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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 _sp, ,gz  
    >m$jJlAv8  
    1. 描述 wDQ@$T^vh  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 $ol]G`+  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ~^{>!wU+  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 nrBpq  
    8ln{!,j;  
    2. 系统 /EIQMZuYp  
    ]!c59%f=  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    enC/@){~  
    3. 透镜系统组件编辑 f 7R/i  
    ]iU8n (5f  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 lr*p\vH  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 jj,CBNo(  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 =l)D$l  
    包括序列光学表面和光学介质。 -(dtAo6  
    f:9b q}vH  
    Ir\P[A  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 ^ABt g#  
    AX%N:)_$|  
    $#z-b@s=B  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 bIWSNNV0F  
    可以选择选取光线的方法: _ez*dE%  
    — 在x-y-网格 /3`yaYkSh  
    — 六边形 x/pX?k  
    — 自由选取 > `1K0?_  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    =ea'G>;[H  
    {xD\w^  
    5. 系统的3维视图 a Xn:hn~O  
    k/Z]zZC  
    }WA =  
    6. 其他系统参数 [+F6C  
    系统由单色平面波照明 }6'%p Bd  
    照明波长266.08nm 9xN`  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 9bQD"%ha=d  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 l\/uXP?  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 1gA^Qv~?  
    光束尺寸探测器置于焦平面 ]+k]Gbty6  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 d[\$a4G+  
    !b"2]Qv  
    pJ3-f k"i  
    4wkmgS  
    * lJkk  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 /HE{8b7n3F  
    u}">b+{!  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    !gm@QO cF  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    d4m@u$^1B  
    x MFo  
    N;HG@B!m  
    }Ip1|Gj  
     nb\pBl  
    F-X L  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 TFNB %|  
    7Y%Si5  
    z41v5rB4  
    VirtualLab可用于计算点列图。 2M>`W5  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 +MtxS l  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 dC/@OV)0#  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 C"0vMUZ  
    RhWW61!"  
    9. 焦平面上的结果 arc{:u.K  
    m@y<wk(  
    Lng@'Yr  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 a0jzt!ci  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。  K,o&gY  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm Fr_6pEH]}  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 Hva/C{Y  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    "?G?G'yK>  
    P#|}]oG%  
    10. 总结 p=[SDk`  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 p4@0[z'  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 489xoP  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 48,uO !  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 2BO&OX|X  
     
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