关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 |],{kUIXO
akJ{- 1. 描述 cO)GiWE ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 dr,j~ s ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 dL6sb;7R ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 <mrLld#_:C
qL A 2. 系统 99:`58G uZd)o
AB 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
[RC|W%<Z> 3. 透镜系统组件编辑 (:Bo'q
S
{\C$Bz
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 kJJQcjAP:
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 LEyn1d
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 if#$wm%
■ 包括序列光学表面和光学介质。 k(%RX_]C
e!eWwC9u ,_\h)R_ 4. 光线追迹系统分析器-选项 -s:JD J* R;I}#b cJ !l.Rv_o<O
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 d@8_?G}
■ 可以选择选取光线的方法: pA+Qb.z5z
— 在x-y-网格 ,A[HYc|uy
— 六边形 #z~D1Zl
— 自由选取 YwB5Zqr
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 .}Bb
:*@ K8284A8v 5. 系统的3维视图 O}IS{/^7 ~aA+L-s|
Haq23K 6. 其他系统参数 f4!^0%l ■ 系统由单色平面波照明 *zz/U
(9D ■ 照明波长266.08nm 2z )h,<D ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: *$ ^ME — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 6"&&s — 一个虚拟屏位于焦平面 -#rFCfPy^ — 光束尺寸探测器置于焦平面 EMs$~CL4 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 g\ <Lb @H7dQ,% TN/I(pkt1B {oz04KGsH mN@0lfk; 7. 光线追迹系统分析器的结果 mUnnk`v qDcl;{L 光线经过整个光学系统的三维视图
bs_I{bCu? 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
VMHiuBz: x6:$lZ( J8/>b{Y W{Nhh3 Eq'{uV: '|WMt g 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 {/R4Q1 )I!l:!Ij*D <`6-J `.
■ VirtualLab可用于计算点列图。 3@6f%Dyj
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 g*Cs/w
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Jc{zi^)(EN
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
Kpj0IfC,10
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1a 9. 焦平面上的结果 xA&