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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ?9'Ukw` g  
    :c[iS~ ~Y  
    1. 描述 f40xS7-Q0  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 F6J,:  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 1O3"W;SR<:  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。  G`8i{3:  
    2L Kpwz?  
    2. 系统 4WU%K`jnXb  
    luXcr H+w  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    wg?GEY  
    3. 透镜系统组件编辑 VN6h:-&iY  
    V<:scLm#OF  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 = i9|lU"Va  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 mucKmb/  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 cc`+rD5I-  
    包括序列光学表面和光学介质。 HjCcfOej  
     #~QkS_  
    )RV.N}NU  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 n=Qz7N(M  
    {WJ9!pA!lk  
    ;U$Fz~rJ  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 6?\X)qBI  
    可以选择选取光线的方法: x h|NmZg  
    — 在x-y-网格 xNDX(_U>\  
    — 六边形 Jd#g"a>zZ  
    — 自由选取 &(&5ao)5  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ip.aM#  
    vU|=" #  
    5. 系统的3维视图 h2~b%|Pv  
    t$+[(}@ +  
    QE8;Jk-  
    6. 其他系统参数 *O6q=yg;K:  
    系统由单色平面波照明 /A$mP)}tz  
    照明波长266.08nm ^}Vx5[  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: R;D|To!  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 <;)qyP  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 a(cZ]`s]*  
    光束尺寸探测器置于焦平面 ~d5f]6#`  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 -hv<8bC~4  
    Ib V 7}  
    (.D|%P  
    RC{|:@]8  
    4l)Q  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 N-C=O  
    )S~ySiJ<U  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    XQW9/AzNf  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    ]&;M 78^6  
    >2kjd  
    _pZ2^OO@  
    U`*L`PM  
    fT$Fv  
    WBOebv  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 )o51QgPy  
    &v}c3wL]  
    [*i6?5}-  
    VirtualLab可用于计算点列图。 r*Iu6  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 6,J:sm\  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 <Wz+f+HC  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 \9FWH}|  
    -`d9dJ dB  
    9. 焦平面上的结果 )TH~Tq:  
    83~9Xb=!\  
    -XcX1_  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 B`I9  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 @)hrj2Jw  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 8AX+s\N  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 i7 *cpNPO  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    7"|j.Yq$H{  
    R\VM6>SN'S  
    10. 总结 dF (m!P/R  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 aM2[<m}  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 f*uD9l%/  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 iD/r8_}  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 97XGJ1HI  
     
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