关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 4fZY8
| pF5`dX 1. 描述 :P HUsy ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 6\%r6_.d ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ,G/\@x% ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 pM1=UF
%g!yccD9 2. 系统 0TpBSyx. lO%MyP 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
3| GNi~ 3. 透镜系统组件编辑 [c,|Lw4
<)r,CiS
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 A9NOeE
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ^vYVl{$bT
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 : ;|)/
■ 包括序列光学表面和光学介质。 d;;>4}XJ]
b #o}=m AGw1Pl8]K 4. 光线追迹系统分析器-选项 AsTMY02| >1#DPU(g p~,a=
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 #j(q/
T{x
■ 可以选择选取光线的方法: c#]'#+aH
— 在x-y-网格 U>e3_td3,
— 六边形 23(B43zy
— 自由选取 i{Y=!r5r
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 :DS2zA *+_fP |cv 5. 系统的3维视图 =; ~%L u5[1Z|O
S3%.-)ib 6. 其他系统参数 pko!{,c ■ 系统由单色平面波照明 X67C;H+ ■ 照明波长266.08nm @d8&3@{R^ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: clPZd — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 [TiTff&LV — 一个虚拟屏位于焦平面 rCnV5Yb0O — 光束尺寸探测器置于焦平面 B|Rpm^| ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
[%gK^Zt g]EQ2g_N1 N}.Q%&6: .ruz l(6 Thht_3_C,f 7. 光线追迹系统分析器的结果 bc0)'a\ mh!N^[=n 光线经过整个光学系统的三维视图
G#9o? 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
Z~-T0Ab- nzQYn r{Qs9 W<cW;mO
~PU1vbv9T $ ufSNx(F 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 YW4bm Q G=-LXv:@ n)1
■ VirtualLab可用于计算点列图。 bJG!)3cx
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 *pS7/Qe
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 rw=UK`
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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PpJE|[] 9. 焦平面上的结果 Oo3qiw
8;+Hou
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 1 o
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 x3Dg%=R
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm &}L36|A:
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 R&x7