关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 /<(-lbq,
[cl+AV " 1. 描述 tXZMr ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 A^LS^!Jz ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 8IBr#+0 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 9nFWJn
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L>M-D4o 2. 系统 :2C
<;o Tm7LaM 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
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W 3. 透镜系统组件编辑 Ld/6{w4ir
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 9d(#/n
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 4*5 e0:O
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 {9x>@p/
■ 包括序列光学表面和光学介质。 vX}w_Jj>
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/Mc hdSP#Y'- 4. 光线追迹系统分析器-选项 de.f?y M7 kWJ `ah|BV
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 GU/-L<g
■ 可以选择选取光线的方法: `<|<1,
— 在x-y-网格 NuUiW*|`7
— 六边形 X7`-dSVE
— 自由选取 X-,oL.:c
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 u^CL }t* 6?C';1 5. 系统的3维视图 v&WK9F\ ,Oy$q~.
iSW<7pNq0 6. 其他系统参数 Iwh0PfWJ ■ 系统由单色平面波照明 nKnrh]hX ■ 照明波长266.08nm o76!7 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: re}PpXRC — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 bqp^\yu-E — 一个虚拟屏位于焦平面 {&B_b|g*fW — 光束尺寸探测器置于焦平面 ~/z%yg ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 la!U w%\{4T~ ^~7Mv^A 8e,F{>N YhfQpe 7. 光线追迹系统分析器的结果 S_OtY]gF @F$}/ 光线经过整个光学系统的三维视图
llWY7u" 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
/93z3o7D> -38"S;M8 ;Oqf{em]; P3Lsfi. xa<KF 1TR+p? " 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 M"/Jn[ q 5z^y(Sv B7|%N=S%/
■ VirtualLab可用于计算点列图。 bDJ!Fc/
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ``$$yS~d};
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 WG,1%=M@
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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<*dcl2xS 9. 焦平面上的结果 cg17e
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 _5~|z$GW
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Fw{@RQf8
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm SG|AJ9
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ecoI-@CAI
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ~OPBZ# Y;huTZ 10. 总结 / Wjc\n$' ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 {k-_+#W" ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 F~
\ONO5 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 }zsIp, ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 fKqr$59>