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均匀化的概念 DYbkw4Z, X |@|ZRN VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： 8x [q[ • 微透镜阵列 |_
E)2b:h • 衍射扩散器 \*1pFX# • 计算机生成的全息图 G) i V • 相位板 tb^3-ZUb • 单元阵列 L0_R2E A
Ptw E[YDu 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 X{<j%PdC
光学仿真和设计包括: 67')nEQ9 • 衍射 sf@g $ • 干涉 dy#dug6j • 空间和时间相干度 xsV(xk 4 • 像差 I 4gyGg$H • 偏振 a/{T;=_GY • 光强 k g0Z(T:&8
0=yKE J 应用 kce+aiv|u
\P+lb-~\" 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： )!e-5O49r • 信息显示 {pm>F}Cwy • 测量系统 /DJyNf* • 室内照明 ,=R->~ J • 汽车 ^+Ec}+ Q • 军事 +wgNuj0=* • 光刻 (]0ZxWF
O5L B&s 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 /t(dhz&xN 优点Benefits lpj$\WI=
YSs9BF:a 微光学元件的照明系统有以下几大优点： .COY%fz • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. B}C"Xc • 产生任意的二维图案. W{?7Pn?1` • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. =VH, i/@ • 非常紧凑的照明系统. / F5g@ X&  PGOi#x 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
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微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： 8m2-fuJz
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. K #}DXq
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. ?s dVd
• 可以产生一般的二维图案. A|O7W|"W
• 单色光和白光的整形. #y~ ^!fdp9
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六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. ( B}+uI{
衍射扩散器 (sq4
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衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： l+*^P'0u
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. !gWV4vC
• 生成任意的二维图案. ?ye) &
• 仅用于单色LED或准分子激光. 2n2{Oy>L
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 YrS%Yvhj0
单元阵列 #e((F, 1z
>c|u |^3zt
光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： $21+6
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. X@*$3z#Z
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. S ])Ap'E
• 产生任意的二维图案. k^}8=,j}
• 用于单色光和白光. ?J<Y]
 b?hdWQSW7
由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 - %I]Q9
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