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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 u 0KVp6`  
    (Qmpz  
    1. 描述 `hYj0:*)S$  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 V&82U w  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 5Mm><"0  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 27q 9zi!Q  
    X3zk UMk  
    2. 系统 ;&4}hPq  
    (xw)pR  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    8'J"+TsOW  
    3. 透镜系统组件编辑 9[}L=n  
    Yt79W  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 *gMo(-tN  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Lqy]bnY  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Dz$GPA   
    包括序列光学表面和光学介质。 o/273I  
    t|q@~B :  
    71`)@y,Z,  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 4'JuK{/ A7  
    "IbXKS>t  
    lA}(63j+b  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 u*:B 9E  
    可以选择选取光线的方法: Z{"/Ae5]  
    — 在x-y-网格 F|\^O[#R  
    — 六边形 SYkLia(Ty  
    — 自由选取 sd|5oz )  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ^hPREbD+f  
    Y?Ph%i2E  
    5. 系统的3维视图  5,  
    ?B> { rj  
     ,r\  
    6. 其他系统参数 x=(y  
    系统由单色平面波照明 .OI&Zm-  
    照明波长266.08nm 1fwjW0t  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: G3O`r8oZcJ  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 <u>l#weG,  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 e7X#C)  
    光束尺寸探测器置于焦平面 Zd$a}~4~  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 82ay("ZY  
    ( )K,~  
    fLM5L_S}Y  
    +>BLox6  
    -Lh\]  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 vsc)EM ]  
    Y*0AS|r!  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    t[$C r;  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    nT.i|(xd.  
    XV)<Oavs  
    9z>I&vcX  
    hgt@Mb   
    _XLGXJ[B  
    fyYHwG  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 >fG=(1"  
    N.r8dC  
    s|*0cK!K^  
    VirtualLab可用于计算点列图。 N|t!G^rP  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ko-|hBNv  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 FKhmg&+>  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 5]_m\zn=  
    @~t^zI1  
    9. 焦平面上的结果 ZBw]H'sT  
    (9gL  
    K?]><z{  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 bs_>!H1  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 1< gY  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm  J+hiz3N  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 5q<cZ)v#&  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    +fh@m h0[  
    `" BFvF#  
    10. 总结 T!-*;yu  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 X/< zxM  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 `6bIxb{  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 MR")  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 (i..7B:  
     
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