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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 *'l|ws  
                                             yq6Gyoi<  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 b=$(`y  
    ja2BK\"1:  
    建模任务 [H4)p ,R  
    (JX 9c  
    系统构建块-扫描源                                                     cPp<+ ts  
    $R&K-;D/8  
    How to Set Up a Scanning Source %M7EOa  
                                                                                   YP4lizs.  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 %96l(JlJ)B  
    9YQYg@+R  
    系统构建块-参数耦合 pu OAt  
       lnQfpa8j  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion bCfw,V{sce  
                                                                                       BJ*8mKi h  
    系统构建块-失真分析仪  I?R?rW  
                                                                               !,Uzt1K:  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 qK-\`m  
     -]~KQvIH!  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               [sc4ULS &  
    JIOeDuw+  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         VKb=)v[K  
    <FofRFaS  
    Eb~e=){  
     zd0 [f3~  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: aGs\zCAP  
    -qs R,H  
    Universal Detector +@mgb4_  
                                                                                   ]!'}{[1}  
    总结-组件… qe_qag9  
    .~Gt=F+`s  
     o |"iW" +  
    系统观感   $ISx0l~  
     fN_Ilg)t?5  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 6` 4,  
    c2~oPUj  
     `gE_u  
    性能评估-点位偏差 w|[{xn^R  
    L7"B`oa(p  
                                       .T*89cEu  
    性能评估-光斑直径测量                                                       q]rqFP0C  
    IfzW%UL  
    ZOzwO6(_  
    VlFhfOR6t  
    OhiY <  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 t2_pwd*B  
    kJNu2S  
    VirtualLab Fusion技术 L g2z `uv  
             g$T% C?  
     
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