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摘要 O"emse}Z vJsx_i\i 众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 )26_7.| -op(26:W< lx&;?QQ :y^%I xs{1 设计任务 )<vuv9=k\% li&&[=6A VH6J
@m 1{?5/F \ + 光栅光学装置 WoWmmZ J'@`+veE Y(C-o[-N O_^;wey0}? 偏振分析器 !T~C =,; oNp(GQ@0 =4804N7 >=d%t6%( 优化 %Iv*u sXP ?K=
X[ s]2_d|Y 17+2`@vJgM 参数运行 15CKcM6 lR0WDJv
$m;DwlM ok(dCAKP 关于光栅周期选择的考虑 p>= b|Qy| r;8X6C
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~^ dr]Pns9 偏振相关衍射特性 UBM:.*wN >rid3~ %SJFuw" Rp_)LA 偏振相关衍射特性 Q$8K-5U% #SqU>R
-p[!CI ;CLOZ{ 偏振相关衍射特性 # GOL%2X evGUl~</~ UpS7>c7s TcOmBKps' 固定周期二维参数优化 [xH Hm5$ Mh8s @g v&Oc,W 二维参数优化——设计#1 $n* wS, ZHimS7 F-PQ`@ZNW _7b' i6- 二维参数优化——设计#2 ")D5ulb\ ?V' zG&n@ VQ^}f/A ~;yP{F8? 制造公差分析 J3c8WS{: ^n9)rsb +AYB0`X) ;%!]C0? 变光栅周期三维参数优化 :EV*8{:aLU Z!2%{HQ=q
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