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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 8Si3
aq3
G#fF("Ndu` 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 Wb wwI)1
sC A 要求工具箱：光栅工具箱 ,KCxNdg^#-
i5aY{ 3! 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 )|/%]@` N wjfq" 7Q 一、模拟任务： @N ]]Cf>x 二、光栅的描述 U!(es0rX
>Ptu-* 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 {&J~P&,k
pxn@rN#* 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 L{ rd',
'Y.6 sB 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 #{?~XS
{ [3xi`0- 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” RO@=&3s
>} : 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 [{`2FR:Cd
2;(+]Ad< 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 &$ud ;r# yfal'DqKF A $i^/hJs G\o9 mEzQ 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm T baZFLr d8iq9AP\o 53 -O wjpx 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm :a^/&LbLm &isKU 8n
P) cEYk 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm H~ ^)^6)^T }V[ORGzox `ZbFky{ 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm )*`h)`\y QYi4A "$` 7WwE] ^M 5. 参数运行 0 ?}n( f!S
X`1R &K;z^ 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 ,ga6
i4]oE&G 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 g+5c"Yk+u~ ({Pjz;xM 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 k(M:#o A! C$0g2X VZq ~ -$ lj UdsU w 7. 总结 Le:(;:eL>t
h[&"KA 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 TDUY& 1[
4"_`Mu_% 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 hf^<lJh~=
78Du 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 :PtZKt; ~X
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