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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 I}Q2Vu<  
    nj4/#W  
    1. 描述 g,Y/M3>(  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 B erwI 7!=  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。  2Rz  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 C7?/%7{  
    azU"G(6y?+  
    2. 系统 F1hHe<)  
    PaN"sf  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
     S[QrS 7  
    3. 透镜系统组件编辑 C*lJrFpB  
    'f|o{  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Dhv3jg;lq  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 .sA.C] f  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 *|l/6!WM  
    包括序列光学表面和光学介质。 |&jXp%4T  
    {:W$LWET  
    SY8C4vb'h  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 'm9` 12 H  
    L8n|m!MOD  
    "h ^Z  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 k_R"CKd  
    可以选择选取光线的方法: ze;KhUPRm  
    — 在x-y-网格 RT5T1K08I  
    — 六边形 1nOCQ\$l  
    — 自由选取 (I}v[W  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    h.fq,em+H  
    L4f3X~8,b  
    5. 系统的3维视图 R GX=)  
    }&3 ~|kP~O  
    |D.ND%K&  
    6. 其他系统参数 k+4#!.HX^  
    系统由单色平面波照明 u2[w#   
    照明波长266.08nm i@CxI<1'  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: |)G<,FJQE_  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 _tXlF;  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 w*MpX U<  
    光束尺寸探测器置于焦平面 $mB;K]m  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 s9d_GhT%-  
    } d }lR  
    hpJ-r  
    :j`s r  
    D,ln)["xm  
    7. 光线追迹系统分析器的结果  Mc}^LDX  
    Tb-F]lg$  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ,?XCyHSgWW  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    2Hv+W-6v  
    2:=  
    <^uBoKB/f  
    EZ`{Wnbq  
    o8vug$=Z  
    t()c=8qF|u  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 xP,hTE  
    uM'Jp?  
    Hq 188<  
    VirtualLab可用于计算点列图。 "g#i'"qnW  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 <d_!mKw  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 eR"<33{  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 d^6M9lGU  
    4a]P7fx-  
    9. 焦平面上的结果 2 Vrw  
    *WT`o>  
    b%5f&N  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 O7IJ%_A&  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ;w[0t}dPl  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm vZoaT|3 G]  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 m9Hit8f@Q  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    VAu&@a`  
    3%ZOKb"D*  
    10. 总结 ZQ0F$J)2~  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 @|%2f@h  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 D5HZ2cz|a  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 # Vha7  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 }AH] th  
     
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