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均匀化的概念 Bo0T}P~ MI`<U:- lP VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： _#
&_`bZH • 微透镜阵列 S5cs(}Bq • 衍射扩散器 ;U? 323Z • 计算机生成的全息图 i3>_E <"9 • 相位板 wid • 单元阵列 SN$3cg]z
A'*#UYn( 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 6?/f $,v
光学仿真和设计包括: v}@Uc-( • 衍射 K)eyFc • 干涉 D$`$4mX@hP • 空间和时间相干度 Io('kCOR; • 像差 On,z # A • 偏振
2l~qzT- • 光强 S4!B;,?AxN
'Xa sd3*Py 应用 " rp P
)t,efg 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： tHFUV\D;, • 信息显示 V@`%k] k • 测量系统 /K<>OyR? • 室内照明 ) Lo hB,? • 汽车 ^j1i CL! • 军事 d[p?B-7% • 光刻 +t(Gt0+
NFf?~I&mfu 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 c7R6.T 优点Benefits 0u I=8j
M2A_T.F=H 微光学元件的照明系统有以下几大优点： A=np ?wc • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. %~N| RSec • 产生任意的二维图案. i,l$1g-i • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. }50s\H._C • 非常紧凑的照明系统. 5+/XO>P1m|  0 R>!jw 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
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微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： 'Ojxzz*tT
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. =r~ExW}+
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. W}WDj:
• 可以产生一般的二维图案. xBE}/F$ 45
• 单色光和白光的整形. 1:q`KkJx
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六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. t]ID
衍射扩散器 9]g`VD6 <v
IG!(q%Gf
衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： ]'0}fuV
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. 2WB`+o Wox
• 生成任意的二维图案. J #;|P-pt
• 仅用于单色LED或准分子激光. N \woFrG
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 12}!oS~_
单元阵列 w[u >*I
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光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： z :A_
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. )J
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• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. S |m|ulB
• 产生任意的二维图案. a@C}0IP)
• 用于单色光和白光. e8k|%m<Sp
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由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 F1% ^,;
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