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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 O8N1gf;t  
                                             oHp"\Z&  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 $uUyp8F  
    E[=&6T4  
    建模任务 m!!;CbPo  
    c,ct=m.|6A  
    系统构建块-扫描源                                                     )"|wWu  
    [D(JEO@ :  
    How to Set Up a Scanning Source 2 n2,MB  
                                                                                   ZtP/|P5@  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 Ol<LL#<j4  
    .x/H2r'1  
    系统构建块-参数耦合 <7B;_3/  
       +ut%C.1  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion gbh/ `  
                                                                                       aHI~@  
    系统构建块-失真分析仪 UfV { m  
                                                                               +W8#]u|  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 D+oV( Pw,  
     e8egxm  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               V:+vB "  
    uH7rt  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         %u<r_^w5  
    {!{T,_ J  
    QfM^J5j.M?  
     rq1~%S  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: f(K1 ,L:&7  
    xlgT1b:6  
    Universal Detector k<f0moxs'  
                                                                                   Do^yer~  
    总结-组件… LW("/  
    J4iu8_eH!D  
     #^ .G^d(=  
    系统观感   *tkf)[(  
     QV*la=j/  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 CUjRz5L  
    ,'l.u?SKyd  
     U~c9PqjZ  
    性能评估-点位偏差 YY'[PXP$Y  
    NA/Sv"7om  
                                       rEU1 VvE  
    性能评估-光斑直径测量                                                       ^<v.=7cL0  
    "/UPq6  
    BCd0X. m(  
    ?o/p}6  
    9+5F(pd(  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 q?L*Luu+  
    F0r5$Pl*  
    VirtualLab Fusion技术 =U:]x'g(  
             ~Sd,Tu%:  
     
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