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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 GuJIN"P]  
                                             %E2C4UbY  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 ,k/<Nv;  
    ]m^ECA$  
    建模任务 NW Pd~l+  
    jbTyM"Y  
    系统构建块-扫描源                                                     F=kiYa}  
     aK9zw  
    How to Set Up a Scanning Source u\UI6/  
                                                                                   .O.fD  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 f<3r;F7  
    (8j@+J   
    系统构建块-参数耦合 0'*'%Iga  
       W{;LI WsZ  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 5wMEp" YHE  
                                                                                       TC'^O0aZ_  
    系统构建块-失真分析仪 9M-/{D^+<  
                                                                               s-xby~  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 . J*2J(T,  
     v y F(k3W  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               h$fC/Juit  
    ]5J*UZ}  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         ,[Z;"wE  
    H\e<fi%Q  
    2E3x=  
     q]t^6m&-  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: .w]S!=h  
    J7rfHhz  
    Universal Detector <8/lHQ^\)  
                                                                                   S8Yh>j8-  
    总结-组件… MMUw+jM4  
    mdHC{sp  
     =").W\,  
    系统观感   5($ '@u  
     Mxe  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 "'"dcA   
    uc;QSVWGy8  
     b; 4;WtBO  
    性能评估-点位偏差 bpe WK&  
    S b3@7^  
                                       6e;.}i  
    性能评估-光斑直径测量                                                       :dzam HbX9  
    <$ Ar*<,6  
    c^8y/wfok  
    }' t*BaU  
    (wIpq<%  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 [VP ~~*b  
    {z}OZHJN  
    VirtualLab Fusion技术 NASRr  
             ysiBru[u  
     
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