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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 Zl[EpXlZ
hq4&<Zr( 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 Ew4D'; &;
F OD'&Yb& 要求工具箱：光栅工具箱 O:v#M]
J"#6m&R_q 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 sudh=_+> h~Q Q- 一、模拟任务： }S"gZ6 二、光栅的描述 #0) TS
0~<?*{~ 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 JQ LQS
ju:}%' 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 <e&v[
_W@sFv%sj 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 ?taC
!{
'`tFZ fT 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” NXLb'mH~
xqdkc ^b 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 mR2"dq;U
g3s5ra[ 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 Q?hf2iw bv41et+Kb TlO=dLR7d ZYY`f/qi 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm *QNX?8Fm_ nUs=PD3 ) m, +E5^ 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm t .&JPTK-H Cm5L9 9Y dm[JDVv| 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm Nnn~7 "4KyJ;RA* UQ hD8Z'I. 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm Y 8}y0]V >q')%j 2./ z6jXW_ 5. 参数运行 zp4@T)
']Czn._ 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 }.u[';q ]S
UU}Hs} 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 I 8
? WCaMPz 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 \ k$cg ~ o8g] ho n\7 >_ 8\)4wa z$ 7. 总结 !#1UTa
l d%#. ~Q 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 a@_n>$LZL
/2r&ga& 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 W`[7|8(6!
Q(WfWifu-| 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 @CPkP
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