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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 W ~MNst?  
    Ox ,Rk  
    1. 描述 KYkS ^v  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 DPY+{5q2  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 0Bgj.?l  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 6 [bQ'Ir^8  
    iaMl>ua  
    2. 系统 6a9:P@tY  
    `!X8Cn  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Y, Lpv|  
    3. 透镜系统组件编辑 >G1]#'6;  
    S9*68l  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 0 {d)f1  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 F+5 5p8  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 *pO`sC>  
    包括序列光学表面和光学介质。 86KK Y2  
    nIOSP :'>  
    >8>s K(S]  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 yEB#*}K?  
    i%i s<'  
    uYO$gRem  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 y:zNf?6&  
    可以选择选取光线的方法: [fwk[qFa  
    — 在x-y-网格 `}ZtK574  
    — 六边形 2ETv H~23  
    — 自由选取 |pknaz  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    'o= DGm2H  
    ?;w`hA3ei  
    5. 系统的3维视图 |U'`Sc  
    <2O#!bX1  
    6[FXgCb  
    6. 其他系统参数 E i2M~/  
    系统由单色平面波照明 {Gh9(0,B?  
    照明波长266.08nm ( ?e Et&  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ,<7HLV  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Rm_+kp@\  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 mDt!b6N/  
    光束尺寸探测器置于焦平面 =^zGn+@z  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 d=\TC'd"{  
    Z6So5r%wZ  
    CZ^ ,bad  
     `uDOIl  
    B$OV^iwxK  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 h0x'QiCc  
    QX a2qxTc  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    KAVkYL0  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    Vv`94aQTD  
    6c>:h)?  
    bO('y@)X  
    =~,2E;#X  
    Gf!c  
    zDm3 $P=  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 @I&k|\  
    >`yRL[c;  
    {QN 5QGvK  
    VirtualLab可用于计算点列图。 XE0b9q954  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 k:mW ,s|a  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 (B*,|D[J@i  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 l"h6e$dP  
    -`X`Ff  
    9. 焦平面上的结果 ))X"bFP!3  
    39 pA:3iTd  
    EIpz-"S  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 1(i%nX<U  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 H4wDF:n0H  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 1<Uv4S  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 }QCn>LXE  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    J_<6;#  
    mYk~ ]a-  
    10. 总结 GUJ?6;  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 2J)  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ^mut-@ N9  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ^%\MOjSN  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 5]kv1nQ  
     
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