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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 UfW=/T  
    le*+(aw  
    1. 描述 p22AH%  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 AA\)BNM  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 3f =ZNJ>  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 .2I?^w&j+  
    #-|fdcb  
    2. 系统 |E~c#lV  
    |s3;`Nxu7  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    NuOA'e+i  
    3. 透镜系统组件编辑 Jm!,=} oP'  
    Kebr>t8^  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 %g :Q?   
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 !mv5i%3  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 V7,dx@J-  
    包括序列光学表面和光学介质。 W"=l@}I  
    2n.HmS  
    628iN%[-  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 =A!oLe$%  
    A%#M#hD/  
    'VV U-)(8  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 [4?r0vO  
    可以选择选取光线的方法: U\%r33L )  
    — 在x-y-网格 ;*?>w|t}w  
    — 六边形 ##mZ97>$  
    — 自由选取 h6k" D4o\  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    aiPm.h>  
    5mam WPw  
    5. 系统的3维视图 2]kGDeSr  
    $WIE`P%  
    H+*3e&  
    6. 其他系统参数 ZH~bY2^;  
    系统由单色平面波照明 ]QlW{J  
    照明波长266.08nm {.Qv1oOa  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: H!*ypJ  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 OROvy  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ZtZ3I?%U3  
    光束尺寸探测器置于焦平面 l%}q&_  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ezw*Lo!  
    =rymd3/  
    x8aOXN#w}  
    ?OW!D?  
    ]Ea-MeH  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 CUJq [  
    Z*M{  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    OPN\{<`*d  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    0{vT`e'  
    7c"Csq/]I  
    \^6[^\@[  
    "BsK' yo.  
    #b/L~Bw[  
    eL~xS: VT  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 JPF6zzl)  
    g8cBb5(L  
    /4O))}TX  
    VirtualLab可用于计算点列图。 /=YNkw5   
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 zG$5g^J  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 !p$p 7   
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 O? g;Ny  
    Gtaa^mnxD  
    9. 焦平面上的结果 6=n|Ha  
    mhVLlb Y|t  
    TC-Vzk G|  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 @<eKk.Y?+  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 )Xqjl  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm |\dv$`_T  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 fV4rVy8  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    .v(GVkE}  
    JXL?.{'A  
    10. 总结 -+{[.U<1jk  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 T^Ia^B-%}g  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 tTBDb  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 V?dwTc  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 N ;=z o-8  
     
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