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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 >X*Mio8P#  
    ^eW}XRI  
    1. 描述 }9nDo*A"}  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 R8.CC1Ix  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 @A)R_p  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 wEzKqD  
    Nk {XdrY  
    2. 系统 {BKl`1z  
    odIZo|dv  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    LjV]0%j?r  
    3. 透镜系统组件编辑 $s<Ne{?  
    2t $j  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Bn>8&w/P  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 &+G"k~%  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ou %/l4dC  
    包括序列光学表面和光学介质。 b(9FZ]7S  
    4H@Wc^K  
    Rb\6;i8R  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 >[X{LI(_<<  
    .7n\d55a  
    ?McQr1  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ek&kv#G  
    可以选择选取光线的方法: o/ui)U_   
    — 在x-y-网格 {[+2n]f_G  
    — 六边形 $8a(veXd  
    — 自由选取 < y*x]}  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    /T. KbLx~q  
    +iI&c s  
    5. 系统的3维视图 Q,80Hor#J  
    j2 !3rI  
    : }`-B0  
    6. 其他系统参数 (ND4Q[*6  
    系统由单色平面波照明 }x&N^Ky3c  
    照明波长266.08nm ]THPSw_y8  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: T~b>B`_  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 cHa]xmy%r'  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ;[a|9TPR  
    光束尺寸探测器置于焦平面 }2ZsHM^]%  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 `_&Vt=7lG  
    , lJ  v  
     YBnA+l*  
    `%j~|i)4  
    `)QCn<  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 5aa<qtUjH  
    GIAc?;zY  
    光线经过整个光学系统的三维视图
     \lSU  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    T7f ${  
    nJ" '  
    MCdx?m3]  
    7==f\%,  
    ,6r{VLN  
    [xKd7"d/n  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 2}W0 F2*  
    n#=o?!_4  
    Ka,^OW}<%q  
    VirtualLab可用于计算点列图。 Ye.r%i &  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ?MQ.% J  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 }mZwd_cK  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 aj}(E +  
    xz:J  
    9. 焦平面上的结果 |`;54_f  
    r/*=%~*  
    ){Ob,LEU&  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 :f$xQr4Qz  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 TXZv2P9  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm Yf[Qtmh]I  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 N;+[`l  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    n-TQ*&h]3S  
    ?)\a_ Tn  
    10. 总结 (xq%  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 n>'Kp T9|  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。  H}:LQ~_2  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 bz | D-.  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 sUYxT>R  
     
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