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    [技术]粗糙表面光栅的模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-23
    即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅(General Grating 2D)元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 hi[nUG(OI  
    +Umsr  
    关键词:光栅,光栅工具箱,粗糙表面,可编程光学界面,光栅元件 <l5i%?  
    +=8wZ]  
    要求工具箱:光栅工具箱 6#+&/ "*  
    k\#;  
    相关应用案例:案例090.01,案例246.01 58s-RO6  
    cb9-~*1  
    一、模拟任务 (lM,'  
    二、光栅的描述 <}RI<96  
    ~9+01UU^  
    1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓,其周期为5μm,调制深度为468nm(使得最内侧三个级次的效率相同)。 :0l+x 0l}  
    M_ukG~/  
    2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化,由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 wN!\$i@E:  
    V6][*.i!9  
    3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数:最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和总高度调制(Total Height Modulation)。使用种子(Seed)变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 _&/`-"3y  
    QXZXj#`  
    4. 变量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” ^Lgvey%  
    X,v.1#[  
    下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图,其“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为不同的值。 YbP @  
    c#N4XsG,  
    1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为0 ZW [&7[4  
    =-si| 1Z  
    ynIC (t  
    ^L2d%d\5  
    2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为100nm 1nAm\/&  
    'v]0;~\mp>  
    {6ZSf[Y6B  
    3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为500nm ;l*%IMB  
    /qIQE&V-  
    "] V\Y!  
    4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1000nm f]/2uUsg %  
    q%4X1 W  
    h vYRAQR:  
    5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1500nm ?kO.>o  
    @ 8H$   
    ^!\1q<@n  
    5. 参数运行 -iR2UE@M  
    J 8%gC  
    1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50nm时,随“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”变化的结果。 x2B8G;6u  
    WA (x]""  
    2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1.5um时,将“总的高度调制(Total Height Modulation)”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 m%[e_eS  
    n2mO-ZXud  
    6. 具有不同的“总的高度调制(Total Height Modulation)”的结果 Gm B&TD m  
    +c~&o83[  
    \t!~s^Oox  
    9)oi_U.  
    7. 总结 zQyI4RHG[  
    oy8jc];SO  
    1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。  V;%ug'j  
    N\PdX$  
    2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 r'*$'QY-N  
    /i,n75/y?  
    3) 大的调制(在x-和y-方向)会造成原始衍射结果强烈的偏差。 SI!A?34  
     
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