关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 eN@V?G26K
WRQJ6B 1. 描述 k41lw^Jh ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ~p{.4n2: ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 R_ojK&% ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
:\1:n
~qm<~T_0 2. 系统 !L"3Ot d c6cGl]FL 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
+rbj%v}Fh 3. 透镜系统组件编辑 ;w@PnY
GcQO&oq|
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 b(dIl)Y4
:
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 JK.lL]<p i
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 RuDn1h#u{
■ 包括序列光学表面和光学介质。 S+A'\{f
ig^9lM' mmm025. 4. 光线追迹系统分析器-选项 E_]L8UC;m
't
\:@-tQ KK`P<^8J
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 /u{ 9UR[g
■ 可以选择选取光线的方法: |*"uj
— 在x-y-网格 hHF YAh
— 六边形 Ub%+8M
— 自由选取 pc<")9U%/
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 O.e^?ysp/ ?V%x94B 5. 系统的3维视图 \"c;MK{ Fku9hB
(UPkb$Qc 6. 其他系统参数 ?c0OrvM ■ 系统由单色平面波照明 Ok[y3S ■ 照明波长266.08nm wy"^a45h ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: x(h(a#,r — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 SeqnO.\ — 一个虚拟屏位于焦平面 0\O*\w? — 光束尺寸探测器置于焦平面 hN$6Kx>{ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 .Y[sQO~% ZurQr} ]kx)/n-K "TA r\;[ 7(lR$,bE;= 7. 光线追迹系统分析器的结果 5FcKY_ #\*ODMk$4| 光线经过整个光学系统的三维视图
/rN%y 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
C,+6g/{ 4(Gs$QkSo| 1$ez}k, [TvH7ott'1 {; ]:}nA IZYq 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 U8kH'OD c%c/mata? 5fPYtVm
■ VirtualLab可用于计算点列图。 $/5<f<%u&)
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 +J30OT8
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 a@Tn_yX
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
Lc(D2=%
Lzu;"#pw 9. 焦平面上的结果 H[?~u+
1C(6.7l
VQV7W
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 &-W5T?Sl
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 G=a.Wff
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm Z{RRhJ
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 $Z(fPKRN/
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 Oi +(` Xm&L@2V 10. 总结 oB;EP ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 aG;6^$H~ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ]uO 8 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Vd^_4uqnV ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 qW[p .jN