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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 g_E$=j92v
"37lx;CH 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 u$z`
3l]lwV 要求工具箱：光栅工具箱 D'>_ I.
uuEV_ "X 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 BX/8O<s0 #&+{mCjs 一、模拟任务： je\Ph5 " 二、光栅的描述 j{ ]I]\=?
]Ee?6]bN 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 m~BAyk^jo3
JBj] najN 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 _{ue8kGt
%X]jaX 7 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 (le9q5Qr.
B^=-Z8 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” ejKucEgD
_`$qBw.Nx 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 c dH>n)
Vsr.=N d= 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 >d XGee>'M +.8
\p5 umBICC]CU J`Q>3] wL 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm AOZP*\k PN%zIkbo OG~gFZr)6 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm NSMyliM1Y n6=By|jRh gk4;>} 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm Jumgb >~rTqtKd ,oe < 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm 2ACCh4(/P m,28u3@r 1# g2A0U, 5. 参数运行 X56q-|
T.F!+ 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 g9pZ\$J&
.<?GS{6
N 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 ? V1*cVD6i T~?Ff|qFC 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 P{`C^W$J^ ]]![EHi(\ g'f@H-KCD dbLZc$vPj 7. 总结 YDsb3X<0'
]#<4vl\ 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 G't$Qx,IC
~NgA 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 Ty\R=y}}
HWAdhDZ 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 s+Pq& <nV-
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