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    [技术]粗糙表面光栅的模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-23
    即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅(General Grating 2D)元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 xMuy[)b  
    0cS.|\ZTA  
    关键词:光栅,光栅工具箱,粗糙表面,可编程光学界面,光栅元件 9td(MZ%i~N  
    xHL{3^  
    要求工具箱:光栅工具箱 _D+7w'8h  
    Nm^q.)dO  
    相关应用案例:案例090.01,案例246.01 wvh4AE5F|z  
    $@#nn5^IX  
    一、模拟任务 (8EZ,V:  
    二、光栅的描述 z1Ju;k( 8  
    % vP{C  
    1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓,其周期为5μm,调制深度为468nm(使得最内侧三个级次的效率相同)。 Ic r'l$PE  
    f,uxoAS  
    2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化,由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 @\q~OyV  
    S%T1na^x  
    3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数:最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和总高度调制(Total Height Modulation)。使用种子(Seed)变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 5VPuHY2  
    9B%"7MVn  
    4. 变量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” jgO{DNe(=  
    ER|5_  
    下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图,其“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为不同的值。 @rJ#Dr  
    > voUh;L  
    1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为0 P.fgt>v]  
    #Gg^fm  
    (<<eHf,@  
    8t7hN?,t  
    2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为100nm T-x`ut7c  
    oC?b]tzj  
    TfxKvol'  
    3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为500nm +?L~fM69B  
    Aqc(  
    [NFAdE  
    4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1000nm ,onv `  
     m$cM+  
    g 08 `=g  
    5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1500nm C1nQZtF R  
    t +#Ss v8  
    WFdS#XfV  
    5. 参数运行 8~I>t9Q+  
    A} "*`y  
    1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50nm时,随“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”变化的结果。  K A<  
    :L?zk"0C  
    2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1.5um时,将“总的高度调制(Total Height Modulation)”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 un/R7 "  
    [v&_MQ  
    6. 具有不同的“总的高度调制(Total Height Modulation)”的结果 pp-Ur?PM  
    ae<KUThm.  
    Ue\&  
    7oWv'  
    7. 总结 C/w;g3  
    61KJ( rSX3  
    1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 ] x Kmz  
    I2Us!W>6-  
    2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 1,mf]7k$  
    OGVhb>LO1  
    3) 大的调制(在x-和y-方向)会造成原始衍射结果强烈的偏差。 `BvcI n4do  
     
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