关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 SHoov
=)h<" 2 1. 描述 "PFczoRZ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 5g x9W\a ? ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 L9lN AiOH ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 rLkUIG
S_Tv Ix/7& 2. 系统 0XkLWl|k TO(2n8'fdO 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
DGs=.U-=e 3. 透镜系统组件编辑 rNi]|)-ET
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 /mi9q
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Z.4 vKO[<
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 uTWij4)a
■ 包括序列光学表面和光学介质。 n]G_#
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9s#Q[\B! iRbTH}4i 4. 光线追迹系统分析器-选项 JYAtQTOR J|O=w( &-S;.}
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 NWSm
■ 可以选择选取光线的方法: [N35.O6P6u
— 在x-y-网格 NmH1*w<A
— 六边形 *btLd7c%
— 自由选取 "8.to=Lx
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 !Q/%N# BzVF!<! 5. 系统的3维视图 : ~RY /Zzb7bHLK
UQ7E7yY# 6. 其他系统参数 "M-zBBY ] ■ 系统由单色平面波照明 bNH72gX2Yh ■ 照明波长266.08nm +vDEDOS1 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 46yq F — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 `Kt]i5[ " — 一个虚拟屏位于焦平面 slQxz;t — 光束尺寸探测器置于焦平面 ""Ub^:ucD ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 t PJW|wo 0xN1Xm0d $]
gwaJ: bu2@~ )=k8W9i8b 7. 光线追迹系统分析器的结果 kVqRl%/3Tb ~.:9~(2; 光线经过整个光学系统的三维视图
!,SGKLs.m 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
@W_=Z0] 6'F4p1VG*I Y:x,pPyl LH:M`\(DL1 Iu)76Y@=5= EMTAl;P 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 <P%<EgOE ]* #k|>Fl S-5|t]LV
■ VirtualLab可用于计算点列图。 9s.x%m,
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Pse1NMK9 [
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Yn~N;VUA
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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-&7\do< 9. 焦平面上的结果 ~Z{IdE
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 f%g^6[
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ^zfO=XN
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm *GGiSt
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 8Qo~zO
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 76} a W1$<,4j@M 10. 总结 0afDqvrC6 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 @)IHd6 R ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 q!qOy/}D ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 2#XYR>[ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 _MI8P/