关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 'z@(,5
2\_}81hM 1. 描述 zbrDDkZ1 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ka655O/)& ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ]wZG4A ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 -B'<*Y
N|wI=To 2. 系统 C/!kMMh>vV X180_Kt2 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
(wkeo{lx 3. 透镜系统组件编辑 #Fq6-]y1")
"??$yMW
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 (k4> I"x)
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 &G:#7HX@-
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 n1X 7T0'
■ 包括序列光学表面和光学介质。 4vF1
i.Yz)Bw NLRgL'+F 4. 光线追迹系统分析器-选项 M"W-|t)~ dL!PpLR$2 #A+ dj|
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■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Y<odXFIS
■ 可以选择选取光线的方法: N2WQrTA:S+
— 在x-y-网格 Eu2@%2}P
— 六边形 A@4sb
W_
— 自由选取 B
E!HM{-
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 @uXF(KDX qf-0 | w 5. 系统的3维视图 ]hRCB=G !/2uO5
_NA[g:DZ&O 6. 其他系统参数 :+06M@ ■ 系统由单色平面波照明 UU~S{!*+L ■ 照明波长266.08nm EVX*YGxx6 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 8Th{(J_ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 JlR(U." — 一个虚拟屏位于焦平面 lcO;3CrJ! — 光束尺寸探测器置于焦平面 bLuAe
EA ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 zT4SI'r?f 3@7IY4>o j\@Ht~G xY v@ cgY+xd@ 7. 光线追迹系统分析器的结果 O!xul$9 ;hzm&My 光线经过整个光学系统的三维视图
H}vq2 |MN 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
7XrXx:*a5 u4hC/! vuN!7*d+ iW oe Q0l[1;$# $^~dqmE2, 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ;XAj/6pm J?DJA2o "0Ca;hSLM2
■ VirtualLab可用于计算点列图。 DNwqi"
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 O7,)#{
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 lfTDpKz3D
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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qGivRDR$ 9. 焦平面上的结果 'wA4}f
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m6+4}= Cn
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ~&{LMf
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 #u]'3en
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm <+3-(&
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 r" 4u)H>
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 u?xXZ]_u- !N"Y 10. 总结 Ynxzkm S ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 JA!?vs ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 e:`d)GE ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ;cpQ[+$nKp ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 7:Cq[u fl