.($ K05U>151 Z(I=KBI 偏振分析器 Mp?L9 <,*3Av iAo/Dnp2J Y?ZzFd,i& 优化 2b
K1.BD PiN^/#D SW}?y%~ rXR!jZ.hi 参数运行 .: k6Kg oA?EJ ~%
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p\R&vof* {y'4&vt<~ 偏振相关衍射特性 L1Jn@ h[mJ=LIrg OT0IGsJ"' oFGWI#]ts> 固定周期二维参数优化 ^J;rW3#N8 d(yTz&u) GvZ[3GT 二维参数优化——设计#1 Zo,066'+[. c:[ZknnCe f]_'icP k{H7+;_ 二维参数优化——设计#2 1|m%xX,[ }3_> 3m| C8: Y?3f
Fg 制造公差分析 mV^~ I1Otu~%d 74 &q2g{ !ewT#afyu( 变光栅周期三维参数优化 J;=T"C& \!xCmQ
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