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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 \ jDD=ew
.5*h']iFr1 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 `0Y`]kSY+
:DTKZ9>2D 要求工具箱：光栅工具箱 7U> Xi'?
DT`TA #O 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 ,U+y)w]ar F!*u}8/_! 一、模拟任务： <R)%K); 二、光栅的描述 jj2 [Zh/h
P ,-f]k[_ 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 r >4HF"Nm
A tc <xp 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 (_h<<`@B
DPCB=2E 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 EkotVzR5
#@s[!4)_I 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” n1+1/
e 4- 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 P_S^)Yo
Bw
_^"e8X 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 "mlVs/nsyG &)[?D< I E7%u 92 32nB 9[l 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm S B2R Ws%@SK DX>Yf} 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm `@%hz%8 Y 84g$V}mp a"7zz]XO2 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm ctI =|K O# n<`;W jeb ]3i=pw 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm 3@#WY vD }8
V/Cd9 g R7in!8 5. 参数运行 \4$V ;C/n,
AA=zDB<N 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 Hw"Lo Vh
uG-t)pej 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 \Z NUt$\ @" >^ 2 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 ViZ Tl~ vXA+o)*#/ ,#n$YT7 C_CUk d[ 7. 总结 =CBY _
1ym^G0"s 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 vwF#;jj\
K
qK?w*Qw 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 ) W,tL*9[
|E] `rfr 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 i|N% dl+T=
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