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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 >yyu:dk-;  
    xR'd}>`  
    1. 描述 {3Gj rE  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 >iJxq6!  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 P^ -x  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 11$v~<M  
    x ZAg  
    2. 系统 a$"Z\F:x  
    PVKq&Q?  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ?#5)TAW  
    3. 透镜系统组件编辑 $ z+ =lF  
    cP21x<n  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 _qit$#wK;  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 X7aj/:fXe  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Yv*i69"  
    包括序列光学表面和光学介质。 $YBH;^#  
    aBF<it>  
    +'e3YF+'  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 'u [cT$  
    d{^K8T3  
    I#yd/d5^  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 OUHd@up@n  
    可以选择选取光线的方法: a 8jG')zg  
    — 在x-y-网格 !OH'pC5  
    — 六边形 IetV]Ff6  
    — 自由选取 _i"[m(ABj1  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    {.,y v>%  
    lVb;,C%K  
    5. 系统的3维视图 @iz6)2z  
    {XS2<!D  
    atFu KYI  
    6. 其他系统参数 (i'wa6[E8  
    系统由单色平面波照明 TwE&5F*  
    照明波长266.08nm V> eJ  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: %8L5uMx  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Y0OVzp9 b  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 E}w<-]8  
    光束尺寸探测器置于焦平面 {' |yb  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 #lm1"~`5  
    A7 :W0Gg  
    ~R W6;  
    fm% Y*<Y"  
    ~oBSf+N  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 [[u&=.Au  
    jZY9Lx8o  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    E~!FEl;  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    ph1veD<ZZ  
    t\+vTvT)RE  
    0:Lm=9o  
    \+w -{"u$  
    CD0SXNi"zH  
    I-q@@! =  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Uz!cVs?-  
    g'b)]Q  
    2? 7a\s  
    VirtualLab可用于计算点列图。 ex2*oqAdX  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 T%F8=kb-9  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 P3YG:*  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 V# 6`PD6  
    !$5U\"M  
    9. 焦平面上的结果 'x10\Q65[  
    R\=y/tw0H  
    C31SXQ  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 A]vQ1*pnk  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 oZ~M`yOz.  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm P z+8u&~p  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 G>{;@u  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    $wVY)p9Q  
    A! 1>  
    10. 总结 D`.CXFI+U  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 .Isg1qrC  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ZA ii"F  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 fD|ox  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 +kl@`&ga  
     
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