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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 Jd1eOeS  
                                             `{F8#    
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 Ow/ /#:  
    n{Jvx>);  
    建模任务 P; hjr;  
    &xH>U*c  
    系统构建块-扫描源                                                     X,O&X  
    t47 f$gq  
    How to Set Up a Scanning Source ]}>GUXe)^  
                                                                                   v.r$]O  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 5I T'u3V  
    _z,/!>J  
    系统构建块-参数耦合 ^N Et{]x  
       w^R5/#F_r  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion J9poqp@`MG  
                                                                                       9IMRWtZWT  
    系统构建块-失真分析仪 UfcM2OmbK  
                                                                               ;1{S"UY  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 IA8kq =W  
     z_JZx]*/  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               JEJ] '3  
    wZfR>|f  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         &e,xN;  
    >Cd%tIie*  
    pVbX#3  
     G-"#3{~2  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: > )#*}JI  
    /"iYEr%_  
    Universal Detector A.WJ#1i}E  
                                                                                   9Eg'=YJ  
    总结-组件… /#>?wy<s ~  
    3%<ia$  
     p' /$)klt  
    系统观感   |":^3  
     -pqShDar|  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 >-)i_C2  
    >b{%j8u M  
     ,3fw"P$  
    性能评估-点位偏差 HCHC~FNd  
    d54>nycU~N  
                                       L]HY*e  
    性能评估-光斑直径测量                                                       2d$hgR#v  
    I[[rVts  
    lfj>]om$  
    -QZped;?*  
    gvy%`SSW  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 [xI@)5Xk  
    (#Y2H  
    VirtualLab Fusion技术 ZB ~D_S  
             $fn Fi|-  
     
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