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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 h eaRX4  
                                             p(xC*KWB  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 9 3+"D`  
    ;= j@, yu  
    建模任务 `-`qdda  
    +uWDP .  
    系统构建块-扫描源                                                     IEjP<pLe  
    J89Dul l  
    How to Set Up a Scanning Source |4mpohX  
                                                                                   I1X /Lj=  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 GLn{s  
    F/m^?{==~*  
    系统构建块-参数耦合 #j#_cImE  
       BR^7_q4q  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion I)q,kP@yY  
                                                                                       d_n7k g+  
    系统构建块-失真分析仪 72sD0)?A  
                                                                               {mWui9 %M  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 Ftw;Yz  
     <PPNhf8  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               xvzr:p P  
    Q6o(']0  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         ;U1UFqZ`  
    V._6=ZJ  
    Zh5RwQNE~  
     @prG%vb"  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: B63pgPX  
    8ul&x~2;X  
    Universal Detector ml@2wGyf  
                                                                                   0JgL2ayIVI  
    总结-组件… jENr>$$  
    S[tE&[$(p  
     fgNU03jp^x  
    系统观感   d!KsNkk  
     ,+qVu,  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 *Nyev]8  
    bifS 2>c  
     &U+ _ -Ph  
    性能评估-点位偏差 !R*-R.%  
    =fm]Dl9h*  
                                       -(`OcGM'L  
    性能评估-光斑直径测量                                                       p^(&qk?ut  
    r]W  
    ?[*0+h`en  
    0Io'bF  
    U yw-2]!n  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 mh<=[J,%p  
    H Te<x  
    VirtualLab Fusion技术 \%sVHt`c  
             7W6cM%_B  
     
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