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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 xd BZ^Q  
    Ccd7|L1  
    1. 描述 ~G ^}2#5  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 }v$=mLy  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 n\ ',F  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 'hi\98y  
    F?,&y)ri  
    2. 系统 m<'xlF  
    $}nUK~$GSv  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Ho._&az9cT  
    3. 透镜系统组件编辑 6r-n6#=  
    a4CNPf<$  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 (yTz^o$t|  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 xjbyI_D  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 yjFQk,A  
    包括序列光学表面和光学介质。 ?kFCYZK|"  
    JO^ [@  
    [11-`v0  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 8OtUY}R  
    '%RK KA  
    56 kgL;$h  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 e%c5 OZ3~  
    可以选择选取光线的方法: ~$ qJw?r  
    — 在x-y-网格 N[bf.5T  
    — 六边形 -r'seb5  
    — 自由选取 KJJb^6P48W  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    XM@i|AK M0  
    2GKU9cV*`  
    5. 系统的3维视图 GV@E<dg$R  
    &b6@_C9  
    l5OV!<7~X  
    6. 其他系统参数 _,0!ZP-  
    系统由单色平面波照明 C<@1H>S4_  
    照明波长266.08nm l}-`E@w  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ~)8i5p;P/k  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 jv=f@:[`I  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 IS4K$Ac.  
    光束尺寸探测器置于焦平面 Tocdh.H|  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 nK'8Mo  
    2CgIY89O  
    NEou2y+}  
    sr@XumT  
    ]9< 9F ?  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 2&K|~~  
    L{,7(C=  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    {ro!OuA  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    ts\>_/  
    -xgmc-LGo  
    +siNU#!  
    UVmyOC[Y{  
    1nTaKK q  
    AbI*/ |sY  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 yx;R#8;b.  
    =}GyI_br;8  
    A'-YwbY  
    VirtualLab可用于计算点列图。 UXB8sS*wQ?  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 5 ^J8<s@_  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 +pViHOJu&V  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 -t'oW*kdL  
    "<$vU_  
    9. 焦平面上的结果 J*&=J6  
    EjE`S_i=  
    .LcE^y[V  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 :p)9Heu  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ,vw`YKg  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm PxD}j 2Kd  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 2co{9LM  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    (Ha}xwA~(  
    |/\1nWD  
    10. 总结 VD`2lGdF  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 L=!kDU  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Sz@?%PnU|  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 A2_3zrE  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 S,v>*AF  
     
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