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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 yOzKux8kB  
    d'fpaLV  
    1. 描述 ,#OG/r-H  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 `~TGVa`D  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 *tPY  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 q#-H+7 5  
    6WM_V9Tidq  
    2. 系统 :#jv4N  
    GFkte  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    $m oa8  
    3. 透镜系统组件编辑 mLA$ F4/K  
    vUeel%  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 VSFl9/5?  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 7Apbi}")  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 v"_#.!V  
    包括序列光学表面和光学介质。 bkIA:2HX  
    lf# six  
    f L?~1i =  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 {z_pL^S'52  
    jzMGRN/67  
    p:%E>K1<  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 qrh7\`,.m/  
    可以选择选取光线的方法: rdg1<Z  
    — 在x-y-网格 imQNfNm  
    — 六边形 6I![5j  
    — 自由选取 O0YGjS|d  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    d^^>3L!h  
    <P- r)=^  
    5. 系统的3维视图 >i E  
    5L#M7E  
    ,DLNI0uV  
    6. 其他系统参数 Z3{Qtysuv3  
    系统由单色平面波照明 J?$uNlI  
    照明波长266.08nm -H]O&u3'c  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ,Z"sh*  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 iJeT+}  
    — 一个虚拟屏位于焦平面  sOmYQ{R  
    光束尺寸探测器置于焦平面 8+F2 !IM  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 | 'G$}]H  
    XWV~6"  
    Mla,"~4D5  
    %SXqJW^:  
    "H@AT$Ny(  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 n\U6oJN  
    Xw)+5+t"{  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    +.St"f/1  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    '"a8<7  
    7\lc aC@  
    2=RDAipf59  
    `mVH94{+I  
    JG4I-\+H  
    %+}\i'j7  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 HtlXbzN%)  
     .~']gih#  
    b-XBs7OAx  
    VirtualLab可用于计算点列图。 c\opPhJ! 0  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 yMxS'j1  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 j^M@0o  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 M:N> {_1&  
    .w&Z=YM  
    9. 焦平面上的结果 HAXx`r<  
    Sob+l'U$  
    8~7EWl  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 '|.u*M,b  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 nS#;<p$\  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm %' Fc%3  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 ;Lx5r=<Hx  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    ]up:pddIh  
    8dfx _kY`/  
    10. 总结 SBA;p7^"  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 O;r8l+  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 (RF6K6~  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 =`")\?z}  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 aqlYB7  
     
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