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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 ^A8'YTl  
                                             W;]*&P[[   
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 +Y!9)~f}7X  
    ,x| 4nk_  
    建模任务 v;S7i>\  
    kL.JrbM"  
    系统构建块-扫描源                                                     ]Dm'J%P0}  
    p @@TOS  
    How to Set Up a Scanning Source `~Eo;'(+^  
                                                                                   *p;Fwj]  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 3~"G(UP  
    r5qp[Ss3F  
    系统构建块-参数耦合 ~X^L3=!vf  
       tT}*%A  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion esH>NH_  
                                                                                       .6%-Il  
    系统构建块-失真分析仪 }/ 6Q3B  
                                                                               5Sd+Cc  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 y4aSf2   
     xrX^";}j  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               \ajy%$;$}  
    a3i4eGT-  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         >Vr+\c  
    :E/]Bjq$;  
    2f1WT g)  
     ^)&d7cSc  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: .P\wE";  
    MXY[t  
    Universal Detector 1hj']#vBu  
                                                                                   j  )6A  
    总结-组件… &g R+D  
    $:V'+s4o  
     `_C4L=q"  
    系统观感   dEU +\NY  
     K_ P08  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 rvZXK<@#+  
    ${^WM}N  
     (J8 (_MF  
    性能评估-点位偏差 ec/1Z8}p  
    !6: kJL}U  
                                       T+7O+X#  
    性能评估-光斑直径测量                                                       =Jfo=`da  
    Fyy)665x/  
    [(U:1&x &  
    k3::5&  
    62~8>71;'  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 )IQa]A  
    ~G.'pyW  
    VirtualLab Fusion技术 5y;texsj[  
             K^j7T[pR  
     
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