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    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 |D~mLs;&  
     >7V96jL$Y  
    1. 描述 idPx! fe  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 iVTC"v  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 >B!E 6ah  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 |-a5|3  
     HIsIW%B  
    2. 系统 jhgS@g=@ZC  
    ~!;*C  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Tty_P,  
    3. 透镜系统组件编辑 DvB!- |ek  
     sC1Mwx  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 %UT5KYd!=N  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 bA!n;  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 /99S<U2ej  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 m!Cvd9X=  
     $P&{DOiKS  
    6Ri+DPf:  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 4'upbI  
    >'ev_eAk  
    8eq*q   
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 %A64AJZ  
    ■ 可以选择选取光线的方法： <:/Lap#D^  
    — 在x-y-网格 C~-x637/  
    — 六边形 `?f6~$1  
    — 自由选取 : fMQ,S0  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     Kh&W\\K  
    .);~H#  
    5. 系统的3维视图 C@d*t?  
    8?LsV<  
    E)sC:oO  
    6. 其他系统参数 .j^tFvN~L  
    ■ 系统由单色平面波照明 K)b@,/5  
    ■ 照明波长266.08nm \A7{kI  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： |ecK~+  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 &n$kVNE  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 -UY5T@as  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 Cm@rX A/  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ]Q0m]OaT  
    k;/K']4y  
    2qd5iOhX+  
    }uP`=T!"8  
    =r|e]4  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 wN NXUW  
    Z5/*i un  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    dynkb901s  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    O|K-UTWH%  
    m.F}9HI%hN  
    ]2E#P.-!b  
    4 .Kl/b;  
    'h} (>%  
    zUuOX5-6x  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 d?:KEi-<7  
    #q LsAw--Q  
    :1asY:)vNP  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 .A6D&-&z  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 H(?)v.%  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 M.FY4~  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Cv[_N%3[  
     sqXwDy+.  
    9. 焦平面上的结果 '/="bSF  
    l bs0i  
    i+qt L3  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 &u`EYxT  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 TWSqn'<E  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm E)3Ah!  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 :$6mS[@|  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     kB` @M>[  
    ~ =GwNo_  
    10. 总结 []lMv ZW  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 h* 72 f/#  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 =jEVHIYt  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 p40;@gUug  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 'VpzB s#  
     
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