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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅(General Grating 2D)元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 03xa'Of> E'v_#FLvR 关键词:光栅,光栅工具箱,粗糙表面,可编程光学界面,光栅元件 dA-2%uJ p`mS[bxv! 要求工具箱:光栅工具箱 |>27'#JC P::TO-C 相关应用案例:案例090.01,案例246.01 _]04lGx27 /|r^W\DV&x 一、模拟任务: /d0K7F 二、光栅的描述 e`@ # *}A d{rQzia"mV 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓,其周期为5μm,调制深度为468nm(使得最内侧三个级次的效率相同)。 guX
9} 7q?9Tj3 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化,由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 nnCGg+l
QBtnx[ 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数:最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和总高度调制(Total Height Modulation)。使用种子(Seed)变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 `D>S;[~S7 UQ8M~x5$3% 4. 变量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” j;']cWe .EpV;xq} 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图,其“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为不同的值。 P.6nA^hXB _ 6O\W%it 1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为0 P6E3-?4j N<f"] {xwm^p(f ^=C{.{n 2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为100nm ^cV;~&|.Xk 7]^M># O>SLOWgha 3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为500nm (2$(
?-M C2@,BCR e@c0WlWa 4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1000nm Kpb#K[(]& L~_9_9c 4/mig0"N. 5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1500nm +hvO^?4j OH;b"] Nqw&< x+ 5. 参数运行 TS /.`.gT RD\ 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50nm时,随“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”变化的结果。 6^uq?
.zS?9MP 2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1.5um时,将“总的高度调制(Total Height Modulation)”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 k9)jjR*XxG ="x\`+U 6. 具有不同的“总的高度调制(Total Height Modulation)”的结果 thV>j9' wm]^3qI2 }MRd@ 0-?! 1v,Us5s<"6 7. 总结 p+l !6 @|<<H3I 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 *4_jA]( gfsI6/Y 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 ld3-C55 $"0M U 3) 大的调制(在x-和y-方向)会造成原始衍射结果强烈的偏差。 $tz;<M7B
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