关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 >yyu:dk-;
xR'd}>` 1. 描述 {3Gj
rE ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 >iJxq6! ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 P^-x ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 11$v~<M
xZAg 2. 系统 a$"Z\F:x PVKq&Q? 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
?#5)TAW 3. 透镜系统组件编辑 $
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cP21x<n
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 _qit$#wK;
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 X7aj/:fXe
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Yv*i69"
■ 包括序列光学表面和光学介质。 $YBH;^#
aBF<it> +'e3YF+' 4. 光线追迹系统分析器-选项 'u[cT$ d{^K8T3 I#yd/d5^
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 OUHd@up@n
■ 可以选择选取光线的方法: a
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— 在x-y-网格 !OH'pC5
— 六边形 IetV ]Ff6
— 自由选取 _i"[m(ABj1
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 {.,y v>% lVb;,C%K 5. 系统的3维视图 @iz6)2z {XS2<!D
atFu
KYI 6. 其他系统参数 (i'wa6[E8 ■ 系统由单色平面波照明 TwE&5F* ■ 照明波长266.08nm V> eJ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: %8L5uMx — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Y0OVzp9 b — 一个虚拟屏位于焦平面 E }w<-]8 — 光束尺寸探测器置于焦平面 {'
|yb ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 #lm1"~`5 A7:W0Gg ~R
W 6;
fm% Y*<Y" ~oBSf+N 7. 光线追迹系统分析器的结果 [[u&=.Au jZY9Lx8o 光线经过整个光学系统的三维视图
E~!FEl; 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
ph1veD<ZZ t\+vTvT)RE 0:Lm=9o \+w -{"u$ CD0SXNi"zH I-q@@!= 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Uz!cVs?- g'b)] Q 2?7a\s
■ VirtualLab可用于计算点列图。 ex2*oqAdX
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 T%F8=kb-9
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 P3YG:*
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
V#6`PD6
!$5U\"M 9. 焦平面上的结果 'x10\Q65[
R\=y/tw0H
C31SXQ
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 A]vQ1*pnk
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 oZ~M`yOz.
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm Pz +8u&~p
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 G>{;@u
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 $wVY)p9Q A!
1> 10. 总结 D`.CXFI+U ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 .Isg1qrC ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ZA ii"F ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 fD|ox ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 +kl@`&ga