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-#LjI. 均匀化的概念 fL!V$]HNt UT3bd,, VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形,例如: UTZ776`S&X • 微透镜阵列 Q |
• 衍射扩散器 a9[mZVMgUK • 计算机生成的全息图 Ri|k<io • 相位板 Iq{o-nq • 单元阵列 >s&XX,
w N0+hejz 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 oJ ^C]E 光学仿真和设计包括: q 75ky1^1: • 衍射 r0>q%eM8 • 干涉 oP/>ju • 空间和时间相干度 cZqfz • 像差 LU%#mY • 偏振 ^^%JoQ. • 光强 n_v02vFAHT Te# ]Cn| 应用 &x`&03X H4t)+(:D' 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域,包括: lbRzx4=\y • 信息显示 BU`ckK\( • 测量系统 z&O#v9.NE| • 室内照明 %NNj9Bl<VV • 汽车 0; 7#ji
• 军事 -$.0Dc)3! • 光刻 nE_Cuc>K\ Hb+X}7c$ 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 le.anJAr 优点Benefits rWA6XDM7 h\(B#SN 微光学元件的照明系统有以下几大优点: 1Pm4.C) • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. bl=ku<}@ • 产生任意的二维图案. P$g^vS+ • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. S_6g~PHsr • 非常紧凑的照明系统. !NTH.U:g 0LdJZP 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟 微透镜阵列 ~(P&g7u LT/mb2 微透镜阵列,也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中,微透镜阵列有以下光学特性: )>V?+L5M • 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. =J](.78 • 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. Hfh!l2P • 可以产生一般的二维图案. xYPxg! • 单色光和白光的整形. :5J_5,?;`
AotCX7T2T 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. Fk{J@Y 衍射扩散器 eeM?]J- \8{\;L C 衍射扩散器,如相位板和计算机生成全息图,是经过计算机优化的表面轮廓散射元件,衍射扩散器有以下光学性质: j
C)-`_ • Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点(衍射级次). {{\ce;hN • 生成任意的二维图案. ;r.EC}>m • 仅用于单色LED或准分子激光. *$S#o#5
ziiwxx_ 4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 96c?3ya 单元阵列 vy[C'a 7/aOsW"6 光栅,棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成,将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性: &n:{x}Uc • 通过控制光栅,微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. Ird|C[la • 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. E$A3|rjnoN • 产生任意的二维图案. \9/RAY_G • 用于单色光和白光. s9 @Sd
iG#}` 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 i7 w(S3a
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