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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅(General Grating 2D)元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 {8Jr.&Y2 4R5+"h: 关键词:光栅,光栅工具箱,粗糙表面,可编程光学界面,光栅元件 *k:Sg*neVq /an$4?":~ 要求工具箱:光栅工具箱 ZSj^\JU SsiKuoxk 相关应用案例:案例090.01,案例246.01 FCv3ZF?K Y_n^6 ; 一、模拟任务: g6:S"Em 二、光栅的描述 b&s"/Y89 {7!WtH;- 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓,其周期为5μm,调制深度为468nm(使得最内侧三个级次的效率相同)。 gR)T(%W E"7 iU 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化,由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 z-*/jFE Nq|b$S [4 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数:最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和总高度调制(Total Height Modulation)。使用种子(Seed)变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 w 8M,35b 8KKI.i8` 4. 变量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” M&Aeh8>uX yrO\\No#H 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图,其“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为不同的值。 zmk# gk2H t><AaYij_ 1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为0 D6
B(6
5Y }Z5#{Sd jRP.Je@t a>jiq8d]4 2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为100nm DDh$n?2fd .[Ezg(U}ze =H&@9=D* 3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为500nm &Pu}"M$[MH _JZS;8WYR $CXKeWS=Q. 4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1000nm -}nTwx:|5u GmoY~}cg~ p3Uus''V4 5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1500nm B\BxF6 y Ym~*5| I9GRSm;0< 5. 参数运行 5(kRFb'31F hawE2k0p( 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50nm时,随“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”变化的结果。 |U}al[ / 0Z_$Q&e 2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1.5um时,将“总的高度调制(Total Height Modulation)”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 A%S6&!I:( c%,~1l 6. 具有不同的“总的高度调制(Total Height Modulation)”的结果 X2PQL"` H2oAek( @&!HMl o'S&YD 7. 总结 ]DcQ8D -xi]~svg 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 7U_~_yb ^3*k6h[( 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 %G!BbXlz ,#Y>nP0 3) 大的调制(在x-和y-方向)会造成原始衍射结果强烈的偏差。 &y-(UOqbkP
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