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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 3v ~[kVhoG  
    V I]~uTV  
    1. 描述 sGG q~7  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 !GnwE  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 l'7' G$v  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 r6vI6|1  
    W:hTRq  
    2. 系统 lJdrrR)wg  
    F0tcVdv  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    M)3'\x :  
    3. 透镜系统组件编辑 9XmbHS[0V  
    QL:Qzr[  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 }kSP p  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 RQU-]qQ8BM  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 o)+C4f[G4  
    包括序列光学表面和光学介质。 Oj '^Ww m  
    hISYtNWjd"  
    /0b7"Kr  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 Q w)U  
    1 dOB|  
    Hi^ Z`97c  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 B.L_EIw  
    可以选择选取光线的方法: A<IV"bo  
    — 在x-y-网格 WO$8j2!~#  
    — 六边形 5w5"rcV  
    — 自由选取 R)-~5"}~  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    `yh][gqVE~  
    Zt}b}Bz  
    5. 系统的3维视图 r,q.RWuII  
    a:s$[+'Y  
    5 %+epzy  
    6. 其他系统参数 ~5>TMIDiuR  
    系统由单色平面波照明 f#-\*  
    照明波长266.08nm ?*6Q ;.f<  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: q#K0EAgC  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 u q A!#E  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 \H 5t-w=  
    光束尺寸探测器置于焦平面 !Wj`U$];  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 5=  V29  
    %Vfr#j$=  
    [LrO"9q(  
    +_jM$?:F}  
    PmQeO*f+  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 Zzmo7kFx3  
    U+aiH U9  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    0}M'>  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    2InM(p7j~K  
    fKO@Qx]  
    op3a*KG  
    nELY(z  
    > w SI0N  
    AmJdZs|/  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ?5F;4 oR2g  
    i-. AD4  
    R G~GVf  
    VirtualLab可用于计算点列图。  Hs6Kki1  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 g ;X K3R  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 &da:{  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Df$~=A}  
    {XV 'C @B  
    9. 焦平面上的结果 %'VzN3Q5V  
    (EH}lh }%  
    3QF[@8EH{  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 S+*>""=  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 uMRzUK`QK  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm d^`; tD  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 rC_saHo>#R  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    eU.C<Tv:8  
    x:h)\%Dg<  
    10. 总结 [.6bxK  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Ul3xeu  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 gSf >+|  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 74&{GCL  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 4~8-^^  
     
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