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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 pD&& l!i&[  
                                             *& m#qEv  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 5 QO34t2  
    \Vl`YYjZ  
    建模任务 1LJUr"6]  
    1 1cWy+8D  
    系统构建块-扫描源                                                     (L`j0kPN  
    ^H6<Km l/V  
    How to Set Up a Scanning Source K!KMQr`  
                                                                                   7h)iu9j  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 4WB-Ec  
    TB;o~>9U  
    系统构建块-参数耦合 +\r+n~w  
       ''|#cEc)  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion VAXT{s&4>  
                                                                                       o`.R!wm:W  
    系统构建块-失真分析仪 Q#EP|  
                                                                               r `eU~7  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 pNRk.m]  
     d,by / .2  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               n k2om$nN  
    p7H3J?`w1+  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         CpQN,-4  
    tbO H#|  
    rL5z]RY  
     <ioO,oS'  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: CwX Z  
    zuJtpMn  
    Universal Detector rhL"i^  
                                                                                   7G)H.L)$m"  
    总结-组件… AL5Vu$V~n}  
     RD tU43  
     =rR~`  
    系统观感   8 B**8yg.  
     ,y%3mR_~  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 #);[mW{F  
    ^3hn0DVQ  
     iH.$f /)N  
    性能评估-点位偏差 A0%}v*  
    &)oOeRwi].  
                                       \RVW  
    性能评估-光斑直径测量                                                       +<prgP`v  
    !a~`Bs$'jr  
    Nl' )l"  
    hkO sm6  
    :eZh'-c?  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 y ^;l*qq  
    ;@ [ 0x  
    VirtualLab Fusion技术 jzK5-;b  
             ~n/ $  
     
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