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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 B`Z3e%g#  
                                             u"=]cBRWL6  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 JFVx&  
    n2bhCd]j<b  
    建模任务 6X*vCylI  
    IQ @9S  
    系统构建块-扫描源                                                     BV B2$&eJ  
    (|K+1R  
    How to Set Up a Scanning Source PPB/-F]rr  
                                                                                   hm1s~@oEm  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 hK3-j;eg  
    Qc3d<{7\~  
    系统构建块-参数耦合 UeO/<ml3>J  
       "00j]e.  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion PGJh>[ s  
                                                                                       SYY x>1;8`  
    系统构建块-失真分析仪 'z;(Y*jb  
                                                                               A7Ql%$v7^  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 `/PBZnj  
     o>r P\  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               ~i"=:D  
    K9#kdo1 2  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         &SE}5ddC7  
    ks0Q+YW  
    R^.PKT2E  
     -U/)y:k!%  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: KMj\A d  
    7H Dc]&z  
    Universal Detector x#EE_i/W  
                                                                                   R.rc h2  
    总结-组件… -`PziG l@<  
    ;#85 _/  
     d/7R}n^  
    系统观感   _u[tv,  
     =7<JD}G  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 #"N60T@  
    LeLUt<4~  
     +& B?f  
    性能评估-点位偏差 [[ ie  
    qS vV |G  
                                       jsN[Drra  
    性能评估-光斑直径测量                                                       8gP1]xD  
    mKZzSd)p  
    3J#LxYK  
    7%Y`j/  
    .G[/4h :.  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 @ b!]Jw  
    ]@#9B>v=  
    VirtualLab Fusion技术 :*}Q/]N  
             B>fZH \Y  
     
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