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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 &GfDo4$  
     JT,[;  
    1. 描述 +#RgHo?f  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 (DIMt-wz  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 vE~>9  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 3>T2k }  
    r"_U-w  
    2. 系统 C8Oh]JF4d  
    5cF7w  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    YHp]O+c  
    3. 透镜系统组件编辑 $~ >/_<~  
    n8+_Uww  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 "C]v   
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 <eh<4_<qF  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 )KdEl9o  
    包括序列光学表面和光学介质。 UfkQG`G9H  
    ^KF%Z2:$  
    mgd)wZNV  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 <WiyM[ ep  
    >2s31 {  
     &*Z"r*  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 O>@ChQF  
    可以选择选取光线的方法: V[;^{,;  
    — 在x-y-网格 ;u?L>(b  
    — 六边形 Im!fZ g  
    — 自由选取 7~qyz]KkE  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ^Q#g-"b  
    yog(  
    5. 系统的3维视图 6n?0MMtR  
    ["H2H rI2  
    xFScj0Y  
    6. 其他系统参数 c }7gHud  
    系统由单色平面波照明 wBlo2WY  
    照明波长266.08nm .[:y`PCF  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: @@3%lr71   
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 X/f?=U  
    — 一个虚拟屏位于焦平面  6hO]eS  
    光束尺寸探测器置于焦平面 Rn$TYCO  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 r>lo@e0G  
    ZA7b;{o [  
     GUps\:ss  
    'j9x(T1M1  
    r'<!wp@  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 [{q])P;  
    &a'mh  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    0i>>CvAl}  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    a_ \t(U  
    @M*oq2U;  
    $ vBFs]h  
    Q%QIr  
    $}JWJ\-]  
    ] 1s6=  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 WS.lDMYE7  
    7n[0)XR>  
    ?/fC"MJq?  
    VirtualLab可用于计算点列图。 V X.9mt  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 g!;a5p6  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Oh3A?!y#  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 T2_b5j3i  
    0V+v)\4FE  
    9. 焦平面上的结果 4vi [hiV   
    Z_4|L+i<{  
    .|i/ a%J  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 h,ipQ>  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 J|u_45<  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm EvptGM  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 r<[G~n  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    BUUc9&f3o  
    lvH} 8 lJ  
    10. 总结 !l$k6,WJi  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 bR<XQHl  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 L5 wR4Ue)  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 p^s:s-"f\  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 m[nrr6 G"  
     
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