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摘要
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uHro%UAd 87(^P3;@ 在VirtualLab Fusion中,用户可以在光学表面定义任意区域。光栅界面/堆栈可以添加到这个区域内。为了在区域内简便地定义光栅的方向,可以使用两个角度:“指向(关于z轴旋转)”和“关于y轴旋转180”。这个用例展示了如何设置这两个角度去控制某个区域内光栅的方向。目前仅在Waveguide工具箱中支持光栅区域的设置。 HCIF9{o1j> '<=MhNh\ 建模任务 GLQvAHC /eRtj:9M
|~uzQU7 A] ?O&m| 在一个表面的光栅区域中定义光栅方向,使用了“ _
1{5~
─ 指向(关于z轴旋转),使用锯齿光栅说明。 OEE{JVeI ─ 关于y轴旋转180,使用矩形光栅说明。 8}oDRN!J !en F8a 示例 %H}Y]D~R e~s7ggg2k n{Qh8" wwcwYPeg 通过设置光栅和界面的坐标系的关系,可以定义界面上的光栅方向。 .&Pe7`.BE ─ 蓝色坐标系代表光栅坐标系,黑色坐标系代表界面坐标系。 To8v#.i ─ 通过设置指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))和关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180),在界面坐标系中,光栅坐标系进行了旋转。 v~2XGm ─ 我们还将在远离光栅的探测器平面中显示衍射阶数,以给出光栅方向。 :z} _y&] ,q@(L 关于z轴旋转的图示 _d0-%B
9m SxW}Z_8x fI
d) vx5o
k1UY 使用锯齿光栅说明指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))。 txfwLqx 光栅关于y轴是非对称的,所以+1st和-1st阶的衍射效率并不是对称的。所以,我们可以很容易地从检测到的衍射阶数看到光栅旋转引起的效果。 )]b@eGNGj ua|Z`qUyq 指向(关于z轴旋转):0° _ K+V?-= {.D2ON
&]yJCzo] %cr]ZR 注意:默认坐标系的所有基本矢量(x,y,z矢量)完全相同。 <,X+`m& v*'iWHCl, 指向(关于z轴旋转): 30° Ul713Bjz
~\:j9cC zj$_iB`9 dI
ZTLb"a 注意:方向角度的定义为: c7l!G~yx' ─ 关于界面坐标轴。 rI^~9Rz ─ 逆时针方向。 ^z%o]; e7bT%h9i 指向(关于z轴旋转): -90° >H1|c%w af?\kBm
_/]:=_bf_z /Xu;/MMpd3 注意:方向角度非常灵活,可以根据用户偏好定义为从-360到360任意值。 }u3H4S<o $>h!J.t 关于y轴旋转180°示例 kJvy<(iG %I|+_ z&x
{c\oOM<7 SCh7O} 使用矩形光栅界面(注意光栅堆栈也可以放在界面上)说明关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180)。当相对狭缝占宽不是50%,界面两侧介质固定时,旋转前和旋转后给出了两种不同的光栅堆栈,这导致了衍射效率的不同分布。 IGK_1@tq bDZKQ& 关于y轴旋转180°(未选中) l\sS? -0KbdHIKb'
(|36!-(iK cJHABdK- 注意: S QM(8*:X 默认时,为了保持光栅坐标系和界面坐标系的重叠,光栅添加到光学界面的右侧(z轴和z‘轴相同)。 kHJDX; 坐标系定义与光栅工具箱中稍有不同,因为在光栅工具箱中: / 8WpX ─ 如果光栅界面加在衬底的第一层界面,其z轴和x轴与平面界面的方向完全相反。 j""y2c1 ─ 如果光栅界面加在衬底的第二层界面,坐标系完全相同,但与此处相比(假设衬底是二氧化硅)第二个界面前后的材料相反。 }[KDE{,V [aWDD[#j~ 关于y轴旋转180(选中) p-i.ITRS 0x]OF8=J
*_{l !rsa4t@t 注意: w`.T/ 矩形光栅界面关于光学界面的y轴旋转180,所以看到光栅接口两侧的材料都切换了,所以光栅堆栈变成了例2. N[a ljC-R ET,0ux9F 例1和例2的附加信息 ! =\DC,-CB @`IXu$Wm(
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