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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 7K5D,"D;1  
    m\0Xh*  
    1. 描述 7xhBdi[ dQ  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 mw\ z'  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 d :a*;F  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 L/[b~D>T%  
    YUGEGXw  
    2. 系统 6w"_sK?  
    !jySID?q  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    }%T8?d]  
    3. 透镜系统组件编辑 ]SO-NR  
    _,ki/7{  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 w YEkWB^  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ^?~WIS  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 pz hPEp;  
    包括序列光学表面和光学介质。 qdOUvf  
    ;UAi>//#   
    <TDp8t9bU  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 e2dg{n$6"  
    ~~B`\!n7  
    Z)7|m  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 !bq3c(d  
    可以选择选取光线的方法: &>xd6-  
    — 在x-y-网格 G2[? b2)8  
    — 六边形 g0Ff$-#7  
    — 自由选取 Fcz}Gs4  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    Gkr]8J  
    (*K=&e0O  
    5. 系统的3维视图 +NT8dd  
    Rt9S  
    na4^>:r~  
    6. 其他系统参数 ,bGYixIfYZ  
    系统由单色平面波照明 Sc/\g  
    照明波长266.08nm "C/X#y   
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: TOx >Z  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Jqp;8DV}  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 0XWhSrHM  
    光束尺寸探测器置于焦平面 Bs!F |x(  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 E5+-N  
    _no;B_m~  
    DTMoZm  
    fN!lXPgM  
    hRFm]q  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 v.q`1D1=t  
    I" hlLP  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ~85>.o2RDW  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    _pN:p7l(  
    SmUj8?6"  
    2N}UB=J  
    u==`]\_@  
    49Q tfk  
    Oj,v88=  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ?heg_ ~P  
    GD -cP5$  
    >oGs0mej  
    VirtualLab可用于计算点列图。 _Oc(K "v  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Pea2ENe3  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 k E},>+W+  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 6g-Q  
    Rh :|ij>B  
    9. 焦平面上的结果 !x$6wzKa  
    >|1$Pv?  
    8fSY@  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 [q!/YL3 %  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 bP)( 4+t~  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 1$#1  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 ak"W/"2:  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    d2U+%%Tdw  
    p&$O}AX|  
    10. 总结 F^Y%Q(Dd7w  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 pdySip<  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 :lBw0{fP  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 gski:C   
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 UGDB4S  
     
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