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摘要 F#efs6{ 7G_lGV_ 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 [|HQfTp$ ):Ekf2  &0-Pl.M "xD5>(|^+Q 设计任务 U(:t$SBKy #- d-z V* 
'F N3r +Pn` AV1 光栅光学装置 \<y#$:4r<8 ;[Hrpl
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 #DH eEE S'v UxOAo 关于光栅周期选择的考虑 3-2?mV>5 d _koF-7
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 %] 7.E aeF^&F0 偏振相关衍射特性 O<w7PS ,1e@Y~eZ
 .'N#qs_ ia /_61% 偏振相关衍射特性 \[x4 cY*lsBo  & |o V\L $d7{ q3K&1 固定周期二维参数优化 <3Hu(Jx<O %b UpVyi!(  \t@|-` 二维参数优化——设计#1 JTB5#S4W (*Y ENT}  Cqk6I gw y< 5xlN(+v 二维参数优化——设计#2 rW3fd.;kss yh Ymbu  S-+^L| c b~ m==G 制造公差分析 ;rH@>VrR Ss7XjWP.}  tMy@'nj .{W)E 变光栅周期三维参数优化 K&noA W1J7$
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