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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 eN@V?G26K  
    WRQJ6B  
    1. 描述 k 41lw^Jh  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ~p{.4n2:  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 R_ojK&%  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。  :\1:n  
    ~qm<~T_0  
    2. 系统 !L"3Otd  
    c6 cGl]FL  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    +rbj%v}Fh  
    3. 透镜系统组件编辑 ;w@PnY  
    GcQO&oq|  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 b(dIl)Y4 :  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 JK.lL]<p i  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 RuDn1h#u{  
    包括序列光学表面和光学介质。 S+A'\{f  
    ig^9lM'  
    mmm025.   
    4. 光线追迹系统分析器-选项 E_]L8UC;m  
    't \:@-tQ  
    KK`P<^8J  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 /u{ 9UR[g  
    可以选择选取光线的方法: |*"uj  
    — 在x-y-网格 hHF YAh   
    — 六边形 Ub%+8 M  
    — 自由选取 pc<")9U%/  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    O.e^? ysp/  
    ?V%x94B  
    5. 系统的3维视图 \"c;MK{  
    Fku9hB  
    (UPkb$Qc  
    6. 其他系统参数 ?c0OrvM  
    系统由单色平面波照明  Ok[y3S  
    照明波长266.08nm wy"^a45h  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: x(h(a#,r  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Se qnO.\  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 0\O*\w?  
    光束尺寸探测器置于焦平面 hN$6Kx>{  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 .Y[sQO~%  
    ZurQr}  
    ]kx)/n-K  
    "TA r\; [  
    7(lR$,bE;=  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 5F cKY_  
    #\*ODMk$4|  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    /rN%y  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    C,+6g/{  
    4(Gs$QkSo|  
    1$e z}k,  
    [TvH7ott'1  
    {;]:}nA  
    IZY q  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 U8kH'OD  
    c%c/mata?  
    5fPYtVm  
    VirtualLab可用于计算点列图。 $/5<f<%u&)  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 +J3 0OT8  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 a@Tn_yX  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Lc(D2=%  
    Lzu;"#pw  
    9. 焦平面上的结果 H[?~u+  
    1C(6.7l  
    VQV7W  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 &-W5 T?Sl  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 G=a.Wff  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm Z{RRhJ  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 $Z(fPKRN/  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    Oi+(`  
    Xm&L@2V  
    10. 总结 o B;EP  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 aG;6^$H~  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ]uO 8  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Vd^_4uqnV  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 qW[p .jN  
     
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