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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 "E>t, D  
    wO"GtVd  
    1. 描述 _@E "7<\  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 7<yp"5><)  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 i=8UBryr'e  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 rR!U;  
    H4skvIl  
    2. 系统 M}!A]@  
    F14(;'Az  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    KzkgWMM  
    3. 透镜系统组件编辑 >%c*Xe  
    k,X74D+  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 p`GWhI?  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 8X~h?^Vz  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 oP]L5S&A  
    包括序列光学表面和光学介质。 Tiprdvm<  
    ?`A9(#ySM  
    ~JE|f 7  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 >Zdi5') 5  
    Z}[xQ5  
     N ?+eWY  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 l<2oklo5  
    可以选择选取光线的方法: 6_U |(f  
    — 在x-y-网格 Q>IH``1*e  
    — 六边形 dwp: iM  
    — 自由选取 4p x_ZD#J  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    E0`[G]*G  
    P Ey/k.  
    5. 系统的3维视图 y#bK,}  
    8&T,LNZoY  
    W^(Iw%ek  
    6. 其他系统参数 ]-KV0H  
    系统由单色平面波照明 966<I56+  
    照明波长266.08nm cno;>[$  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: %uEtQh[  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ;>C9@S+  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 <~O}6HQ#  
    光束尺寸探测器置于焦平面 i7f%^7!  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 M1(9A>|nF  
    &gWiu9WbS  
    B<+pg  
    {~nvs4X  
    !3HsI| $<G  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 {,F/KL^u  
    aG Ef#A  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    lO_c/o$  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    xDLMPo&  
    !^1[ s@1  
    ,$BgR2^  
    #~1wv^  
    w~{| S7/  
    s@ z{dmL  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 YJc%h@_=]  
    v\'r Xy  
    Y.9~Bo<<r  
    VirtualLab可用于计算点列图。 yP%o0n/"x  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 r!~(R+,c  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Lb^(E-  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 K{N%kk%F  
    E+Im~=m$  
    9. 焦平面上的结果 K@*rVor{  
    XW^8A 77H  
    }z?xGW/k  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 `>\4"`I  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 %awVVt{aG  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 363cuRP  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 s1Okoxh/!V  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    _l<| 1nH  
    0w'|d@*wV  
    10. 总结 N tO?  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 2@4x"F]U;  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 6QW<RXom  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 #TIX_RXh  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 VOg/VGJ  
     
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