关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 [!>9K}z,=
DSRmFxkk 1. 描述 %Oo
f/q ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Fg 8lX9L ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 J>k
6`gw ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 MD*dq
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O9w 2. 系统 Vhh=GJ K@JaN/OM 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
$Mj\ 3 3. 透镜系统组件编辑 ar\K8mj
Kj "X!-
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 jV9oTH-
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 }JWkV1
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Mo<q(_ZeRP
■ 包括序列光学表面和光学介质。 sa&`CEa
WF-jy7+ $=Ns7Sbup 4. 光线追迹系统分析器-选项
K,JK9)T !zm;C@}ln Y8^WuN$
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 A^p{Cq@E
■ 可以选择选取光线的方法: ^-Ygh[x
— 在x-y-网格 !V(r
p80
— 六边形 f1v4h[)-
— 自由选取 ]j>`BK>FE
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Cc*R3vHM6 3^nH>f-Y 5. 系统的3维视图 #AB5}rPEI rjiHP;-t1
gC7P o 6. 其他系统参数 P$0c{B4I ■ 系统由单色平面波照明 ;x2o|#`b ■ 照明波长266.08nm YvcV801Go ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: F81EZ/ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 },#7 — 一个虚拟屏位于焦平面 ^e <E/j{~ — 光束尺寸探测器置于焦平面 ;@Fb>lBhX ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 x~R,rb
:b(W&iBWhI Z]R#F0"U '2i !RT- @tY]=pqn_ 7. 光线追迹系统分析器的结果 oSmETk\ "OK[uug 光线经过整个光学系统的三维视图
)gSqO{Z 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
R3U|{vgl NN=^4Xpc: nD XEm6|e TwI s_r: Y I;iG[T,& TEY~E*=}$ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 _K!.TM+9
U-4F kyvl>I0q@
■ VirtualLab可用于计算点列图。 fglfnx0{
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 LtX53c
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 H\a"=&M
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
A] 'jsv!+
Q8AAu&te7 9. 焦平面上的结果 H!Q72tyo
zD<W`_z
Ikf[K%NKn
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 |u^S}"@3sU
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 DE/SIy?
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm &e:+;7
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 <\ <o#Vq
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 wB[f%mHs
?.%dQ0 10. 总结 RPgz"- ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 tx>7?e8E ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 K&`1{, ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ;J TY#)Bh ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 :,aY|2si