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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 `Z0#IeX=  
                                             K r&HT,>B  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 AyMMr_q  
    ,fwN_+5  
    建模任务 r:Xui-  
    TBYRY)~f  
    系统构建块-扫描源                                                     +}@HtjM  
    >_$DKY>$`  
    How to Set Up a Scanning Source RT)*H>|  
                                                                                   nUvxO `2  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 ( U |[C*  
    {^#62Y  
    系统构建块-参数耦合 <j.bG 7  
       X|7Y|0o  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion )5j%."  
                                                                                       WeTsva+  
    系统构建块-失真分析仪 rE bC_<  
                                                                               QpPJ99B|  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 mu/O\'5  
     ?Q]{d'g(sx  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               }I'g@Pw9[  
    MD ,}-m  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         GiN\nu<!  
    DT@6Q.  
    RYaf{i`  
     T }X#I'Z  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: B;?"R  
    3~4e\xL  
    Universal Detector E VBB:*q6  
                                                                                    wNW9xmS  
    总结-组件… |Y!#`  
    Ogf myYMtc  
     2Ek6YNx  
    系统观感   Eq9TJt'3y  
     x aWmwsym  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 _n(NPFV  
    Z2WAVSw  
     hp}J_/+4n  
    性能评估-点位偏差 9(Vq@.;Z`j  
    92GO.xAD?  
                                       >yn%.Uoh@  
    性能评估-光斑直径测量                                                       |Q^Z I  
    +'?p $@d  
    ]+W+8)f 1M  
    ;PJWd|3  
    `av8|;  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 RR><so%  
    ZN|DR|c UY  
    VirtualLab Fusion技术 Z xLjh  
             d(w $! $"h  
     
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