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摘要 J]qx4c BH^8!7dkT 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 x).`nZ1 Fn*)!,)  DK }1T )*_n/^m 设计任务 (Q ~<> e% .|PZ)  F+::UWKA i-31Cxb 光栅光学装置 FHbw &
Mgc|># =  cK H By BZ>,Qh!J 偏振分析器 n]J;BW& Av 7g&<ZZo  v#Y9O6g]T c`4i#R 优化 %XK<[BF 9$e6?<` (Y  S9@)4|3C|p *OM W" NZ; 参数运行 OQa;EBO b5d;_-~d
 rc)vVv 3hbU us 关于光栅周期选择的考虑 lO5*n|Ic, AcxC$uh
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 LFV',1+ $Y31 Y A 偏振相关衍射特性 \' ;zD-MX osW"b"_f  vqnFyd o? {rPFR 固定周期二维参数优化 3QO*1P@q i>n)T  QR] 61v:` 二维参数优化——设计#1 ]0&ExD\4 b~<Tgo_/jf  ? {vY3~ 8.R~Ys* 二维参数优化——设计#2 +^v]d_~w_ |FrZ,( \  YsX f+_._ p:9^46N @ 制造公差分析 (& t8.7O biw2 f~V  ;H:+w\?8f$ ~G*eJc0S: 变光栅周期三维参数优化 z Qhc
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