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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 ^C1LQ Z  
                                             57EX#:a  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 e5 L_<V^Jo  
    fLqjBG]<  
    建模任务 R~T}  
    l _%<U  
    系统构建块-扫描源                                                     NLK1IH#  
    =Y81h-  
    How to Set Up a Scanning Source ch :rAx  
                                                                                   |Q%P4S"B?  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 Ak,JPz T  
    YLi6G Y  
    系统构建块-参数耦合 icIn>i<m  
       >h)kbsSU0z  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion nj:w1E/R  
                                                                                       `BKb60  
    系统构建块-失真分析仪 DqT<bNR1*;  
                                                                               NLY=o@<  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 Yj1|]i5b  
     ""jW'%wR  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               A5J41yH  
    S4`X^a}pY  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         +/Y2\ s  
    "WuUMt  
    iuGwc086  
     Q5T3  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: lYCvYe  
    ! #_2 ![  
    Universal Detector +T@BOYhgq  
                                                                                   T>'O[=UWh  
    总结-组件… .FHk1~\%z^  
    <O 0Q]`i  
     $QwpoVp`~  
    系统观感   Mq)]2>"v  
     WM?-BIlT=  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 !e$ZOYe  
    $uDgBZA\  
     X':FFD4h  
    性能评估-点位偏差  e|!'  
    lQ`=PFh  
                                       !(F?`([A  
    性能评估-光斑直径测量                                                       zUL,~u  
    M,_ $s,  
    qWheoyAB  
    sFz0:SqhE  
    x C&IR*  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 qsp.`9!  
    IZj`*M%3  
    VirtualLab Fusion技术 h;jO7+W  
             2P^|juc)sU  
     
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