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摘要 \))=gu)I w2xG_q
/N-_FMl? o5n^!gi4 在VirtualLab Fusion中,用户可以在光学表面定义任意区域。光栅界面/堆栈可以添加到这个区域内。为了在区域内简便地定义光栅的方向,可以使用两个角度:“指向(关于z轴旋转)”和“关于y轴旋转180”。这个用例展示了如何设置这两个角度去控制某个区域内光栅的方向。目前仅在Waveguide工具箱中支持光栅区域的设置。 3.)b4T nJbbzQ,e 建模任务 l)-Mq@V ]0r|_)s
YQ0)5 } W8g'lqc| 在一个表面的光栅区域中定义光栅方向,使用了“ S{K0.<,E ─ 指向(关于z轴旋转),使用锯齿光栅说明。 v{<[)cr ─ 关于y轴旋转180,使用矩形光栅说明。
$@i"un; 2:LHy[{5 示例 emW:C-/h/@ &'' WRgZ} y4Er@8I` (7DXRcr< 通过设置光栅和界面的坐标系的关系,可以定义界面上的光栅方向。 n$:IVX"2b ─ 蓝色坐标系代表光栅坐标系,黑色坐标系代表界面坐标系。 /(8a~f&%r ─ 通过设置指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))和关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180),在界面坐标系中,光栅坐标系进行了旋转。 HBB{m ─ 我们还将在远离光栅的探测器平面中显示衍射阶数,以给出光栅方向。 UgN28YrW x^*1gv $o 关于z轴旋转的图示 /xJqJ_70X _U{&@}3
Y[SU&LM fKtV'/X;Q 使用锯齿光栅说明指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))。 !JBae2Z 光栅关于y轴是非对称的,所以+1st和-1st阶的衍射效率并不是对称的。所以,我们可以很容易地从检测到的衍射阶数看到光栅旋转引起的效果。 )J(q49 &5t :H 8b 指向(关于z轴旋转):0° Yif*"oO x#C@8Bxq=
PNeh#PI6) \x>65; 注意:默认坐标系的所有基本矢量(x,y,z矢量)完全相同。 _e!F~V. voe7l+Xk 指向(关于z轴旋转): 30° ^S#t|rN
A-ZmG7xk q/1Or;iK
st'D 注意:方向角度的定义为: 6>
{r6ixs1 ─ 关于界面坐标轴。 t_ur&.^SB ─ 逆时针方向。 5HS~op2n/ &2I*0 指向(关于z轴旋转): -90° [hRU&z;W N]YtLa,t
>\A8#@1 H0"= Vs,n 注意:方向角度非常灵活,可以根据用户偏好定义为从-360到360任意值。 s0hBbL0DH /( 6|{B 关于y轴旋转180°示例 OVk~N) pe&UQ C^
7L:7/ A 699FQ 使用矩形光栅界面(注意光栅堆栈也可以放在界面上)说明关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180)。当相对狭缝占宽不是50%,界面两侧介质固定时,旋转前和旋转后给出了两种不同的光栅堆栈,这导致了衍射效率的不同分布。 9TxyZL
efz&@|KR 关于y轴旋转180°(未选中) )$x_!=@1 B
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;,OfJ'q^ =GR'V 注意: 8n?kZY$, 默认时,为了保持光栅坐标系和界面坐标系的重叠,光栅添加到光学界面的右侧(z轴和z‘轴相同)。 #Tp]^
n 坐标系定义与光栅工具箱中稍有不同,因为在光栅工具箱中: 3,aN8F1;C ─ 如果光栅界面加在衬底的第一层界面,其z轴和x轴与平面界面的方向完全相反。 xU9@$am ─ 如果光栅界面加在衬底的第二层界面,坐标系完全相同,但与此处相比(假设衬底是二氧化硅)第二个界面前后的材料相反。 ?HHzQ4w%{ ~=y3Gd
B3 关于y轴旋转180(选中) EqM;LgE=
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=fyyqb4 dX
)W0 注意: .+K
S` 矩形光栅界面关于光学界面的y轴旋转180,所以看到光栅接口两侧的材料都切换了,所以光栅堆栈变成了例2. gH:ArfC o`r(`6@ 例1和例2的附加信息 +'03>!V 'qv;sB.
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