关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 M|`%4vk>
_" F(w"| 1. 描述 1}!f.cWV( ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 BZx#@356N ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 I)O-i_}L&K ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 *4[3?~_B#6
}EOn=* 2. 系统 ZWVcCa3 bd<zn*HZ* 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
n|L.dBAs] 3. 透镜系统组件编辑 c-avX
$X-,6*
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 G#CWl),=
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 W~Mj6c~S"
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 qx53,^2
■ 包括序列光学表面和光学介质。 nS'0i&<{1
;mo}$^49* #,
vN 4. 光线追迹系统分析器-选项 88)0Xi|]KP T cSj`- :ZU
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 c#`Z[
■ 可以选择选取光线的方法: o,Ew7~u
— 在x-y-网格 m&|?mTo>m
— 六边形 5'>(|7~%\
— 自由选取 2@ACmh
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 x%x:gkq ~&4,w9b)j 5. 系统的3维视图 z6FG^ o *I-~k
Vv=d* 6. 其他系统参数 T?7ZF+yo6 ■ 系统由单色平面波照明 Cg21-G. ■ 照明波长266.08nm >&U]j*'4 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: |TEf? <"c — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 m=NX;t — 一个虚拟屏位于焦平面 )n|:9hc — 光束尺寸探测器置于焦平面 %wvSD&oz ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 3r^i>r8B ybf`7KEP2A +69sG9BA r"U$udwjg Fv5@-&y$W 7. 光线追迹系统分析器的结果 {?BxVDD07 Q} f=Ye(&} 光线经过整个光学系统的三维视图
2f I?P 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
O&\;BF5:R "2 qp-'^[c Sjj &n S WZ"x\K-; 0xC{Lf& U4O F{ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 A*~zdZ p +~02j1Jx K}! VY`
■ VirtualLab可用于计算点列图。 `;4zIBJ
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 [Fr.ik
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 a{69JY5
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
i~.L{K
i>q]U:U 9. 焦平面上的结果 Kv!CL9^LX7
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ],&WA?>G
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 D`r:`
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 8TC%]SvYim
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 I`E9]b(w
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 07# ~cVI Z]":xl\7 10. 总结 m_Z%[@L ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 3(}HD*{E[@ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 &FIPEe#n ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 {&"rv<p ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 LYkW2h`JQ