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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 ='YR;  
                                        
    c6Wy1d^  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 HHT K{X+  
    )(y&U  
    建模任务 `y m^0x8  
    nIXq2TzJ  
    系统构建块-扫描源                                                
    C <]rY  
    ck-wMd  
    How to Set Up a Scanning Source .LdLm991,Y  
                                                                                   YQ2ie>C8  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 YpXUYNy  
    4km=KOx[  
    系统构建块-参数耦合 1vi<@i,  
       {b} ?I4)  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 389T6sP]  
                                                                                  
    YP+0 uZ[g  
    系统构建块-失真分析仪 hE+6z%A8  
                                                                          
    J*qepq`_  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 %0. o(U  
    wvsTP32]  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               sl>4O]N  
    JYs*1<  
    通用探测器和探测器附加组件                                                    
    bvs0y7M='  
    Yw4c`MyL  
    ]MRE^Je\h  
    >\[sNCkf  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: w=y!|F  
    A\k@9w\Ll;  
    Universal Detector kR9G;IZ8s  
                                                                                   lD. PNwM  
    总结-组件 DSD#',  
    hPP+lqY[  
    9kWyO:a_(  
    系统观感   C KBLM2 D  
    I Yj\t?,0  
    通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 q^>$YY>F  
    i8+kc_8#d  
    2-. g>'W  
    性能评估-点位偏差 ;F"W6G  
    A<QYW,:|  
                                  
    +|r) ;>b  
    性能评估-光斑直径测量                                                       Ilsh Jo  
    E&jngxlN  
    0 A/GWSmF  
    v5RS<?o  
    rmk'{"  
    此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 _T<ney}Y<  
    M +~guTh  
    VirtualLab Fusion技术 w'#VN|;;!  
        
    Y6W3WPs(  
     
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