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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 ;*j6d3E  
                                             ^t^<KL;  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 ki*79d"$  
    ~q#[5l(r8  
    建模任务 WW8YB"  
    1S)0 23N  
    系统构建块-扫描源                                                     3 4A&LBwC  
    9 +N._u  
    How to Set Up a Scanning Source a?U%l9F  
                                                                                   ![X.%  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 8Jib|#!  
    56O<CgJF<  
    系统构建块-参数耦合 sGDrMAQt  
       Vbqm]2o&  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion n/-p;#R  
                                                                                       kw-Kx4 )  
    系统构建块-失真分析仪 v#<+n{B  
                                                                               9bzYADLI  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 (X`t"*y"  
     #LNB@E  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               P7BJ?x  
    [r~rIb%Zj  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         Ie`SWg*WL  
    Vp{RX8?.  
    Ygkd~g  
     x1hs19s  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: I}g|n0o  
    "|l oSf@  
    Universal Detector w4< u@L  
                                                                                   CDTk  
    总结-组件… onJ[&f  
    9OJ\n|,(  
     D^R! |K/  
    系统观感   u):Rw  
     MS*Mem,  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 l<)JAT;P  
    \<MTY:  
     :R|2z`b!  
    性能评估-点位偏差 Zkb,v!l  
    J\,e/{,X  
                                       n4d(`  
    性能评估-光斑直径测量                                                       *!7SM 7  
     C>K"ZJ  
    fY+ .#V  
    J<P/w%i2  
    Nm :|C 3_I  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 MgK(gL/&[  
    8KdcLN@  
    VirtualLab Fusion技术 =ILo`Q~  
             GL0':LsZ  
     
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