关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 =Lh8#>T\h
G$^u2wz. 1. 描述 b FMBIA| ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 FUP0X2P ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 j%U'mGx ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 $$
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bhl9:`s 2. 系统 R?3N><oh* >vR7l&" 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
%{|67h 3. 透镜系统组件编辑 }Ug O$1
* lJkk
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Ueu~803~
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 h ^.jK2I
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 HdR TdV
■ 包括序列光学表面和光学介质。 OcE,E6LD
wX4gyr ,rNv} 4. 光线追迹系统分析器-选项 \>\_OfY1W X:/7#fcG8 o?g9Grk
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 aKFY&zN?
■ 可以选择选取光线的方法: tZ.hSDH
— 在x-y-网格 czLY+I;V3
— 六边形 -l~+cI \2
— 自由选取 V"|`Z}XW
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 eJ0Xfw%y%T Qp;FVUw9 5. 系统的3维视图 V2SHF ~_F <"40
U+Vb#U7; 6. 其他系统参数 !{?<(6;t ■ 系统由单色平面波照明 l[6lXR&| ■ 照明波长266.08nm <c&Nm_) ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: NdmwQJ7e" — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 [VE>{4]W — 一个虚拟屏位于焦平面 ]-sgzM]q — 光束尺寸探测器置于焦平面 _7;D0l ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 4 'DEdx,&f Ie[DTy z+K1[1SM /?1^&a _/J`v`}G 7. 光线追迹系统分析器的结果 hs*n?vxp3 ,FwJ0V 光线经过整个光学系统的三维视图
A!v:W6yiz 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
tZY6{,K%4 fizL_`uMqb oL7F^34; P
@~) 9W (e#f s~m]>^?8MR 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 KJv[z 6!C>J#T %us#p|Ya
■ VirtualLab可用于计算点列图。 &Z(6i}f,Gp
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 i}O.,iH
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 *mkVk7]c
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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Nj.;mr< 9. 焦平面上的结果 eVzZfB-=4}
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 {TvB3QOsj
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 1/v#Z#3[
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm xKkXr-yb`f
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 m:c0S8#:
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 3U'l'H, >=86*U~ 10. 总结 ?z0W1a ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 <b?$-Rx ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 PU4-}!K ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 V@nZ_. ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ]!uId#OH