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摘要 oV|O`n 3]Z1kB 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ~# -?V[ H4$qM_N  }LHYcNw^z ^7gG tz2 设计任务 w^ yb`\$ X Xque-  Y]z
:^D j-<]O OD 光栅光学装置 y Zaf q"o ]e>qvSuYh  m%'nk"p9 #M,&g{ 偏振分析器 GkGiQf4hh I!x.bp~V!  Y:^hd809 C$[d~1t6 优化 8 Rx@ _ 1\}vU  x|H`%Z <Ap_# 参数运行 3I)~;>meo bI):-2&s}
 {u'szO}k X+X:nL.t 关于光栅周期选择的考虑 aZ#FKp^8H Tz
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 N$fP\h^AR iZGbNN 偏振相关衍射特性 wNB?3v{n |G j.E  P,v7t wc0M 7e_4sxg'(3 固定周期二维参数优化 ]U?nYppV corm'AJ/  )g pN
5TDd 二维参数优化——设计#1 rH}|~ ;jP sS^X  d$ouH%^cGu UZdnsG7 二维参数优化——设计#2 pb!2G/,.[ \!ZA#7  p=+Y7NE) 1k[_DQ=^l1 制造公差分析 ,!=
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GT6; I7
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