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摘要 J\?d+}hynX
 N)EJP ~0 F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 >P}6/L o4H' 建模任务 g$U7bCHG
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系统构建块-扫描源 xJ^ pqb  TOsHb+Uv How to Set Up a Scanning Source YR"IPyj W]5sqtF;6 系统构建块-透镜系统组件 mr+8[0  vv1W <X0e< 系统构建块-参数耦合 & &:ZY4`  ,-V7~g M%}
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion \|7Y"WEQ
es1'z.U J 系统构建块-失真分析仪 \tfhF#'
 |?LUt@r; 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 OSkBBo]~z
 K 5AArI 虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 ]Z>zf]< Wdp4'rB
通用探测器和探测器附加组件 S~ZRqL7Z O {^@qfkZz^
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 X?S LYm@v Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: +ooQ-Gh i> PK E. Universal Detector `l-R?C?*! iI@(Bl] 总结-组件… y*j8OA.S
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 *h ~(LH"tN 系统观感 v]m#+E
IWnyqt(k 通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 JT*Pm"}
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 s/OXZ<C| 性能评估-点位偏差 8_uh2`+Bvb
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 o T^r 性能评估-光斑直径测量 % ^& D, =ve, !  du^r EMb%
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此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 &;@U54,wV
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VirtualLab Fusion技术 K9Bi2/N
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