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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 -@ #b<"1  
     /U<-N'|  
    1. 描述 EWN$ILdD  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 p#.B Fy  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 bG +p  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 '<f4POy!  
     LBtVK, ?  
    2. 系统 ]sO})  
    YZ\$b=-  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    =mCUuY#  
    3. 透镜系统组件编辑 k%QhF]  
    zW%-Z6%D  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 aPB %6c=  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 9>psQ0IRvr  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 io cr  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 xc R  
     '6{q;Bxo  
    V_U$JKJ1=  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 EF0{o_  
    kgK7 T  
    uc%75TJ@  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 3a#637%  
    ■ 可以选择选取光线的方法： EA75 D&>I  
    — 在x-y-网格 #e&j]Q$Eh  
    — 六边形 TEB%y9  
    — 自由选取 AEK* w4  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     H's67E/>*  
    =KNg "|  
    5. 系统的3维视图 e~J% NU'&  
    H7"I+qE-G  
    IGql^,b  
    6. 其他系统参数 XPzwT2_E  
    ■ 系统由单色平面波照明 =b,$jCv<,5  
    ■ 照明波长266.08nm | x{:GWq  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： M#})  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 xpFu$2T6P.  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 )aqu f<u@  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 * ok89 ad  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 3Q[]lFJ}F  
    KBzEEvx/$  
    yqlkf$?  
    e@p` -;<  
    ?`\<t$M  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 +Qu~UK\   
    B/E1nBobC  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    N&S :=x:$S  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    9|jIrS%/~  
    (0D0G-r:  
    Q( AOKp,F  
     ceVej'  
    ]S,I}NP  
    {FQ dDIj#  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 H|F>BjXn5  
    |\?-k  
    C_O 7  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 H) q9.Jg  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 $q.8ve0&^  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 GOH@|2N  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 R9S7p)B  
     HtY\!_Ea  
    9. 焦平面上的结果 :BMUc-[  
    ; {I{X}b  
    N Ja]UZx  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 'ycs{}'  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 "TtK!>!.  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm =h&DW5QC  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 n{Jvx>);  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     P; hjr;  
    &xH>U*c  
    10. 总结 X,O&X  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Vize0fsD  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 ]}>GUXe)^  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 v.r$]O  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 ?{_dW=AQ1  
     
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