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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 CZv.$H"lW  
                                             .Ya]N+r*  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 #Yi,EwD  
    RG|]Kt8  
    建模任务 EO$_]0yI;_  
    $:w4_X5T  
    系统构建块-扫描源                                                     *yOpMxE  
    =YkJS%)M)  
    How to Set Up a Scanning Source a? K=  
                                                                                   _, /m  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 ,#rl"  
    *xXa4HB  
    系统构建块-参数耦合 7%L%dyN  
       Oz!#);v  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion w}^z1n  
                                                                                       x F7C1g(  
    系统构建块-失真分析仪 9'C kV[  
                                                                               kPF[E5  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 :)X?ML?  
     ;LNFPo   
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               #\*ODMk$4|  
    /rN%y  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         C,+6g/{  
    4(Gs$QkSo|  
    1$e z}k,  
     ]0.? 1se  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: NJSzOL_  
    {X<mr~  
    Universal Detector r 11:T3  
                                                                                   B5pM cw  
    总结-组件… 6?Ul)'  
    n}PK0  
     |ZW%+AQ|  
    系统观感   u{xjFx-  
     V*xT5TljS-  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 nw[DI %Tp  
    aW]!$  
     ,A9pj k'  
    性能评估-点位偏差 IO~d.Ra  
    zd AqGQfc  
                                       I <`9ANe  
    性能评估-光斑直径测量                                                       G=a.Wff  
    2j8^Z  
    $Z(fPKRN/  
    Oi+(`  
    )[Bwr bn  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 rXXIpQRi$S  
    aG;6^$H~  
    VirtualLab Fusion技术 ]uO 8  
             Vd^_4uqnV  
     
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