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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 9d#?,:JG
q| 1%G Nb 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 I!*P' {lh
92<+ug = 要求工具箱：光栅工具箱 Yp;Z+!!UZ
Ne Y*l 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 DPxx9lN_rx 5.{= O p! 一、模拟任务： ;QXg*GNAv$ 二、光栅的描述 z:f& k}(
p ;}`PW 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 =|1_6.tz
p 7Wt(A 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 6GunEYK!N8
?DUim1KG 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 + \Jo^\
+a.2\Qt2A 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” oLKliA=q
KMIe%2:b5 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 u'l4=e
A z:~|P 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 auK 9wQ%\ V_J0I*Qa4 NgyEy n
\ / e>%yq<9B 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm 7wx=# lu"0\}7X V*\hGNV 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm V0,J TWc yHw @Z DfAF-Yhut 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm i&>^"_4 rc G]rY1f0 Sz Mh 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm S2'a i ' 9f0UtT|[ j_so s%- 5. 参数运行 ,@f"WrQ
9lYfII}4( 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 H^n@9U;[K
(7G4 v 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 )]C]K B B N7 9\rt
6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 #[=kQ& Uyb0iQ-,s d|RUxNjM-J gd0)s1{9 7. 总结 {OPEW`F
?3BcjD0 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 =_-u;w1D
#8et9 1qw 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 w~6UOA8}
o:QL%J{[ 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 (%L /|F_
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