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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 i|M^QKvF  
    vxN,oa{hf  
    1. 描述 Z]VmTB  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 O>FE-0rW}e  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 G_m$W3 zS  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 W_JFe(=3,  
    _4+'@u #  
    2. 系统 Lmp_8q-Ej  
    9:[L WT&  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Q:rQ;/b0/  
    3. 透镜系统组件编辑 b9 Gq';o  
    $eqwn&$n  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 y+jOk6)W75  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 qpjG_G5/  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 O:G5n 5J  
    包括序列光学表面和光学介质。 =H8 LBM  
    >s*ZT%TF  
    b"JJ3$D  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 /^Ckk  
    )7`2FLG  
    8 16OV  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 "~:AsZ"7  
    可以选择选取光线的方法: %t.L;G  
    — 在x-y-网格 c}$C=s5 h}  
    — 六边形 Qf=+%-$Y  
    — 自由选取 ;^yR,32F  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    Y:;]qoF  
    = ^NTHc^*  
    5. 系统的3维视图 8l<4OgoK  
    cUB+fH<B2  
    >5%;NI5 G  
    6. 其他系统参数 PjxZ3O  
    系统由单色平面波照明 4ju=5D];   
    照明波长266.08nm =eHoJq  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: V DN@=/  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 k/lU]~PE  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 8? U!PW  
    光束尺寸探测器置于焦平面 8gI f  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 BSyl!>G6n8  
    -G|?Kl  
    *PF}L%K(?  
    :b~5nftr  
    V]{^}AKc  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 k1h>8z.Tg  
    @Q%9b)\\  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    O~udlVn<6  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    O3*}L2 j@  
    9P 7^*f:E  
    l(~i>iQ 4  
    $eSSW+8q"  
    1+Z@4;fk  
    lL<LJ :L  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 8mh@C6U  
    q4xP<b^  
    R?Ou=p .  
    VirtualLab可用于计算点列图。 U)sw IisE  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 pRez${f.(s  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 J? 4E Hl  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 EjF2mkA*  
    C" 2K U*  
    9. 焦平面上的结果 6eB2mcV  
    mzGMYi*  
    W{l{O1,  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 <aR sogu"P  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 o"19{ D^.  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm nQm (UN  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 ahmxbv3f=5  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    >U9JbkeF  
    :G8:b.  
    10. 总结 |!?lwBs4  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 #*~3gMI{=  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ,bRYqU?#0  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 .Z9{\tj  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 pH/_C0e`7  
     
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