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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ~2u~}v5m7  
    l2H-E&'=  
    1. 描述 uc;1{[5`1q  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 `/?XvF\  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 _`3'D`s  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 s jl(  
    mU0j K@^&M  
    2. 系统 A+Uil\%  
    !bs{/?  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    RW| LL@r  
    3. 透镜系统组件编辑 s zBlyT  
    6r  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 U9^o"vT  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ~*"]XE?M  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 6{Y3-Pxg  
    包括序列光学表面和光学介质。 <ua`WRQr  
    -M=#U\D  
    ueI1O/Mi  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 PP/EZ^]b  
    R>Q&Ax  
    =AEl:SY+  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 >f)/z$ qn  
    可以选择选取光线的方法: <X@XbM  
    — 在x-y-网格 7G6XK   
    — 六边形 lO^Ly27  
    — 自由选取 uWm,mGd9  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    2"0q9Jg  
    f};lH[B3y  
    5. 系统的3维视图 2 I:x)  
    Pn?Ujjv  
    R"@J*\;$T  
    6. 其他系统参数 j}P xq  
    系统由单色平面波照明 %LI[+#QE  
    照明波长266.08nm 2AYV9egZ  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 9Q\CJ9  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 3PRg/vD3  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 %{M_\Ae#  
    光束尺寸探测器置于焦平面 %Xe#'qNq)  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 VN3"$@-POK  
    kH;DAphk  
    t2bv nh  
    _FpZc ?=  
    x? 10^~R  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 K<k!sh   
    B=<>OYH  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    9)c{L<o}T  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    >WYiOXYv  
    q,Oj  
    |l\!  
    _:N+mEF  
    MTnW5W-r9  
    5hxG\f#}?  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 2EO WbN}M  
    Bh` Y?S  
    g5",jTn#  
    VirtualLab可用于计算点列图。 y4N8B:j%  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Rs$fNW@P  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 $] ])FM"b  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 pJg'$iR!/  
    8>R 75 dw  
    9. 焦平面上的结果 .qd/ft2  
    R_DstpsT  
    U-~6<\Mf  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 hB?a{#JL  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 2OA0rH"v  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm z (1zth  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 qG lbO  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    Fx@ovI- 5  
    !xE /  
    10. 总结 n'?AZ4&z  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 OM>,1;UH]  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 E =*82Y=B  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。  dmR>u  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 kT-dQ32  
     
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