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摘要 .<m]j;|6
N3G9o`k F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 #49l\>1z $?GggP d 建模任务 iYXD }l;r
XCM!8x?K 系统构建块-扫描源 iK}p#"si WDc[+Xyw How to Set Up a Scanning Source ifn=De3+ Cv#aBH'N 系统构建块-透镜系统组件 Gk:fw#R YIe1AF} 系统构建块-参数耦合 }c,b]!: IyO0~Vx> Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion vj?{={Y fJ}e 系统构建块-失真分析仪 u&~Xgq5[
cK$yr)7 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 Z %pc"
-zK>{)Z=q 虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 kK5&?)3Y: {K|?i9K 通用探测器和探测器附加组件 HI5NWdfRl x1:mT[[$
2s}S9
Qa2h#0j Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: TuwP'g[ Pt"K+]Ym Universal Detector YnpN
-Y%g S}C[ 总结-组件… YJ~<pH
9a_P 9s3w
SQ)BS/8A 系统观感 Z
`F[0- h2Q'5G 通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 A"*=K;u/|m Z}O]pm>=G
&N.pW=%,N 性能评估-点位偏差 q^[t</_N 5AT^puL]]
?8
}pZ_ j 性能评估-光斑直径测量 )WvKRp r W* LC3B^ |lhnCShw JpXv+V
M~zI;:0O 此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 jr6 0;oK+ .vHHw@ VirtualLab Fusion技术 ->ZP.7
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