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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 Mz6(M,hkq  
                                             v>} +->f  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 $!.>)n  
    G$i)ELs  
    建模任务 E^F<"mL*  
    j %gd:-tA  
    系统构建块-扫描源                                                     tn' Jkwp  
    ]q%r2 (y,k  
    How to Set Up a Scanning Source W[O]Aal{  
                                                                                   6K pq~o   
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 E@ U]k$M  
    &su'znLV  
    系统构建块-参数耦合 Z*co\ pW  
       [UzD3VPg  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion >%U+G0Fq  
                                                                                        '/.Dxib  
    系统构建块-失真分析仪 8mreHa  
                                                                               ja_8n["z  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 8J(j}</>a  
     MMFwT(l<1  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               v<!S_7h  
    LOx+?4|y  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         ~U&NY7.@  
    eTS}-  
    [v"Z2F<.=  
     ;yt6Yp.6e  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: SU~a()"  
    ! dzgi:  
    Universal Detector >s{I@#9  
                                                                                   njy2pDC@  
    总结-组件… Iy9hBAg\y  
    ={:a N)  
     NZq-%bE  
    系统观感   :G1ddb&0+  
     (G"'Fb6d  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 9b+jT{Tg  
    =#G 2}8mQD  
     u-TT;k'  
    性能评估-点位偏差 -&8( MT*  
    o{s2T)2  
                                       +NPL.b|  
    性能评估-光斑直径测量                                                       E JkHPn  
    wX"hUu  
    15g! Q *v  
    !wy _3a  
    m+Ye`]  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 "<ZV'z  
    b&z#ZY  
    VirtualLab Fusion技术 [A-_?#cZ  
             r[L%ap\{  
     
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