关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 7 K5D,"D;1
m\0Xh* 1. 描述 7xhBdi[ dQ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 mw\
z' ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 d
:a*;F ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 L/[b~D>T%
YUGEGXw 2. 系统 6w"_sK?
!jySID?q 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
}%T8?d] 3. 透镜系统组件编辑 ]SO-NR
_, ki/7{
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 w
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■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ^?~WIS
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 pz hPEp;
■ 包括序列光学表面和光学介质。 qdOUvf
;UAi>//# <TDp8t9bU 4. 光线追迹系统分析器-选项 e2dg{n$6" ~~B`\!n7 Z)7|m
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 !bq3c(d
■ 可以选择选取光线的方法: &>xd6-
— 在x-y-网格 G2[?b2)8
— 六边形 g0Ff$-#7
— 自由选取 Fcz}Gs4
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Gkr]8J (*K=&e0O 5. 系统的3维视图 +NT8dd Rt9S
na4^>:r~ 6. 其他系统参数 ,bGYixIfYZ ■ 系统由单色平面波照明 Sc/\g ■ 照明波长266.08nm "C/X#y
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: TOx >Z — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Jqp;8DV} — 一个虚拟屏位于焦平面 0XWhSrHM — 光束尺寸探测器置于焦平面 Bs!F |x( ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 E5+-N _no;B_m~ DTMoZm fN!lXPgM hRFm]q 7. 光线追迹系统分析器的结果 v.q`1D1=t I"hlLP 光线经过整个光学系统的三维视图
~85>.o2RDW 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
_pN:p7l( SmUj8?6" 2N}U B=J u= =`]\_@ 49Q
tfk Oj,v88= 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ?heg_~P GD-cP5$ >oGs0mej
■ VirtualLab可用于计算点列图。 _Oc(K
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■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Pea2ENe3
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 k
E},>+W+
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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Rh :|ij>B 9. 焦平面上的结果 !x$6wzKa
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 [q!/YL3%
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 bP)(4+t~
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 1$#1
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ak"W/"2:
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 d2U+%%Tdw p&$O}AX| 10. 总结 F^Y%Q(Dd7w ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 pdySip< ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 :lBw0{fP ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 gski:C
■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 UGD B4S