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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 o01kYBD  
                                        
    l ?Y_~Wuw  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 K|C^l;M6  
    3QI?[R.  
    建模任务 *5sBhx  
    Nf+b" &Zh`  
    系统构建块-扫描源                                                
    4fh^[\  
    zeP}tzQO  
    How to Set Up a Scanning Source @=w<B4 L  
                                                                                   -Z4{;I[Q@  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                  6,1b=2G  
    ]U[X1W+@  
    系统构建块-参数耦合 NT%W;)6m9  
       QU{Ech'  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion ggt DN{t  
                                                                                  
    [=uo1%  
    系统构建块-失真分析仪 )oo~m\`  
                                                                          
     g]*  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 v]2S`ffP  
    oq-<ob  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               GwsY-jf  
    k<w(i k1bi  
    通用探测器和探测器附加组件                                                    
    tg4Y i|5  
    Mv|ykJoz"  
    uBg 8h{>  
    QYXx:nIrg  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: RO\gax  
    L+B?~_*  
    Universal Detector p6EDQwlf  
                                                                                   d "BW/%m|g  
    总结-组件 iK;dU2h  
    g}&hl"j  
    Y9SGRV(  
    系统观感   78n=nHS  
    @J[6,$UVu  
    通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 `Yc _5&"  
    x+? 9C  
    '"pd  
    性能评估-点位偏差 ]!1OH |Ad  
    sKLX[l  
                                  
    hlvt$Jwq  
    性能评估-光斑直径测量                                                       qv 3^5 d  
    hovGQHg  
    wYeB)1.  
    {s,+^7  
    >YW\~T  
    此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 !=Y;h[J.p  
    RnVtZ#SCh  
    VirtualLab Fusion技术 s*M@%_A?  
        
    3HG;!D~m;  
     
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