关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 Y76gJ[yjn
6=Otq=WH 1. 描述 PEZ!n.'S ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 w\O;!1iU ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Cw&KVw* ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 .Z *'d
)Pv%#P-< 2. 系统 5nx1i Y.p;1" 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
^iV)MTT 3. 透镜系统组件编辑 tKXIk9e
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 )9]P MA?u
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 {+>-7
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■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 )8ZH-|N`!E
■ 包括序列光学表面和光学介质。 f3y=Wxk[
N"ST@/j.A TB31-
() 4. 光线追迹系统分析器-选项 }0y"F do'GlU oMC FGzwhgy
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 G 01ON0
■ 可以选择选取光线的方法: P]C<U aW'!
— 在x-y-网格 pd$[8Rmj_
— 六边形 5)X=*I
— 自由选取 2GG2jky{/
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 x
kD6Iw I7]8Y=xf 5. 系统的3维视图
gs`q6f%( "#g}ve,
/PKN LK 6. 其他系统参数 -mh3DhJ, ■ 系统由单色平面波照明 JW&gJASGC ■ 照明波长266.08nm !5!<C,U ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: |Y.?_lC — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ;hq\ — 一个虚拟屏位于焦平面 );YDtGip J — 光束尺寸探测器置于焦平面 :Hbv)tS\3w ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 yB!dp;gM{ k;Y5BB m]&SN z=
v"0J&7!J /gas2k==^ 7. 光线追迹系统分析器的结果 lU]nd[x m4Zk\,1m.| 光线经过整个光学系统的三维视图
x?<FJ"8"k 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
8 zb/xP> |uJ%5y# ~V6D< _yT Ed"$
|V(0GB w32y3~ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 J[kTlHMD 0*v2y*2V 7}mFL*
■ VirtualLab可用于计算点列图。 2`-Bs
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ;AG()NjOO:
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 B-mowmJ3dg
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
\{YU wKK/A
Uw:"n]G]D? 9. 焦平面上的结果 .RL=xb|[
G+m }MOQP7
hqdDm
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 nr3==21Om4
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 moE2G?R
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm GtHivC
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 lLIAw$
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 A=>u
1h69 uw8f ~:LT 10. 总结 p
K$`$H ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 v` r:=K ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 p]"4#q\( ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 #LNED)Vg ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 |[y6Ua0