关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 O[$&]>x]]
>d_O0a*W- 1. 描述 +Ge-!&.;A ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 O{Wy;7i ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
d':c ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 zU]95I
YX-G>.Pc 2. 系统 rIy,gZr.U Yf<6[(6 O 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
_},u[+ 3. 透镜系统组件编辑 =`u4xa#m
U@DIO/C,m`
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 9z,V]v=
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 A=Dzd/CUO
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 @=:( b"Sg
■ 包括序列光学表面和光学介质。 wU+-;C5e
KxqJlben '9*(4/,UJJ 4. 光线追迹系统分析器-选项 aNw8][ NZCPmst d/N&bTg:
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 3lQGU
■ 可以选择选取光线的方法: bZz ,'
— 在x-y-网格 UhXZ^k3
— 六边形 EN'}+E
8
— 自由选取 {p-&8-
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 LL4yafh 1r'skmxq 5. 系统的3维视图 xmsw'\ 9+_SG/@
;(5b5PA 6. 其他系统参数 cl/}PmYIZ ■ 系统由单色平面波照明 Z2!O)8 ■ 照明波长266.08nm dJ#mk5=
" ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: IXc"gO — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 F=bX\T7 — 一个虚拟屏位于焦平面 \%g#
__\ — 光束尺寸探测器置于焦平面 :VGvL"Kro ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 &3#19v7/ EA) K"C n j0! H}Z\r2 t Y'fFz^Ho 7. 光线追迹系统分析器的结果 !hdOH3h = &>,c..Ke 光线经过整个光学系统的三维视图
t4X:I&l-M: 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
DSf P;GRk6 D;*P'%_Z {$5?[KD OTwIR<_B+ B ~xT:r 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 dTcrJ|/Y =Kqb
V{! .ww~'5b0
■ VirtualLab可用于计算点列图。 #2{H!jr
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
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■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 tX)l_?jVH
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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X"lPXoCN 9. 焦平面上的结果 J'4Pp<
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 - >_rSjnM{
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 QPr29
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm p`N+9t&I4
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 H;D5)eJ90
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 IqD;* l4:B( 10. 总结 /h6K"w=='! ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 x6N)T4J( ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 N5K\h}'% ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 -,YoVB!T ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ]40@yrc