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摘要 /MsXw/],
 @z$V(}(O^ F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 n?&G> `u* `kyr\+hp 建模任务 N4!YaQQ;}
 C2AP
系统构建块-扫描源 u% a2"G|  TuwH?{
FzK How to Set Up a Scanning Source U/yYQZ\) M]jzbJ3Q 系统构建块-透镜系统组件 &of%;>$>M  z1f~:AdL 系统构建块-参数耦合 ({Fus@/  9/D+ 6hJ]:
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion PmvTCfsg
z|}Anc[\ 系统构建块-失真分析仪 P^v`5v
 =Z2U 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 "My \&0-
 [[JwHM8H& 虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 $k@reN9 U ?>P6p
通用探测器和探测器附加组件 ZNFn^i uQ l+kI4B7--
 qOZe\<.V<
 ]. 1[H~5N Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: q{ @>2AlK -DX|[70 Universal Detector dQ`ch~HVUW ` zC_?+ 总结-组件… | g> K$m^
 |6`yE]3 -(
 GUmOK=D > 系统观感 `"I^nD^t>Y
2aW&d=!ZV 通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 Eo)Q> AM
[>;U1Wt
 ;*wZgl 性能评估-点位偏差 Wxb/|?,
O ]m,zk
 kxWf1hIz0 性能评估-光斑直径测量 76}
N/C s4;SA  p[h A?dXn
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此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 Z)| *mJ
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VirtualLab Fusion技术 hn)mNb!
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