关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 Ic P]EgB
1 VcZg%I 1. 描述 H)ud?vB6 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ~#C7G\R ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 UBLr|e>dQE ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ^cn%]X#.
%`?IY < 2. 系统 }CIH1q3P TY"8.vd 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
i^f*Em1 3. 透镜系统组件编辑 k+t?EZ6L
s#hIzt
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 p
D-k<8|
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 I<Wp,E9G#
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 0Q`Dp;a5&
■ 包括序列光学表面和光学介质。 5<^$9('
ark~#<SqAr F0(P2j 4. 光线追迹系统分析器-选项 H,u {zU') x-1RmL_% '1+s^Q'pc
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 f{mWy1NH\
■ 可以选择选取光线的方法: i&= I5$
— 在x-y-网格 {<+B>6^
— 六边形 mSdByT+dG
— 自由选取 %Ya%R@b}
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 l|RBO+} Y7vUdCj 5. 系统的3维视图 ;UUpkOQO( 1cq"H/N
X$BN&DD 6. 其他系统参数 <hkSbJF ■ 系统由单色平面波照明 <;kcy :s ■ 照明波长266.08nm ![1+=F! ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Z(F['Zf — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 }:+SA — 一个虚拟屏位于焦平面 &rs — 光束尺寸探测器置于焦平面 71b0MHNkvv ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 0gTv:1F/ BA(erf> Zaime X(_xOU)V 5ir
Ffr 7. 光线追迹系统分析器的结果 )SU\s+"M ] MP*5U>; 光线经过整个光学系统的三维视图
/|s~X@%K 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
w}|XSJ! -d>2&)5 vbBNXy/ RISDjU3 G.")Bg RW-)({ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 (;!92ct[? \3"jW1Wb e'I/}J
■ VirtualLab可用于计算点列图。 WwUhwY1o!L
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 0Wkk$0h9
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 6C'W
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
%plu]^Vy
|VX )S! 9. 焦平面上的结果 #B2a?
I4XnJ[N%
pl}nbY
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 S2i*Li
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 _"%hcCMw
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm o%yfR.M6$
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 r=Tz++!
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 \+)aYP2Hu dl]pdg< 10. 总结 R?t_tmKXC! ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 *O|_)G ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 DHq#beN ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 &=^YN"=Z ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 _lG|t6y