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摘要 _VeZlk7k
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F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 Ol,Tw=? | %Dh 建模任务 >k6RmN
^<0azza/( 系统构建块-扫描源 \X=?+|
9 ; 7`y## How to Set Up a Scanning Source #1:&uC1vj 6$}hb|j 系统构建块-透镜系统组件 o;+J3\ @
(UacFO 系统构建块-参数耦合 )"im|9 S$!)Uc\)A Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion !H`! KBW #6[7q6{4 系统构建块-失真分析仪 !N4?>[E
4uW}.7R' 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 =R08B)yR
K<HF!YU#I2 虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 A9_)} ]%yph3C 通用探测器和探测器附加组件 oC]|ARgQk| pPUv8, %
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T@[(FVA N Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: 2=3pV!)4} Fm@G@W7,m Universal Detector "y_A xOH MtYi8"+<e. 总结-组件… QGtKu:c.81
C3Mr)
uTNmt] 系统观感 U"} ml [p%@ pV 通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 *(PQaXx4 6vVx>hFJ47
}MKm>N 性能评估-点位偏差 T{1Z(M+ 6{rH|Z
%4:tRF 性能评估-光斑直径测量 M@e&uz!Rx CD\k. gl/n*s#r_ 2QUZAV\ Y
'&/"_ 此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 o(iN}. c Xg|_ VirtualLab Fusion技术 Jsee8^_~
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