关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 <WHs
7{kpx$:_ 1. 描述 &G7)s%q ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 rr07\; ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 5KC\1pei ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ^?K?\
TY54e T 2. 系统 TQ 5MKqR$ XW&8T"q7 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Pw^c2TQ 3. 透镜系统组件编辑 DiYJlD&
MoKXl?B<
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 #v~S",*.f
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 PPj6QJ]R0
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 |`94W j<
■ 包括序列光学表面和光学介质。 .J1Hg
X#Dhk6 {>UMw>T[ 4. 光线追迹系统分析器-选项 a'>$88tl 9
.&Or4> `!Ge"JB6
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 TReM8Vd
■ 可以选择选取光线的方法: FSYjp{z5
— 在x-y-网格 iRj x];:Vu
— 六边形 o trTrh
— 自由选取 %)6:eIS
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 BJO~$/R?v xV n]m9i 5. 系统的3维视图 0LHiOav iM\ZJ6
32-3C6f@oZ 6. 其他系统参数 ;FgEE% ■ 系统由单色平面波照明 I3zitI; ■ 照明波长266.08nm u>Axq3F ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: dl7p1Cr — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 &J&w4"0N' — 一个虚拟屏位于焦平面 7AtXG^lK — 光束尺寸探测器置于焦平面 Z_OqXo= ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 V Q,\O /P8eI3R [[66[;
s!o<Pd yJK Dpp52UnTE 7. 光线追迹系统分析器的结果 {z[HNSyRs Am=PUQF$ 光线经过整个光学系统的三维视图
[vjkU7;7A 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
gH{\y5%rO WfjUJw5x"s _qzo):G.s qYu!:xa8 )r|zi
Z {F $hE'b9qx 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 A$"$`)P! LWb}) #E .&yWHdQC:
■ VirtualLab可用于计算点列图。 o2e h)rtB
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 rW%'M#!
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■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 8DS5<
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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1d@^,7MF- 9. 焦平面上的结果 k}0
eUw;!Du
CL}I:/zRB
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 TcKKI
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 g`8
mh&u%
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm _467~5JkU
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 8^"|-~#<
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 \FY De wsGq>F~ 10. 总结 %/4_|@<' ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 cSs/XJZ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 mlw BATi ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 {FmFu$z+[ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 !RUo:b+