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摘要 $+ N~Fa ,FH1yJ;Y& 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ~b ! la vceD/ N8  /#&jF:h Z
h9D^ I 设计任务 Iu~<Y(8^q# L;y BZLM  =$ L+J O ='=4tj=z 光栅光学装置 6Z' K1 z*q+5p@~  L<3+D rnQ_ 0d 偏振分析器 CY{!BV' VCiq'LOR,<  Xdl
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 jb,a>9 ]p dT% eq7= 偏振相关衍射特性 XzX2V">(% 3N+B|WrM  @ <2y+_e s3nt2$=:t 固定周期二维参数优化 ~o|sm a5. MMC$c=4"  "aI)LlyCY 二维参数优化——设计#1 :t9 + !px+*)bW TOKt{`2} 二维参数优化——设计#2 mAGD qz>f X=Ar"Dx}}s  DNqV]N_W 5mpql[v3P 制造公差分析 DEhR\Z! %e0X-tXcmX  ]v),[]Xs ?V +\E2 变光栅周期三维参数优化 #I.~+M S{8-XiL,
 fp\mBei DO-M0L 制造公差分析 9xq3>( wb(S7OsMO
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