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均匀化的概念 <TNk?df7 +3,|"g:: VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： Z7jX9e"L • 微透镜阵列 2>\\@ 1 • 衍射扩散器 -n*;W9 • 计算机生成的全息图 Yn9j -` • 相位板 \nqo%5XL • 单元阵列 }xlKonk
RH~3M 0'0 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 Z v0C@r
光学仿真和设计包括: x "(9II* • 衍射 K<v:-TjQZ: • 干涉 /9Ilo\MdD • 空间和时间相干度 ?G? gy2 • 像差 m h;X~.98 • 偏振 >m _v5K • 光强 D {'#er
^^(<c,NX#M 应用 Y~n` ~(
sygH1|f 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： WP-jtZ?!" • 信息显示 &B!%fd .' • 测量系统 v6e% # = • 室内照明 s>z2 k • 汽车 LNQSb4 • 军事 *rqm8z50a • 光刻 zzvlI66e
jnoL2JR[=- 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 j.3o W 优点Benefits ][Y^-Ak1
MY- .t-3 微光学元件的照明系统有以下几大优点： "u u)2Xe • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. r@T| e • 产生任意的二维图案. YDiN^ q7 • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. \Kd7dK9&] • 非常紧凑的照明系统. 9u wL{P&  S 2$5!(P 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
OoP @-D"e
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： Kla:e[{
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. Ohl} X 1
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. FsCwF&/q
• 可以产生一般的二维图案. /aUFc '5
• 单色光和白光的整形. ]5|z3<K^
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六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. Q?;C4n4]l
衍射扩散器 Ugi5OKdj7)
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衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： lSc, AOXp
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. i+~QDo (Pi
• 生成任意的二维图案. Wp*sP Z
• 仅用于单色LED或准分子激光. 6MrKi|'X@
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 ,0T)Oc|HL/
单元阵列 g'G8 3F
- s|t^
光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： 9YSVK\2$
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. umDtp\
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. Js}tZ\+P75
• 产生任意的二维图案. 4]UT+'RubX
• 用于单色光和白光. /!b x`cKG
 L_*L`!vQA"
由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 !b%,'f y)
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