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均匀化的概念 G { $Zg O({-lI VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： rXz,<^Hmj • 微透镜阵列 $V8B =k~ • 衍射扩散器 W$Bx?}x($ • 计算机生成的全息图 G#! j` • 相位板 E
2D TE • 单元阵列 !2N#H~{
ca_8S8lv 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 5aTyM_x
光学仿真和设计包括: 7c6-S@L • 衍射 |C S[>0mV! • 干涉 AsM""x1Ix • 空间和时间相干度 F7 7[fp • 像差 v wzTrWA= • 偏振 ^dP@QMly6 • 光强 z@ A5t4+3
w|PZSOJ 应用 |[ |X
!{SU G+.2 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： Bd"7F{H • 信息显示 ^ :Q |,oy • 测量系统 DRV vW6s • 室内照明 *.EtdcRo[ • 汽车 t Q_}o[ • 军事 n@g[VR2t • 光刻 a (8]y.`Tv
A f0E _ 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 wR/i+,K 优点Benefits mcDW&jwQ
Z#;ieI\ 微光学元件的照明系统有以下几大优点： uW[s? • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. & H5
6mL{ • 产生任意的二维图案. aM.l+D P • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. 5
|C;]pq • 非常紧凑的照明系统. i`8 !Vm  INzQ0z-z 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
L +. K}w
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： _I|wp<R
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. #8|;Q`Or:
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. a/^Yg rC\T
• 可以产生一般的二维图案. .FHOOw1r=
• 单色光和白光的整形. Z {_'V+Q1
 >Q 5E0 !]
六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. -R7f/a8
衍射扩散器 N}F G%a
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衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： $ 9Q Vl
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. <J H0 &
• 生成任意的二维图案. 5-mJj&0:!
• 仅用于单色LED或准分子激光. [ V jd )%
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 Rb#Z\e}e-
单元阵列 ^2^ptQj
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光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： W+K=M*^D;c
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. 053W2Si
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. #{
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• 产生任意的二维图案. 6o1.?t?
• 用于单色光和白光. +Qc^A
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由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 >9u6@
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