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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 cVn7jxf  
    AJ:@c7:eS  
    1. 描述 K"b vUH  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 =fi.*d?$7  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 lLtC9:  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 zAB-kE\ )  
    qBX<{[  
    2. 系统 :yk Z7X&  
    6aQ{EO-]'=  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Zml9 ndzT  
    3. 透镜系统组件编辑 x)vYc36H  
    #>ci!4Gz=Z  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 O t `}eL-  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ?67j+)  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 %v~j10e  
    包括序列光学表面和光学介质。 x_Ais&Gc  
    iJrscy-  
    '}4[m>/  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 Gh|1%g"gm  
    p dnL~sv  
    ^#^u90I  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 6o A0a\G'  
    可以选择选取光线的方法: KS(T%mk\  
    — 在x-y-网格 D|-]"(2i  
    — 六边形 u{p\8v%7  
    — 自由选取 Cv$TNkP*  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    8@+YcN;->  
    vW)GUAF[  
    5. 系统的3维视图 p-KuCobz]  
    QTn-n)AE  
    NKd@ Kp`,  
    6. 其他系统参数 }.b[az\T  
    系统由单色平面波照明 s^KxAw_IV  
    照明波长266.08nm X?7$JV-:  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: "F[VqqD  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 s9[v_(W  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 zLh ~x  
    光束尺寸探测器置于焦平面 QdW%5lM+  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 p Y>yJ)  
    zRE7 w:  
    5E!|-xD  
    ]B,S<*h  
    0|^x[dh  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 Fsq S)  
    .cZ&~ N  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ([9h.M6v  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    <&L;9fr  
    hU=J^Gi0  
    HWefuj  
    giu~"#0/F  
    Aoo'i  
    C,I N+@  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 H`Z4a N  
    ,<vrDHR  
    lP9I\Ge&  
    VirtualLab可用于计算点列图。 ,-b{oS~u  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 zA"D0fr  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 9lD,aOb  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 G8;S`-D1a,  
    o"]eAQ  
    9. 焦平面上的结果 n~)Y%xe[U  
    MW4dPoa  
    f$ Ap\(.  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 H|TzD "2N  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 3x=F  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm ,F-tvSc\Q  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 ?D\%ZXo  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    Czci6 Lz  
    3,F/i+@  
    10. 总结 x!$,Hcph,  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 O\D({>  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 eLC&f}  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 C`jP8"-  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 RV$+g.4  
     
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