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摘要 =K#D^c~
qyMR0ai- F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 rj"oz" <C\snB 建模任务 wK@k}d
wVCZ=\L} 系统构建块-扫描源 .bbl-a/
3 `gq@LP"o How to Set Up a Scanning Source ugg08 am! 9)p VDS 系统构建块-透镜系统组件 ,R=Mr}@u %&bO+$H3 系统构建块-参数耦合 wy&s~lpV,7 =iy%;>I` Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion ^9eJ)12pK =!_e(J 系统构建块-失真分析仪 tk4~ 8
oB8u[! 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 wm|{@z
+*[lp@zU{ 虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 U/E M(y E1:{5F5/ 通用探测器和探测器附加组件 5haJPWG|' ;5 cg<~t
79<{cexP
[QA@XBy6 Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: xZt] s3? )sG`sET]`f Universal Detector Z^9;sb,x NKd!i09` 总结-组件… *M;!{)m?
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A?8f 6 系统观感 WE\912j ]ERPWW;^ 通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 O-6848iCX P6*IR|
]V J$;v'{[ 性能评估-点位偏差 17[7)M88 9mkt.>$
} pE<P;\]k 性能评估-光斑直径测量 )r-t$ L AQ 3n=Lr $-Q,@Bztq t_c;4iE
EY;C5P4 此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 {E!ie{~ iZGc'y VirtualLab Fusion技术 /g2( <
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