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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 kxVR#:  
    B_#U|10et  
    1. 描述 ^Y- S"Ks  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ?wYvBFRn7"  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 a>XlkkX  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 sDzlNMr?P+  
    fPu,@ L  
    2. 系统 ;Alw`'  
    4J6,_8`U  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    %q)*8  
    3. 透镜系统组件编辑 w*7BiZ{s<  
    }Gg:y?  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 K~ShV  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 |$aTJ9 Iq:  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 NM:\T1  
    包括序列光学表面和光学介质。 [[ ;vZ  
    dyMj=e  
    l&LrcM  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 ?RVY%s;g  
    K\a=bA}DG  
    /agX! E4s  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 oD>j2 6Q  
    可以选择选取光线的方法: {Mx3G*hr  
    — 在x-y-网格 22gk1'~dO  
    — 六边形 FqpUw<]6s  
    — 自由选取 ~99DE78  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    us TPr  
    KoL3CA"N  
    5. 系统的3维视图 c[QXc9  
    h8me.=S&  
    g(D r/D  
    6. 其他系统参数 -p\uW 0XA  
    系统由单色平面波照明 [h^>Iq (Z  
    照明波长266.08nm {D9m>B3"{  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 3 2MdDa  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ,]UCq?YW)T  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 N akSIGm  
    光束尺寸探测器置于焦平面 <>tQa5;  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 h<8.0  
    vOKWi:-U  
    /degBL+  
    :xz,PeXo7  
    ':jsCeSB  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 t'pY~a9F  
    4$^\s5K  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    FhkS"y  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    .3QX*]{  
    F}Kkhs {  
    u6#=<FD/}  
    ] s))O6^f  
    Xi~%,~  
    i G%h-  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 8:)W!tr  
    6pCQP c*A  
    SL O~   
    VirtualLab可用于计算点列图。 IW<nfg  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 CC<(V{Png  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 c{X:0man  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 L~PBD?l  
    2Vn~o_ga  
    9. 焦平面上的结果 f*IC ZM  
    D; bHX  
    `,O#r0m  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 RrG5`2  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 e M$NVpS3  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm z9B" "ws  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 x&kM /z?/  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    ?{Rv/np=F  
    8w Xnc%  
    10. 总结 nbECEQ:|B  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 OrJuE[R.  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 @*VfG CQ(  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 yDil  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ~7$4w# of0  
     
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