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摘要 \l%xuT ~Bd=]a$mj
'%)R}wgV cTqkM@S 在VirtualLab Fusion中,用户可以在光学表面定义任意区域。光栅界面/堆栈可以添加到这个区域内。为了在区域内简便地定义光栅的方向,可以使用两个角度:“指向(关于z轴旋转)”和“关于y轴旋转180”。这个用例展示了如何设置这两个角度去控制某个区域内光栅的方向。目前仅在Waveguide工具箱中支持光栅区域的设置。 U)S=JT~h <Au2e 建模任务 Wboh2:TH: 2iAC_"n
DL]tg[w{ JTlk[c 在一个表面的光栅区域中定义光栅方向,使用了“ I<SgKva;c ─ 指向(关于z轴旋转),使用锯齿光栅说明。 y4V:)@P ─ 关于y轴旋转180,使用矩形光栅说明。 l6viP}R Mf}M/Fh 示例 :Mf" 6Rd4waj_,U 9
_d2u# iyskADS 通过设置光栅和界面的坐标系的关系,可以定义界面上的光栅方向。 EeIDlm0o ─ 蓝色坐标系代表光栅坐标系,黑色坐标系代表界面坐标系。 L74Mz]v ─ 通过设置指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))和关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180),在界面坐标系中,光栅坐标系进行了旋转。 _KT!OYH ─ 我们还将在远离光栅的探测器平面中显示衍射阶数,以给出光栅方向。 jYsAL=oh,* {4"V)9o-1> 关于z轴旋转的图示 }`"`VLh 4
1_gak; <v"o+ L'e_?`!: 使用锯齿光栅说明指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))。 n,la<N] 光栅关于y轴是非对称的,所以+1st和-1st阶的衍射效率并不是对称的。所以,我们可以很容易地从检测到的衍射阶数看到光栅旋转引起的效果。 w =^.ICyb@ 0lw>mxN 指向(关于z轴旋转):0° gk ]QR. g 7oY 1;
Onmmcem "fFSZ@,r 注意:默认坐标系的所有基本矢量(x,y,z矢量)完全相同。 ?KT{H(rU Bqx5N" 指向(关于z轴旋转): 30° \P\Z<z7jy qnm_#!&uHT JAbUK[:K ,d
G. 67 注意:方向角度的定义为: 1MelHW ─ 关于界面坐标轴。 nHK(3Z4G ─ 逆时针方向。 Qm%F]nyy H=dIZ 指向(关于z轴旋转): -90° @Z)|_ u\R?(G&
Cu"Cpt[ Bx\&7|,x 注意:方向角度非常灵活,可以根据用户偏好定义为从-360到360任意值。 sFU< PgV ~lj~]j 关于y轴旋转180°示例 kmB!NxF>)F jU,Xlgz(A
$JE,u'JQ b*|~F 使用矩形光栅界面(注意光栅堆栈也可以放在界面上)说明关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180)。当相对狭缝占宽不是50%,界面两侧介质固定时,旋转前和旋转后给出了两种不同的光栅堆栈,这导致了衍射效率的不同分布。 37AVk`a 0^;2 关于y轴旋转180°(未选中) :=QX ^* P<<$o-a"
=KRM`_QShg 7 WJ\nK 注意: bMH~vR 默认时,为了保持光栅坐标系和界面坐标系的重叠,光栅添加到光学界面的右侧(z轴和z‘轴相同)。 <}a?<):S 坐标系定义与光栅工具箱中稍有不同,因为在光栅工具箱中: .6?"<zdPU ─ 如果光栅界面加在衬底的第一层界面,其z轴和x轴与平面界面的方向完全相反。 'uPAG;)m ─ 如果光栅界面加在衬底的第二层界面,坐标系完全相同,但与此处相比(假设衬底是二氧化硅)第二个界面前后的材料相反。 XN<SKW(H3 q*!R4yE; C 关于y轴旋转180(选中) nD
wh ?W/.'_
Z:4/lx7Bq 5'%I4@Qn+ 注意: !\4x{Wa] 矩形光栅界面关于光学界面的y轴旋转180,所以看到光栅接口两侧的材料都切换了,所以光栅堆栈变成了例2. z2=bbm: h$S#fY8 例1和例2的附加信息 w$2q00R> ^BsT>VSH6
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