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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 ]VI^ hhf  
     t-\+t<;  
    1. 描述 *6Wiq5M>.  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 1h,iWHC  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 &LLU@|  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 uFkl^2  
     + :MSY p  
    2. 系统 !_Lmrs  
    F? #3  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    zm_8a!.  
    3. 透镜系统组件编辑 *;<fh,wOk  
    /3b *dsYsl  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 SI7rTJ]/  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 \v2!5z8|  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 q}{E![ZTu  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 U&^q#['  
     kCBtK?g  
    q W(@p`  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 QS#@xhH  
    T ,lM(2S[  
    =2R4Z8G  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Bx?3E^!T  
    ■ 可以选择选取光线的方法： xGd60"w2  
    — 在x-y-网格 "Y&I#&$b\  
    — 六边形 } d[(kC_  
    — 自由选取 A  6(`  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     z:QDWH  
    Hm-#Mpw  
    5. 系统的3维视图 'Y?-."eKh  
    RY-iFydPc  
    ",#.?vT`  
    6. 其他系统参数 -]N2V'QB  
    ■ 系统由单色平面波照明 X4;U4pU#  
    ■ 照明波长266.08nm 3smkY  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： 2#wnJdr6E  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 )2f#@0SVL  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 }Fe~XO`  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 wh:;G`6S  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 i VSNara  
    {R1]tGOf  
    yV^Yp=f_  
    -^p{J TB+  
    (:o F\  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 |#Gxqq'  
    u~uzKG  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    >* -I Io  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    'Ru(`" 1|  
    Wf~^,]9N  
    g)hEzL0k  
    iOfm:DTPr  
    = 0 ~4k#  
    %4~"$kE  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 YvY|\2^K  
    ^y5A\nz&  
    4n,&,R r#  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 6 @f>  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 LuS@Kf8N+  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 a&s34Pd  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 0=ws)@[I  
      Z-@nXt  
    9. 焦平面上的结果 u8f\)m  
    *>m[ZJd%=  
    z "@^'{.l  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 WjV Bz   
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 Qz(D1>5I?  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm mWviWHK  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 xm m,- u  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     @c~Z0+Ji  
    x@#>l8k?  
    10. 总结 (4H\ho8+mp  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Ah2@sp,z  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 0]d;)_`@  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 }?[];FB  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 Q{/z>-X\x  
     
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