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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 '^m.vS!/  
                                             Svn7.Ivep  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 )/$J$'mcxd  
    c,~uurVi  
    建模任务 yxt"vm;  
    )[Tm[o?Y.  
    系统构建块-扫描源                                                     Dt: Q$  
    SH?McBxS  
    How to Set Up a Scanning Source SsZC g#i  
                                                                                   kw#X,h P  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 ,TQec:B  
    .dlsiBh  
    系统构建块-参数耦合 U6M ~N0)Yr  
       xaMDec V  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion  ##rkyd  
                                                                                       S; % &X  
    系统构建块-失真分析仪 gZ,h9 5'  
                                                                               b w P=f.  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 PEf yHf7`  
     og}Ri!^  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               ~XTC:6ts  
    Tz @=N]D  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         8_('[89m  
    #DUfEZ  
    duY?LJ@g  
     4Hj)Av <O(  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: TJ"-cWpO1  
    lx:$EJ  
    Universal Detector GmH DG-  
                                                                                   }nd>SK4  
    总结-组件… SOOVUMj  
    E!9WZY  
     A(FnU:  
    系统观感   }4|EHhG  
     "2cOSPpQL  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 q?}C`5%D  
    #r'MfTr  
     YRu@; `  
    性能评估-点位偏差 2RkW/) A9  
    &i5@4,p y9  
                                       f{P1.?a  
    性能评估-光斑直径测量                                                       X4V>qHV72  
    Y9)j1~  
    S^rf^%  
    k1wIb']m]z  
    l_h:S`z.  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 7}kJp%-  
    /hl'T'RG  
    VirtualLab Fusion技术 lz,M$HG<[  
             A=N$5ZJ  
     
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