关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 I}Q2Vu<
nj4/#W 1. 描述 g,Y/M3>( ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 BerwI
7!= ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 2Rz ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 C7?/%7{
azU"G(6y?+ 2. 系统 F1hHe<) PaN"sf 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
S[QrS7 3. 透镜系统组件编辑 C*lJrFpB
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Dhv3jg;lq
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 .sA.C]f
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 *|l/6!WM
■ 包括序列光学表面和光学介质。 |&jXp%4T
{: W$LWET SY8C4vb'h 4. 光线追迹系统分析器-选项 'm9` 12H L8n|m!MOD "h ^Z
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 k_R"CKd
■ 可以选择选取光线的方法: ze;KhUPRm
— 在x-y-网格 RT5T1K08I
— 六边形 1nOCQ\$l
— 自由选取 (I}v[W
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 h.fq,em+H L4f3X~8,b 5. 系统的3维视图 RGX=) }&3~|kP~O
|D.ND%K& 6. 其他系统参数 k+4#!.HX^ ■ 系统由单色平面波照明 u2[w# ■ 照明波长266.08nm i@CxI<1' ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: |)G<,FJQE_ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 _tXlF; — 一个虚拟屏位于焦平面 w*MpX
U< — 光束尺寸探测器置于焦平面 $mB;K]m ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 s9d_GhT%- }d }lR hpJ-r :j`sr D,ln)["xm 7. 光线追迹系统分析器的结果 Mc}^LDX Tb-F]lg$ 光线经过整个光学系统的三维视图
,?XCyHSgWW 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
2Hv+W-6v 2:= <^uBoKB/f EZ`{Wnbq o8vug$=Z t()c=8qF|u 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 xP,hTE uM'Jp? Hq 188<
■ VirtualLab可用于计算点列图。 "g#i'"qnW
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 <