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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 &n#yxv4  
                                             Z/!awf>  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 luyu7`  
    y0ObcP.MA  
    建模任务 ,7k-LAA  
    hg#O_4D  
    系统构建块-扫描源                                                     QPh3(K1w^  
    >< >%;HZ  
    How to Set Up a Scanning Source |)C *i  
                                                                                   TI\xCIH  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 2i;ox*SfpU  
    cA|vH^:  
    系统构建块-参数耦合 q VI0?B x  
       JZ~wacDd  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion aEh9 za  
                                                                                       N3*1,/,l .  
    系统构建块-失真分析仪 4T; <`{]  
                                                                               WUo\jm[yr  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 ,,+4d :8$  
     -|f0;Fl  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               k#u)+e.'  
    t1"#L_<e  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         ;E[Q/ tr:w  
    /nuz_y\J  
    6y1\ar(A  
     RjTGm=1w  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: f8aY6o"i  
    z6rT<~xZtu  
    Universal Detector LkP :l  
                                                                                   U*E)y7MY  
    总结-组件… 2  
    DW78SoyedZ  
     >T c\~l  
    系统观感   j;7E+Yp  
     s@5~Hy eI  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 {7c'%e  
    YYPJ (o\  
     m{?f,Q=u@  
    性能评估-点位偏差 M8<Vd1-5  
    ?w'86^_z  
                                       U%q6n"[ Cr  
    性能评估-光斑直径测量                                                       |2@*?o"ll  
    AO]cnh C  
    -W<1BJE  
    %=Z/Frd  
    CfSP*g0rW  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 ;b~\ [  
    rUmP_  
    VirtualLab Fusion技术 \q4r/SbgW  
             c.b| RM0;  
     
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