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摘要 c|<E~_.w@
!pxOhO.V F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 _p;=]#+c& D] +]Br8 建模任务 FgnPh%[u
xP-\)d-.aN 系统构建块-扫描源 Mq52B_ 1Uk Gjw1J How to Set Up a Scanning Source T7?cnK" UZx8ozv' 系统构建块-透镜系统组件 Qm>2,={h q#\4/Dt 系统构建块-参数耦合 x*!%o(G /q5!p0fH* Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion uYCWsw/ .qS(-7< 系统构建块-失真分析仪 "ifv1KZ#
SaFNPnk= 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 1"f)\FPGe
3gs!ojG 虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 xTf|u RX?y}BDo0 通用探测器和探测器附加组件 .O6(QI*
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yR1v3D4E Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: A5go)~x\ +;bP.[Z Universal Detector #Q@~TW kK/([! 总结-组件… S`pB EM
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65U&P5W 系统观感 eS/Au[wS %r]V:d+ 通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 vP'#x R\-]t{t`
`J%35 性能评估-点位偏差 zKfY0A R LC})aV|
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bm 性能评估-光斑直径测量 s9,Z}]Th {
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_b9>ZF~ 此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 ;s?,QvE{r# YI?tmqzt VirtualLab Fusion技术 $S/EIN c
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