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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 :' !_PN  
    5B{Eg?  
    1. 描述 p:!FB8  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Ys5I qj=mp  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ZI!;~q  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 SwH#=hg  
    T!pHT'J  
    2. 系统 X*r?@uK5  
    XOZ@ek)LY  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    taSYR$VJ  
    3. 透镜系统组件编辑 *u34~v16,  
    ^X*l&R_=R  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 i?F~]8  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 2$ \#BG  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 wD<W'K   
    包括序列光学表面和光学介质。 6A} 45  
    zL+M-2hV  
    _lOyT$DN  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 !`dn# j  
    Eo{js?1G_  
    J\ ?  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 n*qn8Dq  
    可以选择选取光线的方法: G7HvA46  
    — 在x-y-网格 p#dYNed]'  
    — 六边形 #fF';Y7  
    — 自由选取 V#-8[G6Ra  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    &Mh]s\  
    p:4oA<V  
    5. 系统的3维视图 sGJZG  
    T!H }^v  
    s9?H#^Y5u  
    6. 其他系统参数 A@G%*\UZ  
    系统由单色平面波照明 qP[jtRIN  
    照明波长266.08nm K&iU+  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: dMH}%f5;1  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 s !HOrhV  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 (DKQHL;  
    光束尺寸探测器置于焦平面 #Ic-?2Gn4<  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ^pvnUODW[  
    4{=^J2z  
    0a's[>-'A  
    :\G`}_db'  
    ~$ "P\iJ  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 jL#`CD  
    7brC@+ZD  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    (, uW-  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    s ` +cQ  
    xAAwH@ +  
    2xpI|+ a%  
    H}}C>p"!,  
    A]s|"Pav,  
    WQYw@M~4Q!  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 m2PI^?|e  
    I(:d8SF  
    S8)6@ECC  
    VirtualLab可用于计算点列图。 ; Z{jol  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ,9~2#[|lq  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 2G BE=T  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 `KmM*_a  
    %8g1h)F"S  
    9. 焦平面上的结果 Q)\4  .d  
    E(Y}*.\]#s  
    *TP>)o  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Meo. V|1  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 /X97dF)zt  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm X< p KAO\  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 jB%aHUF;  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    }:hN}*H  
    #w# :f  
    10. 总结 W(,3j{d2i  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 c R6:AGr  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 NN@'79x  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 {:c5/ ,7c;  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 #hF(`oX}4K  
     
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