关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 u 0KVp6`
(Qmpz 1. 描述 `hYj0:*)S$ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 V&82U w ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 5Mm><"0 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 27q9zi!Q
X3zkUMk 2. 系统 ;&4}hPq (xw) pR 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
8'J"+TsOW 3. 透镜系统组件编辑 9[}L=n
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 *gMo(-tN
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Lqy]bnY
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Dz$GPA
■ 包括序列光学表面和光学介质。 o/273I
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: 71`)@y,Z, 4. 光线追迹系统分析器-选项 4'JuK{/ A7 "IbXKS>t lA}(63j+b
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 u*:B 9E
■ 可以选择选取光线的方法: Z{"/Ae5]
— 在x-y-网格 F|\^O[#R
— 六边形 SYkLia(Ty
— 自由选取 sd|5oz)
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ^hPREbD+f Y?Ph%i2E 5. 系统的3维视图 5, ?B>
{rj ,r\ 6. 其他系统参数 x=(y ■ 系统由单色平面波照明 .OI&Zm- ■ 照明波长266.08nm 1fwjW0t ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: G3O`r8oZcJ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 <u>l#weG, — 一个虚拟屏位于焦平面 e7X#C) — 光束尺寸探测器置于焦平面 Zd$a}~4~ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 82ay("ZY ()K,~ fLM5L_S}Y +>BLox6 -Lh\] 7. 光线追迹系统分析器的结果 vsc)EM ] Y*0 AS|r! 光线经过整个光学系统的三维视图
t[$C r; 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
nT.i|(xd. XV)<Oav s 9z>I&vcX hgt@Mb _XLGXJ[B fyYHwG 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 >fG=(1" N.r8dC s|*0cK!K^
■ VirtualLab可用于计算点列图。 N|t!G^rP
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ko-| hBNv
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 FKhmg&+>
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 5]_m\ zn=
@~t^zI1 9. 焦平面上的结果 ZBw]H'sT
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K?]><z{
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 bs_>!H1
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 1<gY
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm J+hiz3N
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 5q<cZ)v#&
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 +f h@m
h0[ `" BFvF# 10. 总结 T!-*; yu ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 X/< zxM ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 `6bIxb{ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 MR") ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 (i..7B: