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R~vGaxZ$
均匀化的概念 >jm(2P(R
-l^< [% VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： >)>f~ > • 微透镜阵列 &f*o rM: • 衍射扩散器 honh 'j • 计算机生成的全息图 +|A`~\@N • 相位板 b1& t k~ D • 单元阵列 -ng1RA>
iRQ!J1SGcG 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 7=^{~ 5#
光学仿真和设计包括: gabfb# • 衍射 R 9XU 7_3B • 干涉 BWt`l,nF • 空间和时间相干度 zl0{lV • 像差 [+ud7l • 偏振 f ULt4 • 光强 !T 6R[
o Pe|Gfv\G 应用 Ge^`f<f
D#;7S'C 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： zakhJ • 信息显示 N} EKV • 测量系统 hnj\|6 L • 室内照明 |]\zlH"w • 汽车 4~fYG| a • 军事 U4D7@KY +m • 光刻 "Q?+T:D8|
.. `I <2 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 O1c%XwMn^ 优点Benefits Ailq, c
gZ @ +62 微光学元件的照明系统有以下几大优点： 9+ 'i(q
z • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. Sd7jd ?#9' • 产生任意的二维图案. ;ALWL~Xm • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. 3>O|i2U • 非常紧凑的照明系统. #2tmi1
ya  f{BF% ; 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
H 0l1=y
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： !~#zd]0x;
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. U>S
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. 0eY!Z._^
• 可以产生一般的二维图案. gOF^?M11x
• 单色光和白光的整形. w~ Tg?RH:
 d$!Q6ux;
六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. k{' Z aP)
衍射扩散器 ^rWg:fb
4 m:h&^`N
衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质：
X%Ok ">
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. &Ok1j0~~
• 生成任意的二维图案. { _9O4 +
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• 仅用于单色LED或准分子激光. gInh+XZs
 mx Nd_{n
4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 ;1k& }v&
单元阵列 n !)$e;l
HTQZIm
光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： #p}G WS)
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. nFnM9
pdMK
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. (Pc>D' ;{S
• 产生任意的二维图案. +x]/W|5
• 用于单色光和白光. g~hMOI?KK^
 c'oiW)8;A
由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 \n<!
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