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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 efm<bJB2  
                                             UNHHzTsr?  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 MR: {Ps&,  
    p5ihuV,   
    建模任务 \U8Vsx1tl  
    3._fbAN%e  
    系统构建块-扫描源                                                     Z]CH8GS~<  
    UNae&Zir  
    How to Set Up a Scanning Source iddT.   
                                                                                   jHzb,&  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 G@2M&0'  
    BGS6uV4^>  
    系统构建块-参数耦合 L|Iq#QX|  
       I_Qnq4Sk(  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion x~.U,,1  
                                                                                       lw{|~m5`  
    系统构建块-失真分析仪 7y3; F7V  
                                                                               z~al h?H  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 d29HEu  
     ,# 6\:i  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               3& $E  
    h9mR+ng*oD  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         AseY.0  
    cE[lB08  
    z m%\L/BF  
     W\ckt]'  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: iD~s,  
    2I  
    Universal Detector g& Rk}/F  
                                                                                   "Y+`U  
    总结-组件… ObUQB+  
    Q2o:wXvj  
     N C& 1l]  
    系统观感   jn'8F$GU  
     <|@9]>z  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 bhRpYP%x  
    SzDi= lY  
     e0P1FD<@  
    性能评估-点位偏差 *4bV8T>0Z  
    l`k3!EZDS  
                                       //(c 1/s  
    性能评估-光斑直径测量                                                       D+U^ pl-  
    ME.LS2'n  
    9b0Z Ey{  
    AWzpk }\  
    0IZV4{  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 K(?7E6\vO  
    =J,:j[D(  
    VirtualLab Fusion技术 Z=xrj E  
             f"Z2&Y@  
     
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