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摘要 Xy*X4JJh^ GIVs)~/Eq *Kzs(O ga^<_;5< 在VirtualLab Fusion中,用户可以在光学表面定义任意区域。光栅界面/堆栈可以添加到这个区域内。为了在区域内简便地定义光栅的方向,可以使用两个角度:“指向(关于z轴旋转)”和“关于y轴旋转180”。这个用例展示了如何设置这两个角度去控制某个区域内光栅的方向。目前仅在Waveguide工具箱中支持光栅区域的设置。 K=5_jE^e H[N&Wiq/| 建模任务 )Qxv9:X n'*L jp $fKwJFr !v;r3*#Nky 在一个表面的光栅区域中定义光栅方向,使用了“ 2K*-uT#$~ ─ 指向(关于z轴旋转),使用锯齿光栅说明。 uWnS<O ─ 关于y轴旋转180,使用矩形光栅说明。 G0s:Dum /#G"'U/ 示例 l!AZ$IV >qF KXzI iKabo,~ z~
u@N9M 通过设置光栅和界面的坐标系的关系,可以定义界面上的光栅方向。 LVEVCpp@ ─ 蓝色坐标系代表光栅坐标系,黑色坐标系代表界面坐标系。
18A&[6"! ─ 通过设置指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))和关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180),在界面坐标系中,光栅坐标系进行了旋转。 '*,4F' ─ 我们还将在远离光栅的探测器平面中显示衍射阶数,以给出光栅方向。 _SP
u`=~K )ql?} 关于z轴旋转的图示 Gm2rjpZeq tiE+x|Ju" 'c$9[|x ONjc},_ 使用锯齿光栅说明指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))。 J/<`#XZB
光栅关于y轴是非对称的,所以+1st和-1st阶的衍射效率并不是对称的。所以,我们可以很容易地从检测到的衍射阶数看到光栅旋转引起的效果。 BWPYHWW}E >A,WXzAK}S 指向(关于z轴旋转):0° E+1j3Q; Lv^ j
l ^p7( Awh"SUOh0 注意:默认坐标系的所有基本矢量(x,y,z矢量)完全相同。 ?*s!&-KI GO)rpk9 指向(关于z轴旋转): 30° W"-nzdAJ5 Mc}x]j`f #wjBMR% tJu<#hX 注意:方向角度的定义为: Y+j KP*ri ─ 关于界面坐标轴。 ,?d%&3z<a ─ 逆时针方向。 |fI%L9 Ksp;bfe 指向(关于z轴旋转): -90° R]Yhuo9,&n nDOIE)# j>b OnCp~ ]s -6GT 注意:方向角度非常灵活,可以根据用户偏好定义为从-360到360任意值。 3
#wj- LuqaGy}>- 关于y轴旋转180°示例 lhI;K4# 6+u'Tcb K?tk&0 $"FdS,*qKl 使用矩形光栅界面(注意光栅堆栈也可以放在界面上)说明关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180)。当相对狭缝占宽不是50%,界面两侧介质固定时,旋转前和旋转后给出了两种不同的光栅堆栈,这导致了衍射效率的不同分布。 jFXU
xf UJH{vjIv 关于y轴旋转180°(未选中) h[8y$.YsC j%}Jl LX fiSM{o _-&.=3\1 注意: heKI<[8l 默认时,为了保持光栅坐标系和界面坐标系的重叠,光栅添加到光学界面的右侧(z轴和z‘轴相同)。 G'py)C5; 坐标系定义与光栅工具箱中稍有不同,因为在光栅工具箱中: Xp~]kRm9 ─ 如果光栅界面加在衬底的第一层界面,其z轴和x轴与平面界面的方向完全相反。 (Lo2fY5 ─ 如果光栅界面加在衬底的第二层界面,坐标系完全相同,但与此处相比(假设衬底是二氧化硅)第二个界面前后的材料相反。
[dJ\|= *YtNt5u 关于y轴旋转180(选中) O%&@WrFq YzZF^q^I WNb$2q= W =zG 注意: ger<JSL% 矩形光栅界面关于光学界面的y轴旋转180,所以看到光栅接口两侧的材料都切换了,所以光栅堆栈变成了例2. Xu_<4 g,:Nzb 例1和例2的附加信息 [KH?5C rxK0<pWJhx K8J2eV\ 88>Uu!M=f
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