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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 Y76gJ[y jn  
    6=Otq=WH  
    1. 描述 PEZ!n.'S  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 w\O;!1iU  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Cw&KVw*  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 .Z *'d  
    )Pv%#P-<  
    2. 系统 5nx1i  
    Y.p;1"  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ^iV)MTT  
    3. 透镜系统组件编辑 tKXIk9e  
    }O p; g^W  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 )9]PMA?u  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 {+>-7 9b  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 )8ZH-|N`!E  
    包括序列光学表面和光学介质。 f3y=Wxk[  
    N"ST@/j.A  
    TB31- ()  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 } 0y"F  
    do'GlU oMC  
    FGzwhgy  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 G 01ON0  
    可以选择选取光线的方法: P]C<U aW'!  
    — 在x-y-网格 pd$[8Rmj_  
    — 六边形 5)X=*I  
    — 自由选取 2GG2jky{/  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    x kD6Iw  
    I7 ]8Y=xf  
    5. 系统的3维视图 gs`q6 f%(  
    "#g}ve,  
    /PKNLK  
    6. 其他系统参数 -mh3DhJ,  
    系统由单色平面波照明 JW&gJASGC  
    照明波长266.08nm !5!<C,U  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: |Y.?_lC  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ;hq\  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 );YDtGip J  
    光束尺寸探测器置于焦平面 :Hbv)tS\3w  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 yB!dp;gM{  
    k;Y5BB  
    m]&SNz=  
    v"0J&7!J  
    /gas2k==^  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 l U]nd[x  
    m4Zk\,1m.|  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    x?<FJ"8"k  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    8zb /xP>  
    |uJ%5y#  
    ~V6D<  
    _yT Ed"$  
    |V(0GB  
    w32y3~  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 J[kTlHMD  
    0*v2y*2V  
    7}mFL*  
    VirtualLab可用于计算点列图。 2`-Bs  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ;AG()NjOO:  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 B-mowmJ3dg  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 \{YU wKK/A  
    Uw:"n]G]D?  
    9. 焦平面上的结果 .RL=xb|[  
    G+m }MOQP7  
    hqdDm  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 nr3==21Om4  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 moE2G?R  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm GtHivC  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 lLIA w$  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    A=>u 1h69  
    uw8f ~:LT  
    10. 总结 p K$`$H  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 v` r:=K  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 p]"4#q\(  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 #LNED)Vg  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 |[y6Ua0  
     
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