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rocB"0 均匀化的概念 Q+d.%qhc $%
Ci8p VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形,例如: 1/2V.:bg • 微透镜阵列 M%&A.j[ • 衍射扩散器 +`*qlP; • 计算机生成的全息图 4Oy.,MDQP • 相位板 =zm0w~']E! • 单元阵列 abo>_"9- *`ZB+ \* 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 'B3Wz a. 光学仿真和设计包括: nuSN)}b<Q • 衍射 eA?uny
f2r • 干涉 5@czK*5 • 空间和时间相干度 j /H>0^ • 像差 zg#m09[4 • 偏振 GsIwY {d • 光强 1l+kO,X] #0bO)m+NZ 应用 " ^HK@$ 6F*-qb3 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域,包括: )'[x)q • 信息显示 Q(|PZng • 测量系统 1E5a( • 室内照明 [1b6#I"x • 汽车 Qj(vBo?D • 军事 u C,"5C • 光刻 0]T.Lh$3 uu}`warW 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 R:'Ou:Mh 优点Benefits +@emX$cFV 'tb(J3ZP 微光学元件的照明系统有以下几大优点: 6<x~Mk'u) • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. khU6*`lQ • 产生任意的二维图案. 8 ]q • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. H2qf' • 非常紧凑的照明系统. ;rB6u_5"I. gjj 93 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟 微透镜阵列 kSbO[)p (C daE!I4Q 微透镜阵列,也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中,微透镜阵列有以下光学特性: "]VDY) • 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. &5\^f?'b7 • 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. D \N
\BD • 可以产生一般的二维图案. B7!<{i • 单色光和白光的整形. b4>``n
U;xu/xDRi 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. ))7LE|1l 衍射扩散器 4k8*E5cx q7X}MAW 衍射扩散器,如相位板和计算机生成全息图,是经过计算机优化的表面轮廓散射元件,衍射扩散器有以下光学性质: o:2Q2+d • Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点(衍射级次). CRH{E}> • 生成任意的二维图案. j-7u>s-l • 仅用于单色LED或准分子激光. E{tx/$f
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 ;{vwBDV!' 单元阵列 wfgqgPo!v &
_; y.! 光栅,棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成,将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性: 9O;cJ)tXY • 通过控制光栅,微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. hd+]Ok7" • 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. #/Ruz'H1> • 产生任意的二维图案. wV(AT$ • 用于单色光和白光. $
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Xka<I3UD5 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 5?WYsj"
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