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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸  aOaF&6'j  
    XfD z #  
    1. 描述 L#83f]vG  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 FSI]k:  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ~)WfJ  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Y*]l|)a6_]  
    QwKky ^A  
    2. 系统 olUqBQ&ol  
    azz#@f1  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    :u[ oc.  
    3. 透镜系统组件编辑 !7kAJG g  
    N]3-L`t  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ?CcR 7l  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ,%"\\#3S  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 /1[}G!  
    包括序列光学表面和光学介质。 'LtgA|c=  
    k~'?"'  
    X}n&`y{/  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 J)#5 9a  
    PV5TG39qQ  
    b/a?\0^  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Eg287B  
    可以选择选取光线的方法: zLJ:U`uh\  
    — 在x-y-网格 n.;5P {V1  
    — 六边形 FFD*e-i  
    — 自由选取 t?3{s\z8+  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ' 91u q  
    Yc. ~qmG/z  
    5. 系统的3维视图 u&l>cJ'  
    H|UV+Q0,  
    5~<a>>  
    6. 其他系统参数 1@1+4P0NF[  
    系统由单色平面波照明 ^`hI00u(  
    照明波长266.08nm !."%M^J  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: '&_y*"/c  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 \'}/&PCkr  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 A{{q'zb!  
    光束尺寸探测器置于焦平面 a!hI${Xn  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 TnMVHO-  
    ;|;h9"  
    FrAqTz  
    `E4!u=%  
    iuH8g  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ~L4*b *W  
    goBKr: &]w  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    I;kUG_c(4  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    a|] %/[G@  
    Aoy1<8WP%  
    cx1WGbZ  
    UG^?a  
    Z<,CzKs+||  
    w# gU1yu  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ba:mO$  
    k:+)$[t7  
    5@r_<J<>  
    VirtualLab可用于计算点列图。 E&T'U2  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 .SKNIct M  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 m_PrasZ>  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 YiQeI|{oN  
    kp<}  
    9. 焦平面上的结果 ;?HZ,"^I  
    3ZJagJ\O  
    C^8)IN=$  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 4LKs'$:A=  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 &d|VH y+  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm )T$f k  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 {TxVRpiP{Z  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    =J[[>H'<d  
    '#An+;x{  
    10. 总结 tr9_bl&z  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 }TAGr 0  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 @e?[oojrM  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Ivl^,{4  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 D0E"YEo\nv  
     
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