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    [技术]粗糙表面光栅的模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-23
    即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅(General Grating 2D)元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 {8Jr.&Y2  
    4R5+"h:  
    关键词:光栅,光栅工具箱,粗糙表面,可编程光学界面,光栅元件 *k:Sg*neVq  
    /an$4?":~  
    要求工具箱:光栅工具箱 ZSj^\JU  
    SsiKuoxk  
    相关应用案例:案例090.01,案例246.01 FCv3ZF?K  
    Y_n^6 ;  
    一、模拟任务 g6:S"Em  
    二、光栅的描述 b&s"/Y89  
    {7!WtH;-  
    1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓,其周期为5μm,调制深度为468nm(使得最内侧三个级次的效率相同)。 gR)T(%W  
    E"7 iU  
    2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化,由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 z-*/jFE  
    Nq|b$S[4  
    3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数:最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和总高度调制(Total Height Modulation)。使用种子(Seed)变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 w8M,35b  
    8KKI.i8`  
    4. 变量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” M&Aeh8>uX  
    yrO \\No#H  
    下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图,其“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为不同的值。 zmk#gk2H  
    t><AaYij_  
    1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为0 D6 B(6 5Y  
    }Z5#{Sd  
    jRP.Je@t  
    a>jiq8d]4  
    2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为100nm DDh$n?2fd  
    .[Ezg(U}ze  
    =H&@9=D*  
    3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为500nm &Pu}"M$[MH  
    _JZS;8WYR  
    $CXKeWS=Q.  
    4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1000nm -}nTwx:|5u  
    GmoY~}cg~  
    p3Uus''V4  
    5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1500nm B\BxF6 y  
    Ym~*5|  
    I9GRSm;0<  
    5. 参数运行 5(kRFb'31F  
    hawE2k0p(  
    1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50nm时,随“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”变化的结果。 |U}al[  
    / 0Z_$Q&e  
    2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1.5um时,将“总的高度调制(Total Height Modulation)”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 A%S6&!I:(  
    c%,~1l  
    6. 具有不同的“总的高度调制(Total Height Modulation)”的结果 X2PQL"`  
    H2oAek(  
    @&!HMl  
    o'S&YD  
    7. 总结 ]DcQ8D  
    -x i]~svg  
    1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 7U_~_yb  
    ^3*k6h [(  
    2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 %G!BbXlz  
    ,#Y>nP0  
    3) 大的调制(在x-和y-方向)会造成原始衍射结果强烈的偏差。 &y-(UOqbkP  
     
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