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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 $a / jfpV  
                                             j%w}hGW%,  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 ~vL7$-:  
    |[6jf!F  
    建模任务 /NE<?t N  
    k[_)5@2  
    系统构建块-扫描源                                                     TNi4H:\  
    sY|by\-c  
    How to Set Up a Scanning Source ajr);xd  
                                                                                   yT3q~#:  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 *yx5G-#?  
    JXT%@w>I  
    系统构建块-参数耦合 RC[mpR ;2  
       fRcs@yZnS  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion $*k(h|XfwW  
                                                                                       dSdP]50M  
    系统构建块-失真分析仪  5yA1<&z  
                                                                               ^4G%*-   
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 p* '%<3ml  
     Ca2He}r`  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               cA,`!dG2,  
    J&hzr t  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         *|Bu7nwg  
    [ GcH4E9r  
    'R-Ly^:Qd  
     tVUC@M>'  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: >]ghme  
    \zx &5a #  
    Universal Detector y3Z\ Y[  
                                                                                   7O.?I# 76  
    总结-组件… bU3P; a(  
     L- '{   
      c6f=r  
    系统观感   T'W@fif  
     !^Ly#$-X  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 <2.87:  
    ~10>mg  
     `] fud{  
    性能评估-点位偏差 >b1#dEY  
    c4Leh"ry  
                                       9Z[EzKd<~'  
    性能评估-光斑直径测量                                                       }CM</  
    hx.ln6=4  
    Yl$R$u)  
    xs}3=&c(  
    |_h$}~ ;  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 @$*LU:[  
    q,Nhfo(  
    VirtualLab Fusion技术 #F^0uUjq  
             &^7^7:Y=?  
     
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