关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 6>! ;g'k
0Bx.jx0? 1. 描述 _u$X.5Q; ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 2 w2JFdm ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Yl[GO}M ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 20G..>zW
gw0b>E8gZ& 2. 系统 D}1Z TX_ 4@D 8{?$~Q 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Suixk'- 3. 透镜系统组件编辑 >}`q4U6$
zmH 8#
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 H@$\SUc{
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 DGMvYNKTj
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Omkl|l9
■ 包括序列光学表面和光学介质。 Z !Njfq5
^lCys x4jn45]x@ 4. 光线追迹系统分析器-选项 "wi=aV9j Jrp{e("9 T!.6@g`x>
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 hX\z93an
■ 可以选择选取光线的方法: sM)n-Yy#9
— 在x-y-网格 #<20vdc
— 六边形 './j<2|;U
— 自由选取 !BD+H/A.{
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 md_9bq/w gbOd(ugH 5. 系统的3维视图 $+eDoI'f iX0s4
P!qU8AJkt 6. 其他系统参数 <X}@afS ■ 系统由单色平面波照明 HCHZB*r[ ■ 照明波长266.08nm =
8F/]8_ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: \;
Io — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 wykk</eQ.i — 一个虚拟屏位于焦平面 (;2J}XQvO~ — 光束尺寸探测器置于焦平面 M#II,z>q ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 G*_$[| H GQXN1R
z}v6!u|iZu "Gx(-NH+ X(F2 5 7. 光线追迹系统分析器的结果 ` z<k7ig ]J\tosTi 光线经过整个光学系统的三维视图
Bd$i%.r 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
W)^0~[`i eC:?j`H- :d7Ju.*J 1*aw~nY0 Rckqr7q F;l*@y Tq 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 8KKI.i8` 5/-{.g :4]^PB@dl
■ VirtualLab可用于计算点列图。 HMT^gmF)
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
y21zaQ
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 %;+Q0
e9
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
B>, O@og
.JIn( 9. 焦平面上的结果 W|_^Oe<
,TY&N-
C<Q;3w`#1j
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 j}NGyS" =
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Jwzkd"D
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm FZTBvdUYp
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 SB
R=
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 S^;D\6(r S<"T:Y& 10. 总结 A<esMDX ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
lIHSy ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Y <;A989D ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 9l9h*Pgt ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 m{itMZ@