关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 2m,t<Y;
*5mJA -[B+ 1. 描述 ~pw%p77)
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 LHMA-0$ ?) ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 9gFfbvd ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 eB_ M *+^
s+9b. 2. 系统 _|>bOI 4oPr|OKj{* 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
>mMmc!u>G 3. 透镜系统组件编辑 b
v4
DI\^&F)3T2
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ^.~ F_
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 DfZ)gqp/Av
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 2NF#mWZ(s
■ 包括序列光学表面和光学介质。 E9Hyd #A
K7},X01^ Uc0Sb 4. 光线追迹系统分析器-选项 /mQ9}E4X 6oLZH6fG b`^mpB*6R
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 b/UjKNf@
■ 可以选择选取光线的方法: l j %k/u
— 在x-y-网格 "v+%F
— 六边形 lT+N{[kLt*
— 自由选取 eR!K8W
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 q;<Q-jr&O J1d|L|M 5. 系统的3维视图 pbNW
l/|4 IWnyqt(k
S^ JUQx7 6. 其他系统参数 fj[tm ■ 系统由单色平面波照明 0hX@ta[Up ■ 照明波长266.08nm 4(p,@e31 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: .GuZV' — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 l 5z8]/ — 一个虚拟屏位于焦平面 D}K/5iU]a — 光束尺寸探测器置于焦平面 UY&DXIP M ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Cz#3W8jV etL)T":XV Yd$64d7,h 5U.,iQ(d 1~9AQ[]w8 7. 光线追迹系统分析器的结果 /[Sy;wn Bk8 '*O/) 光线经过整个光学系统的三维视图
`*Jw[Bnh8 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
FUKE.Uxd <P<^,aC/j cP[]\r+Kj W'<cAg? Ujss?::`G }{@RO./)[ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 0%5x&vx'S :@q9ll`6u g bwg3$!9
■ VirtualLab可用于计算点列图。 b}jLI_R{
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 f>C|qDmT
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 o)IcAqN$H
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
0Z>oiBr4
0 ;ov^] 9. 焦平面上的结果 m#(ve1E
N>_d {=P
^Sz?c_<2P
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 &)|3OJ'o
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 b{Kw.?85
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 7Om)uUjU4
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 |A@Gch fd
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ;t}ux 05m/iQ 10. 总结 b3!,r\9V ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 7&9'=G ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 UT7".1H ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 IWcYa.=tZ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 me`(J y<