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摘要 wqlcLIJPR
 _)KY F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 Y5ogi ) s) Cpi 建模任务 6ORY`Pe7P|
 Mlv<r=E
系统构建块-扫描源 g4:VR:o  M[a T2A How to Set Up a Scanning Source 2wx!Lpr<i_ FUaI2 系统构建块-透镜系统组件 #>8T*B  u1 2zRdn 系统构建块-参数耦合 )n7|?@ 5U  J3B6X 8P'
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion lD W!Fg
i`prv& 系统构建块-失真分析仪 aSOU#Csx
 c 9rVgLqn! 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 -uWKY6
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 cYGRy,'gH 虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 8HMo.*Ti9 N-[n \}'
通用探测器和探测器附加组件 - $U@By<SJ ]o-Fi$h!
 )`w=qCn1 Y
 Ko#4z%Yq Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: JE0? @PI$ /ZHO>LNN| Universal Detector $v]T8|h ;}LJh8_ 总结-组件… ezp<@'0ZT
 Bi]D{m9
 3&es]1b 系统观感 /H')~!Yz
Fse['O~ 通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 >) :m- I
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 Hk,lX r 性能评估-点位偏差 xw ?CMA
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 o]A XT8 性能评估-光斑直径测量 Nz~(+pVWg5 [*Q-nZ/L  Rho5s@N 7
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此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 N[pZIH5ho=
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VirtualLab Fusion技术 ,'~ #Ch
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