关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 0VtjVz*C7&
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K74 1. 描述 $V!.z%Vgf ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 452kE@=49 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 QrK%DN ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 %p )"_q!ge
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Eq{TUTr 2. 系统 j67ppt h`\$8oV 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
[znN'Fg:" 3. 透镜系统组件编辑 go AV+V7
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 !>> A@3
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 3=sBe HL
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 mz6]=]1w
■ 包括序列光学表面和光学介质。 7WS$fUBi
5tpC$4m yP+<kv4 4. 光线追迹系统分析器-选项 2}pZyS ~nU9j"$ F<g&t|@
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 (FApkvy
■ 可以选择选取光线的方法: c.Hw
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— 在x-y-网格 j AOy3c
— 六边形 ~k"b"+2
— 自由选取 XH~(=^/_
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Eqz|eS*6 \z.bORy 5. 系统的3维视图 AaA!U!B Gm:s;w-;v
^.8~}TT-U 6. 其他系统参数 fm-m?= ■ 系统由单色平面波照明 !;,\HvEZYw ■ 照明波长266.08nm Yft [)id ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: !;|#=A9 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 _-y1>{]H — 一个虚拟屏位于焦平面 U MRFTwY — 光束尺寸探测器置于焦平面 4E 5;wH ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 T,9q~*" 07:V[@' r_$*euh@ W%>T{}4 <DR|r 7. 光线追迹系统分析器的结果 }8tF.QjR| %Hd[,duwO 光线经过整个光学系统的三维视图
u*2?Gky 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
3#t#NW*e P'tXG ,M{G
X 4Z%1eOR9V cdL]s^z )1#/@cU 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 #)~u
YQ K:'^f? P k5aB|xo
■ VirtualLab可用于计算点列图。 C\5G43`
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 YT+b{
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 )TiM>{
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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/.7RWy` 9. 焦平面上的结果 S=)
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ;&CLb`<y
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 T>%
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■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm SZe55mK `
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 V5ZC2H
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 kqih`E9P7B nQOdM#dP 10. 总结 $T3_~7N ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 wO%lM ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 d]s^?=gM ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 C `_/aR6 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 _:Xmq&<W