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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 OWXye4`*
p@7i=hyt`p 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 m{$tO;c/Q
syW9Hlm 要求工具箱：光栅工具箱 !Xx<~l IC
{q tc \O 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 >6l ;/ J JQ/t, v$G 一、模拟任务： j*La ,iF 二、光栅的描述 m$E^u[
&e]]F# 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 PVD ~W)0m*
_95}ifSVm 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 m,gy9$
60aKT:KLC_ 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 /#qs(!
d
Rw/JPC" 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” f*T)*R_
B=gsd0^ ] 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 NrJ_6sjF0g
^/ DII`A 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 k$-~_^4m o!=l B fI "0H56#eW
b%[ nB 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm fZ6 fV=HEF 5Q$r @&qp A`x
-L 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm &vFq e,Z ] /o12p I NlF0\+h 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm 6@?aVM~ ksu}+i,a $W/+nmb)@K 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm p]h*6nH>~ o=-Vt,2{ 0;FqX* 5. 参数运行 < g 3du~
97(Xu=tX
1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 c/<Sa|'
/UpD$,T|^| 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 1tc]rC4h wc7mJxJxA 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 _(oP{w gB v@fe-T&0 . # 6n Me gE--h 7. 总结 3!.H^v?
fO^e +M z 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 ' ?"t<$b
RIy5ww}3| 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 { Ax)[<i
Ew
%{ i(d 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 axK 6sIxx
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