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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 \T [*|"RFZ
& [s^ `e 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 zBoU;d%p>
>c1mwZS ; 要求工具箱：光栅工具箱 4wBCs0NIm
p j rA:; 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 r^\^*FD | c?opVbJB\ 一、模拟任务： GUcuD^Fe 二、光栅的描述 o 86}NqK
[S<DdTY9hZ 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 \dfq& oyU\
-iW[cj
R`$ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 x[>A'.m@)
]&9f:5', 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 UIu'x_qc
KlrKGmy,) 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” C'=C^X%
|RpC0I 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 Y&&Y:+
V
fB:M'A' 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 nrf%/L r] ]Ke_s! 3Y s|M%N d?S<h`{x 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm gZPJZN/cpz $[>wJXj3R @lmk e > 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm DL~LSh r1=Zoxc=w Vl'=92t 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm Xpa;F$VI Tok"-$`N :}G xJT4 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm dyx 4_!fO |C(72t?K fx}R 7GN2 5. 参数运行 _>aesp%
JN8k x;@ 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 2.NzB7c*CM
9j,zaGD0 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 AG9U2x %r>vZ/>a 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 p,4z;.s$ D~%cf vAVoFL l s_i)X 7. 总结 PNKmI
'kC $R;#\7 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 ]>AW
TQEZ<B$ 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 ("TI ~
'!Sj]+ 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 HK-?<$Yc
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