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摘要 ah+iZ}E%
7Da` F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 o$lM$E: d,n 'n 建模任务 wT8DSq
g~A`N=r;h 系统构建块-扫描源 (jl
D+Y_ ByNn How to Set Up a Scanning Source T <ET
)D7 Hn+~5@. 系统构建块-透镜系统组件 76h ,]xi
J,y[[CdH` 系统构建块-参数耦合 >_"an~Ss orMwAV Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 'Xq|Kf ( V/I<g 系统构建块-失真分析仪 ;P%1j| 7
{:$>t~=D 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 PKg@[<g43
|_aa&v~ 虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 &H/'rd0M !_'ur>iR 通用探测器和探测器附加组件
MC.)2B7 qm8B8&-
U7}yi$WT
/zVOK4BqN+ Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: P%&0]FCx
qwgPk9l Universal Detector XXcl{1Kp!@ ;LSANr& 总结-组件… :hk5 .[
;dZZ;#k%
Hp!-248 S 系统观感 EGU
0)< Q%tXQP .r 通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 o5uph=Q{ EF}\brD1
.p]RKS=(: 性能评估-点位偏差 9oR@UW1 -23w2Qt
`1{ZqRFQ 性能评估-光斑直径测量 3z9d!I^>k n QZwC
`l){!rg8IC VfC <WVYiZ
}DfshZ0QM 此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 *>'V1b4} ipgC RHE VirtualLab Fusion技术 {xB!EQ"
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