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摘要 +v|]RgyW)
 o,=dm@j F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 :-1
i1d +rOd0? 建模任务 {8J+ Y}
 9AZp vQ
系统构建块-扫描源 <z-+{-?z~  ~*ll,<L: How to Set Up a Scanning Source SR { KL#NC }%k 3 系统构建块-透镜系统组件 }e&Z"H |  -Deqlaf( 系统构建块-参数耦合 O.OSLezTQ  Y
f;Slps
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion UoKXo *W2
IHNl `\Le 系统构建块-失真分析仪 O `a4
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 of?'Fr U 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 VY'1
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 A \~tr 虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 0o-KjX?kP g; G.uF&
通用探测器和探测器附加组件 4$jb-Aw kY`L[1G$
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 (Zv/(SE5% Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: Y'2 |G Jc2 CqbPUcK Universal Detector $qh?$a F<A[S " 总结-组件… Ra^GbT|Z
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 [f\TnXq24 系统观感 p>GxS E)
':_1z5 通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 ayoqitXD?
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 o-%DL*^5 性能评估-点位偏差 tJ!s/|u(
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 e-e*% 性能评估-光斑直径测量
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此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 <hSrx7o
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VirtualLab Fusion技术 W:
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