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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 ?U%QG5/>  
                                        
    E{`kaWmC&~  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 -^K"ZP1  
    AmvEf  
    建模任务 )}g(b=  
    &]g}u5J!=  
    系统构建块-扫描源                                                
    %fc !2E9|  
    tankR9(o  
    How to Set Up a Scanning Source jGJLSEe_  
                                                                                   [I0:=yJ+  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 \?w2a$?6w  
    1!ii;s^e  
    系统构建块-参数耦合 VQ"hUX8  
       Sw:7pByjI  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion R}'bP  
                                                                                  
    wHzEMwY_  
    系统构建块-失真分析仪 6 rh5h:  
                                                                          
    @u.58H& }R  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 ) dn(G@5  
    cq5jPZ}  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               %huRsQ %}  
    pqk?|BvpK_  
    通用探测器和探测器附加组件                                                    
    Q8C_9r/:N>  
    T{Gj+7bQ~  
    |^0XYBxQ  
    T,7Y7c/3V  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: ,qA(\[  
    yGI;ye'U  
    Universal Detector 1Y/s%L  
                                                                                   Diy8gt  
    总结-组件 zxJ]" N  
    BD68$y  
    U [*FCD!~  
    系统观感   ]"J~:{, d  
    kEJj=wx  
    通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 lAi6sPG)0  
    gaQdG=G8$  
    9Kpa><  
    性能评估-点位偏差 ,eOB(?Ku  
    =V-A@_^!c  
                                  
    t'?.8}?)I&  
    性能评估-光斑直径测量                                                       Mx&&0#;r  
    0M*Z'n +  
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    |h-QP#]/  
    3cFf#a#  
    此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 q_TR q:&.  
    FQm`~rA~zt  
    VirtualLab Fusion技术 9`wZz~hL"  
        
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