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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 ;2gO(  
                                             Dh68=F0  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 -AB0uMot  
    tU.~7f#+A  
    建模任务 z)u\(W*\iA  
    xd+aO=)Td  
    系统构建块-扫描源                                                     *(Z\ "o!  
    AU8sU?=  
    How to Set Up a Scanning Source c+##!_[9  
                                                                                   wF*9%K'E  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 UhU"[^YO  
    =8Z-ORW51  
    系统构建块-参数耦合 {_Fh3gjb/  
       -6e^`c6{  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion {m_y<  
                                                                                       |[)pQGw  
    系统构建块-失真分析仪 L=I;0Ip9y  
                                                                               79+i4(H  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 {}H/N   
     ~sNBklK  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               H=mFc@fh  
    =tGRy@QV'\  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         8\+DSA  
    u Vo"_c w  
    ,@zw  
     nPjK=o`KR  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: qu;$I'Ul%  
    [|\#cVWs  
    Universal Detector x+[ATZ([  
                                                                                   >Udq{<]#r  
    总结-组件… PE?ICou  
    &<- S-e  
     -U|Z9sia  
    系统观感   5+q dn|9%T  
     'oUTY *  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 FRsp?i K)  
    !Yz CK*av1  
     n8i: /ypB  
    性能评估-点位偏差 equi26jhr  
    jPn.w,=)27  
                                       <s$Jj><  
    性能评估-光斑直径测量                                                       vTC{  
    k+hl6$:Qj%  
    XR$i:kL,,  
    i\x@s>@x}  
    & s:\t L  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 1E0!?kRK  
    7vc4 JO]  
    VirtualLab Fusion技术 =>@ X+4Kb  
              } #&L  
     
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