-
UID:317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-10-22
- 在线时间1881小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅(General Grating 2D)元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 8Si3
aq3 G#fF("Ndu` 关键词:光栅,光栅工具箱,粗糙表面,可编程光学界面,光栅元件 WbwwI)1 sC A 要求工具箱:光栅工具箱 ,KCxNdg^#- i5aY{3! 相关应用案例:案例090.01,案例246.01 )|/%]@` N wjfq"7Q 一、模拟任务: @N]]Cf>x 二、光栅的描述 U!(es0rX >Ptu-* 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓,其周期为5μm,调制深度为468nm(使得最内侧三个级次的效率相同)。 {&J~P&,k pxn@rN#* 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化,由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 L{rd', 'Y.6sB 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数:最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和总高度调制(Total Height Modulation)。使用种子(Seed)变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 #{?~XS {[3xi`0- 4. 变量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” RO@=&3s >}: 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图,其“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为不同的值。 [{`2FR:Cd 2;(+]Ad< 1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为0 &$ud;r# yfal'DqKF A $i^/hJs G\o9mEzQ 2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为100nm TbaZFLr d8iq9AP\o 53 -Owjpx 3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为500nm :a^/&LbLm &isKU8n
P)cEYk 4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1000nm H~^)^6)^T }V[ORGzox `ZbFky{ 5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1500nm )*`h)`\y QYi4A"$` 7WwE] ^M 5. 参数运行 0?}n( f!S X`1R&K;z^ 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50nm时,随“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”变化的结果。 ,ga6 i4]oE&G 2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1.5um时,将“总的高度调制(Total Height Modulation)”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 g+5c"Yk+u~ ({Pjz;xM 6. 具有不同的“总的高度调制(Total Height Modulation)”的结果 k(M:#oA! C$0g2X VZq~ -$ lj UdsU w 7. 总结 Le:(;:eL>t h[&"KA 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 TDUY& 1[ 4"_`Mu_% 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 hf^<lJh~= 78Du 3) 大的调制(在x-和y-方向)会造成原始衍射结果强烈的偏差。 :PtZKt;~X
|