关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 P|0dZHpT
0-s[S 1. 描述 O{P@fv%~(o ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 F},#%_4 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 (L{>la! ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 VaV(+X
-MA/:EB 2. 系统 oR``Jiob| yX`5x^wVw 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
NA=I7I@ 3. 透镜系统组件编辑 '3<AzR2
&>jSuvVT
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 seNJ6p=`
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ET2^1X#j
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 T6Oah:50EM
■ 包括序列光学表面和光学介质。 j'\!p):H
Ne!0 `^`~ W{)RJ1 4. 光线追迹系统分析器-选项 DK6^\k][V Es7+bFvsE8 T(@J]Y-
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 XA1gV>SJ
■ 可以选择选取光线的方法: 47/14rY
2
— 在x-y-网格 `l%)0)T
— 六边形 Q;h6F{i
— 自由选取 c] '-:=
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 w$`[C+L CyHaFUbZ 5. 系统的3维视图 6=aXz2.f b23 5Zm
$vC}Fq 6. 其他系统参数 3EVAB0/$ ■ 系统由单色平面波照明 WP}NHz4H ■ 照明波长266.08nm )XFaVkQ} ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: [yyL2=7 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 sY%nPf~9q' — 一个虚拟屏位于焦平面 9ZYT#h — 光束尺寸探测器置于焦平面 <3SO1@? ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 GW;\3@o bE6:pGr Y|3n^%I Q
1:7 9 mS]& 7. 光线追迹系统分析器的结果 CRh.1- 'xG:v)( 光线经过整个光学系统的三维视图
o<\uHr3 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
n2p(@
DwNEqHi X<8 CI8bHY$ .7`c(9< ^+MG"|)u~ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 JNx;/6'd, #Rj&PzBe 0rA&Q0
■ VirtualLab可用于计算点列图。 |jhu
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 kc:>[ {9
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Lk>GEi|
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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7`pK=E}+ 9. 焦平面上的结果 >u0B ~9_E
H[e=^JuD
)J>-;EYb8
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 _@/nc:)H
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 nX>HRdC
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ,| Zkpn8
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ?E6C|A$I
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 0)0,&@])7 +#LD@)G 10. 总结 sVNM#, ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 "T~ce@ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ui!MQk+D9 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 gY/p\kwsj ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 \-Ipa59U