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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 BDxrSq,H  
                                             pOD|  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 KgVit+4u/  
    b$[_(QUw  
    建模任务 I*@\pc}  
    QRdNi 1&M  
    系统构建块-扫描源                                                     l9 )iLOj  
    C=@BkneQ  
    How to Set Up a Scanning Source >1a- }>r  
                                                                                   IGT~@);  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 c a_N76o!  
    0~A<AF*t  
    系统构建块-参数耦合 *jGB/ y  
       x@2rfs  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion J"|)?$d]z  
                                                                                       64s+ 0}  
    系统构建块-失真分析仪 twt Bt L  
                                                                               n<8$_?-  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 Xn"n5 =M  
     n0U^gsD4J  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               swG^L$r`  
    8_>\A= E  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         K%qunjv  
    riZFcVsB  
    Q'JEDH\  
     yt>Pf <AI  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: zJI/j _~W  
    /`\-.S9  
    Universal Detector o}v # Df  
                                                                                   _4o2AS:j  
    总结-组件… b-]E -$Uz  
    oF.Fg<p (  
     vIU+ZdBw  
    系统观感   h\'GL(?DBI  
     FO_nS   
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 #lltXqvD?  
    rZu_"bcJ  
     k}ps-w6:  
    性能评估-点位偏差 ?*}76u  
    V==' 7n  
                                       (m)%5*:  
    性能评估-光斑直径测量                                                       eN/s W!:P|  
    c/;t.+g  
    M42Zpb].  
    X$ /3  
    kjaz{&P  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 H4l:L(!D  
    z$7YC49^  
    VirtualLab Fusion技术 rctn0*MP  
             qqw6p j  
     
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