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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 J_7w _T/  
    $+80V{J#  
    1. 描述 :u7BCV|yr  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 0BXr[%{`  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 cq[9#@ 4=  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 j/aJDE(+  
    @@H/q  
    2. 系统 2WS*c7Ct  
    Qhj']>#g  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    w>B}w  
    3. 透镜系统组件编辑 wNUT0+  
    qiet<F  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 fd4gB6>  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 OP\jO DX  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 :|(YlNUv  
    包括序列光学表面和光学介质。 Nk@-yZ@,8  
    |pHlBzHj  
    K^!#;,0  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 _S) K+C|@  
    N5K(yY_T  
    brTNwRze  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 FF#Aq  
    可以选择选取光线的方法: ` +YtTK  
    — 在x-y-网格 ?jR#txR  
    — 六边形 wnC-~&+6  
    — 自由选取 Pyuul4(  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    Il&F C  
    bf/6AY7  
    5. 系统的3维视图 hr]+ 4!/  
    IN/$b^Um  
    ] !*K|?VL  
    6. 其他系统参数 *w;?&)8%  
    系统由单色平面波照明 6-\Mf:%B  
    照明波长266.08nm 80Y% C-Y:  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: s O#cJAfuu  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 hwM<0Jf   
    — 一个虚拟屏位于焦平面 "81'{\(I_  
    光束尺寸探测器置于焦平面 #)}BY"C%  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 !y$##PZ  
    0y$VPgsKf  
    7l7VT?<:  
    x"Ll/E)\v]  
    #r9\.NA!  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 Hx6O Dj[-  
    <%.%q  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    2 K_ QZ  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    >h%>s4W  
    z$1|D{  
    #jBmWaP.  
    <U$YJtEK  
    +F NGRL  
    8{0XqE~ix=  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 }eSy]r[J  
    1 K}gX>F  
    @"s<0T^H  
    VirtualLab可用于计算点列图。 !r.-7hR$  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 #CLjQJ  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 *i*\ dl  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 *JImP9SE  
    3]1 ! g6  
    9. 焦平面上的结果 F~=kMQO  
    vFHeGq70j  
    }o]}R#|  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 &wU"6E  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 nZ=[6?  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 28v^j*=* \  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 _t,aPowX  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    Ru d9l.n  
    "{@[06|1  
    10. 总结 &p#PYs|H  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Ag T)J  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 <`-sS]=d}  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 d>#',C#;  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 '9]?jkl  
     
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