关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 E^{!B]/oP
!or_CJ8% 1. 描述 {=&({ cS ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 L|s\IM1g ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 |-*50j l ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 y>h9:q|
J2oh#TGp 2. 系统 ?0sTx6x@ ;[P> 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
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.
j 3. 透镜系统组件编辑 7l*vmF6Z
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 };P=|t(r
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 L"S2+F)n
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 qZV|}M>P)
■ 包括序列光学表面和光学介质。 v}AjW%rB
WL,2<[)Ew (IjM 4. 光线追迹系统分析器-选项 5{DwD{Q jyyig% p9\*n5{
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ([rSYKpi
■ 可以选择选取光线的方法: :#n>Q1}x
— 在x-y-网格 `@,Vbn^_
— 六边形 G8?Do+[
— 自由选取
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■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 br k*; ,(sE|B#s 5. 系统的3维视图 ",Mrdxn7 G^VOA4
EX, {1^h 6. 其他系统参数 &IRM<A!8 ■ 系统由单色平面波照明 ;0?OBUDO ■ 照明波长266.08nm Ml?KnSb ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ZpBP#Y* — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 *D[yA — 一个虚拟屏位于焦平面 ^liW*F"UY — 光束尺寸探测器置于焦平面 (=1zMZo ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 )xz_}6b] l S
p"(& DC BN89# c1y+kvv 61gyx6v 7. 光线追迹系统分析器的结果 _]D
6m2R .O#7X 光线经过整个光学系统的三维视图
MI:%Eq 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
II~91IEk <1*\ ~CX kG}F/GN? Vwjic2lGI OpIeo+^X* r[GH#vF;7 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 3qH1\ vfm Y>nr Lh.-*H
■ VirtualLab可用于计算点列图。 f:~$x
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Y}Y~?kE>M|
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Q%J,:J
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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:%\hGy 9. 焦平面上的结果 R2 J A(Hn
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 [EZ=t k
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 dIhfp7|
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm R>;&4Sjr
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 g4 +Hq *
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。
+`ov1h Bm%|WQK 10. 总结 /nX_Q?mo ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 w&J_c8S ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 XAtRA1. ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 + DE/DR: ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 d'3"A"9R7-