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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 /<(-lbq,  
    [cl+AV "  
    1. 描述 tXZMr   
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 A^LS^!Jz  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 8IBr#+0  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 9nFWJn  
    ~ L>M-D4o  
    2. 系统 :2C <;o  
    Tm7LaM  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    7-}5 W  
    3. 透镜系统组件编辑 Ld/6{w4ir  
    TqfL Sm|  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 9d(#/n  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 4*5e0:O  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 {9x>@p/  
    包括序列光学表面和光学介质。 vX}w_Jj>  
    qK9A /Mc  
    hdSP#Y'-  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 de.f?y  
    M7 k WJ  
    `ah|BV  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 GU/-L<g  
    可以选择选取光线的方法: `<| <1,  
    — 在x-y-网格 NuUiW*|`7  
    — 六边形 X7`-dSVE  
    — 自由选取 X-,oL.:c  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    u^CL }t*  
    6?C';1  
    5. 系统的3维视图 v&WK9F\  
    ,Oy$q~.  
    iSW<7pNq0  
    6. 其他系统参数 Iw h0PfWJ  
    系统由单色平面波照明 nKnrh]hX  
    照明波长266.08nm o76!7  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: re}PpXRC  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 bqp^\yu-E  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 {&B_b|g*fW  
    光束尺寸探测器置于焦平面 ~/z%yg  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 la!U  
    w%\{4T~  
    ^~7Mv^A  
    8e,F{>N  
    Yh fQ pe  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 S_OtY]gF  
    @ F $}/  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    llWY7u"  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    /93z3o7D>  
    -38"S;M8  
    ;Oqf{em];  
    P3Lsfi.  
    x a<KF  
    1TR+p? "  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 M"/Jn[  
    q5z^y(Sv  
    B7|%N=S%/  
    VirtualLab可用于计算点列图。 bDJ!Fc/  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ``$$yS~d};  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 WG,1%=M@  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 vR2);ywX  
    <*dcl2xS  
    9. 焦平面上的结果 cg17e  
    y%61xA`#  
    D M+MBK  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 _5~|z$GW  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Fw{@RQf8  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm SG|AJ9  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 ecoI-@CAI  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    ~O PBZ#  
    Y;huTZ  
    10. 总结 /Wjc\n$'  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 {k-_+#W"  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 F~ \ONO5  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 }zsIp,  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 fKqr$59>  
     
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