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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 tyWDa$u,u  
                                             Cg|\UKfy$  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 ; !C_}P  
    |MOz> 1<a  
    建模任务 2m"cK^  
    ?bpV dm!  
    系统构建块-扫描源                                                     zkiwFEHA=  
    Abi(1nXdQ  
    How to Set Up a Scanning Source _''un3eCY  
                                                                                   "LSzF_mK  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 B*Ey&DAV  
    nW} s  
    系统构建块-参数耦合 $$uMu{?0i  
       IT)3Et@Y  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion [ [pt~=0  
                                                                                       !Qf*d;wxn(  
    系统构建块-失真分析仪 d WY{x47  
                                                                               yn"4qC#Z  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 T--%UZD]W  
     \*Yr&Lm  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               x7Gf):,LK  
    6(BgnH8oc  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         :5.F  
    l^$'6q"  
    }%-iJ\  
     J3(E{w8Q  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: ,QpFVlPU  
    YaL:6[6  
    Universal Detector qE|syA9  
                                                                                   Y9>92#aME  
    总结-组件… aL`wz !  
    h5pfmN\-5  
     @g4o8nH}  
    系统观感   "wuO[c&%/  
     N>,`TsUwW  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 zsd1n`r  
    A)V*faD  
     W &:0J  
    性能评估-点位偏差 0?( uqjD:  
    .)_2AoT7[  
                                       lixM0  
    性能评估-光斑直径测量                                                       aidQ,(PDj  
    wpN3-D  
    AWYlhH4c?t  
    1^2Q`~,g  
    lgS7;  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。  qT!lq  
    # =tw ,S  
    VirtualLab Fusion技术 )5LT!14  
             hc+B+-,  
     
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