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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 j{)_&|^{  
    Ap}^6_YXd  
    1. 描述 3QL I|VpO  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 m.ib#Y)y  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 _M n7zt1^  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 `% sKF  
    A%H"a+  
    2. 系统 FI @!7@  
    w6 C0]vh  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    }Dk*Hs^E  
    3. 透镜系统组件编辑 1+;Z0$edxz  
    KiXXlaOs  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 8l(_{Y5(-  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 U 00}jH  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 g~FA:R  
    包括序列光学表面和光学介质。 m`(5B  
    I;dc[m  
    ]Bo !v*12  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 B%HG7  
    h-B&m:gD_U  
    ><o dBM-  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ,DrE4")4  
    可以选择选取光线的方法: l4c9.'6  
    — 在x-y-网格 CBC0X}_`  
    — 六边形 &Q7vY  
    — 自由选取 Y{P0?`  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    C[h"w'A2  
    gC-3ghmgS  
    5. 系统的3维视图 zcCX;N  
    'F[m,[T%x  
    CR$\$-  
    6. 其他系统参数 #biI=S  
    系统由单色平面波照明 cPcp@Dp  
    照明波长266.08nm T_}9b  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: $bQ[H[4l  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Gni<@;}  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 w i,}sEoM  
    光束尺寸探测器置于焦平面 +an.z3?w  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 5c?1JH62o8  
    .Y}~2n  
    ,k}-I65M*t  
    Ew>E]Ys  
    V4]t=3>  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 9&R. <I  
    gkDyWZG B  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    {j%'EJ5  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    @ i $jyc  
    =aM(r6 C  
    ~Rx:X4|H  
    ^8p=g -U\  
    qV^Z@N+,  
    &S/@i|_  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 9 06b=  
    nCF1i2*6|"  
    jqULg iC  
    VirtualLab可用于计算点列图。  egur}  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 4\qnCf3  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Ke0j8|  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 5>{S^i~!  
    WEgJ_dB  
    9. 焦平面上的结果 r(g:b ^S  
    "<f"r#   
    >OP[ qj  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 WP/?(%#Y  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Ae,P&(  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm I"TFj$Pg  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 DEj6 ky  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    (* WO<V  
    DbRq,T  
    10. 总结 {OA2';3  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 #~(J J  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 6_KO6O7g  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 t= =+SHGP  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 A.0eeX{  
     
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