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均匀化的概念 aXOW +$, &
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CA VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： VR5CRN BJ • 微透镜阵列 6A$
Y]u • 衍射扩散器 PIo8m f/ • 计算机生成的全息图 k4@$vxy0 • 相位板 ;_bZH%o. • 单元阵列 H]zi>;D
)\xDo<@ 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 1]DPy+
光学仿真和设计包括: )iKV"jsC • 衍射 r2t|,%%N7 • 干涉 oR``Jiob| • 空间和时间相干度 yX`5x^w Vw • 像差 *#{V ^} • 偏振 VXfp=JE • 光强 `]u! 4pP"
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}g{ 应用 v|]1x2191
L4Nn:9b 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： B\ <;e • 信息显示 %$'YP • 测量系统 .()|0A B&g • 室内照明 =qg;K'M5 • 汽车 k'(d$;Jgr • 军事 W UN|,P`b • 光刻 Xc>M_%+ R
@2X{e7 +D 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 Tgf\f%,h 优点Benefits 0Z11V9Jk
*_ qLLJg 微光学元件的照明系统有以下几大优点： Z?@oe-mz • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. T_=IH~" • 产生任意的二维图案. >GV(\In • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. P5$L(x%~ • 非常紧凑的照明系统. ! 0}SZ  8lNkY`P7s 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
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微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： $ \9M6k'
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. >>>& {>}!
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. i 6DcLE
• 可以产生一般的二维图案. GW;\ 3@o
• 单色光和白光的整形. L-,C5^
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1:7 9
六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. ab@1 JAgs
衍射扩散器 CRh.1-
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衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： o<\u Hr3
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. SQS PdR+
• 生成任意的二维图案. DwNEq Hi
• 仅用于单色LED或准分子激光. X< 8
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 M hwuh`v%
单元阵列 ) 8 _ x
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光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： q+J;^u"E
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. x^959QO~
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. ->u}b?aF
• 产生任意的二维图案. k^i\<@v
• 用于单色光和白光. 02F\1fXS
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由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 5
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