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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 wZ$ tJQO
FOc|*>aKP 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 eN2dy-0
(*MNox?w 要求工具箱：光栅工具箱 wL Y#dm
]G Qv4 -y 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 D DQs42[ TeKC} NW 一、模拟任务： L+8=P<] 二、光栅的描述 1B6C<cL:sU
A%h~Z
a 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 ;]{ {)dst
| O57N'/ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 ;CA ?eI
pF|8OB% 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 qZXyi'(d
v#iFQV Bq 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” $p jf#P8U
d [) _sa 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 `'*F 1F
y +?=E g 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 CdDH1[J kNRyOUy kmmL>fCV"M 3b+7^0frY# 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm 8oa)qaG1 $[j-C9W g iaD9$C 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm D} mo\ #D =
tX FTbT9 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm }Vs~RJM)} _2]e1_= J f\Qf 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm P=f<#l"v Tf9&,!> V PXOrOK 5. 参数运行 M7`UoTc+>d
aw %>YrJ 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 5JQd)[Im
oN.Mra]D 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 ^fA3<| Sja"( sJ 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 ;[?J5X, ^ze@#Cp NFdJb\ _ pY 7. 总结 gUks O!7^1
1i5 vW- '4 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 ~z\pI|DQ
o%vI kXw 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 6&i[g
A>q d2 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 @#bBs9@gv
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