关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 >X*Mio8P#
^eW}XRI 1. 描述 }9nDo*A"} ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 R8.CC1Ix ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 @A)R_p ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 wEzKqD
Nk {XdrY 2. 系统 {BKl` 1z odIZo|dv 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
LjV]0%j?r 3. 透镜系统组件编辑 $s<Ne{?
2t $ j
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Bn>8&w/P
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 &+G"k~%
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ou
%/l4dC
■ 包括序列光学表面和光学介质。 b(9FZ]7S
4H@Wc^K Rb\6;i8R 4. 光线追迹系统分析器-选项 >[X{LI(_<< .7n\d55a ?McQr1
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ek&kv #G
■ 可以选择选取光线的方法: o/ui)U_
— 在x-y-网格 {[+2n]f_G
— 六边形 $8a(veXd
— 自由选取 < y*x]}
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 /T.KbLx~q +iI&c
s 5. 系统的3维视图 Q,80 Hor#J j2 !3rI
: }`-B0 6. 其他系统参数 (ND4Q[*6 ■ 系统由单色平面波照明 }x&N^Ky3c ■ 照明波长266.08nm ]THPSw_y8 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: T~b>B`_ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 cHa]xmy%r' — 一个虚拟屏位于焦平面 ;[a|9TPR — 光束尺寸探测器置于焦平面 }2ZsHM^]% ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 `_&Vt=7lG , lJv YBnA+l* `%j~|i)4 `)QCn< 7. 光线追迹系统分析器的结果 5aa<qtUjH GIAc?;zY 光线经过整个光学系统的三维视图
\lSU 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
T7f ${ nJ"
' MCdx?m3] 7==f\%, ,6r{VLN [xKd7"d/n 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 2}W0
F2* n#=o?!_4 Ka,^OW}<%q
■ VirtualLab可用于计算点列图。 Ye.r%i&