关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 kxVR#:
B_#U|10et 1. 描述 ^Y-
S"Ks ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ?wYvBFRn7" ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 a>XlkkX ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 sDzlNMr?P+
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2. 系统 ;Alw`' 4J6,_8`U 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
%q)*8 3. 透镜系统组件编辑 w*7BiZ{s<
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 K~ShV
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 |$aTJ9 Iq:
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 NM:\T1
■ 包括序列光学表面和光学介质。 [[;vZ
dyMj=e l&LrcM 4. 光线追迹系统分析器-选项 ?R VY%s;g K\a=bA}DG /agX! E4s
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 oD>j26Q
■ 可以选择选取光线的方法: {Mx3G*hr
— 在x-y-网格 22gk1'~dO
— 六边形 FqpUw<]6s
— 自由选取 ~99DE78
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 us
TPr KoL3CA"N 5. 系统的3维视图 c[QXc9 h8me.=S&
g(Dr/D 6. 其他系统参数 -p\uW0XA ■ 系统由单色平面波照明 [h^>Iq
(Z ■ 照明波长266.08nm {D9m>B3"{ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 3
2MdDa — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ,]UCq?YW)T — 一个虚拟屏位于焦平面 N akSIGm — 光束尺寸探测器置于焦平面 <>tQa5; ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 h<8.0 vOKWi:-U /degBL+ :xz,PeXo7 ':jsCeSB 7. 光线追迹系统分析器的结果 t'pY~a9F 4$^\s5 K 光线经过整个光学系统的三维视图
FhkS"y 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
.3QX*]{ F}Kkhs
{ u6#=<FD/} ]s))O6^f Xi~%,~ i G%h- 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 8:)W!tr 6pCQP
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■ VirtualLab可用于计算点列图。 IW<nfg
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 CC<(V{Png
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 c{X:0man
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
L~PBD?l
2Vn~o_ga 9. 焦平面上的结果 f*ICZM
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
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■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 eM$NVpS3
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm z9B""ws
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 x&kM /z?/
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ?{Rv/np=F 8wXnc% 10. 总结 nbECEQ:|B ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 OrJuE[R. ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 @*VfG CQ( ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 yDil ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ~7$4w# of0