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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 [!>9K}z,=  
    DSRmFxkk  
    1. 描述 %Oo f/q  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Fg 8lX9L  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 J>k 6`gw  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 MD*dq  
    kxN O9w  
    2. 系统 Vhh=GJ  
    K@JaN/OM  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    $M j\ 3  
    3. 透镜系统组件编辑 ar\ K8mj  
    Kj"X!-  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 jV9oTH-  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。  }JWkV1  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Mo<q(_ZeRP  
    包括序列光学表面和光学介质。  sa&`CEa  
    WF-jy7+  
    $=Ns7Sbup  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 K,JK9)T  
    !zm;C@}ln  
    Y8^ WuN$  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 A^p{Cq@E  
    可以选择选取光线的方法: ^-Ygh[x  
    — 在x-y-网格 !V(r p80  
    — 六边形 f1v4h[)-  
    — 自由选取 ]j>`BK>FE  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    Cc*R3vHM6  
    3^nH>f-Y  
    5. 系统的3维视图 #AB5}rPEI  
    rjiHP;-t1  
    gC7Po  
    6. 其他系统参数 P$0c{B4I  
    系统由单色平面波照明 ;x 2o|#`b  
    照明波长266.08nm YvcV801Go  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: F81EZ/  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 },#7  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ^e <E/j{~  
    光束尺寸探测器置于焦平面 ;@Fb>l BhX  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 x~R,rb   
    :b(W&iBWhI  
    Z]R#F0"U  
    '2i !RT-  
    @tY]=pqn_  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 oSmETk\  
    "OK[uug  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    )gSqO{Z  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    R3U|{vgl  
    NN=^4Xpc:  
    nDX Em6|e  
    TwI s _r:  
    YI;iG[T,&  
    TEY~E*=}$  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 _K!.TM+9  
     U-4F  
    kyvl>I0q@  
    VirtualLab可用于计算点列图。 fglfnx0{  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 LtX53c  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 H\a"=&M  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 A]'jsv!+  
    Q8AAu&te7  
    9. 焦平面上的结果 H!Q72tyo  
    zD<W`_z  
    Ikf[K%NKn  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 |u^S}"@3sU  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 DE/SIy?  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm &e:+;7  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 <\<o#Vq  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    wB[f%mHs  
    ?.%dQ0  
    10. 总结 RPgz"-  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 tx>7?e8E  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 K&`1{,  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ;J TY#)Bh  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 :,aY|2si  
     
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