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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 c;X,-Q9  
                                             j|Vl\Z&o)  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 1?|"33\03R  
    M$@~|pQ<  
    建模任务 SZ[?2z  
    %} zkmEY.e  
    系统构建块-扫描源                                                     |k*bWuXgLs  
    .$}z</#!  
    How to Set Up a Scanning Source 2/V%jS[4#y  
                                                                                   0wVM% Dng  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 c,;VnZ 9wC  
    H.;}%id  
    系统构建块-参数耦合 X,3\c:  
       YzG?K0O%  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion O9By5j 4  
                                                                                       uQdy  
    系统构建块-失真分析仪 98 5h]KQ  
                                                                               "xTVu57Z[  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 4Ps;Cor+  
     1irSI,j%z  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               ^1F zs(#.  
    %regt{  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         9%NsW3|  
    0vSPeZ  
    K*DH_\SPK  
     S{&%tj~U  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: %au>D  
    b,+KXx  
    Universal Detector `!I/6d?A  
                                                                                   ?32~%?m  
    总结-组件… N]iarYc  
    @#W4?L*D  
     J>T98y/))  
    系统观感   nZ'jjS[!  
     aLm~.@Q  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 GEVDXx>@  
    ai?J  
     v8 =#1YB;  
    性能评估-点位偏差 9<3}zwJ  
    '9.@r\g  
                                       }qp)VF  
    性能评估-光斑直径测量                                                       j?o6>j  
    \Q}Y"oq  
    .,qh,m\Fo  
    iVeH\a  
    <h#W*a  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 ?d?.&nt  
    ;g#nGs>  
    VirtualLab Fusion技术 nxuH22:  
             P(@Q[XQ2  
     
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