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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 wT/6aJoX  
                                             PpFsp( )x  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 M2p<u-6 "  
    sOQcx\dK  
    建模任务 S_5?U2%D  
    o(Kcs-W2  
    系统构建块-扫描源                                                     =YHt9fb$c  
    Spo +@G  
    How to Set Up a Scanning Source liD47}+  
                                                                                   Nf5WQTa4  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 MA6P"?  
    KZ  )Ys  
    系统构建块-参数耦合 n$W"=Z;`  
       xlw 2g<s  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 0'@u!m?  
                                                                                       VVLIeJ(*XT  
    系统构建块-失真分析仪 v.b5iv5  
                                                                               <jFSj=cIL  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 ?Pnx ~m{%*  
     D$hQyhz'  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               kwF]TO S  
    ugxw!cj  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         !0Nf9  
    ~p^7X2% !  
    HlRAD|]\  
     ; 8E;  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: Ut_mrb+W  
    6(.H3bu  
    Universal Detector }{mG/(LX8  
                                                                                   7}o6_i  
    总结-组件… ^ $wJi9D6  
    v:A:37#I  
     /{R3@,D[]  
    系统观感   oZ-FF'  
     A$<>JVv  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 i6PE6> 1/  
    @G(xaU'u  
     \k4pK &b  
    性能评估-点位偏差 k9&@(G[K3  
    @>:i-5  
                                       *]2R.u  
    性能评估-光斑直径测量                                                       iokPmV  
    9 `INC~h  
    y;:]F|%<  
    C$K+=jT  
    K7Gm-=%  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 P}l#VJWp  
    fkG##!  
    VirtualLab Fusion技术 HL8(lPgS  
             J | q^+K  
     
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