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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 G$bJ+  
                                             lG:kAtx4  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 0N;%2=2_E  
    4w93}t.z  
    建模任务 28I^$> [  
    V '.a)6  
    系统构建块-扫描源                                                     [XR$F@o  
    !%)]56(  
    How to Set Up a Scanning Source ;11x"S  
                                                                                   b5a.go  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 =(o']ZaaA  
    8b(!k FxD  
    系统构建块-参数耦合 >IfV\ w32  
       *O~e T  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion G~,:2 o3  
                                                                                       vXE0%QE'Q  
    系统构建块-失真分析仪 |~0UM$OB^3  
                                                                               F3M aqr y  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 5's~>up&  
     EGVM)ur  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               !&^gaUa{  
    ;i<jhNA  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         kz} R[7  
    P-`(0M7^  
    >ut" OL9J  
     p@ NaD=9  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: <0P5 o|  
    `G9 l  
    Universal Detector H`9Uf)  
                                                                                   I\O\,yPhhP  
    总结-组件… zp}eLm:=d  
    8' DW#%  
     Mkxi~p%<r  
    系统观感   I:98 $r$  
     $g0+,ll[6  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 o5U(i  
    zP\7S}p7%  
     fWnD\mx?0  
    性能评估-点位偏差 c2nKPEX&5  
    ^x>Qf(b  
                                       RE2&mYt  
    性能评估-光斑直径测量                                                       dt@P>rel  
    ,f3pqi9|  
    rwLAW"0Qz  
    %EbPI)yY3  
    hj%ye~|~  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 !9Z r;K~\  
    1\*\?\T>_  
    VirtualLab Fusion技术 @gC=$A#  
             !E8X~DJ  
     
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