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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 K 7YpGGd5  
                                             ;O{AYF?,N  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 r,yhc =  
    VQqEsnkz  
    建模任务 V3I&0P k  
    >@T ZYdl  
    系统构建块-扫描源                                                     B.&q]CA v-  
    ^dqyX(  
    How to Set Up a Scanning Source lza'l  
                                                                                   .&}}ro48  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 7CwG(c/5  
    N],A&}30  
    系统构建块-参数耦合 >rYP}k  
       "p$`CUtI  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion $i~DUT(  
                                                                                       zL)m!:_  
    系统构建块-失真分析仪 ULQ*cW&;?  
                                                                               c&F"tLl  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 dw Aju:-H  
     A")B<BK  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               {\lu; b!  
    KY4|C05 ,  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         X}Fc0Oo  
    ds7I .Q'  
    v*]|1q%/  
     O]lWaiR`  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: X g.\B1d  
    8 +uOYNXsA  
    Universal Detector hQl3F6-ud  
                                                                                   E!3W_:Bs  
    总结-组件… Mb?6c y[  
    Eiz\Nb  
     r=qb[4HiV  
    系统观感   ~?[@KK  
     e2/&X;2  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 ::adT=  
    -+ $u  
     wIi(p5*  
    性能评估-点位偏差 #i:p,5~")  
    QD / | zi  
                                       ("H:T?4Qs  
    性能评估-光斑直径测量                                                       {b]WLBy  
    DB%=/ \U  
    u%h]k ,(E  
    Rn-L:o@?  
    C{Aeud #5  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 1Pn!{ bU3@  
    jC; XY!d6  
    VirtualLab Fusion技术 > -k$:[l  
             V-J\!CHX  
     
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