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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 0VtjVz*C7&  
    \f? K74  
    1. 描述 $V!.z%Vgf  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 452kE@=49  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 QrK%DN  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 %p )"_q!ge  
    H Eq{TUTr  
    2. 系统 j67ppt  
    h`\ $8 oV  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    [znN 'Fg:"  
    3. 透镜系统组件编辑 go AV+V7  
    6[k<&;  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 !>> A@3  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 3= sBe HL  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 mz6]=]1w  
    包括序列光学表面和光学介质。 7WS$fUBi  
    5tpC$4m  
     yP+<kv4  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 2} pZyS  
    ~nU9j"$  
    F<g&t|@  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 (FApkvy  
    可以选择选取光线的方法: c.Hw K\IU  
    — 在x-y-网格 j AOy3c  
    — 六边形 ~k"b"+2  
    — 自由选取 XH~(=^/_  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    Eqz|eS*6  
    \z.bORy  
    5. 系统的3维视图 AaA!U!B  
    Gm:s;w-;v  
    ^.8~}TT-U  
    6. 其他系统参数 fm-m?=  
    系统由单色平面波照明 !;,\HvEZYw  
    照明波长266.08nm Yft [)id  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: !;|#=A9  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 _-y1>{]H  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 UMRFTwY  
    光束尺寸探测器置于焦平面 4E5;wH  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 T,9q~*"  
    07:V[@'  
    r_$*euh@  
    W%>T{}4  
    <DR|r  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 }8tF.QjR|  
    %Hd[,duwO  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    u*2?Gky  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    3#t#NW*e  
    P'tXG  
    ,M{G X  
    4Z%1eOR9V  
    cdL]s^z  
    )1#/@cU  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 #)~u YQ  
    K:'^f? P  
    k5aB|xo  
    VirtualLab可用于计算点列图。 C\5G43`  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 YT+b{   
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 )TiM>{  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 XjL3Ar*  
    /.7RWy`  
    9. 焦平面上的结果 S=) c7t?a  
    YdO*5Gb6  
    :5&D 6  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ;&CLb`<y  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 T>% 5<P  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm SZe55mK`  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 V5ZC2H  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    kqih`E9P7B  
    nQOdM#dP  
    10. 总结 $T3_~7N  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 wO%lM  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 d]s^?=gM  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 C`_/aR6  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 _:Xmq&<W  
     
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