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摘要 ?U%QG5/>
E{`kaWmC&~ F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 -^K"ZP1 A mvEf 建模任务 )}g(b=
&]g}u5J!= 系统构建块-扫描源 %fc!2E9| tankR9(o How to Set Up a Scanning Source jGJLSEe_ [I0:=yJ+ 系统构建块-透镜系统组件 \?w2a$?6w 1!ii;s^e 系统构建块-参数耦合 VQ"hUX8 Sw:7pByjI Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion R}'bP wHzEMwY_ 系统构建块-失真分析仪 6rh5h:
@u.58H& }R 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 ) dn(G@5
cq5jP Z} 虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 %huRsQ%} pqk?|BvpK_ 通用探测器和探测器附加组件 Q8C_9r/:N> T{Gj+7bQ~
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T,7Y7c/3V Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: , qA(\[ yGI;ye'U Universal Detector 1Y/s%L Diy8gt 总结-组件… zxJ]"N
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U [*FCD!~ 系统观感 ]"J~:{, d kEJj=wx 通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 lAi6sPG)0 gaQdG=G8$
9Kpa>< 性能评估-点位偏差 ,eOB(?Ku =V-A@_^!c
t'?.8}?)I& 性能评估-光斑直径测量 Mx&&0#;r 0M*Z'n
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3cFf#a # 此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 q_TRq:&. FQm`~rA~zt VirtualLab Fusion技术 9`wZz~hL"
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