关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 "E>t,
D
wO"GtVd 1. 描述 _@E "7<\ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 7<yp"5><) ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 i=8UBryr'e ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 rR!U;
H4skvIl 2. 系统 M}!A]@ F14(;'Az 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
KzkgWMM 3. 透镜系统组件编辑 >%c*Xe
k,X74D+
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 p`GWhI?
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 8X~h?^Vz
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 oP]L5S&A
■ 包括序列光学表面和光学介质。 Tiprdvm<
?`A9(#ySM ~JE|f 7 4. 光线追迹系统分析器-选项 >Zdi5')
5 Z}[xQ5 N?+eWY
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 l<2oklo5
■ 可以选择选取光线的方法: 6_U|(f
— 在x-y-网格 Q>IH``1*e
— 六边形 dwp:iM
— 自由选取 4p x_ZD#J
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 E0`[G]*G PEy/k. 5. 系统的3维视图 y#bK,} 8&T,LNZoY
W^(Iw%ek 6. 其他系统参数 ]-KV0H ■ 系统由单色平面波照明 966<I56+ ■ 照明波长266.08nm cno;>[$ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: %uEtQh[ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ;>C9@S+ — 一个虚拟屏位于焦平面 <~O}6HQ# — 光束尺寸探测器置于焦平面 i7f%^7! ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 M1(9A>|nF &gWiu9WbS B<+pg {~nvs4X !3HsI|$<G 7. 光线追迹系统分析器的结果 {,F/KL^u aG
Ef#A 光线经过整个光学系统的三维视图
lO_c/o$ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
xDLMPo& !^1[ s@1 ,$BgR2^ #~1wv^ w~{| S7/ s@z{dmL 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 YJc%h@ _=] v\'rXy Y.9~Bo<<r
■ VirtualLab可用于计算点列图。 yP%o0n/"x
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 r!~(R+,c
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Lb^(E-
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
K{N%kk%F
E+Im~=m$ 9. 焦平面上的结果 K@*rVor{
XW^8A77H
}z?xGW/k
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 `>\4"`I
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 %awVVt{aG
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
363cuRP
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 s1Okoxh/!V
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 _l<|1nH 0w'|d@*wV 10. 总结 N
tO? ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 2@4x"F]U; ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 6QW<RXom ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 #TIX_ RXh ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 VOg/VGJ