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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 #QPjk R|\  
    7 &\yj9  
    1. 描述 OVJ0}5P*  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 mR~&)QBP.  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 =-T]3!   
    ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 92c HwWZ!  
    omFz@  
    2. 系统 @c#(.=  
    \!(zrfP{(  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    43w}qY1  
    3. 透镜系统组件编辑 ,I9bNO,%JK  
    lFk R=!?=  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 5N]"~w*  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 \^LFkp  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 KXrjqqXs  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 "|NI]Kv  
    >ef6{URy<  
    Fcx&hj1gQ  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 [KQi.u  
    &[9709 (=  
    I'Hf{Erw  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ~~.}ah/_d  
    ■ 可以选择选取光线的方法: b$7 +;I;  
    — 在x-y-网格 {vj)76%y  
    — 六边形 YR70BOxK  
    — 自由选取 NHt\ U9l'  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    F{wzB  
    sT.ss$HY9,  
    5. 系统的3维视图 iCoX& "lb  
    QP x^_jA  
    k+ /6$pI  
    6. 其他系统参数 WxDh;*am:  
    ■ 系统由单色平面波照明 GY*p?k<i  
    ■ 照明波长266.08nm @iiT<  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: +_!QSU,@  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 @W<m 4fi  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 VUc%4U{Cti  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 RCrCs  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 iscz}E,Y  
    B?QIN]  
    o-\[,}T)M  
    Ef\ -VKh  
    $qiya[&G4  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 _`V'r#Qn  
    S/ *E,))m  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ~u{uZ(~  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    OI*H,Z "  
    hp2t"t  
    3$tdwe$S  
    v19-./H^ j  
    W^Yxny  
    7$b1<.WX  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 +vH4MwG$.&  
    H}!r|nG  
    #WuBL_nZ~  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 ! if   
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 K'bP@y_cq  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 | Iib|HQ)  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 \zY!qpX<  
    9x8fhAy}4  
    9. 焦平面上的结果 7_L;E~\  
    s%S  
    Y73C5.dNcE  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 do%&m]#;  
    ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 |>Vb9:q9Po  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm $ `c:&  
    ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 uZ5p#M_  
    ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。
    "g|#B4'e  
    #R"*c hLV  
    10. 总结 M{@(G5  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 M+>u/fldV  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Ulyue  
    ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 P?\6@_ Z  
    ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 M7T5 ~/4  
     
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