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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 '0Q,  
    v)X\GmW7w  
    1. 描述 \6!W05[ Q  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 @n+=vC.xO  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 _NZ@4+aW  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 3n;K!L%zMT  
    =^;P#kX  
    2. 系统 l.+yn91%>  
    jZ*WN|FK?  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    |j~lkzPnV  
    3. 透镜系统组件编辑 5&!c7$K0  
    $XnPwOj  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 </`yd2>  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 t18$x "\4k  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 /)3Lnn{W  
    包括序列光学表面和光学介质。 b #fTAC;<  
    ;2xO`[#  
    j2 %^qL  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 Rl~T$ Ey  
    K9Hqq7"%  
    *%5{'  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ]d}0l6  
    可以选择选取光线的方法: 9i q""  
    — 在x-y-网格 p{$p $/A  
    — 六边形 wq!iV |  
    — 自由选取 X6e/g{S)  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    5@~|*g[  
    p *w$:L  
    5. 系统的3维视图 LW)H"6v  
    Vr.Y/3N&'  
    G4 _,  
    6. 其他系统参数 KzU lTl0  
    系统由单色平面波照明 :mcYZPX#  
    照明波长266.08nm Xd `vDgD  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 0E`1HP"b  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 s#9Ui#[=h  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 #'baPqdO  
    光束尺寸探测器置于焦平面 5s{j = .O  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 LPd\-S_rsP  
    c3%@Wj:fo  
    pc]J[ S?P  
    dEa<g99[?  
    i]{1^pKq  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 @C_KV0i  
    ,5 j"ruZ  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    fh8j2S9J  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    R"v 3!P  
    o`S ?  
    rZXrT}Xh{W  
    1Tp/MV/>  
    `_ %S  
    OHr Y(I6  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 NE2pL@ sk  
    G"5D< ]  
    HvwYm.$zE  
    VirtualLab可用于计算点列图。 )j l 8!O7  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 0 fXLcal  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 [(kB 5 a  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 >r@.F%  
    =<@2#E)  
    9. 焦平面上的结果 ?4H#G)F  
    ?tdd3ai>  
    {PU!=IkTS  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 {@Yb%{+  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 D B526O* [  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 3\O|ii  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 NH<gU_s8{9  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    N;oQ^B'  
    J@pb[OL,  
    10. 总结 lA(Q@yEW  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Xl7aGlH  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ^g1f X1  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ocbB&  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 *.-.iY.a]  
     
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