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均匀化的概念 EZj rX>"# 8( ? &=>@ VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： )v(rEY • 微透镜阵列 =ls+vH40& • 衍射扩散器 )a^& 7 • 计算机生成的全息图 Aw7N'0K9UN • 相位板 KcT(/! • 单元阵列 ;1~ n|IY
*L<EGFP 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 x1~AY/ )v
光学仿真和设计包括: s(X\7Hz_nC • 衍射 CV [ 9i • 干涉 gPn0-)< • 空间和时间相干度 ftn10TO * • 像差 /R|?v{S1 • 偏振 /%g@ ; • 光强 l(1.Ll
dsX"S;`v 应用 z^wo d
O=K0 KOj 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： F*G]Na@6D • 信息显示 M[985bl • 测量系统 >JNdtP8s/1 • 室内照明 +184|nJ<2 • 汽车 +_X*one • 军事 2?qT,pN • 光刻 <mJ8~
*lDVV,T'}w 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 8}BM`@MG 优点Benefits fx>QP?Z
2 6}3 微光学元件的照明系统有以下几大优点： 7Ws88Qs) • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. e> _a
( • 产生任意的二维图案. _o w7E\70 • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. -I4@6v E, • 非常紧凑的照明系统. ;~1xhpTk  Ho#nM_ q 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
8yIBx%"4MH
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： F^.]g@g.|
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. O\!'Ds+gX
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. LT)I
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• 可以产生一般的二维图案. InL_JobE8r
• 单色光和白光的整形.
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V/(
 Ca5LLG
六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. B3y TN6-
衍射扩散器 .Tl,Ek(
"kFNOyj3\
衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： g'!"klS93
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. ]*MVC/R,
• 生成任意的二维图案. ,dd1/zm
• 仅用于单色LED或准分子激光. fJNK@F
 4YY!oDN:
4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 GfSD% "
单元阵列 IPn!iv)
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光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： X!{K`~DRX
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. "1\GU1x
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. W9}
,f
• 产生任意的二维图案. $[Ut])4
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• 用于单色光和白光. r(>812^\
 *N: $,xf
由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 2xUgM}e
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