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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 /Njd[= B  
                                             *{L)dW+:  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 NfjE`  
    FY#C.mL  
    建模任务 R=QZgpR  
    .=s&EEF  
    系统构建块-扫描源                                                     a6uJYhS~  
    >&}%+r\  
    How to Set Up a Scanning Source -w"VK|SGm  
                                                                                   Zcx`SC-0  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 =,6z4" )  
    L6|oyf  
    系统构建块-参数耦合 rR(X9i  
       kZmpu?P  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion {#@W)4)cA  
                                                                                       xD~5UER  
    系统构建块-失真分析仪 8~@c)Z;  
                                                                               @eKec1<  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 -C(crn  
     rE.;g^4p  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               W *),y:  
    ~E2KZm  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         Y,^@P  
    HMh"}I2n  
    3cK I  
     d,B:kE0Y  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: s;01u_  
    U@uGNMKR  
    Universal Detector LnH?dy  
                                                                                   8c9*\S  
    总结-组件… 4NheWM6  
    2fn&#kw/  
     pZqq]mHK  
    系统观感   3z{?_;bR  
     A>o *t=5  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 o$jLzE"  
    QI'Oz{vE  
     EyJJ0  
    性能评估-点位偏差 z[L8$7L  
    <lx+/o  
                                       R{<kW9!  
    性能评估-光斑直径测量                                                       K* LlW@  
    X86O lP)eX  
    -#u=\8  
    r1 !@hT  
    Hq:X{)"  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 `ZYoA t]C~  
    s >7}zU]  
    VirtualLab Fusion技术 gmw|H?]  
             h-q3U%R4}@  
     
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