关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 U/|H%b
Yp_R+a^ 1. 描述 &Vtgh3I ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 $)5-}NJf' ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 i~k9s ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ,3zF_y(*Y
}#rdMh 2. 系统 l9 |x7GB l/JE}Eg( 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
fnUR]5\tc 3. 透镜系统组件编辑 Zy -&g:
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 wM^_pah#Y5
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 {c3u!}mW
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ;bZIj`D(
■ 包括序列光学表面和光学介质。 DM-8azq $
7sQw&yUL) % 1+\N 4. 光线追迹系统分析器-选项 p:hzLat~ 8%$Vj ww]^H$In
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 r*'X ]q|L+
■ 可以选择选取光线的方法: C XQPbt[5
— 在x-y-网格 w
:w
— 六边形 f|*vWHSM
— 自由选取 u7e g:0Y
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 A-GRuC NjCdkT&g 5. 系统的3维视图 M@>EZ >t/P^fr_F
Kzs]+Cl 6. 其他系统参数 pLFJ"3IJB ■ 系统由单色平面波照明 lD8&*5tDmP ■ 照明波长266.08nm nC3U%*l ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Z(S=2r. — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 PC_#kz — 一个虚拟屏位于焦平面 Y}bJN%M — 光束尺寸探测器置于焦平面 ERW>G{+ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Sv7_-#SW<( x*~a{M,h 1GnT^u y/ N
F[v/S FT1h\K|a 7. 光线追迹系统分析器的结果 u7=jtB {QTrH-C 光线经过整个光学系统的三维视图
*nB fF{y 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
FTy`#*7Ul !OJ@
=y`i -$(,&qyk [mSK!Y@u N#;k;Z'iL y&0&K4aa 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 o|7]8K= |5wuYG fq){?hk~O
■ VirtualLab可用于计算点列图。 Lc|5&<8ZG1
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 BX|+"AeF
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 a2dlz@)J
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
T,72I
^|6%~jkD5 9. 焦平面上的结果 kO:iA0KUX
5#zwdoQ
}2.^n{Y
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ZhKYoPIq
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。
H}NW?
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm rsP3?.E
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 /;M0tP
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 *'+OA6 ?Uzs^rsb 10. 总结 jfyV9) ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 D?rQQxb ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Y8I$JBO ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 6&=xu|M<x= ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 =:U63