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摘要 YxowArV}uz ?te~[_oT 众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 l$Y*ii
w#}[=jy *\gYs{, x4bmV@b 设计任务 fQQj2>3w 717S3knlv =aB c.PJ^ qBF6LhR 光栅光学装置 &$yxAqdab Q%r KKOX8 Lo,uH`qU 3FY87R 偏振分析器 9x`1VR
: tJ$gH; %\^VxM q?y-s 优化 []:&WA9N ]$~\GE^ ;vG%[f`K 70-nAv 参数运行 .no<#l H7FOf[3'
otA'+4\ |_njN 关于光栅周期选择的考虑 y**YFQ*sc $+|.
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s 偏振相关衍射特性 oP~%7Jt ~6=aoF5"3? v,|jmv+: \1sWmN6 固定周期二维参数优化 oT0:Ny Q[Gs%/> cs9"0&JX 二维参数优化——设计#1 Y0yu, {>UT'fa- l}@C'Np Ax6zx 二维参数优化——设计#2 s14D(:t( |?v .5|1 5(thDZ ! b#-=Dbe 制造公差分析 T_[5 ZYy 4C[kj Dtox/ ," fu
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