关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 /HRKw
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]#G s6CsT| 1. 描述 qj~=qV0p ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 $3"hOEN@5` ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 :8@)W<>% ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 t)W=0iEd9
#@DJf 2. 系统 SWzqCF ;&=jSgr8 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
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z8-3o 3. 透镜系统组件编辑 +TqrvI.
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ~B{08%|oK
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 s\mA3t
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Ua
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■ 包括序列光学表面和光学介质。 _3%$E.Q
PMTrG78p* Zy7kPL;b 4. 光线追迹系统分析器-选项 d;dT4vx$[M wY ItG"+6 q<3La(^/
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 P0m9($JBD
■ 可以选择选取光线的方法: S~:uOm2t\
— 在x-y-网格 WS[Z[O
— 六边形 w =F9>
— 自由选取 {g nl6+j
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ~4+Y BN _fk}d[q0 5. 系统的3维视图 7u;N/@ G AY?F
UY9*)pEE 6. 其他系统参数 >g !Z|ju ■ 系统由单色平面波照明 =aB+|E ■ 照明波长266.08nm ?{ '_4n3O ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: By6O@ .\V — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 aR3jeB,=x — 一个虚拟屏位于焦平面 XFoSGqD — 光束尺寸探测器置于焦平面 Ut2T:%m{ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 7HW:;2dL (.=Y_g. Y}BP]#1 +PE-j| D ggPGKY-b= 7. 光线追迹系统分析器的结果 O$, F#|y,<}< 光线经过整个光学系统的三维视图
TP#Ncqh 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
+i}H $.
M 0}r)@ SM)"vr_ qery|0W k(RKAFjY >[wxZ5)) 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 k'%yvlv .$peq axmq/8X
■ VirtualLab可用于计算点列图。 Z{vc6oj
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Q^va+O
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 YSxr(\~j
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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`EgX# 9. 焦平面上的结果 QaLaw-lx
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 bK }ZR*)
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 !D1#3?L
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm #xx.yn(7
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ~m<K5K6 V
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 G0h&0e{w *PlKl_nP6 10. 总结 8Ckd.HKpQ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 BYdGK@ouk ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 KW'nW ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 U*{0, Ue' ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 qGN>a[D