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zFP}=K:o)
均匀化的概念 nqgfAQsE) F:hJ^ :BP VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： b'3#FI=: • 微透镜阵列 /PPk
p9H{ • 衍射扩散器 lDMYDy{< • 计算机生成的全息图 ? Z1pPd@ • 相位板 *'d5~dz= • 单元阵列 +8Peh9"
.IF d J 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 SkvKzV.R;
光学仿真和设计包括:
; wW6x • 衍射 Y]Su<t gX? • 干涉 YV ! !bI • 空间和时间相干度 %{zM> le9 • 像差 _'2r=a#` • 偏振 : JW~$4 • 光强 kwWO1=ikz@
, LcMNP r 应用 S:Yo9~
pC 5-,Z;8 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： -[ ^wYr= • 信息显示 f} Uw%S=w, • 测量系统 t9 &O0tpe • 室内照明 ?ZTB u[ • 汽车 3 vr QY9H> • 军事 Ta9;;B?$ • 光刻 7yQ r
fK4laDB TO 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 " _H& p 优点Benefits {W `/KU?u
m #8}!u& 微光学元件的照明系统有以下几大优点： 2cy{d|c • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. =1\ 'xz}p? • 产生任意的二维图案. }d6g{` • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. r>z8DX@ • 非常紧凑的照明系统. Ty@&s 58a  Kl+ *Sp! 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
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微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： $1Xg[>1g5
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. .3ic%u;|D
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. @B& hR} 4
• 可以产生一般的二维图案. F},JP'\X
• 单色光和白光的整形. #jDO?Y Sa
 ]}'WNy6c&x
六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. 3%cNePlr
衍射扩散器 vo0[Z,aH5
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衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： ` -w;=_Bm
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. \OY2|
• 生成任意的二维图案. nG8]c9\Q#
• 仅用于单色LED或准分子激光. kkzXv`+
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 d]@9k G
单元阵列 $1 ?YVA7
E )Hp.
光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： F,lQj7
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上.
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• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. $"_D"/*
• 产生任意的二维图案. + x4o# N
• 用于单色光和白光. !PQ@"L)p
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由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 y-Z*qR?
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