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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 @2$8o]et  
    BuvBSLC~  
    1. 描述 Bhs`Y/Ls-  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 .N'UnKz  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 fZ376Z:S$  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 <Q kfvK]Q  
    b,`\"'1  
    2. 系统 xeH# )QJt  
    A"k,T7B  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    @'rO=(-b  
    3. 透镜系统组件编辑 [ho'Pc3A<  
    \c\=S  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 aLq;a  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 y@Or2bO#  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 5 O6MI4:  
    包括序列光学表面和光学介质。 2?ednMoE  
    Rd$<R  
    X@G`AD'.M  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 jFc{$#g-  
    s-ou;S3s  
    i :$g1  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 a;zcAeX  
    可以选择选取光线的方法: V& nN/CF  
    — 在x-y-网格 Cn<kl^!Q-  
    — 六边形 <f*0 XJ#  
    — 自由选取 jl@8pO$  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    z?aD Oh  
    }*t~&l0  
    5. 系统的3维视图 zKutx6=aj  
    >6dgf`U  
    Mzd}9x$'J  
    6. 其他系统参数 [K KoEZ  
    系统由单色平面波照明 t(yv   
    照明波长266.08nm p[eRK .$!  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: xle29:?l  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ?`XKaD! f  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 Cnr48ukq  
    光束尺寸探测器置于焦平面 ~;W%s  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 b1OB'P8  
    D5p22WY  
    <f6Oj`{f4  
    nr^p H.  
    r__M1 !3  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 f,#xicSB*  
    a=O!\J  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ?xet:#R'  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    hMQ aT-v  
    l rzW H0Q  
    rij[ZrJ  
    t|m3b~Oyv  
    Uww^Sq  
    *8p</Q  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 S`G\Cd;5  
    WKf~K4BL>  
    [ n2udV  
    VirtualLab可用于计算点列图。 v+G:,Tc"  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 On^#x]  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 q|l|gY1g)  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 1 W u  
     #L)rz u  
    9. 焦平面上的结果 i@* ^]'  
    !iw 'tHhR  
    2YyZiOMSc  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ht |r+v-  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 H.L@]~AyL  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm {E/TC%  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 FScQS.qF  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    1N+#(<x@,  
    m C Ge*V}  
    10. 总结 Y"qY@`  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 J.nq[/Q=  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 YSgF'qq\  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 v(iUo&Ge  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 <B`V  
     
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