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摘要 Zjs,R { Wu l8ej: 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 >,rzPc) vq@"y%C4  i?)bF!J u{dkUG1ia 设计任务 5r;)Ppo /Wdrpv-%,1  {yi!vw A}3E)Qo=G 光栅光学装置 } R:oWR Eok8+7g0&  b0tbS[j 715J1~aRNr 偏振分析器 j T;'T$ j9cB<atL  9>_ VU"T `eGp.[ffT 优化 s,D GFK tao9icl*`  3;!a'[W&p 2"o <>d 参数运行 QEmktc1 7 I Efm>N-]
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 #EH\Q% aecvz0}@R 偏振相关衍射特性 mr VN&. swhtlc@@  cr^R9dv (c[DQS j 固定周期二维参数优化 kioIyV\= ikP r>  >.REg[P 二维参数优化——设计#1 Z ,F 1n/7 pU u')y  FwQGxGZ EV~?]Kt~ 二维参数优化——设计#2 I*(7(>zgyv c>C !vAg  GU xhn @ _h=,g #@ 制造公差分析 <*p [bN_0T.YI  < -Ax)zE #Vm)wH3 变光栅周期三维参数优化 3LVL5y7| w/7vXz<
 AgdU@&^ !,*Uvs@b 制造公差分析 B{1yMJA a $G hb]  iyMoLZ5 1 w> G8 VirtualLab Fusion 技术 )/{~ &L U az Oib=3fz  "%=K_WJ? "+B uFhSLf
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