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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 Dr 1F|[  
                                             V4-=Ni]k  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 c|R/,/  
    QdTe!f|  
    建模任务 x.yL'J\)  
    Kzb@JBIF  
    系统构建块-扫描源                                                     ["F,|e{y$  
    W'jXIO  
    How to Set Up a Scanning Source E8i:ER $$7  
                                                                                   Wa(S20y F  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 /4?`F} 7)  
    Q7r,5w& cm  
    系统构建块-参数耦合 FT;JYkO  
       k~#|8eLv  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion :/NN =3e  
                                                                                       3~Ln:4[6ID  
    系统构建块-失真分析仪 `k&K"jA7$  
                                                                               qJA.+q.e$e  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 sJoi fl 7  
     !cb#fl  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               J7GsNFL  
    gcxk 'd  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         F 29AjW86  
    )0mDN.  
    !P$xh  
     Xt =bc  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: At(9)6n8  
    Y2-bU 7mo  
    Universal Detector h*UUtLi%WU  
                                                                                   c0&'rxi( B  
    总结-组件… 7Ca\ (82  
    r6JkoP Mh  
     ts<dUO  
    系统观感   9/Dt:R3QU  
     fZ}Y(TG/  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 5V~p@vCx  
    Zk UuniO  
     ok[=1gA#h  
    性能评估-点位偏差 1fv~r@6s  
    suFOc  
                                       3|Sy'J0'K  
    性能评估-光斑直径测量                                                       #<Nvy9  
    A.9'pi'[9Q  
    %uVJL z  
    ==1/N{{R  
    I&8SP$S>J  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 *\KvcRMGUa  
    %:KV2GP  
    VirtualLab Fusion技术 rs Uw(K^  
             rJZs 5g`  
     
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