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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 yzyK$WN\[3  
                                             %kV #UzL  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 8 g3?@i  
    m 8P`n  
    建模任务 t:tIzFNv  
    XM:\N$tg  
    系统构建块-扫描源                                                     v=E(U4v9e  
    7~nuFJaTI  
    How to Set Up a Scanning Source Mo[yRRS#  
                                                                                   0!q@b  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 rWip[>^  
    M)sAMfuUw  
    系统构建块-参数耦合 SF[}s uL  
       H ~lvUHN  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion I$oqFF|D  
                                                                                       =8Gpov1!V~  
    系统构建块-失真分析仪 HEe_K!_  
                                                                               Eb9n6Fg  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 `5MK(K :  
     |_%q@EID  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               Z8\/Fb  
    ria.MCe\!  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         uevhW  
    yG,uD!N]|  
    jh/aK_Q,w  
     +RyV"&v  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: #:tC^7qk  
    &|fWtl;43  
    Universal Detector O@`KG ZEPY  
                                                                                   j-7aJj%  
    总结-组件… QQ./!   
    MCl-er"]D  
     xtzkgb,0[  
    系统观感   & DhdB0Hjf  
     x,TnYqT^  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 !twYjOryH[  
    Ceew~n{  
     G k:k px  
    性能评估-点位偏差 UZJ#/x5F  
    |*N;R+b  
                                       Jo:S *D  
    性能评估-光斑直径测量                                                       '8;'V%[+  
    fxc?+<P  
    Nu@dMG<5  
    W;|%)D)y  
    4X5KrecNr  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 !EGpI@  
    DY1"t7 9E  
    VirtualLab Fusion技术 xpBQ(6Y  
             ZNJ<@K-  
     
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