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摘要 #l kv&.)x
 3 o=R_%r F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 N?]HWP^pg ~(W q 5<v 建模任务 i7hWBd4wK
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系统构建块-扫描源 @edx]H1~^  I" TFj$Pg How to Set Up a Scanning Source
DEj6 ky (* WO<V 系统构建块-透镜系统组件 Z_iVOctP  < {1'cx 系统构建块-参数耦合 0Z. bd=H  Bp
#:sAG
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion [I *zZ`
0q6$KP}q 系统构建块-失真分析仪 l42 3+vo
 aj>6q=R 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 x+niY;Z E
 f O6i 虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 WCf?_\cG [T|_J$
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通用探测器和探测器附加组件 Tf [o'=2 hzG+s#
 Mi+<|5is
 ;JQ:S~K9 Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: BhJag L ^o (-'Jf #&X^ Universal Detector wGRMv1|lIu 8R G U^& 总结-组件… 6|h~pH
 z=YHR S
 QU&LC 系统观感 re\pE2&B
1|U8D K 通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 F#<$yUf%
PH6!T/2[
 rd#O ] 性能评估-点位偏差 /*v} .fH%
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 o*\Fj}l- 性能评估-光斑直径测量 X,+M? IYZ$a/{P  E@ux EF
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此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 6
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VirtualLab Fusion技术 2D`_!OG=
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