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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 {s:"mkR  
                                             =9:gW5F69  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 zS`KJVm  
    J(9{P/  
    建模任务 ]L k- -\  
    Y3H5}4QD  
    系统构建块-扫描源                                                     R I:kp.V  
    nJwP|P_  
    How to Set Up a Scanning Source _C,9c7K4  
                                                                                   l,UOP[j  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 4)p ID`  
    vPrlRG6  
    系统构建块-参数耦合 Ieh<|O,-C  
       xO4""/ n  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion  $3cZS  
                                                                                       >Udq{<]#r  
    系统构建块-失真分析仪 64Tb,AL_  
                                                                               UMK9[Iy$<M  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 Bc'Mj=>;  
     PlwM3lrj  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               1aPFpo!  
    60WlC0Y~u  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         #w si><7   
    ` ^;J<l  
    @c).&7  
     E *782>  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: CQ7NQ^3k  
    eWr6@  
    Universal Detector dt/-0~U  
                                                                                   B) dG:~  
    总结-组件… 8= g~+<A  
      Xi w  
     1E0!?kRK  
    系统观感   7vc4 JO]  
     wZ=@0al  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。  } #&L  
    {Ywdhw JP  
     ST,+]p3L(  
    性能评估-点位偏差 apnpy\in  
    ;Nd'GA+1;(  
                                       (B03f$8}*_  
    性能评估-光斑直径测量                                                       ]2A2<Q_,  
    U U#tm  
    #+$ PD`j  
    3EE_"}H>  
    e7plL^^`  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 FRXaPod  
    w}e_ 17A  
    VirtualLab Fusion技术 D$E#:[  
             Zqb*-1Qw"*  
     
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