关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 hoq2zDjD
zr|DC] 3 1. 描述 9O 'j+?(`@ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 JdS,s5Z> ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 i% 1UUI(W ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 w^0hVrws=,
O^cC+@l!4 2. 系统 s`$}xukT S"&Gutu3o 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
"J"=<_? 3. 透镜系统组件编辑 1b%Oi.;
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 w1tM !4r
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 /wLBmh1"
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 `E$vWZq}
■ 包括序列光学表面和光学介质。 TLsF c^X
;z4J)qw 3Q$4`p; 4. 光线追迹系统分析器-选项 1D'r;`z KA?}o^-F gML8lu0)
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 %>&ex0j]
■ 可以选择选取光线的方法: _RaE:)
— 在x-y-网格 -FJ3;fP&
— 六边形 hr];!.Fv
— 自由选取 h^ Cm\V
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 wY<s r
&.~
{ 5. 系统的3维视图 fB+h( 2N~ i M !`4
"s0,9;
} 6. 其他系统参数 y$%oR6K7- ■ 系统由单色平面波照明 .Exvuo`F ■ 照明波长266.08nm \8xSfe ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: on7
n4 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 K%dQ;C*? — 一个虚拟屏位于焦平面 D\THe-Vtr — 光束尺寸探测器置于焦平面 `^[k8Z( ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 d3c.lD)L9 m#UQ,EM %j\&}>P4$ s6~;)(r .z gh,#= 7. 光线追迹系统分析器的结果 1L!;lP2 Po)U!5Tm 光线经过整个光学系统的三维视图
?SNacN@r 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
N)"8CvQL tBGLEeL/. 4NID:< Oz6$u `-{l$Hn9|~ i9L]h69r 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 1L*[!QT4 KyNu8s k _-C/sp^
■ VirtualLab可用于计算点列图。 rC!O}(4t%$
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Q2 !GWz$
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ;d}>8w&tfy
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
684& H8
Q#3}AO 9. 焦平面上的结果 Z;G*wM"
D\_nqx9O
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Zye04&x9k
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 R>0[w$
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm uLzE'ZmV
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 DP),~8
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 %e]G]B% 7K.75%} 10. 总结 JH\:9B+:L ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 z0rYzn?MR ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 b,+Sa\j)( ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 LL
e*|: ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 K@7%i|H