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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 6>! ;g'k  
    0Bx.jx0?  
    1. 描述 _u$X.5Q;  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 2 w2JFdm  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Yl[GO}M  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 20G..>zW  
    gw0b>E8gZ&  
    2. 系统 D}1Z TX_  
    4@D 8{?$~Q  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Suixk'-  
    3. 透镜系统组件编辑 >}` q4U6$  
    zmH8#  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 H@$\SUc{  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 DGMvYNKTj  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 O mkl|l9  
    包括序列光学表面和光学介质。 Z!Njfq5  
    ^lCys  
    x4jn45]x@  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 "wi=aV9j  
    Jrp{e("9  
    T!.6@g`x>  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 hX\z93an  
    可以选择选取光线的方法: sM)n-Yy#9  
    — 在x-y-网格 #<20vdc  
    — 六边形 './j<2|;U  
    — 自由选取 !BD+H/A.{  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    md_9bq/w  
    gbOd(ugH  
    5. 系统的3维视图 $+eDoI'f  
    iX 0s4  
    P!q U8AJkt  
    6. 其他系统参数 <X}@afS  
    系统由单色平面波照明 HCHZB*r[  
    照明波长266.08nm = 8F/]8_  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: \; Io  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 wykk</eQ.i  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 (;2J}XQvO~  
    光束尺寸探测器置于焦平面 M#II,z>q  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 G*_$[|H  
    GQXN1R   
    z}v6!u|iZu  
    "Gx(-NH+  
    X(F 2 5  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 `z<k7ig  
    ]J\tosTi  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    B d$i%.r  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    W)^0~[`i  
    eC:?j`H -  
    :d7Ju.*J  
    1*aw~nY0  
    Rckqr7q  
    F;l*@y Tq  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 8KKI.i8`  
    5/-{.g   
    :4]^PB@dl  
    VirtualLab可用于计算点列图。 HMT^gmF)  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 y21zaQ  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 %;+Q0 e9  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 B>, O@og  
    .JIn(  
    9. 焦平面上的结果 W|_^Oe<  
    ,TY&N-  
    C<Q;3w`#1j  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 j}NGyS" =  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Jwzkd"D  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm FZTBvdUYp  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 SB R=  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
     S^;D\6(r  
    S<"T:Y &  
    10. 总结 A<esMDX  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 lI HSy  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Y <;A989D  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 9l9h*P gt  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 m{itMZ@  
     
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