关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ~2u~}v5m7
l2H-E&'= 1. 描述 uc;1{[5`1q ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 `/?XvF\ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 _`3'D`s ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 sjl(
mU0j K@^&M 2. 系统 A+Uil\% !bs{/? 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
RW| LL@r 3. 透镜系统组件编辑 s
zBlyT
6r
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 U9^o"vT
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ~*"]XE?M
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 6{Y3-Pxg
■ 包括序列光学表面和光学介质。 <ua` WRQr
-M=#U\D ueI1O/Mi 4. 光线追迹系统分析器-选项 PP/EZ ^]b R>Q&Ax =AEl:SY+
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 >f)/z$
qn
■ 可以选择选取光线的方法: <X@XbM
— 在x-y-网格 7G6XK
— 六边形 lO^Ly27
— 自由选取 uWm,mGd9
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 2"0q9 Jg f};lH[B3y 5. 系统的3维视图 2I:x) Pn?Ujjv
R"@J*\;$T 6. 其他系统参数 j}P
xq ■ 系统由单色平面波照明 %LI[+#QE ■ 照明波长266.08nm 2AYV9egZ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 9Q\CJ9 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 3PRg/vD3 — 一个虚拟屏位于焦平面 %{M_\Ae# — 光束尺寸探测器置于焦平面 %Xe#'qNq) ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 VN3"$@-POK kH;DAphk t2bv
nh _FpZc?= x?10^~R 7. 光线追迹系统分析器的结果 K<k!sh B=<>OYH 光线经过整个光学系统的三维视图
9)c{L<o}T 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
>WYiOXYv q,Oj |l \! _:N+mEF MTnW5W-r9 5hxG\f#}? 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 2EO WbN}M Bh`Y?S g5",jTn#
■ VirtualLab可用于计算点列图。 y4N8B:j%
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Rs$fNW@P
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 $] ])FM"b
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
pJg'$iR!/
8>R 75dw 9. 焦平面上的结果 .qd/ft2
R_DstpsT
U-~6<\Mf
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 hB?a{#JL
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 2OA0rH"v
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm z (1zth
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 qGlbO
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 Fx@ovI- 5 !xE/ 10. 总结 n'?AZ4&z ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 OM>,1;UH] ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 E=*82Y=B ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 dmR>u ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 kT-dQ32