关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 @2$8o]et
BuvBSLC~ 1. 描述 Bhs`Y/Ls- ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 .N'UnKz ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 fZ376Z:S$ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 <QkfvK]Q
b,`\"'1 2. 系统 xeH#)QJt A"k,T7B 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
@'rO=(-b 3. 透镜系统组件编辑 [ho'Pc3A<
\c\=S
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 aLq;a
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 y@Or2bO#
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 5 O6MI4:
■ 包括序列光学表面和光学介质。 2?ednMoE
Rd$<R X@G`AD'.M 4. 光线追迹系统分析器-选项 jFc{$#g- s-ou ;S3s i:$g1
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 a;zcAeX
■ 可以选择选取光线的方法: V&nN/CF
— 在x-y-网格 Cn<kl^!Q-
— 六边形 <f*0 XJ#
— 自由选取 jl@8pO$
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 z? aDOh }* t~&l0 5. 系统的3维视图 zKutx6=aj >6dgf`U
Mzd}9x$'J 6. 其他系统参数 [KKoEZ ■ 系统由单色平面波照明 t(yv ■ 照明波长266.08nm p[eRK .$! ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: xle29:?l — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ?`XKaD!
f — 一个虚拟屏位于焦平面 Cnr48ukq — 光束尺寸探测器置于焦平面 ~;W%s ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 b1OB'P8
D5p22WY <f6Oj`{f4 nr^p H. r__M1
!3 7. 光线追迹系统分析器的结果 f,#xicSB* a=O!\J 光线经过整个光学系统的三维视图
?xet:#R' 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
hMQaT-v lrzW H0Q rij[ZrJ t|m3b~Oyv Uww^Sq *8p</Q 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 S`G\Cd;5 WKf~K4BL> [ n2udV
■ VirtualLab可用于计算点列图。 v+G:,Tc"
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 On^#x]
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 q|l|gY1g)
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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#L)rz u 9. 焦平面上的结果 i@*
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ht|r+v-
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 H.L@]~AyL
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm {E/TC%
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 FScQS.qF
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 1N+#(<x@, m
C Ge*V} 10. 总结 Y"qY@` ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 J.nq[/Q= ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 YSgF'qq\ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 v(i Uo&Ge ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 <B`V