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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 SH oov  
    =)h<" 2  
    1. 描述 "PFczoRZ  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 5g x9W\a ?  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 L9lNAiOH  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 rL kUIG  
    S_Tv Ix/7&  
    2. 系统 0XkLWl|k  
    TO(2n8'fdO  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    DGs=.U-=e  
    3. 透镜系统组件编辑 rNi]|)-ET  
    >e g8zN  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 /mi9 q  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Z.4 vKO[<  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 uTWij4)a  
    包括序列光学表面和光学介质。 n]G_# ;  
    9s#Q[\B!  
    iRbTH}4i  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 JYAtQTOR  
    J|O=w(  
    &-S;.}  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 N WSm  
    可以选择选取光线的方法: [N35.O6P6u  
    — 在x-y-网格 NmH1*w<A  
    — 六边形 *btLd7c%  
    — 自由选取 "8.to=Lx  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    !Q/%N#  
    BzVF!<!  
    5. 系统的3维视图 : ~R Y  
    /Zzb7bHLK  
    UQ7E7yY#  
    6. 其他系统参数 "M-zBBY]  
    系统由单色平面波照明 bNH72gX2Yh  
    照明波长266.08nm +vDEDOS1  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 4 6yq F  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 `Kt]i5[ "  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 slQxz;t  
    光束尺寸探测器置于焦平面 ""Ub^:ucD  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 t PJW|wo  
    0x N1Xm0d  
    $] gwaJ:  
    bu2@~  
    )=k8W9i8b  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 kVqRl%/3Tb  
    ~.:9~(2;  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    !,SGKLs.m  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    @W_=Z0]  
    6'F4p1VG*I  
    Y:x,pPyl  
    LH:M`\(DL1  
    Iu)76Y@=5=  
    EMTAl;P  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 <P%<EgOE  
    ]* #k|>Fl  
    S-5|t]LV  
    VirtualLab可用于计算点列图。 9s.x%m,  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Pse1NMK9 [  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Yn~N;VUA  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 CnXl 7"  
    - &7\do<  
    9. 焦平面上的结果 ~Z{IdE  
    ]Qu.-F#g  
    !{WIN%O  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 f%g^6[  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ^zfO=XN  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm *GGiSt  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 8Qo~zO  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    7 6} a  
    W1$<,4j@M  
    10. 总结 0afDqvrC6  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 @)IHd6 R  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 q!qOy/}D  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 2#XYR>[  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 _MI8P/  
     
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