关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ?9'Ukw`
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:c[iS~ ~Y 1. 描述 f40 xS7-Q0 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 F6J,: ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 1O3"W;SR<: ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 G`8i{3:
2L Kpwz? 2. 系统 4WU%K`jnXb luXcr
H+w 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
w g?GEY 3. 透镜系统组件编辑 VN6h:-&iY
V<:scLm#OF
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 = i9|lU"Va
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 mucKmb/
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
cc`+rD5I-
■ 包括序列光学表面和光学介质。 HjCcfOej
#~QkS_ )RV.N}NU 4. 光线追迹系统分析器-选项 n=Qz7N(M {WJ9!pA!lk ;U$Fz~rJ
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 6?\X)qBI
■ 可以选择选取光线的方法: xh|NmZg
— 在x-y-网格 xNDX(_U>\
— 六边形 Jd#g"a>zZ
— 自由选取 &(&5ao)5
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ip.aM#
vU|=" # 5. 系统的3维视图 h2~b%|Pv t$+[(}@+
QE8;Jk- 6. 其他系统参数 *O6q=yg;K: ■ 系统由单色平面波照明 /A$mP)}tz ■ 照明波长266.08nm ^}Vx5[ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: R;D|To! — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 <;) qyP — 一个虚拟屏位于焦平面 a(cZ]`s]* — 光束尺寸探测器置于焦平面 ~d5f]6#` ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 -hv<8bC~4 IbV 7} (.D|%P RC{|:@]8 4l)Q 7. 光线追迹系统分析器的结果 N-C=O )S~ySiJ<U 光线经过整个光学系统的三维视图
XQW9/AzN f 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
]&;M78^6 >2kjd _pZ2^OO@ U`*L` PM fT$Fv WBOebv 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 )o51QgPy &v}c3wL] [*i6?5}-
■ VirtualLab可用于计算点列图。 r*I u6
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 6,J:sm\
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 <