关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 aOaF&6'j
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# 1. 描述 L#83f]vG ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 FSI]k: ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ~)WfJ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Y*]l|)a6_]
QwKky ^A 2. 系统 olUqBQ&ol azz#@f1 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
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oc. 3. 透镜系统组件编辑 !7kAJG g
N]3-L`t
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ?CcR
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■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ,%"\\#3S
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 /1[}G!
■ 包括序列光学表面和光学介质。 'LtgA|c=
k~'?"' X}n&`y{/ 4. 光线追迹系统分析器-选项 J)#59a PV5TG39qQ b/a?\0^
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Eg287B
■ 可以选择选取光线的方法: zLJ:U`uh\
— 在x-y-网格 n.;5P {V1
— 六边形 FFD*e-i
— 自由选取 t?3{s\z 8+
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 '91u q Yc.
~qmG/z 5. 系统的3维视图 u&l>cJ' H|UV+Q0,
5~<a>> 6. 其他系统参数 1@1+4P0NF[ ■ 系统由单色平面波照明 ^`hI00u( ■ 照明波长266.08nm !."%M^J ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: '&_y*"/c — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 \'}/&PCkr — 一个虚拟屏位于焦平面 A{{q'zb! — 光束尺寸探测器置于焦平面 a!hI${Xn ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 TnMVHO- ;|;h9" FrAqTz `E4!u=% iuH8g 7. 光线追迹系统分析器的结果 ~L4*b*W goBKr: &]w 光线经过整个光学系统的三维视图
I;kUG_c(4 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
a|]%/[G@ Aoy1<8WP%
cx1WGbZ UG^?a Z<,CzKs+|| w#gU1yu 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ba:mO$ k:+)$[t7 5@r_<J<>
■ VirtualLab可用于计算点列图。
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■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 .SKNIct
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■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 m_PrasZ>
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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kp<} 9. 焦平面上的结果 ;?HZ,"^I
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 4LKs'$:A=
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 &d|VH y+
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm )T$fk
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 {TxVRpiP{Z
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 =J[[>H'<d '#An+;x{ 10. 总结 tr9_bl&z ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 }TAGr 0 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 @e?[oojrM ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 I vl^,{4 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 D0E"YEo\nv