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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 /!yU !`bY
UJAv`yjG 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 gZ3u=uME
_lJ!R:* 要求工具箱：光栅工具箱 sk<3`x+
^B.5G K)! 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 by1<[$8r shy-Gu& 一、模拟任务： qdJ=lhHM} 二、光栅的描述 B:yGS*.tu
hB]Np1(' 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 .GP T!lDc
O'p9u@kc 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 ky,(xT4
X Swl Tg 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 a8e6H30Sm
~]IOK$1F% 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” (&Kk7< #`
( ?1y4M 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 ~OYiq}g
JQ_sUYh~3 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 >^?u
.gM3 b;B%q$sntC YlJ@XpKM >UTBO|95y
2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm $t'MSlF 2G & a{ d`=MgHz 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm ^qvZXb T[w]o}>cW XB;7!8| 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm ~f&E7su-6+ w _ "E*9 :(U ,x<> 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm hE'-is@7 3 8Mv25N >;aWz%- 5. 参数运行 P-9)38`5
]Grek< 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 ,a{P4Bq
RtkEGxw*^ 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 '2A)}uR -lr
vKrt7 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 P [G)sA_" 0I-9nuw,^; niMsQ '6nA F 7. 总结 60^`JVGWH
6fE7W>la 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 sg^zH8,3
6IN
e@ 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 fh& nu"&
\}yc`7T:L0 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 '| 6]_
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