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摘要 ]r3Kg12Mi pGSai& 众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 >6oOZbUY0 ~V/?H!r'{} GZ{]0$9I' H33i*][H 设计任务 L{E^?iX kNT}dv]< hoT/KWD, /t6X(*xoy 光栅光学装置 BC,.^"fA6 be e5 rCS#{x .>wv\i[p 偏振分析器 DAg58
=qJ QI]Ih BSq)RV/3 );*YQmdx' 优化 k'$!(*]\b m=Q[\.Ra m%"uPv\ p'sc0@}_O 参数运行 v+e|o:o# ?0_7?yTR/
eUl/o1~mXa QRLJ_W^&u 关于光栅周期选择的考虑 x f4{r+ tA$)cg+.
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xETA =2y8CgLj 二维参数优化——设计#1 5cK@WE: ;nmM7TZ; ^MD;"A< n:U>Fj>q 二维参数优化——设计#2 FFEfp.T1M gPzL*6OSA )4xu^=N&as ?zq+jLyo 制造公差分析 `>D9P_Y"jI &V7>1kD3 Fv?=Z-wk (#q<\` 变光栅周期三维参数优化 /w]&t\]* }<MR`h1
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