-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-08-15
- 在线时间1834小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 2%rLoL$Y2+
yOHXY & 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 Mpx/S<Z
Lue|Plm[y 要求工具箱：光栅工具箱 utO.WfWP
*07sK1wW 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 L&w.j0f q CyM}Hc&w 一、模拟任务： ho l<dB 二、光栅的描述 y62%26 [
sy<iKCM\ 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 lxb 8xY
2wh#$zGy 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 XQ;I,\m
H/cTJ9 zz 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 E'dX)J9e$/
(6xDu.u?A 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” :\}U9QfCw
L`K;IV%; 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 Ky9W/ dCR
C B}BQd 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 E8[XG2ye tEh r x*8O*!ZZ Cv TwBJy1 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm r+g jc?Ol Lar r}o= hLuJWjCV 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm 9D4-^M:a E/ O5e(h ~$aTM_4 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm _PB@ kH# X8 qIia >[3X]n,0 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm xdF guV8 j@P5(3r nxRwWj 57 5. 参数运行 !t-K<'
P/ aDd@j 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 /t{=8v~
zl)&U=4l 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 X4I]9 t\ 8R/
*6S=& 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 ;QPy:x3 {8m1dEC^@Q ks:{TA27 (+MC<J/i 7. 总结 /2w@ K_Px6
~gt3Omh 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 R+Lk~X^*l'
0zV 4`y 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 S:Xs '0K_
iwo $\ 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 'G
Y/Q5
|
