关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 K$#(\-M
8$OE<c?#5n 1. 描述 :~zK0v" ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 d@7
]=P: ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 V_Wv(G0-\ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Sw%=/ g
f/*Xw {s# 2. 系统 >Ah [uM C[& \Xq 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
!j%v Ue;t 3. 透镜系统组件编辑 -?2ThvT
r<UZ\d -
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 c/x ^I{b*
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 oq^#mJL
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ^Ml)g=Fq
■ 包括序列光学表面和光学介质。 _+ oX9
-XkCbxZ Iy8Ehwejd 4. 光线追迹系统分析器-选项 G9N6iKP! 3"6lPUS ^7Z)/c`"
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 LUHj3H
■ 可以选择选取光线的方法: *-3K],^a
— 在x-y-网格 ,m8l
/wG
— 六边形 HB||'gIC
— 自由选取 ,wlFn
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 deQ0)A 4g XBF#ILJ 5. 系统的3维视图 uPr@xff oa}-=hG
HP:ee+n 6. 其他系统参数 ucL}fnY1 ■ 系统由单色平面波照明 Xb?P'nD ■ 照明波长266.08nm crz )F" ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: (}V.xi — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ,=Xr'7w, — 一个虚拟屏位于焦平面 |k^'}n — 光束尺寸探测器置于焦平面 ,gUSW ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Ra%RcUf~sh pTprU)sa7 _o'ii
VDuD |bQKymS r0+lH:G*q 7. 光线追迹系统分析器的结果 O7g
?x3 CJz2.yd 光线经过整个光学系统的三维视图
\v)Dy)Vhg2 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
E<:XHjm M`q >i B Dwj!B;AZ_ 9 ]c2ub7 *Cz>r}W Yev] Lp 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 2RFYnDN T4]/w|?G AA6_D?)vv
■ VirtualLab可用于计算点列图。 ='`z
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 s{(aW5$!s
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 f7Y0L8D
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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YiJnh47 9. 焦平面上的结果 6NPCp/
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 mKugb_d?
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 LBq~?Q.e
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ] JVs/
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 '-oS=OrZ
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ,)TtI~6Q lr'h 10. 总结 i,r O3Jn ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 .vE=527g) ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 A'vQtlvKA ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 48hu=,)81* ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 pM],-7UM