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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 3Zaq#uA  
    9QOr,~~s  
    1. 描述 R?bn,T>  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 {8{t]LK<  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ;-9zMbte :  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 B%eDBu ")  
    ^x_ >r6  
    2. 系统 A{4G@k+#d  
    j(Fa=pi  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    d DIQ+/mmg  
    3. 透镜系统组件编辑 4/HY[FT  
    9 wSl,B-  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 = GH@.3`X  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 c_ qcb7<~.  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 6^] `-4*W  
    包括序列光学表面和光学介质。 192.W+H<  
    nIV.9#~&  
    h9<mThvgn  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 %\X P:  
    y$j1?7  
    W$JY M3!  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 S_T{L  
    可以选择选取光线的方法: TV1e bH7q  
    — 在x-y-网格 W+d 9cM=  
    — 六边形 d7W%zg\T  
    — 自由选取 fuNl4BU  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    2I]]WBW#:  
    q)K-vt)98  
    5. 系统的3维视图 Wj&<"Z6'm(  
    kZU"Xn  
    C 'B4 mmC  
    6. 其他系统参数 2!{_/@I\Y  
    系统由单色平面波照明 0)A=+zSS1  
    照明波长266.08nm -O~C m}e  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: F* 3G _V  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 '^Pq(b~  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 wUru1_zjO  
    光束尺寸探测器置于焦平面  &7L~PZ  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 c&Gz> L  
    zQL!(2  
    r+p@X  
    tXf}jU}  
    Y H<$ +U  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 _L*f8e8  
    xNC* ]8d  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    _-@ZOhw&  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    C+/Eqq^(  
    9USrgY6_  
    ,pDp>-vI%  
    H/^ ~<U#p  
    u{g]gA8s  
    -]Q3/"Q  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 X!U]`Qh  
    /Qr A8  
    2-8YSHlh  
    VirtualLab可用于计算点列图。 a<f;\$h]  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 gXq!a|eH  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。  Y[f,ia  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 m3U+ du  
    Xy[}Gp  
    9. 焦平面上的结果 ?D1x;i9<  
    `[X6#` <  
    c*.G]nRc  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 SW3wMPy&s  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 &[NVP&9&U  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm /t$rX3A  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 P-[fHCg~  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    a;56k  
    q|n97.vD  
    10. 总结 3sS=?q  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 M]J[6EW  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 d-hbvLn  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 |)^clkuGX  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 HMF8;,<_w?  
     
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