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摘要 *F WMn.
\1d( 9jR F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 ~Cbc<[} "7U4'Y:E 建模任务 +\x,HsUc"
uOKCAqYa 系统构建块-扫描源 60P<4 FSP+?(( How to Set Up a Scanning Source {]*c29b> phQUD 系统构建块-透镜系统组件 7Sf
bx~48 !1rlN8w(qr 系统构建块-参数耦合 X1,I WJ$bf(X* Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 2iHUZzz\ 9Q.rMs>qj 系统构建块-失真分析仪 09|K>UC)v
D!@Ciw 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 -] LY,M
B#exHf8 虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 7jxslI&F $:BKzHmg 通用探测器和探测器附加组件 6wPaJbRtaM 2SD`OABf#
bNm#tmSt
8G9s<N}5&u Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: VdPtPq1 kd>hhiz| Universal Detector !6n_}I-W >i_2OV 总结-组件… "C}b%aO:
!-ok"k0,u
^tqzq0 系统观感 Olt`:;j- bG 7O 通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 >d*iD <x@}01~
|_LU~ 7./ 性能评估-点位偏差 Q8C_9r/:N> T{Gj+7bQ~
J\/cCW-rF 性能评估-光斑直径测量 ccNd'2P b $'FvZbk D~biKrg?= LE&RY[
yGI;ye'U 此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 qJ;jfh! vY4\59]P VirtualLab Fusion技术 .Fs7z7?Y
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