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均匀化的概念 Rd+P,PO x r(|* VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： O$`UCq • 微透镜阵列 AgF5-tz6x • 衍射扩散器 u!N{y,7W) • 计算机生成的全息图 H]<]^Zmjy • 相位板 ,G^[o,hS • 单元阵列 xa( m5P
64Gi8|P 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 p<WFqLe(":
光学仿真和设计包括: 3HyhEVR-#~ • 衍射 [-*F"}D, • 干涉 e2$]g> • 空间和时间相干度 r^$~>!kZ| • 像差 ~c{:DM • 偏振 [AEBF2OIv • 光强 ,gnQa
ydWtvFu S 应用 N$?cX(|7
M/V(5IoP ( 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： ~!%0Z9>ap • 信息显示 &A!KJ. • 测量系统 fm1X1T . • 室内照明 SP
2 8 • 汽车 e{G_GycH • 军事 KiLvI,9y • 光刻 %IpSK 0<Sp
D_|B2gdZY 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 w5] "ga>Y 优点Benefits #`GbHxd
4Y bC(f 微光学元件的照明系统有以下几大优点： hN`gB#N3 • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. X=qS"O 1 • 产生任意的二维图案. a
ib}`l • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. &J "YsY • 非常紧凑的照明系统. F N"rZW M  nYv#4* 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
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微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： [j6~}zu@
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. !"4w&bQ
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. 9+CFR YC
• 可以产生一般的二维图案. YaFcz$GE_
• 单色光和白光的整形. .+#Lx;})
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六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. :q2YBa
衍射扩散器 _[E \=
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衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： i|2$8G3
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. +!&$SNLh(
• 生成任意的二维图案. |uha 38~
• 仅用于单色LED或准分子激光. #0MK(Ut/
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 . A<sr
单元阵列 SR *Gqx
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光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： 6z Ya A
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. i^% -aBZ
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. X7cWg o66T
• 产生任意的二维图案. cqQRU
• 用于单色光和白光. QJ<[ Zx
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由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 9={N4}<
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