关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 yOz Kux8kB
d'fpaLV 1. 描述 ,#OG/r-H ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 `~TGVa`D ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 *tPY ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 q#-H+7 5
6WM_V9Tidq 2. 系统 :#jv4N GFkte 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
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oa8 3. 透镜系统组件编辑 mLA$F4/K
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 VSFl9/5?
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 7Apbi}")
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 v"_#.!V
■ 包括序列光学表面和光学介质。 bkI A:2HX
lf#six f L?~1i = 4. 光线追迹系统分析器-选项 {z_pL^S'52 jzMGRN/67 p:%E>K1<
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 qrh7\`,.m/
■ 可以选择选取光线的方法: rdg1<Z
— 在x-y-网格 imQNfNm
— 六边形 6I![5j
— 自由选取 O0YGjS|d
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 d^^>3L!h <P-r)=^ 5. 系统的3维视图 >i E
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,DLNI0uV 6. 其他系统参数 Z3{Qtysuv3 ■ 系统由单色平面波照明 J?$uNlI ■ 照明波长266.08nm -H]O&u3'c ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ,Z"sh* — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 iJeT+} — 一个虚拟屏位于焦平面 sOmYQ{R — 光束尺寸探测器置于焦平面 8+F2
!IM ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 | 'G$}]H XWV ~6" Mla,"~4D5 %SXqJW^: "H@AT$Ny( 7. 光线追迹系统分析器的结果 n\U6oJN Xw)+5+t"{ 光线经过整个光学系统的三维视图
+.St"f/1 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
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