切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 730阅读
    • 0回复

    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek
     
    发帖
    6531
    光币
    26804
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 adcH3rV  
    *M?[Gro/  
    1. 描述 =ea'G>;[H  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 *b}/fG)XZ  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 3 <A?  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 .Ei#mG-=}&  
    +`J~c|(  
    2. 系统 LULRi#n  
    =Lh8#>T\h  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    dfA2G<Uc  
    3. 透镜系统组件编辑 HJi FlL3  
    6`h}#@ (  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 l\/uXP?  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 \wKnX]xGf  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 B,q)<z6<  
    包括序列光学表面和光学介质。 zv-9z  
    >vR7l&"  
    | |u  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 }Ug O$1  
    43}uW, P  
    /HE{8b7n3F  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 qOTo p-  
    可以选择选取光线的方法: !gm@QO cF  
    — 在x-y-网格 d4m@u$^1B  
    — 六边形 x MFo  
    — 自由选取 N;HG@B!m  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    { .j030Q  
    BM o2t'L  
    5. 系统的3维视图 Rb_%vOM  
    cCuK?3V4K  
    M9QYYo@  
    6. 其他系统参数 3s0 I<cL  
    系统由单色平面波照明 ]Pl Ly:(  
    照明波长266.08nm ei82pLM z  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: b&*)C#7/T  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 T8BewO=}  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 "$nff=]  
    光束尺寸探测器置于焦平面 m@y<wk(  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Lng@'Yr  
    a0jzt!ci  
    sd _DG8V  
    Fr_6pEH]}  
    Hva/C{Y  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 #0f6X,3  
    >x1yFwX}-f  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    yf2P6b\  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    6IJH%qUx'  
    z?t75#u9.  
    GP(ze-Yp  
    p Le[<N  
    iOtf7.@  
    =PjxMC._  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 1'%n?\OK66  
    HPX JRQBE  
    L%<DLe^P`l  
    VirtualLab可用于计算点列图。 \b}%A&Ij  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 A[`2Mnj  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 MJA;P7g  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 RB9ZaL\  
    K 8W99:v  
    9. 焦平面上的结果 L1kA AR  
    X G E.*aI  
    y"|gC!V}  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 %R<xe.X  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 0_N.s5~N  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm -' =?Hs.  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 as(Zb*PdH  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    -6xh  
    c=D~hzN  
    10. 总结 BdP+>Ij  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Y[s}?Xu]w#  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 HLCI  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 {(l,Uhxl""  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 P9x':I$  
     
    分享到