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摘要 @~`:sa+H
 D@`"99z F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 TJz}
8-#t /H :Bu 建模任务 `2@f=$B
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系统构建块-扫描源 c<imqDf  a_k~z3wG How to Set Up a Scanning Source ?xb2jZ/0X V( 3rTDg 系统构建块-透镜系统组件 j:xm>X'  pzco f#2 系统构建块-参数耦合 # #/ l  n [
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion lcuqzX{7
dW#?{n-H< 系统构建块-失真分析仪 6yhRc vJ}
 LqoH] AcN 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 15"[MX A
 aIklAj)= 虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 xZ>@wBQ e)A{
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通用探测器和探测器附加组件 t[X,m]SX r,cK#!<%
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 BaOPtBYA: Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: hXQo>t-$ 0{sYD*gK] Universal Detector u Av'%/ yvV ]|B@sO 总结-组件… >on' y+
 Zie t-@}
 MFs W 系统观感 f^ 6da6Z
MTeCmFe0; 通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 tnFhL&
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 I8L oXY 性能评估-点位偏差 f}{Oj-:"CC
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 ?CZ*MMV 性能评估-光斑直径测量 TPWqiA?3Cp "Sd2VSLg  }R)A%FKi@
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此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 6|ENDd[
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VirtualLab Fusion技术 O%rt7qV"g2
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