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摘要 K)\gbQ|
 /- 4B)mL F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 !z
5d+ M }c5`~ LLK 建模任务 8mLU ~P
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系统构建块-扫描源 ,x.)L=Cx8  1tz .e\ How to Set Up a Scanning Source (r\h dLX Nb/%>3O@ 系统构建块-透镜系统组件 gjLgeyyWC  &:K? -ac 系统构建块-参数耦合 vGT.(:\-,  $Xc<K_Z
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion -V/i%_+Ze
PzDgl6C 系统构建块-失真分析仪 -V<"Ay
 p,Hk"DSs% 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 ~"Ki2'j)^]
 Fsj[J E 虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 3y ,?>- Ps\ ^OJR
通用探测器和探测器附加组件 8:fiO|~% CHI( \DXNs
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 R,1 ,4XT Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: uK5x[m Mw c3@ Universal Detector ?='9YM BG=_i#V 总结-组件… LWV`xCr8R
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 5wX>PJS 系统观感 w,9F riW
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@fc7 通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 Q2?qv NZ
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^4 性能评估-点位偏差 0{F.DDiNT
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 PM7/fv *, 性能评估-光斑直径测量 CV "Y40 55p=veq \  >,3
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此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 f
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VirtualLab Fusion技术 |3m%d2V*hF
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