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摘要 dx_6X!=.J
 ;."<m F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 FcbM7/ LX+5|u 建模任务 Bn wzcl
 h+7># *DH
系统构建块-扫描源 Xo5$X 7m  5t:8.%<UK How to Set Up a Scanning Source <|6%9@ wNCCH55Pt 系统构建块-透镜系统组件 N Y  8s}J!/2 系统构建块-参数耦合 5rxA<G s  %uESrc-;
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion N" 5fmY<
/ l>.mK() 系统构建块-失真分析仪 Do-^S:.
 {kB `>VS 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 | FM
}
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:0_^- 虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 yOXO)u1n C"<s/h
通用探测器和探测器附加组件 FY0%XW 4 2) mM#
 b}z`BRCc
 oW }!vf3z Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: n$+M%}/f j RZ%} KX Universal Detector =C7
khE #XIc
"L)c 总结-组件… oY9FK{
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 +=@ ^i' 系统观感 :Hy]
`$;+ g , 通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 c=p=-j=.J
Rs;15@t@
 D9ufoa&ua 性能评估-点位偏差 u</8w&!
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 +a)E| (cN 性能评估-光斑直径测量 GuQRn '?Bg;Z'L %  1JS2SxF
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此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 !XE aF]8
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VirtualLab Fusion技术 ~5aE2w0K
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