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摘要 9'e<{mlM yq<W+b/ 众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Y"^.6 B52dZ b vlipB} tA,J~|+f: 设计任务 Y^U^yh_!^ U[OUIXUi ;Bw3@c }n#$p{e$i 光栅光学装置 YfMs~}h, qn,fx6v4 z]LVq k ep Dp* 偏振分析器 Q`Q"p CC'N"Xb M'oZK {x[C\vZsi] 优化 LyR<cd$W \:'6_K -V[!qI p,uM)LD
参数运行 #XqiXM~^R O*x~a;?G
l<ZHS'-;8 F g'{K%t4 关于光栅周期选择的考虑 }<w9Jfr"X aGws?<1$
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hx/A215L (?lT @RY/ 偏振相关衍射特性 r>PKl'IbE Cy B4apJ #J8(*!I 5~(nHCf> 固定周期二维参数优化 `Hv"^o D~`RLPMk w{;~ 二维参数优化——设计#1 : t75iB= TV0Y{x*~iH y&\t72C$Fi -Ekf T_ 二维参数优化——设计#2 %.Kr`#lCr
fD8GAav $?VYHkX U2~|AkL 制造公差分析 [ :Sl~ ]gF=I5jn] vBM<M3 m6 Y0,9 变光栅周期三维参数优化 9#~jlq( BGOS(
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