关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 'fb\t,
EwV$2AK 1. 描述 i6n,N)%H ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ~!PWJ~U ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 w5PscEc ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 M$@~|pQ<
SZ[?2z 2. 系统 nM.g8d K ?K:\WW 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
I2i' 3. 透镜系统组件编辑 .|go$}Fk
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Bx5xtJ|!
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 @M<qz\
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■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 `f&::>5tD
■ 包括序列光学表面和光学介质。 FA{Q6fi:2
\WC,iA%Y VPT?z 4. 光线追迹系统分析器-选项 .4"BN<9 IaSPwsvt' :fL7"\
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■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 %Y;^$%X%_
■ 可以选择选取光线的方法: ~?aFc)
— 在x-y-网格 F5cNF5
— 六边形 !<~.>5UQ
— 自由选取 _wb]tE ~g
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 XtZd%
#2}, `|AH3v1 5. 系统的3维视图 N]/cBGy rL"]m_FK
^ /G ; 6. 其他系统参数 g.`Ntsi$wI ■ 系统由单色平面波照明 DDGDj)=` ■ 照明波长266.08nm 08^f|K ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: svEe@Kt` — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 *@#Gc%mGu — 一个虚拟屏位于焦平面 ~%h
)G#N — 光束尺寸探测器置于焦平面 K O\HH ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 !=,zy z{1A x 4<UAT|L^` 5ta;C G .EHq.cde 7. 光线追迹系统分析器的结果 v8 =#1YB; 3zKeN:w 光线经过整个光学系统的三维视图
iZnLgkk@ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
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UZL> 'JdK0w# fOSk>
gK pl@K"PRE |gxPuAXa) Hk4k 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 = )3\B /2=9i84 N&
F.hi$_
■ VirtualLab可用于计算点列图。 7DK}c]js
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 L58H)V3Pn
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 7\g#'#K
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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@,,G]4zZ! 9. 焦平面上的结果 dB#c$1
yLCMu | +
L |#0CRiN
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 *u|1Z%XO
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 O[U`(A:
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 1|G\&T
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 lAo ~w
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 4*f+np Sw>>]UjU 10. 总结 X)RgXl{ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 PY '^:0 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 +UziO#D ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 \5<Z [#{ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 g&w~eWpk