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摘要
>)VWXv0 +<fT\Oq# 众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 na_Wp^; [FeN(8hGS x]vyt}oCmk yHn8t]{ 设计任务 IgPU^?sp jfpbD
/ O&r9+r1` '}F..w/ 光栅光学装置 9b)'vr*Hy7 D;6C2>U~L _^`TG]F rAS2qt 偏振分析器 Gk!CU"`sP VN]j*$5
S%o6cl = e5m]mzF@ 优化 OZ}o||/Rc rS_pv=0S QG5)mIJ HjZf3VwI 参数运行 'W/AYF^5 UH#S |o4
#=#bv` 0iVeM!bM 关于光栅周期选择的考虑 D:PrFa Wx8n)
C5=m~ RSIhZYA 偏振相关衍射特性 Su*Pd; Nl9}*3r PKYm{wO- 2D4c|R@+ 偏振相关衍射特性 "O8iO!: 4Q~++PKBe
\:E=B1 M7//*Q'? 偏振相关衍射特性 =:m6ge@C&H *ch7z|wo. nk2H^RM^ \{ff7_mLo 固定周期二维参数优化 VEBvS>i* rDC=rG ,{BF`5bn| 二维参数优化——设计#1 a6hDw'8! LT]YYn($ x{1S!A^ ?y,z 二维参数优化——设计#2 }ssL;q \hZye20 M^0^l9w %APeQy"6#^ 制造公差分析 4']eJ==OH '@WS7`@-y =Iy khrS ^-%O 变光栅周期三维参数优化 ij02J`w:Ra !~te&ccPE
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