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摘要 !#WQ8s!?o GQk/ G0*& 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 \8m9^Z7IfK Nnr[@^M5  _+nk3-yQw pL}
F{G. 设计任务 J~4 mp\4b `LLmdm 6i  R4R\ B @$ Nti> 光栅光学装置 " C&>$h_% CTKw 2`5u  r_T"b _9H]:]1QH 偏振分析器 9I2&Vx=DSt rXT? w]4  %&VI-7+K m@+QC$6S 优化 6-tIe _5 Z2`M8xEiH  0^nF : F 5h^BXX|Y* 参数运行 q
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 q~5zv4NX MffCk!] 关于光栅周期选择的考虑 reArXmU<u 9}a$0H
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 \P9ms?((A 1n}#54 偏振相关衍射特性 53ZbtEwhwr ^BRqsVw9  _'1 ]CoR oIx|)[ 固定周期二维参数优化 ?PTXgIC /SS~IhUX  xP9h$! 二维参数优化——设计#1 ,ayJgA D dQ-shfTr]  7B\N P`l # .*&#w) 二维参数优化——设计#2 &0y` Gt %,z;W-#gnY  P(2OTfGGx ~$C<^?"b 制造公差分析 CadIu x^ 4r ~K`)/S'  z_lKq}^~6 g] }! 变光栅周期三维参数优化 O $e"3^Pa f.^|2T I1g
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