-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2026-07-16
- 在线时间1977小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 h2zuPgz,
vL`wn= 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 lKrD.iYt8
/);c l;" 要求工具箱：光栅工具箱 ]Y Q l Cx`
A jr]&H4 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 [P]zdw
w# C#`eN{%.YT 一、模拟任务： *{P"u(K 二、光栅的描述 Q_euNoA0
`ux
U
H# 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 bg*4Z?[dd
:kf HILi 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 !1]72%k[
4$+1jjC]>~ 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 F"#bCnS
cj`g)cX| 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” ;WC]Lf<Z^
j08}5Eo 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 Kc glpKV`
B t-o:)pa 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 qg v g
MWj EkgS*q_ r
ioNP( z*. 4Y 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm :[ m; #b 1D&Q{?RM %kS +n_* 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm YQv N;W ;"hED:z6% -tAdA2?G 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm D'F =v\P ^]3Y11sI hW$B; 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm 3 xWeN#T0 fHC L sI Q>] iRx>MZ 5. 参数运行 \Y_2Z /
r j#K5/df 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 ,di'279|
3,+)3,N 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 qv y~b + VkhM;'"C 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 m{
.'55 Q0i.gE we :3M2zV
cf <RS@, 7. 总结 m!3b.2/h
z 0]K:YV_ 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。
AC@WhL
yT%"<m6Y*\ 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 8Eyi`~cAiH
lG/M%i 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 l5F>v!NA
|
