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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 2m,t<Y;  
    *5mJA -[B+  
    1. 描述 ~pw%p77)  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 LHMA-0$?)  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 9gFfbvd  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 eB_ M *+^  
    s+9b.  
    2. 系统 _| >bOI  
    4oPr|OKj{*  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    >mMmc!u>G  
    3. 透镜系统组件编辑 b v 4  
    DI\^&F)3T2  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ^. ~ F_  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 DfZ)gqp/Av  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 2NF#mWZ(s  
    包括序列光学表面和光学介质。 E9Hyd #A  
    K7},X01^  
    Uc0Sb  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 /mQ9} E4X  
    6oLZH6fG  
    b`^mpB*6R  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 b/UjKNf@  
    可以选择选取光线的方法: lj %k/u  
    — 在x-y-网格 "v+%F  
    — 六边形 lT+N{[kLt*  
    — 自由选取 eR!K8W  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    q;<Q-jr&O  
    J1d|L|M  
    5. 系统的3维视图 pbNW l/|4  
    IWnyqt(k  
    S^ JUQx7  
    6. 其他系统参数 fj[tm  
    系统由单色平面波照明 0hX@ta[Up  
    照明波长266.08nm 4(p,@e31  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: .GuZV'  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 l 5z8]/  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 D}K/5iU]a  
    光束尺寸探测器置于焦平面 UY&DXIPM  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Cz#3W8jV  
    etL)T":XV  
    Yd$64d7,h  
    5U.,iQ(d  
    1~9AQ[]w8  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 /[Sy;wn  
    Bk8 '*O/)  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    `*Jw[Bnh8  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    FUKE.Uxd  
    <P<^,aC/j  
    cP[]\r+Kj  
    W'<cAg?  
    Ujss?::`G  
    }{@RO./)[  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 0%5x&vx'S  
    :@q9ll`6u  
    g bwg3$!9  
    VirtualLab可用于计算点列图。 b}jLI_R{  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 f>C|qDmT  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 o)IcAqN$H  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 0Z>oiBr4  
    0 ;ov^]  
    9. 焦平面上的结果 m#(ve1E  
    N>_d {=P  
    ^Sz?c_<2P  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 &)|3OJ'o  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 b{Kw.?85  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 7Om)uUjU4  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 |A@Gch fd  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    ;t}ux  
    05m/iQ  
    10. 总结 b3!,r\9V  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 7&9'=G  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 UT7".1H  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 IWcYa.=tZ  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 me`( J y<  
     
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