关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 9;7|MPbR
egmNX't6f5 1. 描述 QOR92}yC ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 z -c1,GOD ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 r_hs_n!6 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 B,fVNpqo
ipe8U1Sc 2. 系统 a@S{A5j Bra}HjHO 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
A2.GNk 3. 透镜系统组件编辑 .TM.
v5B
-A,UqEt
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 oZ_,WwnE
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 az1#:Go
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ]++,7Z\AU
■ 包括序列光学表面和光学介质。 ~l8w]R3A
#62*'.B4 ][dst@?8Oz 4. 光线追迹系统分析器-选项 b]4\$ rW7 D>-srzw ZmDM=qN
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 $ ~%w21?&
■ 可以选择选取光线的方法: H+
7HD|GE
— 在x-y-网格 fuU
3?SG
— 六边形 t3b M4+n
— 自由选取 J=J!)\m
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 GOsOFs "I bA1O]:` 5. 系统的3维视图 VGf&'nL@, 9tWpxrig%
PJO.^OsM 6. 其他系统参数 t$3B#= ■ 系统由单色平面波照明 Iqci}G%r ■ 照明波长266.08nm Nwo*tb: ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: AqAL)`#K — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 S.Q:O{] — 一个虚拟屏位于焦平面 p}Um+I=1 — 光束尺寸探测器置于焦平面 3a[ LM! ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Ga_Pt8L6 Q@uWh: R=3|(R+kA ~d3|zlh _<GXR
? 7. 光线追迹系统分析器的结果 q|}O-A*wa z(u,$vZ_ 光线经过整个光学系统的三维视图
r~G amjS 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
q"5\bh1" <=Saf. *a^wYWa ;9Qxq] !>N+a3
p"6ydXn% 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 vJ{F)0 K jNI9 .45y E[i#8_
■ VirtualLab可用于计算点列图。 e)y+]
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 };R2M
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ->*~e~T
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
T[I7.8g
F|G v 9. 焦平面上的结果 N,Js8Z"
Vry*=X&Q
njaKU?6%d2
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 XSCcumde!
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ^ZIs >.'
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm P'o]#Az
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 /'zXb_R,$
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 -Mf-8zw8G 6XHM `S 10. 总结 {6O}E9 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 8;"9A ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 xSm~V3bc ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 zf]e"e ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 %Eugy