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摘要 r91i : =Gj~:|;$
[V8^}s}tF oPBKPGD 在VirtualLab Fusion中,用户可以在光学表面定义任意区域。光栅界面/堆栈可以添加到这个区域内。为了在区域内简便地定义光栅的方向,可以使用两个角度:“指向(关于z轴旋转)”和“关于y轴旋转180”。这个用例展示了如何设置这两个角度去控制某个区域内光栅的方向。目前仅在Waveguide工具箱中支持光栅区域的设置。 jC:D> BINHCZ 建模任务 `'r~3kP*NT ;[Xf@xf
opn6 C ) (6H7?nv 在一个表面的光栅区域中定义光栅方向,使用了“ u f<%!=e ─ 指向(关于z轴旋转),使用锯齿光栅说明。 bhg6p$411 ─ 关于y轴旋转180,使用矩形光栅说明。 QCDica `+* Je"XIhBr 示例 Ap"%%D^{: *j <#5=l 9' H\- vKPLh 通过设置光栅和界面的坐标系的关系,可以定义界面上的光栅方向。 FB,rQ9D ─ 蓝色坐标系代表光栅坐标系,黑色坐标系代表界面坐标系。 :.BjJ2[S ─ 通过设置指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))和关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180),在界面坐标系中,光栅坐标系进行了旋转。 &.yX41R ─ 我们还将在远离光栅的探测器平面中显示衍射阶数,以给出光栅方向。 \%}]wf} =D?HL? 关于z轴旋转的图示 WHjJR .2rpQa/h pnuwjU- #jxPh!%9 使用锯齿光栅说明指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))。 Q>\DM'{:4 光栅关于y轴是非对称的,所以+1st和-1st阶的衍射效率并不是对称的。所以,我们可以很容易地从检测到的衍射阶数看到光栅旋转引起的效果。 wUg=jnY e8_EB/)_Z 指向(关于z轴旋转):0° I3Z\]BI |z@AvS[
y fuH *U\`HUW 注意:默认坐标系的所有基本矢量(x,y,z矢量)完全相同。 pfl^GgP# >#T?]5Z'MF 指向(关于z轴旋转): 30° BGH'&t_5 u]9 #d^%V ,N_V(Cx5pt -
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i 注意:方向角度的定义为: "~K ph0- ─ 关于界面坐标轴。 +>Y]1IlI ─ 逆时针方向。 |{%$x^KyJ NVom6K 指向(关于z轴旋转): -90° siV]NI':| Y>2#9LA
AEFd,;GF wYS r.T8Q 注意:方向角度非常灵活,可以根据用户偏好定义为从-360到360任意值。 3F6A.Ny
B'y)bY'_dS 关于y轴旋转180°示例 K1;b4Sl?A [oXr6M:
YoQQ , W=HHTvK9Hh 使用矩形光栅界面(注意光栅堆栈也可以放在界面上)说明关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180)。当相对狭缝占宽不是50%,界面两侧介质固定时,旋转前和旋转后给出了两种不同的光栅堆栈,这导致了衍射效率的不同分布。 ?d3<GhzlR3 &u<%%b| 关于y轴旋转180°(未选中) .M[t5I'\ VGCd)&s
(v0Q.Q@< ka`}lR 注意: S]e;p\8$Z 默认时,为了保持光栅坐标系和界面坐标系的重叠,光栅添加到光学界面的右侧(z轴和z‘轴相同)。 (2 hI 坐标系定义与光栅工具箱中稍有不同,因为在光栅工具箱中: vMJ_n=Vf ─ 如果光栅界面加在衬底的第一层界面,其z轴和x轴与平面界面的方向完全相反。 ][ 8`}ki 1 ─ 如果光栅界面加在衬底的第二层界面,坐标系完全相同,但与此处相比(假设衬底是二氧化硅)第二个界面前后的材料相反。 fCO<-L9k$ 9A`^ ( 关于y轴旋转180(选中) RO[X#c Kb/qM}jS
e+m(g 7D~~<45ct 注意: Smh=Q4,W 矩形光栅界面关于光学界面的y轴旋转180,所以看到光栅接口两侧的材料都切换了,所以光栅堆栈变成了例2. O2lM;=" G;pc,\MF 例1和例2的附加信息 G8Ow;:Ro
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