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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 bUdLs.:  
    }?_?V&K|  
    1. 描述 0{p#j~ZhC  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 :v&$o'Sak  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 !6O(-S2A  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 #:U%mHT(_  
    dhf!o0'1M  
    2. 系统 x,@B(9No  
    U- (01-  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    $$;M^WV^?.  
    3. 透镜系统组件编辑 =M [bnq*\  
    }t=!(GOb}  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 !v_|zoCEj  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 oC: {aK6\  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 S8wLmd>  
    包括序列光学表面和光学介质。 L;NvcUFn  
    7<#U(,YEA  
    c&?m>2^6  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 l<LP&  
    qHplJ "  
    %i9E @EV  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 RSyUaA  
    可以选择选取光线的方法: %G/ hD  
    — 在x-y-网格 K6/Q}W   
    — 六边形 )D5"ap]fX  
    — 自由选取 u=?.}Pj  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    rv^@,8vq  
    Fg5kX  
    5. 系统的3维视图 .B]MpmpK  
    (ybI\UI  
    n,V[eW#m'L  
    6. 其他系统参数 Xq]w<$  
    系统由单色平面波照明 qYjce]c  
    照明波长266.08nm HJLG=mU  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ll<Xz((o  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 $%CF8\0  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 $m%f wB  
    光束尺寸探测器置于焦平面 ,c$_t+  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 3G)#5 Lf<  
    Yz/md1T$  
    NMa}{*sQ  
    vMi;+6'n>  
    9N%We|L,c  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 a}BYov  
    J6s`'gFns  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    \FbvHr,  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    .9on@S  
    uk< 4+x,2)  
    "3)C'WlEy/  
    x=hiQ>BIO0  
    i&Tbz!  
    (cAIvgI  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 HZzDVCU  
    .779pT!,M  
    zl>nSndRE  
    VirtualLab可用于计算点列图。 3nIU1e  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 eueH)Xkf  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 SIF/-{i(X  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 J{p1|+h%  
    '8RsN-w  
    9. 焦平面上的结果 L3u&/Tn2  
    "/*\1v9  
    UUYSFa %  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 axv>6k  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 n/;WxnnQ  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm =r?hg GWe  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 ??-[eB.  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    :t"^6xt  
    (Du@ S  
    10. 总结 ~drS} V  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 6@h/*WElG  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 =\&;Fi]  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 6"L cJ%o  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 =1FRFZI!j  
     
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