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摘要 f>s3Q\+
Om0Z\GP= F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 T\:Vu{| !>TVDN> 建模任务 Dkayk
[M 65T@v 系统构建块-扫描源 U ; JZN b/:9^&z How to Set Up a Scanning Source #Q.A)5_ D.kLx@Z 系统构建块-透镜系统组件 ^GQ+,0Yy s]#D;i8 系统构建块-参数耦合 6%sX<)n%] iOkRB[hi Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 6{B$_Usg [w'Y3U\i 系统构建块-失真分析仪 Obgn?TAVX
( n;# Z, 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 #K.OJJaG
@Hw#O33/' 虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 _Jx.?8 _<yGen- 通用探测器和探测器附加组件 mHrt)0\_ 7m~.V[l1
yw `w6Z3K
wHq*)7#h# Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: .K]n<+zW 8iaP(*J Universal Detector es 8%JTi :V*c9,>ZO 总结-组件… xok8
f]W$4f{
9gVu:o 1/ 系统观感 tGDsZ;3Yr V*5 ~A[r 通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 btoye \rl FpN >T
N9QHX 性能评估-点位偏差 o *)>aw 141@$mMzE
P&@ 2DI3m 性能评估-光斑直径测量 1vk&; %"B+;{y(5 A.vWGBR HJWk%t<
M6l S2 此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 qIIc>By(\" C ioM!D VirtualLab Fusion技术 ~3bH2,{L[
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