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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ;T|hNsSt  
    ,K8(D<{  
    1. 描述 8?[#\KgH1  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 *GC9o/  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 OcZ8:`=%  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 K)nn;j=  
    &-(p~[|  
    2. 系统 ~Aoo\fN_U  
    Qg5-I$0  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Sz0CP1WB  
    3. 透镜系统组件编辑 Qe4"a*l-r  
    GU]_Z!3  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ='vkd=`Si  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ]oE:p  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 A>Xt 5vk+  
    包括序列光学表面和光学介质。 |YK4V(5x  
    [8rl{~9E  
    #2Z\K>L  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 ?gl[ =N V  
    gB}UzEj^<  
    V38v2LI  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 7gP8K`w?[  
    可以选择选取光线的方法: $#HUxwx4  
    — 在x-y-网格 vj+ S  
    — 六边形 )/4U]c{-  
    — 自由选取 $ v~I n  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    '/ GZ,~q  
    ~/1eF7  
    5. 系统的3维视图 BV512+M  
    5 $:  q  
    z]0UW\S/  
    6. 其他系统参数 }8?1)l  
    系统由单色平面波照明 Qhsk09K_=4  
    照明波长266.08nm BZs?tbf  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Cl'3I%$8K  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 sI#r3:?i  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 VQ'DNv| 9  
    光束尺寸探测器置于焦平面 K0z@gWGE  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 P'p5-l UK  
    r^$WX@ t&  
    Bw8&Amxx:  
    @DK;i_i  
    7 J+cs^2  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 'qnnZE  
    n ;0x\Q|S  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    X)k+BJ  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    N[8y+2SZ  
    p'`pO"EO  
    Fc.1)yh.  
    h;`]rK;g  
    t*cVDA&K  
    EE[JXoke  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Ialbz\;F2%  
    e+7x &-+  
    $][$ e  
    VirtualLab可用于计算点列图。 (#%R'9R v  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 U8s&5~IPn  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ju%t'u\'  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 kr6^6I.  
    T!pjv8y@R  
    9. 焦平面上的结果 Ceco^Mw  
    _M9-n  
    1pHt3Vc(G  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 K_t! P  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 KMZEUmY1R1  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm gyAKjLqqpi  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 ~lB:xVzn  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    ( R0>0f@  
    V=DT.u  
    10. 总结 K^fH:pV  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 }ikJ a  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 K3($,aB}  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 a54qv^IS  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Bh*7uNM  
     
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