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摘要 s{9 G// o| G[/o2 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 CFTw=b@ JEh (A=Eu>  dtx3;d<NsJ Nbvs_>N 设计任务 j[Q9_0R~lR j/p1/sJ[y  !*G%vOa sD ,=_q@ 光栅光学装置 ^g SZzJ5 XT%\Ce!  OaeX:r+&Q j@u]( nf 偏振分析器 fvBL? x i@m@]-2  E^4}l2m_ WR ov7 优化 Lvd es.0| q5xF~SQGw2  9T#${NK .L@gq/x) 参数运行 zQ~ax!}R NH'Dz6K5
 \@ B 'f [nASMKK0 关于光栅周期选择的考虑 H):(8/> ( ]_(J8v
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 s[bQO1g;* J'C9} 7G 偏振相关衍射特性 = glF6a b/"gUYo  tj4/x7 ! P W_"JZ 固定周期二维参数优化 c!ieN9^+ fSVb.MZa7  H/U.Bg 4 二维参数优化——设计#1 bae;2| w 6T s[NXa  />n!2'! ON9L+"vqv0 二维参数优化——设计#2 ;ObrBN,Fu "H#pN;)+  $5:I~ -mx :s*t \09V7 制造公差分析 3i1TBhs6 #&X5Di[A  X-*LA*xbN 3Cgv($xl& 变光栅周期三维参数优化 H<3:1*E U@9v(TfV
 21O@yNpS$ iU RSYR 制造公差分析 6of9lO: >n3ig~0d  $zM \Jd =QK ucLo VirtualLab Fusion 技术 RN&6z"| jR zZ,"HY=jN  CG;+Z-"X .W\JvPTC
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