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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 ed>_=i  
                                             MJ &6 Z*  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 Ha4?I$'$  
    jG{xFz>x  
    建模任务 ]!h%Jlu  
    _3hCu/BV  
    系统构建块-扫描源                                                     "+Xwc+v^  
    |Q.?<T:wt=  
    How to Set Up a Scanning Source !Bu<6  
                                                                                   ROQk^  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 ?G.9D`95  
    >.J68 x  
    系统构建块-参数耦合 fN8A'p[  
       B)ynF?"  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion m!E36ce}  
                                                                                       >N+e c_D^  
    系统构建块-失真分析仪 'fawpU|h  
                                                                               `=%[  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 * C's7O{O  
     :vX;>SH$p  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               >nvreis  
    kc/h]B  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         v%86JUlK.  
    1pO ;aG1O  
    o.}^6.h"  
     -"!V&M  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: QF[9Zn  
    5 BcuLRId:  
    Universal Detector <m UDx n  
                                                                                   ?CL1^N%  
    总结-组件… +`.%aJIi9  
    sOU_j4M{  
     .yg"!X  
    系统观感   2tn%/gf'm  
     I%{^i d@  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 CcAsJX~_  
    kDO6:sjR7  
     8q_3*++D  
    性能评估-点位偏差 rYN`u  
    ^b>E_u  
                                       8*6J\FE<p  
    性能评估-光斑直径测量                                                       /x-Ja[kL  
    cr,o<  
    U|U/B  
    Wu.od|t0  
    !!Mp;h'}-  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。  jCKRoao  
    ;hd> v&u#  
    VirtualLab Fusion技术 Zb);08X  
             JR7~|ov  
     
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