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W&[9x%Ba
均匀化的概念 DYk->)
x T( .#9 VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： J@{ Bv% • 微透镜阵列 k Z Ey • 衍射扩散器 HY#("=9< h • 计算机生成的全息图 [~JN n • 相位板 <sG> [\i • 单元阵列 Z{)|w=
fb=vO U 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 >(Ddw N9l
光学仿真和设计包括: bbA<Zp • 衍射 md_s2d • 干涉 sW`iXsbWM> • 空间和时间相干度 oYm"NDS_. • 像差 3VgH* vAU} • 偏振 udr'~,R • 光强 ViONG]F
P9~kN|
应用 ` u)V 9{
Ok"we c+, 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： cl8Mv • 信息显示 X,Q(W0-6$u • 测量系统 2!`Z3>Oa • 室内照明 s A j$U^Gp • 汽车 49>yIuG • 军事 "K]4j]yU • 光刻 wQ95tN
O3^@" IY 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 I*t}gvUt9 优点Benefits artS*fv3r
UcIR0BYa 微光学元件的照明系统有以下几大优点： v0p EN\ • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. !1]xKNp ] • 产生任意的二维图案. 7k3\_BHyb\ • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. ^ B]t4N2i • 非常紧凑的照明系统. 7]
H4E.(l  L> *|T[~ 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
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微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： Cr"hu;
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面.
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• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. z(` k WF1<
• 可以产生一般的二维图案. ?/ g(Y
• 单色光和白光的整形. B! lw>rUMQ
 |9@;Muq;
六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. H$HhB8z3
衍射扩散器 S|i
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!o7. L%S
衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： Il[WXt<S
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. 7hQ l,v< 5
• 生成任意的二维图案. { 643Dz<e
• 仅用于单色LED或准分子激光. ;* Jd#O
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 \>Q,AyL
单元阵列 MsiSC
Z7/lFS'~N
光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： CK% W +";
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. q1j[eru
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. Sx7xb]3XI"
• 产生任意的二维图案. _7VU ,
• 用于单色光和白光. Si(?+bda0c
 W*#/@/5
由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 \(s ";@
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