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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 lknj/i5L  
    K{_~W yRF  
    1. 描述 aiX&`   
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Kq")|9=d  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 CfW#Wk:8J  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 BaIpX<$T  
    =k<b* 8  
    2. 系统 s7yKx g+`{  
    =b$g_+  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    :i>LESJq  
    3. 透镜系统组件编辑 0Lj;t/mG  
    {Yxvb**  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ]uFJ~ :R  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 5)f 'wVe  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 #8t=vb3  
    包括序列光学表面和光学介质。 hub]M  
    H 2I  
    ;sA 5&a>!  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 \ &|xMw[  
    f ] *w1  
    ;s,1/ kA  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 vULDKJNHX  
    可以选择选取光线的方法: l1zPL3"u_^  
    — 在x-y-网格 / P@P1l|I  
    — 六边形 <P1nfH  
    — 自由选取 -ioO8D&!  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    8Q/cJ+&  
    /|U;_F Pmc  
    5. 系统的3维视图 @8J*vY =e  
    "n3n-Y#'  
    "8a V~]~Dj  
    6. 其他系统参数 "T /$K  
    系统由单色平面波照明 ^Vth;!o  
    照明波长266.08nm >1Iw!SO+  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: v89tV9O)  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 A* qR<cp[  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 6$PQ$  
    光束尺寸探测器置于焦平面 0KExB{K  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 fATnza  
    d^?e*USh  
    M"c=_5P  
    N *m;A6?  
    7h/Mkim$5  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 -GL.8" c[  
    71(ppsHk  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    1h(n}u  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    }6u}?>S  
    xPF.c,6b4=  
    Xl$r720ZJr  
    *@lVesC2  
    FFwu$S6e  
    ;YokPiBy  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 }}Q h_(  
    s#8}&2#l  
    mtFC H  
    VirtualLab可用于计算点列图。 agoMsxI9  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 cPL6(&7  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 A\/DAVnI  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 )@ B !  
    SPT x-b[  
    9. 焦平面上的结果 sWA-_4  
    Ei,dO;&  
    MkZoHzg}c  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 5#_GuL%  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 V?MaI .gj  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm |.~2C1 4[  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 gv jy'Rm  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    5=<fJXf5y  
    S2I{?y&K  
    10. 总结 H-& ktQWK3  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 jRk1Iu|7  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 7'.6/U  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 yF XPY=EQ  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 tPJU,e)  
     
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