-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-04-23
- 在线时间1766小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 1Lz`.%k`:
.B*Yg<j 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 x&sT )=#
F 7a &- 要求工具箱：光栅工具箱 7Z5,(dH>
WI9'$h B\ 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 !VpZo*+ g0I<Fan 一、模拟任务： IcZ_AIjlk 二、光栅的描述 idn n%iO
lMAmico 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 ka{9{/dz3
X@Eq5s 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 vM~/|)^0sW
*E0+! 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 z: 9
*E:w377<} 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” _P tf^+
+JZ<9,4 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 ]_I<-}?;
RK(uC-l 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 $t.N |b`' jjBcoQU$o q_HC68YF, ? I}js m1) 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm Iu|G*~\ gJi11^PK 3Zg=ZnF 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm ]n?a h R4!qm0Cd QNF A#`H 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm p`gg R*.X bkW~ oV ?tp4& 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm J x -^WB COv#dOw +f\tqucI3 5. 参数运行 %_M B -
Fdd$Bl.&XS 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 nhk + 9
kr8NKZ/ 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 N\H{p %8 U"-mLv"| 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 >If J.g" q "bpI8j <<(~'$~,L 2t1 WbP1 7. 总结 vtR<(tOu@
;knSn$ 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 R.A}tV=j#
0'^? m$ 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 ~J)4 (411
( NjX?^ 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 v7O{8K +
|
