关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 xdBZ^Q
Ccd7|L1 1. 描述 ~G^}2#5 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 }v$=mLy ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 n\ ',F ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 'hi\98y
F?,&y)ri 2. 系统 m<'xlF $}nUK~$GSv 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Ho._&az9cT 3. 透镜系统组件编辑 6 r-n6#=
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 (yTz^o$t|
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 xjbyI_D
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 yjFQk,A
■ 包括序列光学表面和光学介质。 ?kFCYZK|"
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[@ [11-`v0 4. 光线追迹系统分析器-选项 8OtUY}R '%RK KA 56
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■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 e%c5OZ3~
■ 可以选择选取光线的方法: ~$ qJw?r
— 在x-y-网格 N[bf.5T
— 六边形 -r'seb5
— 自由选取 KJJb^6P48W
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 XM@i|AK
M0 2GKU9cV*` 5. 系统的3维视图 GV@E<dg$R &b6@_C9
l5OV!<7~X 6. 其他系统参数 _,0!ZP- ■ 系统由单色平面波照明 C<@1H>S4_ ■ 照明波长266.08nm l}-`E@w ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ~)8i5p;P/k — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 jv=f@:[`I — 一个虚拟屏位于焦平面 IS4K$Ac. — 光束尺寸探测器置于焦平面 Tocdh.H| ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
nK'8Mo 2CgIY89O NEou2y+} sr@XumT ]9< 9F ? 7. 光线追迹系统分析器的结果 2&K|~~ L{,7(C= 光线经过整个光学系统的三维视图
{ro!OuA 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
ts\>_/ -xgmc-LGo +siNU#! UVmyOC[Y{ 1nTaKK
q AbI*/|sY 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 yx;R#8;b. =}GyI_br;8 A'-YwbY
■ VirtualLab可用于计算点列图。 UXB8sS*wQ?
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 5
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■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 +pViHOJu&V
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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"<$vU_ 9. 焦平面上的结果 J*&=J6
EjE`S_i=
.LcE^y[V
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 :p)9Heu
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ,vw`YKg
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm PxD}j
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■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 2co{9LM
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 (Ha}xwA~( |/\1nWD 10. 总结 VD`2lGdF ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 L=!kDU ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Sz@?%PnU| ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 A2_3zrE ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 S,v >*AF