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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅(General Grating 2D)元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 hi[nUG(OI +Umsr 关键词:光栅,光栅工具箱,粗糙表面,可编程光学界面,光栅元件 <l5i%? +=8wZ] 要求工具箱:光栅工具箱 6#+&/ "* k\ #; 相关应用案例:案例090.01,案例246.01 58s-RO6 cb9-~*1 一、模拟任务: (lM,' 二、光栅的描述 <}RI<96 ~9+01UU^ 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓,其周期为5μm,调制深度为468nm(使得最内侧三个级次的效率相同)。 :0l+x0l} M_ukG~/ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化,由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 wN!\$i@E: V6][*.i!9 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数:最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和总高度调制(Total Height Modulation)。使用种子(Seed)变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 _&/`-"3y QXZXj#` 4. 变量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” ^Lgvey% X,v.1#[ 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图,其“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为不同的值。 YbP
@ c#N4XsG, 1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为0 ZW [&7[4 =-si|
1Z ynIC (t ^L2d%d\5 2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为100nm 1nAm\/&
'v]0;~\mp> {6ZSf[Y6B 3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为500nm ;l*%IMB /q IQE&V- "] V\ Y! 4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1000nm f]/2uUsg% q%4X1 W h vYRAQR: 5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1500nm ?kO.>o @
8H$ ^!\1q<@n 5. 参数运行 -iR2UE@M
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8%gC 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50nm时,随“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”变化的结果。 x2B8G;6u WA(x]"" 2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1.5um时,将“总的高度调制(Total Height Modulation)”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 m%[e_eS n2mO-ZXud 6. 具有不同的“总的高度调制(Total Height Modulation)”的结果 GmB&TDm +c~&o83[ \t!~s^ Oox 9)oi_U. 7. 总结 zQyI4RHG[ oy8jc];SO 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 V;%ug'j N\PdX$ 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 r'*$'QY-N /i,n75/y? 3) 大的调制(在x-和y-方向)会造成原始衍射结果强烈的偏差。 SI!A?34
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