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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 >WYiOXYv  
                                             18`YY\u(  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 ~rnbuIh  
    MTnW5W-r9  
    建模任务 5hxG\f#}?  
    o )\\(^ld  
    系统构建块-扫描源                                                     4KbOyTQ  
    a7$]" T 7  
    How to Set Up a Scanning Source ] o!r K<  
                                                                                   :?uUh  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 s&Bk@a8  
    c> SFt tbU  
    系统构建块-参数耦合 WFr;z*  
       X667*L^  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion E&;[E  
                                                                                       [ADSGnw  
    系统构建块-失真分析仪 Np2I*l6W  
                                                                               a:q>7V|%$  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 MWGs:tpL4  
     3VI[*b  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               iX&eQ{LB  
    VL =19[  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         ]VKM3[   
    ,0hk)Vvr3  
    XY_hTHJ  
     Q>ZxJ!B<k  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: |2L|Zp&  
    @Sr{6g*I  
    Universal Detector ?&gqGU}  
                                                                                   cVV@MC  
    总结-组件… @p$Nw.{'  
    z`Jcpt  
     ?IN'Dc9&%-  
    系统观感   mp'Z.4  
     :eH*biXy}2  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 nE&`~  
    ]2_b_ok  
      iH`Q4  
    性能评估-点位偏差 WX-J4ieL  
    ]NEr]sc-"F  
                                       7 I$~E  
    性能评估-光斑直径测量                                                       5n0B`A  
    2@Nt6r  
    &g.do?  
    @%^JB  
    ?lPn{oB9"  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 7Mj:bm&9  
    P Nf_{4  
    VirtualLab Fusion技术 a23XrX  
             YAdk3y~pL  
     
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