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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 9;7|MPbR  
    egmNX't6f5  
    1. 描述 QOR92}yC  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 z -c1,GOD  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 r_hs_n!6  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 B,fVNpqo  
    ipe8U1Sc  
    2. 系统 a@S{ A5j  
    Bra}HjHO  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    A2.GNk  
    3. 透镜系统组件编辑 .TM. v5B  
    -A,UqEt  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 oZ_,WwnE  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 az1#:Go  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ]++,7Z\AU  
    包括序列光学表面和光学介质。 ~l8w]R3A  
    #62*'.B4  
    ][dst@?8Oz  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 b]4\$rW7  
    D>-srzw  
    ZmDM=qN  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 $ ~%w21?&  
    可以选择选取光线的方法: H+ 7HD|GE  
    — 在x-y-网格 fuU 3?SG  
    — 六边形 t3b M4+n  
    — 自由选取 J=J!)\m  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    GOsOFs"I  
    bA1O]:`  
    5. 系统的3维视图 VGf&'nL@,  
    9tWpxrig%  
    PJO.^OsM  
    6. 其他系统参数 t$3B#=  
    系统由单色平面波照明 Iqci}G%r  
    照明波长266.08nm Nwo*tb:  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: AqAL)`#K  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 S.Q:O{]  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 p}Um+I=1  
    光束尺寸探测器置于焦平面 3a[LM!  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Ga_Pt8L6  
    Q@uWh:  
    R=3|(R+kA  
    ~d3|zlh  
    _<GXR ?  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 q|}O-A*wa  
    z(u,$vZ _  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    r~G  amjS  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    q"5\bh1"  
    <=Saf.  
    * a^wYWa  
    ;9Qxq]  
    !>N+a3   
    p"6ydXn%  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 vJ{F)0 K  
    jNI9 .45y  
    E[i#8_  
    VirtualLab可用于计算点列图。 e)y+]  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 }; R2M  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ->*~e~T  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 T[I7.8g  
    F|G v  
    9. 焦平面上的结果 N,Js8Z"  
    Vry*=X &Q  
    njaKU?6%d2  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 XSCcumde!  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ^ZIs>.'  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm P 'o]#Az  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 /'zXb_R,$  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    -Mf-8zw8G  
    6XHM`S  
    10. 总结 {6O} E9  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 8;"9A  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 xSm~V3b c  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 zf]e"e  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 %Eugy  
     
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