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均匀化的概念 {b,2;w}95 lkg "'p{ VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如：
TmYP_5g: • 微透镜阵列 EDHg'q • 衍射扩散器 ` c' • 计算机生成的全息图 9k\)tWe • 相位板 *qP dZ • 单元阵列 Uvh~ B^6
+5HnZ?E\ 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 ^Ti_<<X
光学仿真和设计包括: P{S\pWZkk • 衍射 _~;&)cn,0 • 干涉 2$
|]Vj*Zs • 空间和时间相干度 c~^CKgr~R9 • 像差 /mn-+u`K • 偏振 dn Zz A • 光强 V uG?B{
)N" Ew0U 应用 (*6 m^
8K0X[-hs8 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： g@~!kh,TH • 信息显示 S \e& ?Y` • 测量系统 4M}|/?<Br • 室内照明 7G5y)Qb • 汽车 y?pD(u • 军事 J 7BFk
?= • 光刻 =&A!C"qK4[
#?{qlgv<p 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 Q2/MnM 优点Benefits ;gDMl57PQ.
A8pj~I/*- 微光学元件的照明系统有以下几大优点：
7%}ay • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. }*
QO]_U? • 产生任意的二维图案. I^ ~=,D • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. 9>by~4An? • 非常紧凑的照明系统. [o2w1R\H+x  kE/`n],1U 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
^GMJ~ [ ]
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： :{LAVMG &^
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. mxQR4"]jY
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. Eg TFwEj
• 可以产生一般的二维图案. AZwl fdLB
• 单色光和白光的整形. ?Jt $a;
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六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. 1O
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衍射扩散器 ?c!:81+\
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衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： 0$6* o}N%
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）.
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• 生成任意的二维图案. Q1Ux!$_
• 仅用于单色LED或准分子激光. R A:jzht
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 '>@4(=I
单元阵列
(}Sr08m
6*u,c^a
光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： N{8" s&
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. 4q hWm"&CM
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. jM~Bu.7 i6
• 产生任意的二维图案. AUfS-
• 用于单色光和白光. k#O,j pbB
 B'-I{~'/
由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 $I@GUtzjp
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