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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 hoq2zDjD  
    zr|DC] 3  
    1. 描述 9O 'j+?(`@  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 JdS,s5Z>  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 i% 1UUI(W  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 w^0hVrws=,  
    O^cC+@l!4  
    2. 系统 s`$}xukT  
    S"&Gutu3o  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    "J"=<_?  
    3. 透镜系统组件编辑 1b%Oi.;  
     )kWxp  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 w1tM !4r  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 /wLBmh1"  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 `E$vWZq}  
    包括序列光学表面和光学介质。 TLsF c^X  
    ;z4J)qw  
    3Q$ 4`p;  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 1D 'r;`z  
    KA?}o^-F  
    gML8lu0)  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 %>&ex0j]  
    可以选择选取光线的方法: _RaE: )  
    — 在x-y-网格 -FJ3;fP&  
    — 六边形 h r];!.Fv  
    — 自由选取 h^ Cm\V  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    wY<s  
    r &.~ {  
    5. 系统的3维视图 fB+h( 2N~  
    i M !`4  
    "s0,9; }  
    6. 其他系统参数 y$%oR6 K7-  
    系统由单色平面波照明 .Exvuo`F  
    照明波长266.08nm \8xSfe  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: on 7 n4  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 K%dQ; C*?  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 D\THe-Vtr  
    光束尺寸探测器置于焦平面 `^[k8Z(  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 d3c.lD)L9  
    m#UQ,EM  
    %j\&}>P4$  
    s6~;)(r  
    .zgh,#=  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 1L!;lP2  
    Po)U!5Tm  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ?SNacN@r  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    N)"8CvQL  
    tBGLEeL/.  
    4NID:<  
    O z6$u  
    `-{l$Hn9|~  
    i9L]h69r  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 1L*[!QT4  
    KyNu8s k  
    _-C/s p^   
    VirtualLab可用于计算点列图。 rC!O}(4t%$  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Q2 !GWz$  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ;d}>8w&tfy  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 684& H8  
    Q#3}AO  
    9. 焦平面上的结果 Z;G*wM"  
    D\_nqx9O  
    |J!mM<*K  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Zye04&x9k  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 R>0[w$  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm uLzE'Z mV  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 DP),~8  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    %e]G]B%  
    7K.75%}  
    10. 总结 JH\:9B+:L  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 z0rYzn?MR  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 b,+Sa\j)(  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 LL e*| :  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 K@7%i|H  
     
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