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均匀化的概念 t-AmX ) $ pYg/Zm
Jd VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： _aphkeqd • 微透镜阵列 5G# n"}T • 衍射扩散器 ;a/E42eN; • 计算机生成的全息图 Z csZ$qt^ • 相位板 mDWG7 Asp • 单元阵列 VTM/h JmwJ
aX VFc5C\ 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 dr(*T
光学仿真和设计包括: b>|6t~}M • 衍射 (Z*!#}z` • 干涉 f3;5Am • 空间和时间相干度 '91/md5 • 像差 pmM9,6P4@ • 偏振 Dv"9 qk • 光强 9x8fhAy}4
a#4?cE y 应用 Y*^[P,+J*}
)4OxY[2J 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： .8R@2c`}Cs • 信息显示 2T35{Q!=F • 测量系统 M+>u/fldV • 室内照明 = &]L00u. • 汽车 Wr i<h:1 • 军事 ZH8,K Y" • 光刻 CY1Z'
;'|Ey 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 Wc#24:OKe3 优点Benefits ~ a :
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fDH6 微光学元件的照明系统有以下几大优点： Nc`L;CP • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. /7kC< • 产生任意的二维图案. }OUt sh ]y • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. e=
AKD# • 非常紧凑的照明系统. f 8~_E  Upe%rC( 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
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微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： v+XJ*N[W
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. 5+'<R8{:,
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. RP"kC4~1
• 可以产生一般的二维图案. ueud Rb
• 单色光和白光的整形. r&CiSMS*
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六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. t_^4`dW`
衍射扩散器 3w=J '(RU
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衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： XSRsGTCC=
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. aUp
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• 生成任意的二维图案. lN@o2QX
• 仅用于单色LED或准分子激光. rp$'L7lrX
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 G OPfXtkC
单元阵列 vaLSH
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光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： K0~rN.C!0
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. Hs8>anVo[
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. j%kncGS
• 产生任意的二维图案. Nb\4 /;#
• 用于单色光和白光. 8tL~FiHb"
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由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 Xvu(vA
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