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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 'z@(,5  
    2\_}81 hM  
    1. 描述 zbrDDkZ1  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ka655O/)&  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ]wZG4A  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 -B'<*Y  
    N|wI=To  
    2. 系统 C/!kMMh>vV  
    X180_Kt2  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    (wkeo{lx  
    3. 透镜系统组件编辑 #Fq6-]y1")  
    "??$yMW  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 (k4>I"x)  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 &G:#7HX@-  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 n1X7T0'  
    包括序列光学表面和光学介质。 4vF1  
    i.Yz)Bw   
    NLRgL'+F  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 M"W-|t)~  
    dL!PpLR$2  
    #A+ dj| b  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Y<odXFIS  
    可以选择选取光线的方法: N2WQrTA:S+  
    — 在x-y-网格 Eu2@%2}P  
    — 六边形 A@4sb W_  
    — 自由选取 B E!HM{-  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    @uXF(KDX  
    qf-0 | w  
    5. 系统的3维视图 ]hRCB=G  
    !/2u O5  
    _NA[g:DZ&O  
    6. 其他系统参数 :+06M@  
    系统由单色平面波照明 UU~S{!*+L  
    照明波长266.08nm EVX*YGxx6  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 8Th{(J_  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 JlR (U. "  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 lcO;3CrJ!  
    光束尺寸探测器置于焦平面 bLuAe EA  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 zT4SI'r?f  
    3@7IY4>o  
    j\@Ht~G  
     xY v@  
    cgY + xd@  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 O!xul$9  
    ;hzm&My  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    H}vq2|MN  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    7XrXx:*a5  
    u4hC/!  
    vuN!7*d+  
    iW oe  
    Q0l[1;$#  
    $^~dqmE2,  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ;XAj/6pm  
    J?DJA2o  
    "0Ca;hSLM2  
    VirtualLab可用于计算点列图。 DNwqi"  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 O7,)#{  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 lfTDpKz3D  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ]fiAV|'^  
    qGivRDR$  
    9. 焦平面上的结果 'wA4}f  
    {_[\k^98>  
    m6+4}=Cn  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ~&{LMf  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 #u]'3en  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm <+3-(&  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 r" 4u)H>  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    u?xXZ]_u-  
    !N"Y  
    10. 总结 Ynxzkm S  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 J A!?vs  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 e:`d)GE  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ;cpQ[+$nKp  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 7:Cq[u fl  
     
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