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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 E)Epr&9S  
                                             XQoT},C  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 7Mb t*[n  
    ("@V{<7(t  
    建模任务 eX),B  
    sV4tu(~  
    系统构建块-扫描源                                                     g|*eN{g]uE  
    af5`ktx  
    How to Set Up a Scanning Source ,f""|X5  
                                                                                   rH_:7#.E  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 8$xKg3-3M  
    <$Kv^Y*  
    系统构建块-参数耦合 ZN]c>w[ )I  
       9Q5P7}%p  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion ?01""Om   
                                                                                       Y8xnvK*  
    系统构建块-失真分析仪 .L|ax).D  
                                                                               2A;[Ek6{q  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 ,$(v#Tz  
     3B|-xq;]I  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               x!Y@31!Dy  
    aI#n+PW  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         _+Kt=;Y8  
    7CN[Z9Y^}  
    }4ju2K  
     F0(Sv\<::  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: L/+J|_J)  
    g#2X'%&+  
    Universal Detector w+(wvNmNEK  
                                                                                   s7.*o@G  
    总结-组件… MOeLphY  
    m8A_P:MQq  
     ~"YNG?Rre  
    系统观感   NS~knR\&  
     /6*.%M>r  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 d*(\'6?  
    n\p\*wb  
     %4KJ&R (>[  
    性能评估-点位偏差 Oydmq,sVe(  
    +B|X k[  
                                       ">&:(<  
    性能评估-光斑直径测量                                                       1@dx(_  
    ~ J{{n_G{  
    ?a9k5@s  
    meD (ja  
    {EN@,3bA  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 JU.%;e7  
    zQ+t@;g1  
    VirtualLab Fusion技术 JB_`lefW,'  
             4N0nU  
     
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