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摘要 Me|+)}'p5h q*ki eqG 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ^FZ7) T D8I)3cXa'  D_MNF =7 `9yR,Xk=l 设计任务 |}y6U< I *E- VS= #  fpK` +iL,8eW 光栅光学装置 T1}9^3T?{ S3( 2.c~  !1 M=9 ~$! T2$V5R yX 偏振分析器 }:5>1FfX= }hj J t,m  Q,
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a(DGX 优化 EjYCOb- @`X-=GCl  ErDt ~FH 2r]!$ hto 参数运行 VN1a\ V,@Y,
 ecI[lB :8<\]}J 关于光栅周期选择的考虑 fP9k(mQX VC6S4FU4K
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;m1I+; W2a 9P_  Y_) aoRjB q;kN+NK64 偏振相关衍射特性 K)!?np{km q&- A}]
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YGv ]bq<vI% 固定周期二维参数优化 F<UEipe/N fi[c^e+IX  k_=~ObA$g 二维参数优化——设计#1 h69: Tj! fQ&:1ec  rX%qWhiEJ Cz\(.MWNZ 二维参数优化——设计#2 !S/hH% C _cZ`7 ]Z  &B^vHH C_[V[k0( 制造公差分析 { )t6DH# P7I,xcOm  O /IW.t [G/q*a:K 变光栅周期三维参数优化 Bu'PDy~W, U C^Bn1
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