关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 s@*,r@<
1^n5CI|7u 1. 描述 DW'0j$; ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 6$xo# }8 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 EKeBTb ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 S-H-tFy\\
jM|YW*zNZ 2. 系统 n_e}>1_ k1~nd=p 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
g_-?h&W 3. 透镜系统组件编辑 #n6FQ$l8m
T%N~oa
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Rx@%cuP*
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 4]|9!=\
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 A8A:@-e8A
■ 包括序列光学表面和光学介质。 >"PqQO
S)Ub/`f{s '#pMEVP 4. 光线追迹系统分析器-选项 =Qjw.6@ WrIL]kJw^ LOyCx/n
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 WF3DGqs_]
■ 可以选择选取光线的方法: ,?7xb]h
— 在x-y-网格 y~4SKv
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— 六边形 &deZ
— 自由选取 URmAI8fq*M
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 VR5e CJ:i !#_h2a 5. 系统的3维视图 L*SSv
wSL v"G%5pq*\
i_jax)m% 6. 其他系统参数 _k"&EW{ Ii ■ 系统由单色平面波照明 E'Fv *UA ■ 照明波长266.08nm ~|0F?~eR7 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: )Yy#`t — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ]iE.fQ?;J — 一个虚拟屏位于焦平面 ~t.WwxY+ — 光束尺寸探测器置于焦平面 :!Y?j{sGU ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ^J*G%* 5* o\z&*L #*7/05) iA^+/Lt \h'E5LO 7. 光线追迹系统分析器的结果 ` + n 7B:ZdDj 光线经过整个光学系统的三维视图
3_jCsX 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
,:dEEL+>c cA (e"N [Q.4]K2 F`ZIc7(.{ HIWmh4o/. kS\. 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 |)72E[lL 7S~9E2N DS,FVh".|
■ VirtualLab可用于计算点列图。 EZwdx
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 -'p@ lk
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 5shu76
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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~QEXB*X-g' 9. 焦平面上的结果 PhI6dB`
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mB|mt+
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ,Dii?P
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 *|,ykb>
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm X\$W'^ np
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 r~D~7MNl
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ,p/b$d1p e
ka@?` 10. 总结 BtNW5'^ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 1J{z}yPHc ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 F#}1{$)%
/ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 eE riv@v ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 eDM0417O(