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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 \Hdsy="Dnh  
                                             KK6n"&TVa  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 4Us_Z{.  
    [(gXjt-  
    建模任务 ({Pjz;xM  
    ^,,}2dsb>  
    系统构建块-扫描源                                                     C$0g2X  
    !JyY&D~`  
    How to Set Up a Scanning Source lj UdsUw  
                                                                                   Le:(;:eL>t  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 h[&"KA  
    TDUY&1[  
    系统构建块-参数耦合 +VNk#Z i  
       *AYq :n6  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion O=;jDWE  
                                                                                       tU5uL.( O  
    系统构建块-失真分析仪 6i2%EC9  
                                                                               s*s~yH6  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 *yaS^k\  
     1`YU9?  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               JXM]tV  
    yIrJaS-  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         xDGS`o_w_  
    iaCV8`&q%  
    a&V;^ /  
     fx(h fz  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: !?(7g2NP)  
    TS#[[^!S  
    Universal Detector _'LZf=V0  
                                                                                   m3TR}=n  
    总结-组件… NC#F:M;b  
    d&[RfZ`  
     h%krA<G9  
    系统观感   LP=j/qf|  
     fT|A^  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 W*t] d  
    >WIc"y.  
     Vv45w#w;  
    性能评估-点位偏差 mL=d E Q  
    G$>QH-p  
                                       REU,"  
    性能评估-光斑直径测量                                                       ~/]]H;;^u  
    o`,~#P|  
    0z8?6~M;<  
    oojl"j4  
    0Gc@AG{  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 ;~EQS.Qp  
    D]]wJQU2  
    VirtualLab Fusion技术 @kqxN\DE  
             !: ^q_q4  
     
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