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摘要 >HXmpu.O mME a*9P 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 v/yt C/WH" =K2mR}n\;  JH0L^p &% \`Lwh 设计任务 q"[8u ]j ^l\^\ >8  *0`oF TJ 4W ''j[Y/ 光栅光学装置 Ih.6"ISK} HjAQF?;V  &L S&O 0-W{( xy@4 偏振分析器 S:En 9E V3u[{^^f  $3Ct@}=n 6Q. _zk 优化 |[VtYV _{ ^{T3lQvt  LA.x LU3 u9*}@{, 参数运行 -PSI^%TR# bt,^- gt@
 x_o L~~@ Sh=P x9'i 关于光栅周期选择的考虑 siHS@S 6"Km E}
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d) 固定周期二维参数优化 7R mL#f` N;A #3Ter  H N\Zr b 二维参数优化——设计#1 XB)e;R ,*2%6t`N?  Ds$8$1=L=k |#x;} _>7 二维参数优化——设计#2 Rla4XN=mf 66?!"w  *Rv eR?kO k[l+~5ix 制造公差分析 ={?} [E oAX -Sg-/$  _dj< xPO z i23k= 变光栅周期三维参数优化 uj Zki.x 2h V#3i
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