关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 lknj/i5L
K{_~W yRF 1. 描述 aiX&` ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Kq")|9=d ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 CfW#Wk:8J ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 BaIpX<$T
=k<b* 8 2. 系统 s7yKxg+`{ =b$g_+ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
:i>LESJq 3. 透镜系统组件编辑 0Lj;t/mG
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ]uFJ~:R
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 5)f 'wVe
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 #8t=vb3
■ 包括序列光学表面和光学介质。 hub]M
H 2I ;sA
5&a>! 4. 光线追迹系统分析器-选项 \
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] *w1 ;s,1/ kA
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 vULDKJNHX
■ 可以选择选取光线的方法: l1zPL3"u_^
— 在x-y-网格 /
P@P1l|I
— 六边形 <P1nfH
— 自由选取 -ioO8D&!
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 8Q/cJ+& /|U;_F Pmc 5. 系统的3维视图 @8J*vY =e "n3n-Y#'
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V~]~Dj 6. 其他系统参数 "T /$K ■ 系统由单色平面波照明 ^Vth;!o ■ 照明波长266.08nm >1I w!SO+ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: v89tV9O) — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 A*qR<cp[ — 一个虚拟屏位于焦平面 6$PQ$ — 光束尺寸探测器置于焦平面 0KExB{ K ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
fATnza d^?e*USh M"c=_5P N*m;A6? 7h/Mkim$5 7. 光线追迹系统分析器的结果 -GL.8"c[ 71(ppsHk 光线经过整个光学系统的三维视图
1 h(n}u 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
}6u}?>S xPF.c,6b4= Xl$r720ZJr *@lVesC2 FFwu$S6e ;YokPiBy 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 }}Q h_( s#8}&2#l mtFC H
■ VirtualLab可用于计算点列图。 agoMsxI9
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 cPL6(&7
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 A\/DAVnI
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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SPTx-b[ 9. 焦平面上的结果 sWA-_ 4
Ei,dO;&
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 5#_GuL%
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 V?MaI.gj
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm |.~2C14[
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 gvjy'Rm
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 5=<fJXf5y S2I{?y&K 10. 总结 H-&
ktQWK3 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 jRk1Iu| 7 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 7'.6/U ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 yF
XPY=EQ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 tPJU,e)