关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 nms[No?
:f[ w 1. 描述 F\r"Y)|b= ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 71@eJQ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ![%wM Pp ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 B2kZ_4rB
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L4NK# 2. 系统 O8 .iP+ 6]iU-k0b 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
lNxP 3. 透镜系统组件编辑 Led\S;pl
UE^o}Eyg
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 4,;*sc 6*
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 G{[w+ObX
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 H[hJUR+#
■ 包括序列光学表面和光学介质。 9>4 #I3
znE1t%V p(pfJ^/:( 4. 光线追迹系统分析器-选项 |^-D&C(Eu y!1X3X,V H/{@eaV
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 vCi`htm%
■ 可以选择选取光线的方法: T*/I4"
— 在x-y-网格 <\epj=OclV
— 六边形 F2
B(PGa7
— 自由选取 FQ4R>@@5
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 b+a+OI D h"ZIh= j@ 5. 系统的3维视图 ^"7-`<J 2vpQ"e- A
pK-tj 6. 其他系统参数 >fYcr#i0[ ■ 系统由单色平面波照明 m+XHFU ■ 照明波长266.08nm ?w(hPUd!2 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: <5G(Y#s/? — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 fof}I:vO — 一个虚拟屏位于焦平面 R*pPUw\yn — 光束尺寸探测器置于焦平面 !(q@sw( ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 8$~oiK%fw _p8u
&TZ ,+df=>$W !AXLoq$SY xy:Mb =r 7. 光线追迹系统分析器的结果 b\JU%89 :oy2mi; 光线经过整个光学系统的三维视图
JE}VRMNr 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
I8!>7`L ,G0"T~ 6MM\nIU)/ P@@MQ[u?!. )!0}<_2 JL
G!;sov 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Tl yyJ{~ 8TpYt)]S =)Hu(;Yv
■ VirtualLab可用于计算点列图。 4AEw[(t
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 |9XoRGgXU
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 atpHv**D<i
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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HlX~a:.7 9. 焦平面上的结果 O\f`+Q`0
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 K/B$1+O
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 [<,7LG<
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm Fk49~z
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 G0!6rDu2,
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 47(_5PFb# vWmp?m 10. 总结 445JOP ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 B~]6[Z ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 I)yaR+l ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 3PvxU|*F ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 .f0qgmIyL