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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 4 fZY8  
    | pF5`dX  
    1. 描述 :P HUsy  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 6\%r6_.d  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ,G/\@x%  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 pM1=U F  
    %g!yccD9  
    2. 系统 0TpBSyx.  
    lO%MyP  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    3| GNi~  
    3. 透镜系统组件编辑 [c,|Lw4  
    <)r,CiS  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 A9NOeE  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ^vYVl{$bT  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 :;|)/  
    包括序列光学表面和光学介质。 d;;>4}XJ]  
    b #o}=m  
    AGw1Pl8]K  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 AsTMY02|  
    >1#DPU(g  
    p ~,a=  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 #j(q/ T{x  
    可以选择选取光线的方法: c#]'#+aH  
    — 在x-y-网格 U>e3_td3,  
    — 六边形 23(B43zy  
    — 自由选取 i{Y=!r5r  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    :DS2zA  
    *+_fP|cv  
    5. 系统的3维视图 =;~%L  
    u5  [1Z|O  
    S3%.-)ib  
    6. 其他系统参数 pko!{,c  
    系统由单色平面波照明 X67C;H+  
    照明波长266.08nm @d8&3@{R^  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: clPZd  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 [TiT ff&LV  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 rCnV5Yb0O  
    光束尺寸探测器置于焦平面 B|Rpm^ |  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。  [%gK^Zt  
    g]EQ2g_N1  
    N}.Q%&6:  
    .ruz l(6  
    Thht_3_C,f  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 bc0)'a\  
    mh!N^[=n  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    G#9o?  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    Z~-T0Ab-  
    nzQYn  
    r{Qs9  
    W<cW;mO  
    ~PU1vbv9T  
    $ ufSNx(F  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 YW4b m  
    Q G=-LXv:@  
    n)1  
    VirtualLab可用于计算点列图。 bJG!)3cx  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。  *pS7/ Qe  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 rw=UK`  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 E7Gi6w~\  
    Pp JE|[]  
    9. 焦平面上的结果 Oo3qiw  
    8;+Hou  
    &<fRej]v  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 1 o  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 x3Dg%=R  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm &}L36|A:  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 R&x7Iq:=D  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    -Fok %iQ'5  
    r0hta)xa  
    10. 总结 j]ln :?\  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Im' :sJ31  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 f!uA$uL c  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 +,{Wcb  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 %1 VNP(E  
     
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