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摘要 DH !~ BB; yjX9oxhtL 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 X=&ET)8-Y .p3,O6y2(F  Ykw* &opz 13=AW 设计任务 *I.f1lz%* %3 -y[f  .f2bNnB~pP BoWg0*5xb 光栅光学装置 -zgI_u9=EB > uB# &Q  z'n:@E I-*S&SiXjI 偏振分析器 83\pZ1>)_ &)ChQZA  19)i*\ + D?_Zl;bQ'^ 优化 - % h.t+=U j{A y\n (  VA_PvL.9 .@U@xR u7| 参数运行 }< SQ !CT5!5 T
 *vxk@ `K~ }2.`N%[ 关于光栅周期选择的考虑 `(V3:F("@ *)T^Ch D,
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 *zvx$yJ? [D4SW# 偏振相关衍射特性 <uw9DU7G x*U)Y  w-MCZwCr) )yZ^[uJ}3C 固定周期二维参数优化 ;))+>%SGCt h2]P]@nW;W  u?(d gJ 二维参数优化——设计#1 ~Otoqu| :>f )g  )lqAD+9Q G@X% +$I 二维参数优化——设计#2 K;H&n1 +.FEq*V  : bq8N@P/ rcG"o\g@+ 制造公差分析 +_ oJ}KI {Gk1vcq  {]@= ijjf e 2oa($9 变光栅周期三维参数优化 KBc1{adDx@ > jLY"
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