关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 :'!_PN
5B{Eg? 1. 描述 p:!FB8 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Ys5Iqj=mp ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ZI!;~q ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 SwH #=hg
T !pHT'J 2. 系统 X*r?@uK5 XOZ@ek)LY 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
taSYR$VJ 3. 透镜系统组件编辑 *u34~v16,
^X*l&R_=R
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 i?F~]8
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 2$ \#BG
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 wD<W'K
■ 包括序列光学表面和光学介质。 6A} 45
zL+M-2hV _lOyT$DN 4. 光线追迹系统分析器-选项 !`dn# j Eo{js?1G_ J\ ?
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 n*qn8Dq
■ 可以选择选取光线的方法: G7HvA46
— 在x-y-网格 p#dYNed]'
— 六边形 #fF';Y7
— 自由选取 V#-8[G6Ra
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
&Mh]s\ p:4oA<V 5. 系统的3维视图 sGJZG T!H }^v
s9?H#^Y5u 6. 其他系统参数 A@ G%*\UZ ■ 系统由单色平面波照明 qP[jtRIN ■ 照明波长266.08nm K&iU+ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: dMH}%f5;1 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 s !HOrhV — 一个虚拟屏位于焦平面 (DKQHL; — 光束尺寸探测器置于焦平面 #Ic-?2Gn4< ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ^pvnUODW[ 4{=^J2z 0a's[>-'A :\G`}_db' ~$ "P\iJ 7. 光线追迹系统分析器的结果 jL#`CD 7brC@+ZD 光线经过整个光学系统的三维视图
(,
uW- 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
s `
+cQ xAAwH@ + 2xpI|+a% H}}C>p"!, A]s|"Pav, WQYw@M~4Q! 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 m2PI^?|e I(:d8SF S8)6@ECC
■ VirtualLab可用于计算点列图。 ;Z{jol
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ,9~2#[|lq
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 2G BE=T
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
`KmM*_a
%8g1h)F"S 9. 焦平面上的结果 Q)\4 .d
E(Y}*.\]#s
*TP>)o
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Meo.
V|1
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 /X97dF)zt
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm X< p KAO\
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 jB%aHUF;
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 }:hN}*H #w#:f 10. 总结 W(,3j{d2i ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 c R6:AGr ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 NN@'79x ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 {:c5/
,7c; ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 #hF(`oX}4K