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摘要 dw.F5?j`b "NgoaG~!YO 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 mv5n4mav Vd=yr'?  2e$w?W0^ 3Tn )Z1o 设计任务 Cy*|&=>j aR\\<due  =)hVn ^$&k5e/}C 光栅光学装置 oI^4pwn h Oy 2+b1{  tzy'G"P| `/HUV&i"S 偏振分析器 aZ En6*0B cBo{/Tn:  97K[(KE 0rGSH*( 优化 J Hf Q,& /V_  .S(,o. l4TpH|k 参数运行 8foJ I^3 lV.F,3
 Ela-,(Glk Yq(G;mjM 关于光栅周期选择的考虑 !"+'A)Nve O5H9Y}i]
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WM =TqQbad p 固定周期二维参数优化 &i!vd/*WlD OLI$1d_  pH`44KAuM 二维参数优化——设计#1 "QvmqI> 7OjR ._@  J<Pw+6B~ WW~+?g 5 二维参数优化——设计#2 7z~_/mAI 5XLs } :  Gn;@{x6 Ew3ibXD 制造公差分析 *'"^NSJ w1;hy"zPsj  m[k_>e\ u 0zY(:;X 变光栅周期三维参数优化 (MHAJ]Rx `gK f# f
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