关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 _sp,,gz
>m$jJlAv8 1. 描述 wDQ@$T^vh ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 $ol]G`+ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ~^{>!wU+ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 nrBpq
8ln{!,j; 2. 系统 /EIQMZuYp ]!c59%f= 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
enC/@){~ 3. 透镜系统组件编辑 f 7R/i
]iU8n (5f
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 lr*p\vH
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 jj,CBNo(
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 =l)D$l
■ 包括序列光学表面和光学介质。 -(dtAo6
f: 9bq}vH Ir\P[A 4. 光线追迹系统分析器-选项 ^ABtg# AX%N:)_$| $#z-b@s=B
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 bIWSNNV0F
■ 可以选择选取光线的方法: _ez*dE%
— 在x-y-网格 /3`yaYkSh
— 六边形 x/pX?k
— 自由选取 > `1K0?_
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 =ea'G>;[H {xD\w^ 5. 系统的3维视图 a
Xn:hn~O k/Z]zZC
}WA= 6. 其他系统参数 [+F6C ■ 系统由单色平面波照明 }6'%p Bd ■ 照明波长266.08nm 9xN` ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 9bQD"%ha=d — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 l\/uXP? — 一个虚拟屏位于焦平面 1gA^Qv~? — 光束尺寸探测器置于焦平面 ]+k]Gbty6 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 d[\$a4G+ !b"2]Qv pJ3-f k"i 4wkmgS
* lJkk 7. 光线追迹系统分析器的结果 /HE{8b7n3F u}">b+{! 光线经过整个光学系统的三维视图
!gm@QO cF 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
d4m@u$^1B x
MFo N;HG@B!m }Ip1|Gj nb\pBl F-XL 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 TFNB%| 7Y%Si5 z41v5rB4
■ VirtualLab可用于计算点列图。 2M>`W5
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 + MtxS l
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 dC/@OV)0#
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
C"0vMUZ
RhWW61!" 9. 焦平面上的结果 arc{:u.K
m@y<wk(
Lng@'Yr
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 a0jzt!ci
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。
K,o&gY
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm Fr_6pEH]}
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 Hva/C{Y
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 "?G?G'yK> P# |}]oG% 10. 总结 p=[SDk` ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 p4@0[z' ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 489xoP ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 48,uO! ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 2BO&OX|X