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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 fBHkLRFH  
                                             pe\Txg6  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 MV Hz$hyB  
    Y&oP>n! ei  
    建模任务 R59e&   
    R88(dEK  
    系统构建块-扫描源                                                     ?2J S&i  
    zAKq7'_=  
    How to Set Up a Scanning Source u5u0*c  
                                                                                   XR{5]lKt_  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 dNR7e   
    I>A^5nk  
    系统构建块-参数耦合 A6@+gP<  
       WE+sFaKq-  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion K*([9VZ  
                                                                                       o|rGy 5  
    系统构建块-失真分析仪 5W?yj>JR  
                                                                               &4mfzpK  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 {B'Gm]4  
     btUUZ"q<  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               NYSj^k;^(z  
    +Z 9 3`  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         wc<2Uc  
    W _PM!>8`  
    (hhdbf  
     X";QA":  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: k7z(Gbzu   
    "-0pz\a  
    Universal Detector 0Zc*YdH  
                                                                                   N}8HK^n*  
    总结-组件… syWv'Y[k?  
    a z:~{ f*-  
     oiTMP`Y  
    系统观感   ?`vM#)  
     1jZDw~  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 "}]GQt< F  
    /{eih]`x(  
     Z-? Iip{  
    性能评估-点位偏差 ZaukMEq  
    9E->;0-  
                                       C }h<ldlY  
    性能评估-光斑直径测量                                                       D+*uKldS;  
    *sc0,'0  
    k$UzBxR  
    Xa?6#  
    "6I-]:K-  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 !T#8N7J>  
    Rk437vQD,  
    VirtualLab Fusion技术 (/9.+V_  
             %#S"~)  
     
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