关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 &GfDo4$
JT,[; 1. 描述 +#RgHo?f ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 (DIMt-wz ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
vE~>9 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 3>T2k }
r"_U-w 2. 系统 C8Oh]JF4d 5cF7w 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
YHp]O+c 3. 透镜系统组件编辑 $~ >/_<~
n8+_Uww
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 "C]v
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 <eh<4_<qF
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 )KdEl9 o
■ 包括序列光学表面和光学介质。 UfkQG`G9H
^KF%Z2:$ mgd)wZNV 4. 光线追迹系统分析器-选项 <WiyM[ep >2s31
{ &*Z"r*
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 O>@ChQF
■ 可以选择选取光线的方法: V[;^{,;
— 在x-y-网格 ;u?L>(b
— 六边形 Im!fZ g
— 自由选取 7~qyz]KkE
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ^Q#g-"b yog( 5. 系统的3维视图 6n?0MMtR ["H2H rI2
xFScj0Y 6. 其他系统参数 c }7gHud ■ 系统由单色平面波照明 wBlo2WY ■ 照明波长266.08nm .[:y`PCF ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: @@3%lr71
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 X/f?=U — 一个虚拟屏位于焦平面 6hO]eS — 光束尺寸探测器置于焦平面 Rn $TYCO ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 r>lo@e0G ZA7b;{o [ GUps\:ss 'j9x(T1M1 r'<!wp@ 7. 光线追迹系统分析器的结果 [{q])P; &a'mh 光线经过整个光学系统的三维视图
0i>>CvAl} 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
a_\t(U @M*oq2U; $ vBFs]h Q%QIr $}JWJ\-] ] 1s6= 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 WS.lDMYE7 7n[0)XR> ?/fC"MJq?
■ VirtualLab可用于计算点列图。 V
X.9mt
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 g!;a5p6
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Oh3A?!y#
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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0V+v)\4FE 9. 焦平面上的结果 4vi[hiV
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 h,ipQ>
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 J|u_45<
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm EvptGM
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 r<[G~n
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 BUUc9&f3o lvH} 8lJ 10. 总结 !l$k6,WJi ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 bR<XQHl ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 L5wR4Ue) ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 p^s:s-"f\ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 m[nrr6 G"