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摘要 {7 $c8 i
 8S%52W| F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 [21 =5S OlAs'TE^ 建模任务 ,=tD8@a<
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系统构建块-扫描源 "ul {d(K3  2ggdWg7z How to Set Up a Scanning Source IqC]! H0 29!q!g | 系统构建块-透镜系统组件 D$bIo "  hvA^n@nr 系统构建块-参数耦合 <z]cyXv/  \<y`!"c
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion pcYG~pZ9
>iD )eB 系统构建块-失真分析仪 : y5<go8e
 %;e /7`>Ma 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 %1O;fQL
 O) WC W<p 虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 #tZ4N7 >)spqu]
通用探测器和探测器附加组件 4T!+D T-5nB>)
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 cJ1#ge%4 Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: :|Ad:fEs um4yF*3b9 Universal Detector D+] a.& {p bty/ 总结-组件… } w
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 x9;gT&@H 系统观感 7Garnd b
`t_W2y 通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 .2>p 3|F
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 4W3\P9p= 性能评估-点位偏差 @1DX
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 7N:Y?Hi\ 性能评估-光斑直径测量 gF[ z fDm |4T !&[r  TiYnc3Bz}J
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此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 PI `jExL
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VirtualLab Fusion技术 )yTm.F
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