关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 '0Q,
v)X\GmW7w 1. 描述 \6!W05[ Q ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 @n+=vC.xO ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 _NZ@4+aW ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 3n;K!L%zMT
=^;P#kX 2. 系统 l.+yn91%> jZ*WN|FK? 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
|j~lkzPnV 3. 透镜系统组件编辑 5&!c7$K0
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 </`yd2 >
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 t18$x"\4k
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 /)3Lnn{W
■ 包括序列光学表面和光学介质。 b #fTAC;<
;2xO`[# j2 %^qL 4. 光线追迹系统分析器-选项 Rl~T$
Ey K9Hqq7"% *%5{'
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ]d}0l6
■ 可以选择选取光线的方法: 9i q""
— 在x-y-网格 p{$p
$/A
— 六边形 wq!iV |
— 自由选取 X6e/g{S)
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 5@~|*g[ p
*w$:L 5. 系统的3维视图 LW)H"6v Vr.Y/3N&'
G4 _, 6. 其他系统参数 KzUlTl0 ■ 系统由单色平面波照明 :mcYZPX# ■ 照明波长266.08nm Xd
`vDgD ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 0E`1HP"b — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 s#9Ui#[=h — 一个虚拟屏位于焦平面 #'baPqdO — 光束尺寸探测器置于焦平面 5s{j=.O ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 LPd\-S_rsP c3%@Wj:fo pc]J[ S?P dEa<g99[? i]{1^pKq 7. 光线追迹系统分析器的结果 @C_KV0i ,5
j"ruZ 光线经过整个光学系统的三维视图
fh8j2S9J 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
R"v 3!P o`S? rZXrT}Xh{W 1Tp/MV/> `_ %S OHrY(I6 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 NE2pL@sk G"5D< ] HvwYm.$zE
■ VirtualLab可用于计算点列图。 )j l8!O7
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 0fXLcal
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 [(kB
5 a
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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=<@2#E) 9. 焦平面上的结果 ?4H#G)F
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 {@Yb%{+
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 DB526O*
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■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 3\O|ii
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 NH<gU_s8{9
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 N;oQ^B' J@pb[O L, 10. 总结 lA(Q@yEW ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Xl7aGlH ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ^g1f X1 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ocbB& ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 *.-.iY.a]