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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 'fb\t,  
    EwV$2AK  
    1. 描述 i6n,N)%H  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ~!PWJ~U  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 w5PscEc  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 M$@~|pQ<  
    SZ[?2z  
    2. 系统 nM.g8d K  
    ?K:\WW  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
     I2i'  
    3. 透镜系统组件编辑 .|go$}Fk  
    p2rT0gu!  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Bx5xtJ|!  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 @M<qz\ [  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 `f&::>5tD  
    包括序列光学表面和光学介质。 FA{Q6fi:2  
    \WC,iA%Y  
    VPT?z  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 .4"BN<9  
    IaSPwsvt'  
    :fL7"\ pf~  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 %Y;^$%X%_  
    可以选择选取光线的方法: ~? aFc)  
    — 在x-y-网格 F5cN F 5  
    — 六边形 !<~.>5UQ  
    — 自由选取 _wb]tE ~g  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    XtZd% #2},  
    `|AH3v1  
    5. 系统的3维视图 N]/cBGy  
    rL"]m_FK  
    ^ /G ;  
    6. 其他系统参数 g.`Ntsi$wI  
    系统由单色平面波照明 DDGDj)=`  
    照明波长266.08nm 08^f|K  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: svEe@Kt`  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 *@#Gc%mGu  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ~%h )G#N  
    光束尺寸探测器置于焦平面 K O\HH  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 !=,zy  
    z{1A x  
    4<UAT|L^`  
    5ta;CG  
    .EHq.cde  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 v8 =#1YB;  
    3zKeN:w  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    iZnLgkk@  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    ue7D' UZL>  
    'JdK0w#  
    fOSk > gK  
    pl@K"PRE  
    |gxPuAXa)  
     Hk4k  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 = )3\B  
    /2=9i84  
    N& F.hi$_  
    VirtualLab可用于计算点列图。 7DK}c]js  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 L58H)V3Pn  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 7\g#'#K  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 }[!=O+g O  
    @,,G]4zZ!  
    9. 焦平面上的结果 dB#c$1  
    yLCMu | +  
    L|#0CRiN  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 *u|1Z%XO  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 O[U`(A:  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 1|G\&T   
    此外,背景颜色也可以预先设置。 lAo~w  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    4*f+np  
    Sw>>]UjU  
    10. 总结 X)RgXl{  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 PY '^:0  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 +U ziO#D  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 \5<Z[#{  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 g&w~eWpk  
     
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