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摘要 o01kYBD l?Y_~Wuw F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 K|C^l;M6 3QI?[R. 建模任务 *5sBhx Nf+b"&Zh` 系统构建块-扫描源 4fh^[\ zeP}tzQO How to Set Up a Scanning Source @=w<B4L -Z4{;I[Q@ 系统构建块-透镜系统组件 6,1b=2G ]U[X1W+@ 系统构建块-参数耦合 NT%W;)6m9 QU{Ech' Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion ggtDN{t [=uo1% 系统构建块-失真分析仪 )oo~m\` g]* 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 v]2S`ffP oq-<ob 虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 GwsY-jf k<w(i
k1bi 通用探测器和探测器附加组件 tg4Y i|5 Mv|ykJoz" uBg 8h{> QYXx:nIrg Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: RO\gax L+B?~_* Universal Detector p6EDQwlf d
"BW/%m|g 总结-组件… iK;dU2h g}&hl"j Y9SGRV( 系统观感 78n=nHS @J[6,$UVu 通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 `Yc_5&" x+? 9C '"pd 性能评估-点位偏差 ]!1OH
|Ad sKLX [l hlvt$Jwq 性能评估-光斑直径测量 qv
3^5d hovGQHg wYeB)1. {s,+^7 >YW\~T 此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 !=Y;h[J.p RnVtZ#SCh VirtualLab Fusion技术 s*M@%_A? 3HG;!D~m;
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