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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅(General Grating 2D)元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 xMuy[)b 0cS.|\ZTA 关键词:光栅,光栅工具箱,粗糙表面,可编程光学界面,光栅元件 9td(MZ%i~N xHL{3^ 要求工具箱:光栅工具箱 _D+7w'8h Nm^q.)dO 相关应用案例:案例090.01,案例246.01 wvh4AE5F|z $@#nn5^IX 一、模拟任务: (8EZ,V: 二、光栅的描述 z1Ju;k(8 %
vP{C 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓,其周期为5μm,调制深度为468nm(使得最内侧三个级次的效率相同)。 Icr'l$PE f,uxoAS 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化,由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 @\q~OyV S%T1na^x 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数:最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和总高度调制(Total Height Modulation)。使用种子(Seed)变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 5VPuHY2 9B%"7MVn 4. 变量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” jgO{DNe(= ER|5_ 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图,其“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为不同的值。 @rJ#Dr > voUh;L 1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为0
P.fgt>v] #Gg^fm (<<eHf,@ 8t7hN?,t 2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为100nm T-x`ut7c oC?b]tzj TfxKvol' 3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为500nm +?L~fM69B Aqc( [NFAdE 4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1000nm ,onv
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m$cM+ g 08
`=g 5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1500nm C1nQZtF R t+#Ss v8 WFdS#XfV 5. 参数运行
8~I>t9Q+ A} "*`y 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50nm时,随“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”变化的结果。
KA< :L?zk"0C 2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1.5um时,将“总的高度调制(Total Height Modulation)”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 un/R7" [v&_MQ 6. 具有不同的“总的高度调制(Total Height Modulation)”的结果 pp-Ur?PM ae<KUThm. Ue\& 7oWv' 7. 总结 C/w;g3 61KJ(
rSX3 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 ]x Kmz I2Us!W>6- 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 1,mf]7k$ OGVhb>LO1 3) 大的调制(在x-和y-方向)会造成原始衍射结果强烈的偏差。 `BvcIn4do
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