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摘要 $`R6= \| e@:sR 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 J Ro?s~Ih ^P151*=D  Z87_ # 5 *HE uorl 设计任务 #Zrlp.M4 E dZ\1'&/9  g~(E>6Y F1L:,.e` 光栅光学装置 ^&y$Wd]6 34\(7JO  Y"A/^] .{y
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 812$`5l /~3r; M 偏振相关衍射特性 6i}iAP|0 F i0GknQ+  6'Fd GS E~6c -Lw 固定周期二维参数优化 t<#h$}=:Vt SJHr_bawd  DY`kx2e! 二维参数优化——设计#1 <~WsD)=$ {E@Lft-  :8OZ#D_Hl ;n
7/O5M| 二维参数优化——设计#2 :5{wf Am %\:[ o  `E>1>' <*qnY7c&N; 制造公差分析 a24"yT .4E&/w+  t;}:waZD }|pwz 变光栅周期三维参数优化 }R{ ts r [*Vqcz
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