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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 )\fAy  
    #lDf8G|ST~  
    1. 描述 ::bK{yZm   
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 wV\;,(<x=%  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 IO/%X;Y_  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 +|6 '7Z(9  
    lFvRXV^+f  
    2. 系统 7g@P$e]  
    }2dz];bR  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    t [gz#'  
    3. 透镜系统组件编辑 ,=o)R,[  
    s%Ez/or(T  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 *6uZ"4rb.  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Oa7x(wS  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 9e^HTUFbG  
    包括序列光学表面和光学介质。 z@@w?>*  
    :5 XNV6^|  
    H(f~B<7q  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 FCO5SX#-g  
    Vf?+->-?{  
    XP#j9CF#.  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Om #m":  
    可以选择选取光线的方法: Q.SLiI  
    — 在x-y-网格 fa#xEWaFr  
    — 六边形 -"*UICd  
    — 自由选取 />1Ndj  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    /58]{MfrJ  
    :5kgJu  
    5. 系统的3维视图 wk @-O}W  
    8)I,WWj  
    QiDf,$t|,  
    6. 其他系统参数 MDETAd  
    系统由单色平面波照明 FFE IsB"9  
    照明波长266.08nm o80?B~o  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 8NY $Iw  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ;Y:_}kN8_  
    — 一个虚拟屏位于焦平面  Co e q<  
    光束尺寸探测器置于焦平面 ,SEC~)L  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 $|0_[~0-n  
    G01J1Ll}  
    Vp3r  
    f"^G\  
    K.A!?U=  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 D$k<<dvv  
    n,KOQI;  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    \SB~rz"A  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    ?sF<L/P0 F  
    45cMG~]p  
    %onUCN<O`  
    OC0dAxq  
    V0'T)  
    t- Rp_2t  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 !'-K>.B  
    ^4jIT1  
    [X >sG)0S~  
    VirtualLab可用于计算点列图。 YS$?Wz  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 :H}a/ x*ur  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 qw]:oh&G  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 B~p` 3rC  
    &[]0yNG  
    9. 焦平面上的结果 eUiJl6^x  
    +qz"+g  
    9 C-!I,  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 >s\j/yM  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ujF*'*@\  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm OG\TrW-ug  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 k M/cD`  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    _)4YxmK%  
    P%Fkd3e+  
    10. 总结 @S3G>i  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 x50,4J%J'r  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 d1=kHU4_9  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 m @K5eh  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 f< A@D"m/  
     
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