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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 U/|H%b  
    Yp_R+a^  
    1. 描述 &Vtgh3I  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 $)5-}NJf'  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 i~k9s  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ,3zF_y(*Y  
    }#rdMh  
    2. 系统 l9 |x7GB  
    l/JE}Eg(  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    fnUR]5\tc  
    3. 透镜系统组件编辑 Zy -&g:  
    ^lP_{ c  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 wM^_pah#Y5  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 {c3u!} mW  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ;bZIj` D(  
    包括序列光学表面和光学介质。 DM-8azq $  
    7sQw&yUL)  
    % 1+\N  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 p:hzLat~  
    8%$Vj  
    ww]^H$In  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 r*'X]q|L+  
    可以选择选取光线的方法: CXQPbt[5  
    — 在x-y-网格 w :w  
    — 六边形 f|*vWHSM  
    — 自由选取 u7e g:0Y  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    A-GRuC  
    NjCdkT&g  
    5. 系统的3维视图 M@>EZ  
    >t/P^fr_F  
    Kzs]+Cl  
    6. 其他系统参数 pLFJ"3IJB  
    系统由单色平面波照明 lD8&*5tDmP  
    照明波长266.08nm nC3U%*l  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Z(S=2r.  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 PC_#kz  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 Y}bJN%M  
    光束尺寸探测器置于焦平面 ERW>G {+  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Sv7_-#SW<(  
    x*~a{M,h  
    1GnT^u y/  
    N F[v/S  
    FT1h\K|a  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 u7=jtB   
    {QTrH-C  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    *nB fF{y  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    F Ty`#*7Ul  
    !OJ@ =y`i  
    -$(,&qyk  
    [mSK!Y@u  
    N#;k;Z'iL  
    y&0&K 4aa  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 o |7]8K=  
    |5wuYG  
    fq){?hk~O  
    VirtualLab可用于计算点列图。 Lc|5&<8ZG1  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 BX|+"AeF  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 a2dlz@)J  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 T,72I  
    ^|6%~jkD5  
    9. 焦平面上的结果 kO:iA0KUX  
    5#zwd oQ  
    }2.^n{Y  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ZhKYoPIq  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。  H}NW?  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm rsP3?.E  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 /;M0tP  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    *'+OA6  
    ?Uzs^rsb  
    10. 总结 jfyV9)  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 D?rQQxb  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Y8I$J BO  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 6&=xu|M<x=  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 =:U63  
     
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