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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 _VeZ lk7 k  
                                             p~T)Af<(  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 Ol,Tw=?  
    | %Dh  
    建模任务 >k6RmN  
    ^<0azza/(  
    系统构建块-扫描源                                                     \X=?+| 9  
    ; 7`y##  
    How to Set Up a Scanning Source #1:&uC1vj  
                                                                                   6$}hb|j  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 o;+J3\  
    @ (UacFO  
    系统构建块-参数耦合  )"im|9  
       S$!)Uc\)A  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion !H`! KBW  
                                                                                       #6[7q6{ 4  
    系统构建块-失真分析仪 !N4?>[E  
                                                                               4uW}.7R'  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 =R08B)yR  
     K<HF!YU#I2  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               A9_)}  
    ]%yph3C  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         oC]|ARgQk|  
    pPUv8, %  
    N7=L^]  
     T@[(FVA N  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: 2=3pV!)4}  
    Fm@G@W7,m  
    Universal Detector "y_A xOH  
                                                                                   MtYi8"+<e.  
    总结-组件… QGtKu:c.81  
    C3Mr)  
     uTN mt]  
    系统观感   U"} ml  
     [p%@ pV  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 *(PQaXx4  
    6vVx>hFJ47  
     }MKm>N  
    性能评估-点位偏差 T{1Z(M+  
    6{rH|Z  
                                       %4:tRF  
    性能评估-光斑直径测量                                                       M@e&uz!Rx  
    CD\k.  
    gl/n*s#r_  
    2QUZAV\ Y  
     '&/"_  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 o(iN}.c  
    Xg |_  
    VirtualLab Fusion技术 Jsee8^_~  
             d($f8{~W  
     
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