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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 ah+iZ}E%  
                                        
    7Da`   
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 o$lM$E:  
    d,n 'n  
    建模任务 wT8DSq  
    g~A`N=r;h  
    系统构建块-扫描源                                                
    (jl D+Y_  
    ByNn  
    How to Set Up a Scanning Source T <ET )D7  
                                                                                   Hn+~5@.  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 76h ,]xi  
    J,y[[CdH`  
    系统构建块-参数耦合 >_"an~Ss  
       orMwAV  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 'Xq| Kf (  
                                                                                  
    V/I<g  
    系统构建块-失真分析仪 ;P%1j|7  
                                                                          
    {:$>t~=D  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 PKg@[<g43  
    |_aa&v~  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               &H/'rd0M  
    !_'ur>iR  
    通用探测器和探测器附加组件                                                    
    MC.) 2B7  
    qm8B8&-  
    U7}yi$WT  
    /zVOK4BqN+  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: P%&0]FCx  
    qwgPk9l  
    Universal Detector XXcl{1Kp!@  
                                                                                   ;LSANr&  
    总结-组件 :hk5 .[  
    ;dZZ;#k%  
    Hp!-248S  
    系统观感   E GU 0)<  
    Q%tXQP.r  
    通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 o 5uph=Q{  
    EF}\brD1  
    .p]RKS=(:  
    性能评估-点位偏差 9oR@U W1  
    -23w2Qt  
                                  
    `1{ZqRFQ  
    性能评估-光斑直径测量                                                       3z9d!I^>k  
    n QZwC  
    `l){!rg8IC  
    VfC<WVYiZ  
    }DfshZ0QM  
    此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 *>'V1b4}  
    ipgC RHE  
    VirtualLab Fusion技术 {xB!EQ"  
        
    '+!1Y o'G  
     
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