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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 tj:>o#D  
    `llSHsIkXb  
    1. 描述 dLw,dg  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 (Zu8WyT2  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 b\+9#)Up@  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 F"a31`L>H  
    ~GjM:*  
    2. 系统 9]|G-cyt  
    2w:cdAv$  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    t8B==%  
    3. 透镜系统组件编辑 gX]'RBTb  
    74a>}+"  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 5dhT?/qvc  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 7;NvR4P%  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 L)_L#]Yy  
    包括序列光学表面和光学介质。 w]Ci%W(  
    &uxwz@RC0  
    Ok_)C+o  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 P26YJMJ'  
    Zc*gRC  
    lR3JyYY{X  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 1{bsh?zd  
    可以选择选取光线的方法: vU, ]UJ}  
    — 在x-y-网格 u )KtvC!  
    — 六边形 si|b>R&Z  
    — 自由选取 +7bV  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    S)*!jI  
    g}'(V>(  
    5. 系统的3维视图 ~f] I0FK  
    [X=Ot#?u ~  
    3,{tGNl|  
    6. 其他系统参数 q/t~`pH3  
    系统由单色平面波照明 A[X~:p.^G  
    照明波长266.08nm VTxLBFK;  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: RLX?3u&  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 .\b# 0w  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 2~SjRIpUw  
    光束尺寸探测器置于焦平面 }\_[+@*EJ  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 !_=3Dz  
    [<7Vv_\Q  
    ZYD3[" ~x  
    r!J?Lc])8  
    kDr0D$iE  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 _sp/RU,J-3  
    N}j^55M_]  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    =H2.1 :'  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    IBr|A  
    =o+))R4  
    \%N | X  
    3re|=_ Hy  
    jaI mO  
    C/x<_VJzN/  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 JOJ? .H&su  
    edD"jq)J  
    zE\@x+k.  
    VirtualLab可用于计算点列图。 QGV~Y+  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 5KFd/9  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 2u|} gZts  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 SmYY){AQ/  
    = A;B-_c  
    9. 焦平面上的结果 QBiLH]qa  
    G6L /Ny3>_  
    53cW`F  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 GP\Pk/E  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。  ?[G!6  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 'Nbae-pf  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 )pA N_e"  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    PME ?{%&  
    P7i G,i  
    10. 总结 uk~4R@=&H  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 r*!sA5  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 idr,s\$>  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 +\a`:QET  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 xW;-=Q  
     
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