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5xCT~y/a 均匀化的概念 *NFg;<:j xu5ia|gYz7 VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形,例如: dCyqvg6u • 微透镜阵列 H}hFFI)#Oo • 衍射扩散器 #:jb*d? • 计算机生成的全息图 6W[}$#w • 相位板 Sr?#wev]rn • 单元阵列 K6/@]y%Wr G!w"{Bk?9 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 Jn:ZYqc 光学仿真和设计包括: W>_]dPB S/ • 衍射 5 @U<I • 干涉 vo>d!rVCV • 空间和时间相干度 ^d}gpin • 像差 l^GP3S • 偏振 hu_ ^OlF • 光强 :x.7vZzxs z>sbr<doa 应用 8Jf.ECQT [B@'kwD\l 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域,包括: <q*oV • 信息显示 Z4<L$i;/jN • 测量系统 F+R?a+e • 室内照明 _Zk{! • 汽车 2M#M"LHo • 军事 P-F)%T[ • 光刻 d->|EJP b@RHc!,>jV 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 We0.3aG 优点Benefits valtev0< JB!:JML 微光学元件的照明系统有以下几大优点: `E+Jnu,jC • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. =qN2Xg/ • 产生任意的二维图案. zp\8_ U@ • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. S$KFf=0 • 非常紧凑的照明系统. _zlqtO fYKO J5f 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟 微透镜阵列 @SCI"H%[ ?X@fKAj 微透镜阵列,也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中,微透镜阵列有以下光学特性: ;&H4u) • 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. h(WrL • 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. 2,ECYie^ • 可以产生一般的二维图案. y#}cC+; • 单色光和白光的整形. ^u3V
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hW{j\@R 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. x.Q&$# 衍射扩散器 &-(463 Kw#so; e 衍射扩散器,如相位板和计算机生成全息图,是经过计算机优化的表面轮廓散射元件,衍射扩散器有以下光学性质: /cc\fw1+ • Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点(衍射级次). >S$Z • 生成任意的二维图案. gV&z2S~" • 仅用于单色LED或准分子激光. .<kqJ|SVi
'SQG>F Uy 4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 hiNEJ_f 单元阵列 l5L.5$N !i=nSqW 光栅,棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成,将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性: VfT*7_ • 通过控制光栅,微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. xf|mlHS+ • 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. [+qCs7' • 产生任意的二维图案. bn
|zl!Pq • 用于单色光和白光. Da"j E
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由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 ^eW}XRI
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