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摘要 ZT*RD2,
-;5WMX6 F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 "MH_hzbBF I9xQ1WJc` 建模任务 zZrUS'8
T%{qwZc+mJ 系统构建块-扫描源 !j'9>G{T aS
]bTYJ' How to Set Up a Scanning Source Up:<NHJT (9!$p|d* 系统构建块-透镜系统组件 eko$c,&jY _J'V5]=4 系统构建块-参数耦合 ]njObU)[zr J2rw4L Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion )f#raXa5+ gIGyY7{(s8 系统构建块-失真分析仪 nE$8-*BZ_
:bJT2o[ 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 oMM+af
TvV_Tz4e 虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 0L3v[%_j" (o+(YV^ 通用探测器和探测器附加组件 Lye^G%{ ,,U8X [A
Nqf6CPXE
xa7~{ E, Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: k!9LJ%Xh "eqN d"~ Universal Detector '@~\(SH ;,d^=:S6@ 总结-组件… Dt)O60X3>
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系统观感 $~$NQe!/ ]+C;C 通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 T7F )'Mx<
=6PTT$,
58TH|Rj+I 性能评估-点位偏差 0rnne
L yeI((2L@E2
fdU`+[_ 性能评估-光斑直径测量 ssf.ef$ !CJh6X! -SyQ`V)T7N ,{tz%\,%
E5>y?N 此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 qFqK.u puv/+!q VirtualLab Fusion技术
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