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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 nms[No?  
     :f[ w  
    1. 描述 F\r"Y)|b=  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 71@ eJQ  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ![%wM Pp  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 B2kZ_4rB  
    ~ L4NK#  
    2. 系统 O8 .iP+  
    6]iU-k0b  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    lNxP  
    3. 透镜系统组件编辑 Led\S;pl  
    UE^o}Eyg  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 4,;*sc6*  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 G{[w+ObX  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 H[hJUR+#  
    包括序列光学表面和光学介质。 9>4#I3  
    znE1t%V  
    p(pfJ^/:(  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 |^-D&C(Eu  
    y!1X3X,V  
    H/{@eaV  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 vCi`htm%  
    可以选择选取光线的方法: T */I4"  
    — 在x-y-网格 <\epj=OclV  
    — 六边形 F2 B(PGa7  
    — 自由选取 FQ4R>@@5  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
     b+a+OI D  
    h"ZIh= j@  
    5. 系统的3维视图 ^"7- `<J  
    2vpQ"e- A  
    p K-tj  
    6. 其他系统参数 >fYcr#i0[  
    系统由单色平面波照明 m+XHFU  
    照明波长266.08nm ?w(hPUd!2  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: <5G(Y#s/?  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 fof}I:vO  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 R*pPUw\yn  
    光束尺寸探测器置于焦平面 !(q@sw(  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 8$~oiK%fw  
    _p8u &TZ  
    ,+df=>$W  
    !AXLoq$SY  
    xy:Mb =r  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 b\JU%89  
    :oy2mi;  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    JE}VRMNr  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    I8!>7`L  
    ,G0"T~  
    6MM\nIU)/  
    P@@MQ[u?!.  
    )!0}<_2  
    JL G!;sov  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Tl yyJ{~  
    8TpYt)]S  
    =)Hu(;Yv  
    VirtualLab可用于计算点列图。 4AEw[(t  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 |9XoRGgXU  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 atpHv**D<i  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Q   
    HlX~a:.7  
    9. 焦平面上的结果 O\f`+Q`0  
    :=*G7ZyW$  
    &ic'!h"  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 K/B$1+O  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 [<,7LG<  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm Fk49~z   
    此外,背景颜色也可以预先设置。 G0!6rDu2,  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    47(_5PFb#  
    vWmp ?m  
    10. 总结 445JOP  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 B~]6[Z  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 I )yaR+l  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 3PvxU|*F  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 .f0qgmIyL  
     
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