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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 <WHs  
    7{kpx$:_  
    1. 描述 &G7)s%q  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 rr07\;  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 5KC\1pe i  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ^?K?\   
    TY54e T  
    2. 系统 TQ5MKqR$  
    XW&8T"q7  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Pw^c2TQ  
    3. 透镜系统组件编辑 DiYJlD&  
    MoKXl?B<  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 #v~S",*.f  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 PPj6QJ]R0  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 |`94Wj<  
    包括序列光学表面和光学介质。 .J1Hg  
    X#Dhk6  
    {>UMw>T[  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 a' >$88tl  
    9 .&Or4>  
    `!Ge"JB6   
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 TReM8Vd  
    可以选择选取光线的方法: FSYjp{z5  
    — 在x-y-网格 iRj x];:Vu  
    — 六边形 o trTrh  
    — 自由选取 %)6 :eIS  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    BJO~$/R?v  
    xV n]m9i  
    5. 系统的3维视图 0LHiOav  
    iM\ Z J6  
    32-3C6f@oZ  
    6. 其他系统参数 ;FgEE%  
    系统由单色平面波照明 I 3zitI;  
    照明波长266.08nm u>Axq3F  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: dl7p1Cr  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 &J&w4"0N'  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 7AtXG^lK  
    光束尺寸探测器置于焦平面 Z_OqXo=  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 VQ,\O  
    /P8eI3R  
    [[66[;  
    s!o<Pd yJK  
    Dpp52UnT E  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 {z[HNSyRs  
    Am=PUQF$  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    [vjkU7;7A  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    gH{\y5%rO  
    WfjUJw5x"s  
    _qzo):G.s  
    qYu!:xa8  
    )r|zi Z{F  
    $hE'b9qx  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 A$"$`)P!  
    LWb}) #E  
    .&yWHdQC:  
    VirtualLab可用于计算点列图。 o2e h)rtB  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 rW%'M#! =  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 8DS5<  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 1'U%7#;E  
    1d@^,7MF-  
    9. 焦平面上的结果 k}0  
    eUw;!Du  
    CL}I:/zRB  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 TcKKI  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 g`8 mh&u%  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm _467~5JkU  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 8^"|-~#<  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    \FY De  
    wsGq>F~  
    10. 总结 % /4_|@<'  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 cSs/XJZ  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 mlw BATi  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 {FmFu$z+[  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 !RUo:b+  
     
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