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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 J:G{
qUk-BG8^ 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 fYlqaO4[
T$Z}1e] 要求工具箱：光栅工具箱 PsBLAr\ah
0@RVM| 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 >]kZ2gVt [ ^gb6W9Y 一、模拟任务： K;]Dh? 二、光栅的描述 s1p< F,
?=b#H6vs 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 #v*3-) 8
-`5L;cxwk4 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 Qjmo{' d
i:H]Sb)<b 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 zb.sh
Z9i~>k 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” {Rn*)D9
`bWc<4T 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 er<_;"`1
MHS|gR.c 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 E5\>mf
,;u n(_wt##wE~ =69sWcC8 ?(M]'ia{ 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm $?On ,U lU.aDmy< /sSM<r]5j 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm .Dy2O*` < g64N %!R\-Vej 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm V!s#xXD } Y6 a9S`o ? 8)k6: 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm d"S\j@ 6iY(RYZ7- KO N^ 5. 参数运行 P` y.3aK
y2nT)nL 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 [ -^xw1:
4wx{i6 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 pv^: G; p{&o{+c 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 2#Qw |#Q0UM|'Q 1w+)ne_& `:d\L
H 7. 总结 >^g\s]c[
Gsy'':u 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 yc f)*0k
me90|GOx+ 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 $5DlCN
:bkmm,%O 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 b]*OGp4]5
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