关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 oQDOwM,
R7KQ-+Zb 1. 描述 04;y%~,}U/ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 GtO5,d_ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 2vnzB8"k ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 E|9LUPcb
`OQ&u 2. 系统 v%<_Mh )
WIlj 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
x=B+FIJ 3. 透镜系统组件编辑 SEchF"KJQF
~+>M,LfK
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 tL+8nTL
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 l7{hq}@;cC
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 _3p:q.
■ 包括序列光学表面和光学介质。 :,q3?l6
YLd
5 N0RFPEQ~ 4. 光线追迹系统分析器-选项 sW2LNE b+p!{ z% /ww7H
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 *A\NjXJl~
■ 可以选择选取光线的方法: :=L[kzX
— 在x-y-网格 pjj
5
— 六边形 E2*"~gL^,
— 自由选取 z3*G(,
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 *vAOUqX`x J#V`W&\,6 5. 系统的3维视图 IVNNiNN*5 ?XOeMI
h/TPd] 6. 其他系统参数 ^}1RDdQ"U ■ 系统由单色平面波照明 g41Lh3dj ■ 照明波长266.08nm 1yB;"q&Xd ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: "(efd~.] — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 @I"Aet'XV — 一个虚拟屏位于焦平面 ')1sw%[2 — 光束尺寸探测器置于焦平面 )vU{JY; ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 8]?1gDS|9O Xi{(1o4% k13/yiv <Ab:yD`K! |16
:Zoq 7. 光线追迹系统分析器的结果 :s'%IGy>: #8z\i2I 光线经过整个光学系统的三维视图
n&C9f9S 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
R-Fi`#PG2 ?3Jh{F_+ ?^ErrlI_ \7j)^ rb tV,Y 5nj~RUK 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 YqJIp. Z %|,<\~P CXQ?P
■ VirtualLab可用于计算点列图。 t!u*6W|@
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 .FXQ,7mZ-
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 sMS`-,37u
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
-mkync3
8_,ZJ9l; 9. 焦平面上的结果 7.Mh$?;i9
g^C6"rsnl
A zle ;\l`
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 oPbD9
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 r#Fu<so,
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm a2rv4d=
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 .~U9*5d
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 *"CvB{XF&Z OX`n`+^D 10. 总结 ~/x42|t ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ".0W8= ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 W^N"y& ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 $ vjmW!
O ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 $ B9=v