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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 KynQ <I/  
                                             w^A8ZT0^7  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 [LjYLm%<  
    F2z^7n.S  
    建模任务 @wl80v  
    G\*`EM4  
    系统构建块-扫描源                                                     FK }x*d  
    X.j#??  
    How to Set Up a Scanning Source v?K X Tc%Z  
                                                                                   i._d^lR\t  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 vTh-I&}:  
    sOz jViv  
    系统构建块-参数耦合 '+f!(teLz  
       MR#jI  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion [0m'a\YE9  
                                                                                       G?<L{J2"Q  
    系统构建块-失真分析仪 Hu1w/PLq  
                                                                               }x~|XbG  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 e}(. u1  
     &EE6<-B-  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               9} eIidwK  
    :M1+[FT  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         j 9y,UT  
    y;;^o6Gnw  
    bxrByu~|1  
     X H{5E4P  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: iMk`t:!;#"  
    zw\"!=r^  
    Universal Detector ]9R?2{"K  
                                                                                   yw#P<8{/[  
    总结-组件… $`{}4,5M  
    oJ{)0;<~L  
     68;,hS*|6  
    系统观感   _q3SR[k+`  
     >+#TsX{  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 wUh'1D<(r  
    D;BFl(l  
     hCQ{D|/  
    性能评估-点位偏差 ?uk|x!Ko]  
    YjvqU /[3  
                                       XO"!)qF  
    性能评估-光斑直径测量                                                       hYb!RRGn  
    m4>v S  
    q^(A6W  
    _ky!4^B  
    G1$DV Go  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 9I]*T  
    gl2~6"dc  
    VirtualLab Fusion技术 l]oGhM;  
             e] **Z,Z  
     
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