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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 m9Uoq[1  
                                             %T&#JF+;  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 Z)U#5|sf  
    {mp;^/O`er  
    建模任务 ^gdg0y!5~  
    X&<#3n  
    系统构建块-扫描源                                                     "p\XaClpz  
    Vo%UiVHy  
    How to Set Up a Scanning Source ,K'}<dm|x  
                                                                                   "F+Wo&  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 O;A/(lPW+  
    )pVxp]EI  
    系统构建块-参数耦合 h,@x5q>g  
       &\C{,:[  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion /rNY;qXM  
                                                                                       IpxFME%!  
    系统构建块-失真分析仪 f-\l<o(  
                                                                               1?(mE7H#  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。  5m+:GiI  
     g(:y_EpmLH  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               P-~Avb  
     *ihg'  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         A&5$eGe9  
    ]T+.kC M  
    dBG]J18  
     55oLj.l^j  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: %;9e h'  
    T T0O %  
    Universal Detector ?.A6HrAPB  
                                                                                   jkNZv. )p  
    总结-组件… $ZDh8 *ND  
    1ezQzc2-R  
     5b B[o6+  
    系统观感   _<.R\rX&  
     sI`i  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 |y%pP/;&!  
    zck)D^,aO  
     xiRTp:>  
    性能评估-点位偏差 !00%z  
    YA^9, q6u?  
                                       'q*1HNwGp  
    性能评估-光斑直径测量                                                       NUL~zb  
    j )F~C8*  
    v *:m|wl  
    McnP>n  
    *OF7 {^~&  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 nbpN+a%  
    ]Wa,a T'  
    VirtualLab Fusion技术 nTu"  
             l!iB -?'u  
     
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