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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 OZh+x`' #  
    ix}*whW=U  
    1. 描述 %P]-wBJw  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 1x|/z,   
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 dk2o>jI4;  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 o6 [i0S  
    yM34GS=,J  
    2. 系统 /XW,H0pR  
    ;D<rGkry  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    *-9b!>5eD  
    3. 透镜系统组件编辑 z9KsSlS ^  
    jNseD  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 VAR/"  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 @KYmkx W  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 <kor;exeJ  
    包括序列光学表面和光学介质。 {EupB?  
    ~9ILN~91  
    r,dxW5v.  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 }(XvI^K[^  
    QfM*K.7Sl  
    E0S[TEDa]  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 N:/$N@"Ge  
    可以选择选取光线的方法: N,_ej@L8  
    — 在x-y-网格 9/|i. 2&  
    — 六边形 &On0)G3Rc  
    — 自由选取 X]*W +  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    IA;KEGJ  
    *)d|:q3  
    5. 系统的3维视图 z*>CP  
    ^q$vyY   
    ss 3fq}  
    6. 其他系统参数 Z_Ma|V?6  
    系统由单色平面波照明 w G Q{  
    照明波长266.08nm +=@Z5eu  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: \9k{"4jX\  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 et]*5Y6  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 YKvFZH)  
    光束尺寸探测器置于焦平面 Sb[rSczS~  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 U>x2'B v  
    x{*!"a>  
    0QIocha  
    |/lIasI  
    T[q-$8U  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 @4B2O"z`  
    {Q(6 .0R  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    a\m10Ih:  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    nZ7v9o9  
    ,em6wIq,  
    $'FPst8Q<  
    ,n!xzoX_  
    Yhw* `"X  
    c[y=K)<Z  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 3Ob"r`  
    \ bT]?.si  
    kdYl>M  
    VirtualLab可用于计算点列图。 UXk8nH  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ^]R0d3?>\  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 =OZ_\vO  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 4!}fCP ty  
    b);}x1L.T  
    9. 焦平面上的结果 |b3/63Ri-0  
    VD#^Xy4% r  
    0~1P&Qs<  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 -% f DfjP  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 VD3[ko  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm %<muVRkB\  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 iRVLo~  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    "&+0jfLY+  
    TQ2Tt "  
    10. 总结 6Rf5  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 e#OU {2X  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 G<dXJ ]\\  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 sk3 ;;<H  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 YWZF*,4  
     
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