关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 #QPjkR|\
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&\yj9 1. 描述 OVJ0}5P* ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 mR~&)QBP. ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 =-T]3! ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 92c HwWZ!
omFz@ 2. 系统 @c#(.= \!(zrfP{( 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
43w}qY1 3. 透镜系统组件编辑 ,I9bNO,%JK
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 5N]"~w*
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 \^LFkp
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 KXrjqqXs
■ 包括序列光学表面和光学介质。 "|NI]Kv
>ef6{URy< Fcx&hj1gQ 4. 光线追迹系统分析器-选项 [K Qi.u &[9709 (= I'Hf{Erw
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ~~.}ah/_d
■ 可以选择选取光线的方法: b$7 +;I;
— 在x-y-网格 {vj)76%y
— 六边形 YR70BOxK
— 自由选取 NHt\
U9l'
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 F{wzB sT.ss$HY9, 5. 系统的3维视图 iCoX&"lb QPx^_jA
k+/6$pI 6. 其他系统参数 WxDh;*am: ■ 系统由单色平面波照明 GY*p?k<i ■ 照明波长266.08nm @iiT< ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: +_!QSU,@ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 @W<m4fi — 一个虚拟屏位于焦平面 VUc%4U{Cti — 光束尺寸探测器置于焦平面 RCrCs ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 iscz}E,Y B?QIN] o-\[,}T)M Ef\-VKh $qiya[&G4 7. 光线追迹系统分析器的结果 _`V'r#Qn S/ *E,))m 光线经过整个光学系统的三维视图
~u{uZ(~ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
OI*H,Z" hp2t"t 3$tdwe$S v19-./H^
j W^Yxny 7$b1<.WX 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 +vH4MwG$.& H}!r|nG #WuBL_nZ~
■ VirtualLab可用于计算点列图。 !if
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 K'bP@y_cq
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 | Iib|HQ)
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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9x8fhAy}4 9. 焦平面上的结果 7_L;E~\
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 do%&m]#;
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 |>Vb9:q9Po
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm $`c:&
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 uZ5p#M_
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 "g|#B4'e #R"*c
hLV 10. 总结 M{@(G5 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 M+>u/fldV ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Uly ue ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 P?\6@_ Z ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 M7T5
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