关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 3Zaq#uA
9QOr,~~s 1. 描述 R?bn,T> ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 {8{t]LK< ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ;-9zMbte: ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 B%eDBu
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^x_ >r6 2. 系统 A{4G@k+#d j(Fa=pi 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
d DIQ+/mmg 3. 透镜系统组件编辑 4/HY[FT
9 wSl,B-
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 =GH@.3`X
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 c_qcb7<~.
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 6^]`-4*W
■ 包括序列光学表面和光学介质。 192 .W+H<
nIV.9#~& h9<mThvgn 4. 光线追迹系统分析器-选项 %\X P: y$j1?7 W$ JY M3!
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 S_T{L
■ 可以选择选取光线的方法: TV1e
bH7q
— 在x-y-网格 W+d9cM=
— 六边形 d7W%zg\T
— 自由选取 fuNl4BU
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 2I]]WBW#: q)K-vt)98 5. 系统的3维视图 Wj&<"Z6'm( kZU"Xn C
'B4 mmC 6. 其他系统参数 2!{_/@I\Y ■ 系统由单色平面波照明 0)A=+zSS1 ■ 照明波长266.08nm -O~C m}e ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: F* 3G_V — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 '^Pq(b~ — 一个虚拟屏位于焦平面 wUru1_zjO — 光束尺寸探测器置于焦平面
&7L~PZ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 c&Gz>
L zQL!(2 r +p@X tXf}jU} YH<$ +U 7. 光线追迹系统分析器的结果 _L*f8e8 xNC* ]8d 光线经过整个光学系统的三维视图
_-@ZOhw& 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
C+/Eqq^( 9USrgY6_ ,pDp>-vI% H/^~<U#p u{g]gA8s -]Q3/"Q 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 X!U]`Qh /QrA8 2-8YSHlh
■ VirtualLab可用于计算点列图。 a<f;\$h]
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 gXq!a|eH
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Y[f,ia
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 m3U+ du
Xy[}G p 9. 焦平面上的结果 ?D1x;i9<
`[X6#`<
c *.G]nRc
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 SW3wMPy&s
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 &[NVP&9&U
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm /t$rX3A
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 P-[fHCg~
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 a;56k q|n97.vD 10. 总结 3 sS=?q ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 M]J[6EW ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 d-hbvLn ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 |)^clkuGX ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 HMF8;,<_w?