关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 3v~[kVhoG
VI]~uTV 1. 描述 sGG
q~7 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 !GnwE ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 l'7'G$v ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 r6vI6|1
W:hTRq 2. 系统 lJdrrR)wg F0tcVdv 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
M)3'\x: 3. 透镜系统组件编辑 9XmbHS[0V
QL:Qzr[
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 }kSP p
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 RQU-]qQ8BM
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 o)+C4f[G4
■ 包括序列光学表面和光学介质。 Oj
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hISYtNWjd" /0b7"Kr 4. 光线追迹系统分析器-选项 Q w)U 1d OB| Hi^Z`97c
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 B.L _EIw
■ 可以选择选取光线的方法: A<IV"bo
— 在x-y-网格 WO$8j2!~#
— 六边形 5w5"rcV
— 自由选取 R)-~5"}~
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 `yh][gqVE~ Zt}b}Bz 5. 系统的3维视图 r,q.RWuII a:s$[+'Y
5%+epzy 6. 其他系统参数 ~5>TMIDiuR ■ 系统由单色平面波照明 f# -\*
■ 照明波长266.08nm ?*6Q;.f< ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: q#K0EAgC — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 u qA!#E — 一个虚拟屏位于焦平面 \H
5t-w= — 光束尺寸探测器置于焦平面 !Wj`U$]; ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 5=V 29 %Vfr#j$= [LrO"9q( +_jM$?:F} Pm QeO*f+ 7. 光线追迹系统分析器的结果 Zzmo7kFx3 U+aiH U9 光线经过整个光学系统的三维视图
0}M'> 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
2InM(p7j~K fKO@Qx] op3a*KG nELY( z >
w SI0N AmJdZs|/ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ?5F;4oR2g i-.AD4 R
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■ VirtualLab可用于计算点列图。 Hs6Kki1
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 g ;XK3R
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 &da:{
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
Df$~=A}
{XV'C@B 9. 焦平面上的结果 %'VzN3Q5V
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 S+*>""=
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 uMRzUK`QK
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm d^`;tD
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 rC_saHo>#R
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 eU.C<Tv:8 x:h)\%Dg< 10. 总结 [.6bxK ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Ul3xeu ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 gSf> +| ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 7 4&{GCL ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 4~8-^^