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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 =K#D^c~  
                                             qyMR0ai-  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 rj"oz"  
    < C\snB  
    建模任务 wK@k}d  
    wVCZ=\L}  
    系统构建块-扫描源                                                     .bbl-a/ 3  
    `gq@LP"o  
    How to Set Up a Scanning Source ugg08am!  
                                                                                   9)p VDS  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 ,R=Mr}@u  
    %&bO+$H3  
    系统构建块-参数耦合 wy&s~lpV,7  
       =iy%;>I `  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion ^9eJ)12pK  
                                                                                       =!_e(J  
    系统构建块-失真分析仪 tk4~ 8  
                                                                               oB8u[ !  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 wm|{@z  
     +*[lp@zU{  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               U/E M(y  
    E1:{5F5/  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         5haJPWG|'  
    ;5 cg<~t  
    79<{cexP  
     [QA@XBy6  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: xZt]s3?  
    )sG`sET]`f  
    Universal Detector Z^9;sb,x  
                                                                                   NKd!i09`  
    总结-组件… *M;!{)m?  
    w> `3{MTQ  
     A?8f 6  
    系统观感   WE \912j  
     ]ERPWW;^  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 O-6848iCX  
    P6* IR|  
     ]V J$;v'{[  
    性能评估-点位偏差 17[7)M88  
    9mkt.>$  
                                       } pE<P;\]k  
    性能评估-光斑直径测量                                                       )r-t$ L  
    AQ 3n=Lr   
    $-Q,@Bztq  
    t_c;4iE  
    EY;C5P4  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 {E!ie{~  
    iZGc'y  
    VirtualLab Fusion技术 /g2(<  
              49&p~g  
     
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