关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 W
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,Rk 1. 描述 KYkS^v ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 DPY+{5q2 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 0Bgj.?l ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 6 [bQ'Ir^8
iaMl>ua 2. 系统 6a9:P@tY `!X8Cn
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Y, Lpv| 3. 透镜系统组件编辑 >G1]#'6;
S9*68l
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 0{d)f1
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 F +5
5p8
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
*pO`sC>
■ 包括序列光学表面和光学介质。 86KK Y2
nIOSP:'> >8>s
K(S] 4. 光线追迹系统分析器-选项 yEB#*}K? i%i s<' uYO$gRem
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 y:zNf?6&
■ 可以选择选取光线的方法: [fwk[qFa
— 在x-y-网格 `}ZtK574
— 六边形 2ETv H~23
— 自由选取 |pknaz
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 'o=DGm2H ?;w`hA3ei 5. 系统的3维视图 |U'` Sc <2O#!bX1
6[FXgCb 6. 其他系统参数 Ei2M~/ ■ 系统由单色平面波照明 {Gh9(0,B? ■ 照明波长266.08nm ( ?e
Et& ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ,<7HLV — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Rm_+kp@\ — 一个虚拟屏位于焦平面 mDt!b6N/ — 光束尺寸探测器置于焦平面 =^zGn+@z ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 d=\TC'd"{ Z6So5r%wZ CZ^
,bad `uDOIl B$OV^iwxK 7. 光线追迹系统分析器的结果 h0x'QiCc QXa2qxTc 光线经过整个光学系统的三维视图
KAVkYL0 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
Vv`94aQTD 6c>:h)? bO('y@)X =~,2E;#X Gf!c zDm3$P= 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 @ I&k|\ >`yRL[c; {QN 5QGvK
■ VirtualLab可用于计算点列图。 XE0b9q954
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 k:mW ,s|a
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 (B*,|D[J@i
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
l"h6e$dP
-`X`Ff 9. 焦平面上的结果 ))X"bFP!3
39pA:3iTd
EIpz-"S
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 1(i%nX<U
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 H4wDF:n0H
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 1<Uv4S
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 }QCn>LXE
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 J_<6;# mYk~ ]a- 10. 总结 GUJ?6; ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 2J) ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ^mut-@ N9 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ^%\MOjSN ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 5]kv1nQ