关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 UfW=/T
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1. 描述 p22AH%
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 AA\)BNM ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 3f=ZNJ> ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 .2I?^w&j+
#-|fdcb 2. 系统 |E~c#lV |s3;`Nxu7 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
NuOA'e+i 3. 透镜系统组件编辑 Jm!,=}oP'
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 %g:Q?
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 !mv5i%3
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 V 7,dx@J-
■ 包括序列光学表面和光学介质。 W" =l@}I
2n.HmS 628iN%[- 4. 光线追迹系统分析器-选项 =A!oLe$% A%#M#hD/ 'VVU-)(8
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 [4?r0vO
■ 可以选择选取光线的方法: U\%r33L )
— 在x-y-网格 ;*?>w|t}w
— 六边形 ##mZ97>$
— 自由选取 h6k" D4o\
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 aiPm.h> 5mamWPw 5. 系统的3维视图 2]kGDeSr $WIE`P%
H+*3e& 6. 其他系统参数 ZH~bY2^; ■ 系统由单色平面波照明 ]QlW{J ■ 照明波长266.08nm {.Qv1oOa ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: H!*ypJ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 OROvy — 一个虚拟屏位于焦平面 ZtZ3I?%U3 — 光束尺寸探测器置于焦平面 l%}q&_ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ezw*Lo! =rymd3/ x8aOXN#w} ?OW!D? ]Ea-MeH 7. 光线追迹系统分析器的结果 CUJq [ Z*M{ 光线经过整个光学系统的三维视图
OPN\{<`*d 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
0{vT`e' 7c"Csq/]I \^6 [^\@[ "BsK'yo. #b/L~Bw[ eL~xS: VT 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 JPF6zzl) g8cBb5(L /4O))}TX
■ VirtualLab可用于计算点列图。 /=YNkw5
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 zG$5g^J
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
!p$p 7
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
O?g;Ny
Gtaa^mnxD 9. 焦平面上的结果 6=n|Ha
mhVLlbY|t
TC-Vzk G|
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 @<eKk.Y?+
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 )Xqjl
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm |\dv$`_T
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 fV4rVy8
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 .v(GVkE} JXL?.{'A 10. 总结 -+{[.U<1jk ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 T^Ia^B-%}g ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 tTBDb ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 V?dwTc ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 N
;=zo-8