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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 E^{!B]/oP  
    !or_CJ8%  
    1. 描述 {=&( { cS  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 L|s\IM1g  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 |-*50j l  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 y>h9:q|  
    J2oh#TGp  
    2. 系统 ?0sTx6x@  
    ;[P>  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    d>MDC . j  
    3. 透镜系统组件编辑 7l*vmF6Z  
    t3^`:T\  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 };P=|t(r  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 L"S2+F)n  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 qZV|}M>P)  
    包括序列光学表面和光学介质。 v}AjW%rB  
    WL,2<[)Ew  
    (IjM  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 5{DwD{Q  
    jyyig%  
    p9\*n5{  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ([rSYKpi  
    可以选择选取光线的方法: : #n>Q1}x  
    — 在x-y-网格 `@ ,Vbn^_  
    — 六边形 G8?Do+[  
    — 自由选取  H4YA  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    br k*;  
    ,(sE|B#s  
    5. 系统的3维视图 ",Mrdxn7  
    G^VOA4  
    EX, {1^h  
    6. 其他系统参数 &IRM<A!8  
    系统由单色平面波照明 ;0?OBUDO  
    照明波长266.08nm Ml?KnSb  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能:  ZpBP#Y*  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 *D[yA  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ^liW*F"UY  
    光束尺寸探测器置于焦平面 (=1zMZ o  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 )xz_ }6b]  
    lS p"(&  
    DC BN89#  
    c1y+k vv  
    61gyx6v  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 _]D 6m2R  
    .O#7X  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    MI:%Eq  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    II~91IEk  
    <1* \ ~CX  
    kG}F/GN?  
    Vwjic2lGI  
    OpIeo+^X*  
    r[GH#vF;7  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 3qH1\  
    vfmY >nr  
    Lh.-*H  
    VirtualLab可用于计算点列图。 f:~$x  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Y}Y~?kE>M|  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Q%J,: J  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 {&B0kjf  
    El :% \hGy  
    9. 焦平面上的结果 R2 J A(Hn  
    '(N(k@>{  
    ovXk~%_  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 [EZ=tk  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 dIhfp7|  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm R>;&4Sjr  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 g4+Hq *  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
     +`ov1h  
    Bm%|WQK  
    10. 总结 /nX_Q?mo  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 w&J_c8S  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 XAtRA1.  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 + DE/DR:  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 d'3"A"9R7-  
     
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