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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ddL3wQ  
    -Jd7  
    1. 描述 GpPM?  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ^X_ ;ZLg.  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 5%D`y|  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 GipiO5)1C  
    e_!h>=$%8  
    2. 系统 2+ u+9rW  
    h HHR]e5:  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    pOK=o$1V8  
    3. 透镜系统组件编辑 GQg 2!s(  
    $l)RMP}  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 to13&#o  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 !43nL[]  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ->qRGUW  
    包括序列光学表面和光学介质。 Hva!6vwO%O  
    Yjo$vQi  
    UK OhsE  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 T} \>8EEG  
    =0&XdxX  
    J4]"@0?6  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 trwo(p  
    可以选择选取光线的方法: \ MuKS4  
    — 在x-y-网格 !_Y%+Rkp0  
    — 六边形 ;PVE= z+y  
    — 自由选取 >#dLT~[\a  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    )[Rwc#PA;  
    R[F`b  
    5. 系统的3维视图 R;AcAJ;  
    C=;}7g  
    %^W(sB$b  
    6. 其他系统参数 &T-:`(  
    系统由单色平面波照明 ^Zs ^  
    照明波长266.08nm 0R unex[  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: MuO(%.H  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 B_#M)d O  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 1V5N)ty  
    光束尺寸探测器置于焦平面 ^Zpz@T>m  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 a%y*e+oM  
    B$c'^ )  
    Bph(\= W  
    ?`vGpi~  
    D0\*WK$  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 [)}`w;#  
    `0s3to%7  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    QBmARQ  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    k FRVW+  
    IF&edP[V  
    W;Dik%^tg  
    `$4wm0G|  
    u<"-S63+  
    Fbotn(\h@  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 \xOYa  
    m k~F@  
    O&CY9 2)Lk  
    VirtualLab可用于计算点列图。 ko!]vHB9`  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 j~rW 2(  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 oeVI 6-_S  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 4 J9Y  
    MR,>]| ^  
    9. 焦平面上的结果 5!i\S[:  
    JWM4S4yZHR  
    % T$!I(L&  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 X.e4pLwGK  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 c#9=o;1El  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm "2!5g)iO  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 d<] eJ{  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    <@>icDFEHn  
    aB&a#^5CI  
    10. 总结 }!kvoV)]1  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 =?M{B1;H  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 )CH\]>-FO  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 pcQzvLk  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 UZJs!#P  
     
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