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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 Y=Ar3O*F  
                                             %)hIpxOrX  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 v6DxxE2n  
    pT;-1c%:  
    建模任务 k1Mxsd  
    GKsL~;8"  
    系统构建块-扫描源                                                     )av'u.]%c  
    NZ+?Ydr8k  
    How to Set Up a Scanning Source -}qGb}F8!  
                                                                                   N7HbOLpM  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 L[D/#0qp  
    CMxjX  
    系统构建块-参数耦合 {cyo0-9nv  
       $L&9x3+?Kg  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion xX&>5 "  
                                                                                       ^I0GZG  
    系统构建块-失真分析仪 EO 9kE.g  
                                                                               23\j1?  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 N4` 9TN7  
     _Dcc<-.  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               WP@JrnxO\`  
    Th;gps%b  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         K,C $J I  
    qp~4KukL  
    g"dZB2`C  
     3e!Yu.q:  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: JPTI6"/  
    [>M*_1F  
    Universal Detector dj y:  
                                                                                   WP% {{zR$  
    总结-组件… ),y!<\oQ  
    5Du>-.r  
     u5{5ts+:  
    系统观感   H6PXx  
     \A3>c|  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 spSN6 .j  
    H?=pWB  
     ]g8i>,G  
    性能评估-点位偏差 B )1<`nJA  
    z7t'6Fy9'  
                                       @^:7UI_  
    性能评估-光斑直径测量                                                       5;K-,"UQ  
    e1 {t0f  
    Ot2zhR )  
    ><#2O  
    CNpe8M=/3  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 uku}Mr"p  
    GOZQ5m -  
    VirtualLab Fusion技术  ENYF0wW  
             m_E[bDON  
     
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