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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 VfT@;B6ALF  
                                             W5(.Hub}  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 3| F\a|N  
    A2%RcKY7  
    建模任务 9!,f4&G`  
    Ewa/6=]LA  
    系统构建块-扫描源                                                     C5^9D  
    mNPz%B  
    How to Set Up a Scanning Source }Sh3AH/  
                                                                                   Ol)M0u  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 CTf39R|7_  
    @^t1SPp  
    系统构建块-参数耦合 4vMjVbr  
       jyFKO[s\X  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion *Xk gwJq  
                                                                                       5gZ *  
    系统构建块-失真分析仪 ja%IGaH;s  
                                                                               gJJBRn{MI  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 |o#pd\  
     @0D  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               <.U(%`|  
    ] ?k\ qS  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         T1A/>\Ns  
    suFO~/lRno  
    NI2-*G_M  
     |HQFqa <  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: bI:cYn1  
    | W<jN  
    Universal Detector yUX<W'-Hev  
                                                                                   K}!YXy h  
    总结-组件… PX5U)  
    L[. )!c8k  
     w^)_Fk3  
    系统观感   ADT8A."R[  
     K{`3,U2Wx  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 #OsUF,NU  
    i,mo0CSa  
     WjF#YW\  
    性能评估-点位偏差 hEfFMi=a`  
    wmaj[e,h  
                                       T-.Bof(?w  
    性能评估-光斑直径测量                                                       |K'7BK_^J  
    s%@HchZ 1  
    !UX7R\qu|  
    +5ue) `  
    SAUG+{Uq  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 'ExTnv ~  
     m8z414o  
    VirtualLab Fusion技术 FfibR\dhY  
              4FcY NJq  
     
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