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摘要 [9 5(%&k.Q I0(BKMp& 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 pB&3JmgR$) >:Na^ +c  UQaLhK v: @R_a'v- 设计任务 KF|+# qCN &v Lz{  3DV'; _Buwz_[& 光栅光学装置 e ,/I}W fB:9:N X  JC(rSs* aA- A>z 偏振分析器 68Vn]mr# GRB/N1=  L$cNxz0$ D!h8NZ;El 优化 ,G!M?@Q od {Y`
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I ] |iKk'Rta4  mE'y$5ZxY 二维参数优化——设计#1 GR @!mf ^hzlR[  FRd!UqMXY <`k\kZM 二维参数优化——设计#2 '9c`[^ X1&Ug ^  /ts=DxCC; p4C w#)BaS 制造公差分析 ^u&oS1U 8^\} \@  Zt4g G KG u\wdb^8ds 变光栅周期三维参数优化 <f.* =/]W2 "RMBV}<T
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