关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 OZh+x`' #
ix}*whW=U 1. 描述 %P]-wBJw ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 1x|/z,
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 dk2o>jI4; ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 o6
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yM34G S=,J 2. 系统 /XW,H0pR ;D<rGkry 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
*-9b!>5eD 3. 透镜系统组件编辑 z9KsSlS ^
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 VAR/"
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。
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■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 <kor;exeJ
■ 包括序列光学表面和光学介质。 {EupB?
~9ILN~91 r,dxW5v. 4. 光线追迹系统分析器-选项 }(XvI^K[^ QfM*K.7Sl E0S[TEDa]
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 N:/$N@"Ge
■ 可以选择选取光线的方法: N,_ej@L8
— 在x-y-网格 9/|i.2&
— 六边形 &On0)G3Rc
— 自由选取 X]*W +
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 IA;KEGJ *)d|:q3 5. 系统的3维视图 z*>CP ^q$vyY
ss3fq} 6. 其他系统参数 Z_Ma|V?6 ■ 系统由单色平面波照明 wGQ{ ■ 照明波长266.08nm +=@Z5eu ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: \9k{"4jX\ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 et ]*5Y6 — 一个虚拟屏位于焦平面 YKvFZH) — 光束尺寸探测器置于焦平面 Sb[rSczS~ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 U>x2'B v x{*!"a> 0QIocha |/lIasI T[q-$8U 7. 光线追迹系统分析器的结果 @4B2O"z` {Q(6
.0R 光线经过整个光学系统的三维视图
a\m10Ih: 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
nZ7v9o9 ,em6wIq, $'FPst8Q< ,n!xzoX_ Yhw* `"X c[y=K)<Z 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 3Ob"r` \
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■ VirtualLab可用于计算点列图。 UXk8nH
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ^]R0d3?>\
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 =OZ_\vO
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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b);}x1L.T 9. 焦平面上的结果 |b3/63Ri-0
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 -% fDfjP
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 VD3[ko
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm %<muVRkB\
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 iRVLo~
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 "&+0jfLY+ TQ2Tt" 10. 总结 6Rf5 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 e #OU {2X ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 G<dXJ ]\\ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 sk3;;<H ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 YWZF*,4