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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 }GH C u
93 =?^ 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 R
G~GVf
Hs6Kki1 要求工具箱：光栅工具箱
zjSHa'9*
&da:{ 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 Df$~=A } nRT ]oAi 一、模拟任务： "~ KT Lf 二、光栅的描述 )u0 /s'
=E-o@#BS 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 :ci D!Ly
d^ `; tD 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 /FjdcH=
6$l?D^{ 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 hZWkw{c
KOoV'YSC[( 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” `i+2YCk
A`"?~_pHC 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 X&Sah}0V&
cucT | y 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 8L]Cc!~ 4J?\JcGs "'/+}xM"5 TX7dwmt) N 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm tI5*0 P @% L.y
B (*,R21<% 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm X ":2o|R &wN}<G e6 D(WV
k 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm p*Yx1er1 G[u{! 2RS Tt=;o f{ 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm +;=>&XR0m 1&vR7z]* mx#)iHY 5. 参数运行 -BWWaL
P + C5
s 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 EQX<<x"
}:QoY Nq 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 ",#Ug"| 2 ^:,wk7 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 W|(<z'S }*O8] lG O^ 5 C ZI8@ 6 L\ 7. 总结 (+<66
T O
U??OiKVZ+ 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 C5jt(!pi
e@S\7Ks 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 xMa9 o
K$B~vy6E` 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 ln":j?`
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