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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 >T [Y>]  
                                             B!quj!A  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 zJ8T.+qJ  
    1:T"jsWw  
    建模任务 wo(O+L/w  
    |-/@3gPO  
    系统构建块-扫描源                                                      jMI30  
    Fng  
    How to Set Up a Scanning Source {*hFG:u  
                                                                                   ]-#/wC[$l=  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 _ti^i\8~  
    }eZ \~2  
    系统构建块-参数耦合 C "@>NC_  
       OMjPC_  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion b+whZtNk7  
                                                                                       .0U[n t6  
    系统构建块-失真分析仪 z@19gD#8  
                                                                               /K!f3o+  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 (Lz|o!>  
     *< fJgc"3  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               kP('X/  
    FG71<}C[K  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         Wy6a4oY  
    q$v0sTk0Y  
    #huh!Mn  
     \+U;$.)3  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: 4,QA {v  
    V:5aq.o!  
    Universal Detector |p*cI @  
                                                                                   p8.JJt^  
    总结-组件… 9 {SzE /[  
    OC,yLQ  
     n'pJl  
    系统观感   _[&.`jTFn  
     >HwVP.~HN  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 Snmv  
    pg,JYn  
     PK&&Vu2M  
    性能评估-点位偏差 UjJ&P)  
    #!TlalV  
                                       $1s>efP-  
    性能评估-光斑直径测量                                                       ~n0Exw(  
    :si&A;k  
    M54czo=l  
    [\Aws^fD_  
    vYLspZ;S  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 +B+cN[d  
    jc>B^mqx  
    VirtualLab Fusion技术 /: \27n  
             7}c[GC)F  
     
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