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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 P|0dZHpT  
    0-s[S  
    1. 描述 O{P@fv%~(o  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 F},#%_4  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ( L{>la!  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 VaV(+X  
    -MA/:EB  
    2. 系统 oR``Jiob|  
    yX`5x^wVw  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    NA=I7I@  
    3. 透镜系统组件编辑 '3<AzR2  
    &>jSuvVT  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 seNJ6p=`  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ET2^1X#j  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 T6Oah:50EM  
    包括序列光学表面和光学介质。 j'\!p):H  
    Ne!0`^`~  
    W{)RJ1  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 DK6^\k][V  
    Es7+bFvsE8  
    T(@J]Y-  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 XA1gV>SJ  
    可以选择选取光线的方法: 47/14rY 2  
    — 在x-y-网格 `l%)0)T  
    — 六边形 Q;h6F{i  
    — 自由选取 c] '-:=  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    w$`[C+L  
    CyHaFUbZ  
    5. 系统的3维视图 6=aXz2.f  
    b235Zm  
    $vC}Fq  
    6. 其他系统参数 3EVAB0/$  
    系统由单色平面波照明 WP}NHz4H  
    照明波长266.08nm )XFaVkQ}  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: [yyL2=7  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 sY%nPf~9q'  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 9ZYT#h  
    光束尺寸探测器置于焦平面 <3SO1@?  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 GW;\ 3@o  
    bE6:pGr  
    Y|3n^%I  
    Q 1:7 9  
     mS]&  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 CRh.1-  
    'xG:v)(  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    o<\u Hr3  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    n2p(@  
    DwNEqHi  
    X<8   
    CI8bHY$  
    .7`c(9<  
    ^+MG"|)u~  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 JNx;/6'd,  
    #Rj&PzBe  
    0rA&Q0  
    VirtualLab可用于计算点列图。 |jhu  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 kc:>[{9  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Lk>GEi|  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 F, 39'<N[  
    7`pK=E}+  
    9. 焦平面上的结果 >u0B ~9_E  
    H[e=^JuD  
    )J>-;EYb8  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 _@/nc:)H  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 nX>HRdC  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm ,| Zkpn8  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 ?E6 C|A$I  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    0)0,&@])7  
    +#LD@)G  
    10. 总结 sVNM#,  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 "T~ce@  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ui!MQk+D9  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 gY/p\kwsj  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 \-Ipa59U  
     
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