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摘要 :o|\"3
u[@l~gwL F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 +]*zlE\N` F~T]u2qt 建模任务 pXrFljoYl[
)2Wi`ZT 系统构建块-扫描源 iP
=V8g?L ockTe5U How to Set Up a Scanning Source N >FKy'.gk j/R[<47 系统构建块-透镜系统组件 AP68V 1pt%Kw*@j 系统构建块-参数耦合 sx7eC PH1p2Je Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion fKeT,U`W 0t Fkd 系统构建块-失真分析仪 4]yOF_8h
Wr<j!>J6Ki 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 >pU$wq|i
Lx\8Z= 虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 p2ogn}` T ?$:'XJ 通用探测器和探测器附加组件 s%qF/70' !Y$h"<M
fmQ_P.c
q1z"-~i)E Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: kjg~n9#T OBMTgZHxv Universal Detector @JtM5qB @LS@cCC,a 总结-组件… Z3#P,y9@
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dYG,_ji 系统观感 ?%O(mC]u& C9~52+S 通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 :Pvzl1 \?Z{hmN
6hlc1? 性能评估-点位偏差 ey2S#%DF] 2/?`J
)[PtaPWeT 性能评估-光斑直径测量 4[.oPK=i <D:.(AUeO fI{E SXU TOkp%@9/
5k`l$mW{ 此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 {{B%f. P#RR9>Q VirtualLab Fusion技术 Ka[t75~;
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