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均匀化的概念 4T{+R{_Y1 S}cpYjnH8 VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： 1*Yf[;L • 微透镜阵列 c'vxT<8fWW • 衍射扩散器 w byY? tH • 计算机生成的全息图 +5JCbT@y • 相位板 S>/p6}3] • 单元阵列 T\{ on[O
m$ NBG w 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 p& > *bF,
光学仿真和设计包括: ( Ub=s C • 衍射 S1E =E5 • 干涉 [V|,O'X ~ • 空间和时间相干度 +\fr3@Yc • 像差 9gZMfP • 偏振 /!=uM . • 光强 &B Y%<h0c
rr>QG<i;G 应用 X};m \Bz
=;W"Pi;* 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： nL%; ^`*8 • 信息显示 mS p - • 测量系统 Hzcy ' • 室内照明 1XSA3;ZEc • 汽车 9z$]hl • 军事 IEfzu L<v • 光刻 X,C&nqVFm8
`MA ee8u' 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 w},' 1 优点Benefits g{.>nE^Sc5
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@{rk p 微光学元件的照明系统有以下几大优点： 6}='/d-[ • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. m4 b fW • 产生任意的二维图案. <H<5E'm • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. w < 3}(1 • 非常紧凑的照明系统. zl F*F8> m  <W~5;m 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
r(y1^S9!8
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： LZch7Xe3
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. g]E DL<b
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. RrSSAoz1
• 可以产生一般的二维图案. )xX(Et6+`
• 单色光和白光的整形. >J_{ mU
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六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. ^m;dEe&@F
衍射扩散器 J]UlCg
QWH1xId
衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： >!s = f
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. WMnR+?q
• 生成任意的二维图案. (JH LWA H
• 仅用于单色LED或准分子激光. SlB,?R 2
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 I<e[/#5P\`
单元阵列 },KY9w
i>HipD,TD
光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： vo ) pT
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. %^ n9Z /I
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. mr6/d1af_
• 产生任意的二维图案. RIOR%~ U
• 用于单色光和白光. |7,|-s[R^
 y3F13 Z@%
由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 wUWSW <
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