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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 ]W,K}~!
y' sy]Q~ 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 C N9lK29F)
&{ B-a 要求工具箱：光栅工具箱 ZLA&<]Ad"$
Y-(),k_Q: 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 wg6![Uh }g w
`,i 一、模拟任务： BKoc;20; 二、光栅的描述 q|PB[*T
rCcNu 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 xl5n(~g)p
@\gTi;u/x 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 x' Z<
nJ/ w tw 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 z1\G,mJ K
jRz2l`~7# 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” Zd Qm& ?
uA;3R\6? 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 Ks&~VU
?sl 7C
gl 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 ?p{x t$<p C]aa^_Ldd- 4-q7o]%5< s:Us*i=H, 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm eqbxf#H! rl)(4ad= DQg:W |A 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm 5qco 4@8 NLDmZra 4 !l bwqo 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm -&Fxg>FrYb @+ ",f] IY|;}mIF 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm &J|3uY,'j Kb0OauW < i'4EnO 5. 参数运行 k4_Fn61J/
Auhw(b>}TW 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 }~lF Rf
52B
ye 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 #bPio {! RW*B 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 iV#JJ-OBq |u)?h] > 6 w K= HzB&+c? Z 7. 总结 /:>f$k4~h
rtDm<aUh 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 @f0~a
z Q
NL){ 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 ]}9cOb%I
Cog Lo&. 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 Oa~t &s
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