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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 U;&s=M0[  
                                             e>Q:j_?.e  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 F\+9u$=  
    \ bNDeA&l  
    建模任务 (|W6p%(  
    MXVCu"g%  
    系统构建块-扫描源                                                     (N}\Wft%  
    $LR~c)}1I  
    How to Set Up a Scanning Source :^7_E&  
                                                                                   D6_#r=08  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 O,@QGUoA  
    e,vgD kI;  
    系统构建块-参数耦合 sC.cMZe  
       L-W*h  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion #SLi v  
                                                                                       ;XY#Jl>tg  
    系统构建块-失真分析仪 {KqW<X6Hp  
                                                                               !H^R_GC  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 g[2[ zIB=  
     Qe[ai?iJkt  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               i/N68  
    aLevml2:T  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         c1%ki%J#  
    ue *mTMN  
    :B/u>  
     uN9.U  _  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: %'F[(VB   
    z<"\I60Fe  
    Universal Detector x@@k_'~t%  
                                                                                   5tb i};  
    总结-组件… 'vIVsv<p  
    ELV$!f|u  
     t;%MSedn  
    系统观感   UJX5}36  
     AQBr{^inH|  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 <CP't[  
    ~o ;*{ Q  
     wCr+/" t  
    性能评估-点位偏差 e3&.RrA  
    a67NWH  
                                       9T;l*  
    性能评估-光斑直径测量                                                       Vzrp9&loY  
    oX]c$<w5  
    [k +fkr]  
    hzk]kM/OC  
    @h\u}Ee  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 pzBd(d^*  
    0w l31k{  
    VirtualLab Fusion技术 I'uRXvEr7  
             ;(Qm<JAa  
     
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