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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 =Lh8#>T\h  
    G$^u2wz.  
    1. 描述 b F MBIA|  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 FUP0X2P   
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 j%U'mGx  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 $$ 9!4  
    bhl9:`s  
    2. 系统 R?3N><oh*  
    >vR7l&"  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    %{|67h  
    3. 透镜系统组件编辑 }Ug O$1  
    * lJkk  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Ueu~803~  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 h ^.jK2I  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 HdR TdV  
    包括序列光学表面和光学介质。 OcE,E6LD  
    wX4gyr  
    ,rNv}  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 \>\_OfY1W  
    X:/7#fcG8  
    o?g9Grk  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 aKFY&zN?  
    可以选择选取光线的方法: tZ.hSDH  
    — 在x-y-网格 czLY+I;V3  
    — 六边形 -l~+cI\2  
    — 自由选取 V"|`Z}XW  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    eJ0Xfw%y%T  
    Qp;FVUw9  
    5. 系统的3维视图 V2S HF  
    ~_F<"40  
    U+Vb#U7;  
    6. 其他系统参数 !{?<(6;t  
    系统由单色平面波照明 l[6lXR&|  
    照明波长266.08nm <c&Nm_)  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: NdmwQJ7e"  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 [VE>{4]W  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ]-sgzM]q  
    光束尺寸探测器置于焦平面 _7;D0l  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 4 'DEdx,&f  
    Ie[DTy  
    z+K1[1SM  
    /?1^&a  
    _/J`v`}G  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 hs*n?vxp3  
    ,FwJ0V  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    A!v:W6yiz  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    tZY6{,K%4  
    fizL_`uMqb  
    oL7F^34;  
    P @~)9W  
    ( e#f  
    s~m]>^?8MR  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 KJv[z   
    6!C>J#T  
    %us#p|Ya  
    VirtualLab可用于计算点列图。 &Z(6i}f,Gp  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 i}O.,iH  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 *mkVk7]c  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 !ou;yE&<,  
    Nj.;mr<  
    9. 焦平面上的结果 eVzZfB-=4}  
    /@1pm/>ZaN  
    3a'#Z4Z-  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 {TvB3QOsj  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 1/v#Z#3[  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm xKkXr-yb`f  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 m:c0S8#:  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    3U'l'H,  
    >=86*U~  
    10. 总结 ?z0W1a  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 <b?$-Rx  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 PU4-}!K  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 V@nZ_.  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ]!uId#OH  
     
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