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摘要 5 `1
 97liSd F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 9#9 UzKX# jPSVVOG 建模任务 }=X: F1S
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系统构建块-扫描源 >YI Vi4'' 
3\W/V BJJ How to Set Up a Scanning Source ?^VPO% ^PEw #.WG 系统构建块-透镜系统组件 .B]l@E-u  ||hQ*X<m> 系统构建块-参数耦合 prZ
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Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion +/[M
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+q&Hj|;8r 系统构建块-失真分析仪 )Qb,zS6
 M\{n+r -m 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。
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 [wQ48\^ 虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 '=0}2sF> l cl|o3yQ
通用探测器和探测器附加组件 3(c-o0M 'xH^ksb "
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 ^m z 9sV Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: %u!=<yn' ET .jjV Universal Detector 6x^$W ]R f$dPDbZQ 总结-组件… DFMpU.BN W
 TAXsL&Tz>
 ]FCP|Jz 系统观感 $z=%e#(!I
5{'hsC 通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 AJ7w_'u=@
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 )R7Sh51P 性能评估-点位偏差 AM- bs^
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 `#$}P;W 性能评估-光斑直径测量 Z1 Ne p ! vIpL8B86a  ~/G)z?+E
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此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 LwB1~fF
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VirtualLab Fusion技术 9 w-\K]
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