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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 :o|\"3  
                                        
    u[@l~gwL  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 +]*zlE\N`  
    F~T]u2qt  
    建模任务 pXrFljoYl[  
    )2Wi `ZT  
    系统构建块-扫描源                                                
    iP =V8g?L  
    ock Te5U  
    How to Set Up a Scanning Source N >FKy'.gk  
                                                                                   j/R[<47  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 AP68V  
    1pt%Kw*@j  
    系统构建块-参数耦合 sx7eC  
       PH1p2Je  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion fKeT,U`W  
                                                                                  
    0 t Fkd  
    系统构建块-失真分析仪 4]yOF_8h  
                                                                          
    Wr<j!>J6Ki  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 >pU$wq|i  
    Lx\ 8Z=  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               p2ogn}`  
    T ? $:'XJ  
    通用探测器和探测器附加组件                                                    
    s %qF/70'  
    !Y$h"<M  
    fmQ_P.c  
    q1z"-~i )E  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: k jg~n9#T  
    OBMTgZHxv  
    Universal Detector @JtM5qB  
                                                                                   @LS@cCC,a  
    总结-组件 Z3#P,y9@  
    5>CEl2mSl  
    dYG,_ji  
    系统观感   ?%O(mC]u&  
    C9~52+S  
    通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 :Pvzl1  
    \?Z{hmN  
    6hlc1?  
    性能评估-点位偏差 ey2S#%DF]  
    2/?`J  
                                  
    )[PtaPWeT  
    性能评估-光斑直径测量                                                       4[.oPK=i  
    <D:.(AUeO  
    fI{ESXU  
    TOkp%@9/  
    5k`l $mW{  
    此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 {{B%f.   
    P#R R9>Q  
    VirtualLab Fusion技术 Ka[t75~;  
        
    gG]Eeu+z   
     
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