关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 )\fAy
#lDf8G|ST~ 1. 描述 ::bK{yZm ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 wV\;,(<x=% ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 IO/%X;Y_ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 +|6
'7Z(9
lFvRXV^+f 2. 系统 7g@P$e] }2dz];bR 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
t[gz#' 3. 透镜系统组件编辑 ,=o)R,[
s%Ez/or(T
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 *6uZ"4rb.
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Oa7x(wS
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 9e^HTUFbG
■ 包括序列光学表面和光学介质。 z@@w?>*
:5 XNV6^| H(f~B<7q 4. 光线追迹系统分析器-选项 FCO5SX#-g Vf?+->-?{ XP#j9CF#.
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Om
#m":
■ 可以选择选取光线的方法: Q.SLiI
— 在x-y-网格 fa#xEWaFr
— 六边形 -"*UICd
— 自由选取 />1Ndj
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 /58]{MfrJ :5kgJu 5. 系统的3维视图 wk
@-O}W 8)I,WWj
QiDf,$t|, 6. 其他系统参数 MD ETAd ■ 系统由单色平面波照明 FFE IsB"9 ■ 照明波长266.08nm o80?B~o ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 8NY$Iw — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ;Y:_}kN8_ — 一个虚拟屏位于焦平面 Co e
q< — 光束尺寸探测器置于焦平面 ,SEC~)L ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 $|0_[~0-n G01 J1Ll} Vp3r f"^G\ K.A!?U= 7. 光线追迹系统分析器的结果 D$k<<dvv n,KOQI; 光线经过整个光学系统的三维视图
\SB~rz"A 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
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OC0dAxq V0'T) t- Rp_2t 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
!'-K>.B ^4jIT1 [X >sG)0S~
■ VirtualLab可用于计算点列图。 YS$?Wz
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 :H}a/ x*ur
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 qw]:oh&G
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
B~p` 3rC
&[]0yNG 9. 焦平面上的结果 eUiJl6^x
+q z"+g
9C-!I,
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 >s\j/yM
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ujF*'*@\
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm OG\TrW-ug
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 k M/cD`
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 _)4YxmK% P%Fkd3e+ 10. 总结 @S3G> i ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 x50,4J%J'r ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 d1=kHU4_9 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 m@K5eh ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 f< A@D"m/