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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 >/|q:b^2r  
                                             #g6.Glz3  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 p K0"%eA  
    sr8cYLm5R  
    建模任务 9B;{]c  
    7uzk p&+:  
    系统构建块-扫描源                                                     wI(M^8F_Mf  
    -GxaV #{  
    How to Set Up a Scanning Source Hh+ 2mkg  
                                                                                   |\pbir  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 5oAK8I  
    82l~G;.n3  
    系统构建块-参数耦合 Jv^h\~*jH  
       ;^Dpl'v%\  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion wmTb97o  
                                                                                       eA<0$Gs,h  
    系统构建块-失真分析仪 -B +4+&{T  
                                                                               \ Yx/(e  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 B {>7-0  
     50X([hIr  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               $< JaLS  
    1y}Y9mlD.  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         7 qS""f7  
    WPQ fhr#|  
    q@{Bt{$x  
     i{`:(F5*  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: PUUwv_  
    7'Mm205\  
    Universal Detector |:gf lseE  
                                                                                   ]9^sa-8  
    总结-组件… %KLpig  
    hv?9*tLh0  
     E 7{U |\  
    系统观感   -qGa]a  
     +L;e^#>d  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 |!4K!_y  
    +{oG|r3L  
     z:wutqru  
    性能评估-点位偏差 wfH^<jY)E  
    a^I\ /&aw'  
                                       XuFYYx~ ^3  
    性能评估-光斑直径测量                                                       BI%$c~wS  
    {N+$Q'  
    ;>Ib^ov  
    xA$XT[D  
    2fL;-\!y(  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 glDu2a,Q  
    T{-CkHf9Q  
    VirtualLab Fusion技术 50S&m+4d+  
             ?82xdp g  
     
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