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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 @~`:sa+H  
                                        
    D@`"99z  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 TJz} 8-#t  
    /H :Bu  
    建模任务 `2@f=$B  
    aHBM9%gV  
    系统构建块-扫描源                                                
    c<imqDf  
    a_k~z3wG  
    How to Set Up a Scanning Source ?xb2jZ/0X  
                                                                                   V(3rTDg  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 j:xm>X'  
    pzcof#2  
    系统构建块-参数耦合 # #/ l  
        n[  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion lcuqzX{7  
                                                                                  
    dW#?{n-H<  
    系统构建块-失真分析仪 6yhRcvJ}  
                                                                          
    LqoH]AcN  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 15"[MX A  
    aIklAj)=  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               xZ>@wBQ  
    e)A{ {wD/  
    通用探测器和探测器附加组件                                                    
    t[X,m]SX  
    r,cK#!<%  
    ]vq=~x  
    BaOPtBYA:  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: hXQo>t-$  
    0{sYD*gK]  
    Universal Detector uAv'%/  
                                                                                   yvV]|B@sO  
    总结-组件 >on' y+  
    Zie t-@}  
    MFs W  
    系统观感   f^ 6da6Z  
    MTeCmFe0;  
    通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 tnFhL&  
    !E9A=u{  
    I8LoXY  
    性能评估-点位偏差 f}{Oj-:"CC  
    -ZBSkyMGy  
                                  
    ?CZ*MMV  
    性能评估-光斑直径测量                                                       TPWqiA?3Cp  
    "Sd2VSLg  
    }R)A%FKi@  
    uG 7ll5Yy  
    m'5rzZP  
    此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 6|ENDd[  
    81Ityd-}  
    VirtualLab Fusion技术 O%rt7qV"g2  
        
    0A.9<&Lod  
     
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