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均匀化的概念 Tk:%YS;= 2,e>gP\] VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： u=& $Z • 微透镜阵列 gbu@& • 衍射扩散器 ?7 Skk • 计算机生成的全息图 UjcKvF • 相位板 eDL0Vw • 单元阵列 xG|n7w*
+9]CGYj 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 E p8 y
光学仿真和设计包括: yYPFk • 衍射 .7r$jmuFs • 干涉 X ,ok 3c4X • 空间和时间相干度 f\c%G=y • 像差 zD):
yEc • 偏振 Na{&aqdz • 光强 dZ"d`M>o6
W0s3nio 应用 2X|nPhNi
Yy4l -} " 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： +YnQOh%v0s • 信息显示 &d&n sQ • 测量系统 "<1-9CMl • 室内照明 }(v <f*7=n • 汽车 _[8sL^ • 军事 U_1N*XK6$ • 光刻 3?-2~s3gp
* Fz#x{zt 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 a 8.Xy])! 优点Benefits %tZ[wwt
S<nbNSu6+ 微光学元件的照明系统有以下几大优点： pb}4{]sI • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. ~ _W>ND • 产生任意的二维图案. 66MWO rr • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. .R{+Pz D • 非常紧凑的照明系统. ~=9]M.$  w$FN(BfA 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
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微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： ky0,#ZOF
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. Wm>AR? b
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. <PTi>C8;r
• 可以产生一般的二维图案. H <ugc
• 单色光和白光的整形. VDC"tSQ
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六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. q($fl7}Y
衍射扩散器 Nj|~3
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衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： ? &se]\
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. `)_11yw Z
• 生成任意的二维图案. E K#ib
• 仅用于单色LED或准分子激光. [nG[@)G~0M
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 &$hT27A>k
单元阵列 ;P2(C >|
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光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： 6Rc%P)6
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. ?KtvXTy{m
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. ~ZXAW~a}
• 产生任意的二维图案. B)L;ja
• 用于单色光和白光. >W?7a:#,
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由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 ljRR{HOl
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