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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 f>s3Q\+  
                                             Om0Z\GP=  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 T\:Vu{|  
    !>TVDN>  
    建模任务 Dkay k  
    [M65T@v  
    系统构建块-扫描源                                                     U; JZN  
    b/:9^&z  
    How to Set Up a Scanning Source #Q.A)5_  
                                                                                   D.kLx@Z  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 ^GQ+,0Yy  
    s]#D;i8  
    系统构建块-参数耦合 6%sX<)n%]  
       iOkRBi  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 6{B$_Usg  
                                                                                       [w' Y3U\ i  
    系统构建块-失真分析仪 Obgn?TAVX  
                                                                               (n;#Z,  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 #K.OJJaG  
     @Hw#O33/'  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               _Jx.?8  
    _<yGen-  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         mHrt)0\_  
    7m~.V[l1  
    yw `w6Z3K  
     wHq*)7#h#  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: .K]n<+zW  
    8iaP(*J  
    Universal Detector es 8%JTi  
                                                                                   :V*c9,>ZO  
    总结-组件… x ok8  
    f]W$4f {  
     9gVu:o 1/  
    系统观感   tGDsZ;3Yr  
     V*5 ~A [r  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 btoye \ rl  
    FpN>T  
     N9QHX  
    性能评估-点位偏差 o *)>aw  
    1 41@$mMzE  
                                       P&@ 2DI3m  
    性能评估-光斑直径测量                                                       1vk& ;  
    %"B+;{y(5  
    A.vWGBR  
    HJWk%t<  
    M6 l S2  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 qIIc>By(\"  
    C ioM!D  
    VirtualLab Fusion技术 ~3bH2,{L[  
             r#hA kOw  
     
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