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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 |],{kUIXO  
    akJ{-   
    1. 描述 cO)GiWE  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 dr,j~s  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 dL6sb;7R  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 <mrLld#_:C  
    qLA  
    2. 系统 99 :`58G  
    uZd)o AB  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    [RC|W%<Z>  
    3. 透镜系统组件编辑 (:Bo'q S  
    {\C$Bz  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 kJJQcjAP:  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 LEyn1d  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 if#$wm%  
    包括序列光学表面和光学介质。 k(%RX _]C  
    e!eWwC9u  
    ,_\h)R_  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 -s:JD J*  
    R;I}#b cJ  
    !l.Rv_o<O  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 d@8_?G}  
    可以选择选取光线的方法: pA+Qb.z5z  
    — 在x-y-网格 ,A[HYc|uy  
    — 六边形 #z~D1Zl  
    — 自由选取 YwB 5Zqr  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    .}Bb :*@  
    K8284A8v  
    5. 系统的3维视图 O}IS{/^7  
    ~aA+L-s|  
    Haq23K  
    6. 其他系统参数 f 4!^0%l  
    系统由单色平面波照明 *zz/U (9D  
    照明波长266.08nm 2z )h,<D  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: *$^M E  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 6"&&s  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 -#rFCfPy^  
    光束尺寸探测器置于焦平面 EMs$~CL4  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 g\ <Lb  
    @H7dQ, %  
    TN/I(pkt1B  
    {oz04KGsH  
    mN@0lfk;  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 mUnn k`v  
    qDcl;{L  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    bs_I{bCu?  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    VMHiuBz:  
    x6:$lZ(  
    J8/>b{Y  
    W{ Nhh3  
    Eq'{uV:  
    '|WMt g  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 {/R4Q1  
    )I!l:!Ij*D  
    <`6-J `.  
    VirtualLab可用于计算点列图。 3@6f%Dyj  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 g*Cs /w  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Jc{zi^)(EN  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Kpj0IfC,10  
    =_ -@1 1a  
    9. 焦平面上的结果 xA&G91|s  
    H Qf[T@  
    atl0#FBd  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 {&K#~[)  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 `33h4G  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm QKCk. 0Xe  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 mnu7Y([2>  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    ?*}V>h 8m)  
    S1`+r0Fk~n  
    10. 总结 X)~JX}-L  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 v]_{oj_(-  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 puMpUY  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 3ck;~Ncj<  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 vQBfT% &Q-  
     
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