关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 bUdLs.:
}?_?V&K| 1. 描述 0{p#j~ZhC ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 :v&$o'Sak ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 !6O(-S2A ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 #:U%mHT(_
dhf!o0'1M 2. 系统 x,@B(9No U-(01- 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
$$;M^WV^?. 3. 透镜系统组件编辑 =M[bnq*\
}t=!(GOb}
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 !v_|zoCEj
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 oC: {aK6\
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 S8wLmd>
■ 包括序列光学表面和光学介质。 L;NvcUFn
7<#U(,YEA c&?m>2^6 4. 光线追迹系统分析器-选项 l<LP& qHplJ " %i9E @EV
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 RSyUaA
■ 可以选择选取光线的方法: %G/hD
— 在x-y-网格 K6/Q}W
— 六边形 )D5"ap]fX
— 自由选取 u=?.}Pj
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 rv^@, 8vq Fg5kX 5. 系统的3维视图 .B]MpmpK (ybI\UI
n,V[eW#m'L 6. 其他系统参数 Xq]w<$
■ 系统由单色平面波照明 qYjce]c ■ 照明波长266.08nm HJLG=mU ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ll<Xz((o — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 $%CF8\0 — 一个虚拟屏位于焦平面 $m%fwB — 光束尺寸探测器置于焦平面 ,c$_t+ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 3G)#5Lf< Yz/md1T$ NMa} {*sQ vMi;+6'n> 9N%We|L,c 7. 光线追迹系统分析器的结果 a}BYov J6s`'gFns 光线经过整个光学系统的三维视图
\FbvHr, 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
.9 on@S uk<4+x,2) "3)C'WlEy/ x=hiQ>BIO0 i&Tbz! (cAIvgI 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 HZzD VCU .779pT!,M zl>nSndRE
■ VirtualLab可用于计算点列图。 3nIU1e
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 eueH)Xkf
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 SIF/-{i(X
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
J{p1|+h%
'8RsN-w 9. 焦平面上的结果 L3u&/Tn2
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 axv>6k
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 n/;WxnnQ
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm =r?hgGWe
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ??-[eB.
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 :t"^6xt (Du@ S 10. 总结 ~ drS} V ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 6@h/*WElG ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 =\&;Fi] ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 6"LcJ%o ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 =1FRFZI!j