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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 M|`%4vk>  
    _"F(w"|  
    1. 描述 1}!f.cWV(  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 BZx#@356N  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 I)O-i_}L&K  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 *4[3?~_B#6  
    }EO n=*  
    2. 系统 ZWVcCa 3  
    bd<zn*H Z*  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    n|L.d BAs]  
    3. 透镜系统组件编辑 c-avX  
    $X-,6*  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 G#CWl),=  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 W~Mj6c~S"  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 qx53,^2  
    包括序列光学表面和光学介质。 nS'0i&<{1  
    ;mo}$^49*  
    #,  vN  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 88)0Xi|]KP  
    T cSj `-  
    : ZU  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 c#`Z[  
    可以选择选取光线的方法: o,Ew7~u  
    — 在x-y-网格 m&|?mTo>m  
    — 六边形 5'>(|7~%\  
    — 自由选取 2@ACmh  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    x%x:gkq  
    ~&4,w9b)j  
    5. 系统的3维视图 z6FG^  
    o*I-~k  
    Vv=d*  
    6. 其他系统参数 T?7 ZF+yo6  
    系统由单色平面波照明 Cg21-G .  
    照明波长266.08nm >&U]j*'4  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: |TEf? <"c  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 m=NX;t  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 )n|:9hc  
    光束尺寸探测器置于焦平面 %wvSD&oz  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 3r^i>r8B  
    ybf`7KEP2A  
    +69sG9BA  
    r"U$udwjg  
    Fv5@-&y$W  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 {?BxVDD07  
    Q} f=Ye(&}  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    2fI?P  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    O&\;BF5:R  
    "2qp-'^[c  
    Sjj &n S  
    WZ"x\K-;  
    0xC{Lf&  
    U4O F{  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 A*~zdZ p  
    +~02j1Jx  
    K}! VY`  
    VirtualLab可用于计算点列图。 `;4zIBJ  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。  [Fr.ik  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 a{69JY5  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 i~.L{K  
    i>q]U:U  
    9. 焦平面上的结果 Kv!CL9^LX7  
    PS!f&IY}[.  
    %,-vmqr  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ],&WA?>G  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 D`r:`  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 8TC%]SvYim  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 I`E9]b(w  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    07# ~cVI  
    Z]":xl\7  
    10. 总结 m_Z%[@L  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 3(}HD*{E[@  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 &FIPEe#n  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 {&"rv<p  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 LYkW2h`JQ  
     
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