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摘要 ='YR;
c6Wy1d^ F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 HHT K{X+ )(y&U 建模任务 `y
m^0x8
nIXq2TzJ 系统构建块-扫描源 C
<]rY ck-wMd How to Set Up a Scanning Source .LdLm991,Y YQ2ie>C8 系统构建块-透镜系统组件 YpXUYNy 4km=KOx[ 系统构建块-参数耦合 1 vi<@i, {b} ?I4) Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 389T6sP] YP+0uZ[g 系统构建块-失真分析仪 hE+6z%A8
J*qepq`_ 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 %0. o(U
wvsTP32] 虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 sl>4O]N JYs*1< 通用探测器和探测器附加组件 bvs0y7M=' Yw4c`MyL
]MRE^Je\h
>\[sNCkf Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: w=y!|F A\k@9w\Ll; Universal Detector kR9G;IZ8s lD.PNwM 总结-组件… DSD#',
hPP+lqY[
9kWyO:a_( 系统观感 C
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Yj\t?,0 通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 q^>$YY>F i8+kc_8#d
2-. g>'W 性能评估-点位偏差 ;F"W6G A<QYW,:|
+|r)
;>b 性能评估-光斑直径测量 Ilsh
Jo E&jngxlN 0A/GWSmF v5RS <?o
rmk'{" 此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 _T<ney}Y< M
+~guTh VirtualLab Fusion技术 w' #VN|;;!
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