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SM4'3d&mf
均匀化的概念 Q[9W{l+ EU by QL VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： A&{eC
C • 微透镜阵列 M%OUkcWCk • 衍射扩散器 HfEl
TC:3f • 计算机生成的全息图 A&V'WahC@I • 相位板 v, Z?pYYo • 单元阵列 q}C;~nMD
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wku6lCk 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 l6N"{iXU
光学仿真和设计包括: ^sF(IV[> • 衍射 |?v+8QL,;t • 干涉 ]f6,4[ • 空间和时间相干度 a&Me#H{ • 像差 "}b/[U@> • 偏振 xmejoOF • 光强 jx Z_-1
LC qWL 1 应用 i^)JxEPr w
=3=8oF x8 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： e
3TKg • 信息显示 19i =kdH • 测量系统 zqLOwzMlLx • 室内照明 Bqw/\Lxwlf • 汽车 -HRa6 • 军事 _$yS4= . • 光刻 |$[.X3i
rxOv YF 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 l - ~PX 优点Benefits /d> Jkv
hLaQ[9 微光学元件的照明系统有以下几大优点： 5k;}I|rg % • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. 91UC>]}H • 产生任意的二维图案. w$aejz`[ • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. rnC<(f22 • 非常紧凑的照明系统. 7! ~)a  vof BS 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
d!y_N&z|(
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： =< Ss&p>
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. K<v:RbU|[1
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. k)a gbx
• 可以产生一般的二维图案. VP^{-mDph
• 单色光和白光的整形. a[J_H$6H!
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六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. J"fv5{
衍射扩散器 %Lom#:L'
B %
衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： ,D' bIk
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. -u g -rdXV
• 生成任意的二维图案. j WK>=|)=c
• 仅用于单色LED或准分子激光. [6%y RQ_
 X(Lz&fkd
4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 Mr@{3do$
单元阵列 {"_V,HmEF+
G;]zX<2^3
光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： -Zqw[2 Q4
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. w +HKvOs5c
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. BX2}a r
• 产生任意的二维图案. e'~<uN>
• 用于单色光和白光. -pQ0,/}K
 } A}Vd:#
由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 +u3vKzD
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