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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 qmdl:J|?  
    \tye:!a?;@  
    1. 描述 rqxoqcZ  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Dq)V] Zx  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 [D[s^<RJs  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ~= lm91W  
    #|v\UJ:Pf/  
    2. 系统 |qH-^b.F  
    0vbn!<:  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    y"#o9"&>&  
    3. 透镜系统组件编辑 [<}:b>a  
    T6=c9f?7  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 B[Fx2r`0  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 f>s3Q\+  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 $ii/Q:w T"  
    包括序列光学表面和光学介质。 Fx0E4\-  
    89v9BWF  
    Y#V`i K  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 >2x[ub%$L  
    %`F6>J  
    u> XCE|D*  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 (@B gsY  
    可以选择选取光线的方法: Zgkk%3'^'  
    — 在x-y-网格 "^fcXV9Wp  
    — 六边形 ^GQ+,0Yy  
    — 自由选取 s]#D;i8  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    f>k]{W Y  
    T6=,A }t-  
    5. 系统的3维视图 0UB)FK ,9  
    0j %s H  
    n2zJ'  
    6. 其他系统参数 &W`."  
    系统由单色平面波照明 5D8V)i  
    照明波长266.08nm -Ob'/d5&  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: m Y*JNx  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Y #E/"x%+  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 :aI[ lZ  
    光束尺寸探测器置于焦平面 }xcA`w3u2?  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 +)k%jIi!  
    KC9_H>  
    ~ OD}`  
    .:A9*,  
    y!&6"l$K]  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 &<2~7?$!  
    @W[`^jfQ  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    m^Qc9s#D  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    N_(qMW  
    Q'/v-bd?o  
    ShbW[*5  
    s_S[iW`l=  
    ^&F8NEb=2>  
    Xb6X'rY  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 :c[iS~ ~Y  
    0Mpc#:a%1  
    m>B^w)&C  
    VirtualLab可用于计算点列图。 c}v>Mx  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 LI1OocY.]  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 nb::,  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 5V5Nx(31i  
    D@A@5pvS  
    9. 焦平面上的结果 mj:X'BVA  
    -X BD WV  
    =$xxkc.~G  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 W: R2e2  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Ox9WH4E  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm f|Dq#(^\  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 Qau\6p>^  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    zV {_dO  
    D32~>J.F  
    10. 总结 "=8= G  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 uU_lC5A|  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 6/e+=W2  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ;U$Fz~rJ  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 FbO\#p s  
     
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