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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 #MAXH7[
,#Mt10e{ 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 v] X*(e
}b=Cv?Zg$m 要求工具箱：光栅工具箱 67T=ku
vk. P| Y-; 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 u?I 2|}# <db>~@;X! 一、模拟任务： y87oW_"h 二、光栅的描述 L=wpZ`@
y
B\Uocn 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 LZ<^b6Dxk
F P >. @ Y 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 -~v1@
W$Sc@!M3{ 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 " r[Ob]/
6 U_P 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” jj6yf.r6 c
Hp5.jor(k 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 ?,^ Aoy
X}B ]0z > 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 \@m^w"Ij 5]~4 51 ]_43U` [# qrufnu5cC 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm t[o_!fmxZ *cAI gO7 ':!aF Mj^ 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm 2B"&WKk P(cy@P,D #eIFRNRb) 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm -Pc6W9$ I`;SA~5 k8 z1AP 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm Bu"5NB 58P[EM hL (!%9# 5. 参数运行 IR|#]en
nYE%@Up 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 '8=/v*j>?
OJ r~iUr 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 SM\qd4 `G`y A % 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 <nc6 &+ ? OS0. ||4 T*B06 g
cb6*@u! 7. 总结 5i+cjT 2
G A;h7 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 -ARks_\
;OZl'
. %` 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 @MO/LvD
zPN:) 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 \P7<q,OGS
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