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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 ZT*RD2,  
                                             -;5WMX 6  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 "MH_hzbBF  
    I9xQ1WJc`  
    建模任务 zZ rUS'8  
    T%{qwZc+mJ  
    系统构建块-扫描源                                                     !j'9>G{T  
    aS ]bTYJ'  
    How to Set Up a Scanning Source Up:<NHJT  
                                                                                   (9!$p|d*  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 eko$c,&jY  
    _J'V5]=4  
    系统构建块-参数耦合 ]njObU)[zr  
       J2rw4L  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion )f#raXa5+  
                                                                                       gIGyY7{(s8  
    系统构建块-失真分析仪 nE$8-*BZ_  
                                                                               :bJT2o[  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 oMM+af  
     TvV_Tz4e  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               0L3v[%_j"  
    (o+(YV^  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         Lye^G% {  
    ,,U8X [A  
    Nqf6CPXE  
     xa7~{ E,  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: k!9LJ%Xh  
    "eqNd"~  
    Universal Detector '@~\(SH  
                                                                                   ;,d^=:S6@  
    总结-组件… Dt)O60X3>  
    1N8:,bpsT  
     "])yV    
    系统观感   $~$NQe!/  
     ]+C;C  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 T7F)'Mx<  
    =6PTT$,  
     58TH|Rj+I  
    性能评估-点位偏差 0rnne L  
    yeI((2L@E2  
                                       fdU`+[_  
    性能评估-光斑直径测量                                                       ssf.ef$  
    !CJh6X !  
    -SyQ`V)T7N  
    ,{tz%\, %  
    E5>y?N  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 qFqK. u  
    puv/+!q  
    VirtualLab Fusion技术 vvWje:H  
             9E@}@ZV(  
     
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