关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ;T|hNsSt
,K8(D<{ 1. 描述 8?[#\KgH1 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 *GC9o/ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 OcZ8:`=% ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 K)nn;j=
&-(p~[| 2. 系统 ~Aoo\fN_U Qg5-I$0 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Sz0CP1WB 3. 透镜系统组件编辑 Qe4"a*l-r
GU]_Z!3
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ='vkd=`Si
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ]oE:p
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 A>Xt 5vk+
■ 包括序列光学表面和光学介质。 |YK4V(5x
[8rl{~9E #2Z\K>L 4. 光线追迹系统分析器-选项 ?gl[=N V gB}UzEj^< V38v2LI
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 7gP8K`w?[
■ 可以选择选取光线的方法: $#HUxwx4
— 在x-y-网格 vj+ S
— 六边形 )/4U]c{-
— 自由选取 $v~I n
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 '/GZ,~q ~/1eF7 5. 系统的3维视图 BV512+M 5 $:
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z]0UW\S/ 6. 其他系统参数 }8?1)l ■ 系统由单色平面波照明 Qhsk09K_=4 ■ 照明波长266.08nm BZs?tbf ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Cl'3I%$8K — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 sI#r3:?i — 一个虚拟屏位于焦平面 VQ'DNv| 9 — 光束尺寸探测器置于焦平面 K0z@gWGE ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 P'p5-l UK r^$WX@ t& Bw8&Amxx: @DK;i_i 7 J+cs^2 7. 光线追迹系统分析器的结果 'qnnZE n;0x\Q|S 光线经过整个光学系统的三维视图
X)k+BJ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
N[8y+2SZ p'`pO"EO Fc.1)yh. h;`]rK;g t*cVDA&K