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摘要 %&Fk4Z}M =L5GhA~ 众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 SR8qt z/V S8l1"/?aHE F*Z=<]<+ Cv*x2KF
G 设计任务 ;),BW g t'~/$=9}
N6T{ mrJQ# 光栅光学装置 /{{UP- ?+t1ME| H Y ynMP `Rdm-[& 偏振分析器 jS!`2li?{ kip`Myw+ 20TCG0%x Qe'g3z> 优化 ur\qOX|{ 7JDN{!jT S|zW^|YU tURc bwV 参数运行 LrCk*@ S\wW)Pv8
BYM3jXWi0v ,zQOZ'^ 关于光栅周期选择的考虑 c DrebU XYH|;P6K
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M0c9pE MqKye8h9f 偏振相关衍射特性 ir:d'g1k y\F=ui FZH\Q~IUV J.RAmU < 固定周期二维参数优化 X jE>k!=I (X6sSO cE{ =(OQ 二维参数优化——设计#1 =C
f(B<u {6d b{ ay_ IC{F.2D ^ie^VY($ 二维参数优化——设计#2 eeUp 1g S*)o)34U 1Xyp/X2rI (\dK4JJ 制造公差分析 P` '$ kA7(CqUW c[0oh. TRKgBK$, 变光栅周期三维参数优化 3AlqBXE"Z< ?z"KnR+?Q
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