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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 *F WMn.  
                                             \1d (9jR  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 ~Cbc<[}  
    "7U4'Y:E  
    建模任务 +\x,HsUc"  
    uOKCAqYa  
    系统构建块-扫描源                                                     60P<4  
    FSP+?((  
    How to Set Up a Scanning Source {]*c29b>  
                                                                                   phQU D  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 7Sf bx~48  
    !1rlN8w(qr  
    系统构建块-参数耦合 X1,I  
       WJ$bf(X*  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 2iHUZzz\  
                                                                                       9Q.rMs>qj  
    系统构建块-失真分析仪 09|K>UC)v  
                                                                               D!@Ciw  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 -] LY,M  
     B#exHf8  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               7jxslI&F  
    $:BKzHmg  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         6wPaJbRtaM  
    2SD`OABf#  
    bNm#tmSt  
     8G9s<N}5&u  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: VdPtPq1  
    kd>hhiz|  
    Universal Detector !6n_}I-W  
                                                                                   >i_ 2OV  
    总结-组件… "C }b%aO:  
    !-ok"k0,u  
     ^tqzq0  
    系统观感   Olt `:;j-  
     bG7O  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。  >d*iD  
    <x@}01 ~  
     |_LU~7./  
    性能评估-点位偏差 Q8C_9r/:N>  
    T{Gj+7bQ~  
                                       J\/cCW-rF  
    性能评估-光斑直径测量                                                       ccNd'2P  
    b $'FvZbk  
    D~biKrg?=  
    L E&RY[  
    yGI;ye'U  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 qJ;jfh!  
    vY4\59]P  
    VirtualLab Fusion技术 .Fs7z7?Y  
             ?b*s. ^  
     
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