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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 F8=6!Qj  
                                             k~q[qKb8y:  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 \/$v@5  
    3aDma/  
    建模任务 .4^Paxz  
    mYy3KqYu  
    系统构建块-扫描源                                                     '.dW>7  
    =Wjm_Rvk9  
    How to Set Up a Scanning Source p[/n[@<8=  
                                                                                   f a\cLC  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 yqBu7E$X  
    FcWu#}.p}  
    系统构建块-参数耦合 qkBnEPWZy  
       QWxQD'L'  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 6g.@I!j E  
                                                                                       CY 7REF  
    系统构建块-失真分析仪 kh5V&%>?  
                                                                               A{c6XQR~z  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 :qT>m  
     P,%|(qB  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               PAc~p8S  
    "Km`B1f`  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         h5Z\9`f[  
    !PQRlgcG  
    u(~s$ENl  
     Ec[:6}  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: jxoEOEA  
    WkO .  
    Universal Detector \ agC Q&  
                                                                                   7dakj>JM  
    总结-组件… ::5-UxGL<2  
    S4(IYnwN  
     1";~"p2(  
    系统观感   MUo?ajbqOd  
     bc"{ZL!C  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 @%TQ/L^|  
    \vT8 )\  
      qJK^i.e  
    性能评估-点位偏差 +|0m6)J]  
    T8\,2UWsj2  
                                       LNg1q1 P3  
    性能评估-光斑直径测量                                                       dqkkA/1  
    4 '+)9&g  
    &B.r&K&  
    O]Hg4">f  
    *\`C! r  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 hT_snb;ow  
    i3GvTg-X  
    VirtualLab Fusion技术 td m{ V st  
             c]LH.  
     
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