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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 BT^Im=A  
                                             9]L4`.HM  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 {^@vCBE+  
    oA*88c+{f  
    建模任务 >qy$W4  
    #Zg pm"MW  
    系统构建块-扫描源                                                     r1&eA%eh  
    og?L 9  
    How to Set Up a Scanning Source g#iRkz%l)&  
                                                                                   P<CPA7K  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 1rIL[(r4  
    ^/ff)'.J  
    系统构建块-参数耦合 :u,Ji9 u  
       6Z@?W  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion tjLG$M1z`  
                                                                                       ms&6N']  
    系统构建块-失真分析仪 **CGkL  
                                                                               A I v  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 kmg/hNtN  
     W5uC5C*,l  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               "]bOpk T  
    YJ !jdE}  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         *x/H   
    (GoxiX l  
    yRivf.wH  
     ~}_S]^br  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: U6F7dT  
    2"QcjFW%  
    Universal Detector l(pP*2  
                                                                                   (sW$2a  
    总结-组件… 1j]vJ4R_\  
    8]i7 wq#=  
     #~o<9O  
    系统观感   qL?$u07<9'  
     Cb6K!5[q]  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 Gb4p "3  
    L0R$T=~%)  
     )43z(:<  
    性能评估-点位偏差 L@S1C=-/  
    !<<wI'8  
                                       gDjAnz#  
    性能评估-光斑直径测量                                                       6"9(ce KX  
    gL &)l!2Y  
    IC6'>2'=T  
    a`D`v5G t  
    u"F{cA!B  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 ZkBWVZb  
    3fUiYI|&7  
    VirtualLab Fusion技术 U J uz  
             +Mb}70^  
     
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