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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 /HRKw D  
    ]#G s6CsT|  
    1. 描述 qj~=qV0p  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 $3"hOEN@5`  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 :8@)W<>%  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 t)W=0iEd9  
    #@DJf  
    2. 系统 SWzqCF  
    ;&=jSgr8  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ^Saf z8-3o  
    3. 透镜系统组件编辑 +TqrvI.  
    Rr [_t FM  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ~B{08%|oK  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 s\mA3t  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Ua \f]y  
    包括序列光学表面和光学介质。 _3%$E.Q  
    PMTrG78p*  
    Zy7kPL;b  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 d;dT4vx$[M  
    wY ItG"+6  
    q<3La(^/  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 P0m9($JBD  
    可以选择选取光线的方法: S~:uOm2t\  
    — 在x-y-网格 WS[Z[O  
    — 六边形 w =F9>  
    — 自由选取 {g nl6+j  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ~4+Y BN  
    _fk}d[q0  
    5. 系统的3维视图 7u;N/@  
    GAY?F  
    UY9*)pEE  
    6. 其他系统参数 >g !Z|ju  
    系统由单色平面波照明 =aB+|E  
    照明波长266.08nm ?{'_4n3O  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: By6O@ .\V  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 aR3jeB,=x  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 XFoSGqD  
    光束尺寸探测器置于焦平面 Ut2T:%m{  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 7HW:;2dL  
    (.=Y_g.  
    Y}BP ]#1  
    +PE-j| D  
    ggPGKY-b=  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 O$,  
    F#|y,<}<  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    T P#Ncqh  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    +i}H $.  
    M 0}r)@  
    SM)"vr_  
    qery|0W  
    k(RKAFjY  
    >[wxZ5))  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 k'%yvlv  
    .$p eq  
    axmq/8X  
    VirtualLab可用于计算点列图。 Z{vc6oj  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Q^va +O  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 YSxr(\~j   
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 l@SV!keQ  
    `Eg X#  
    9. 焦平面上的结果 QaLaw-lx  
    <EqS ,cO^  
    K?,? .!ev  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 bK}ZR*)  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 !D1#3?L  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm #xx.yn(7  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 ~m<K5K6 V  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    G0h&0e{w  
    *PlKl_nP6  
    10. 总结 8Ckd.HKpQ  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 BYdG K@ouk  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 KW'nW  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 U*{0,Ue'  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 qGN> a[D  
     
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