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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 ^3;B4tj[  
                                             B/twak\  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 Nd~B$venh  
    X0lPRk53(  
    建模任务 V(MYReaPC]  
    ,i2-  
    系统构建块-扫描源                                                     [jMN*p?  
    8tj]@GE  
    How to Set Up a Scanning Source qX\*l m/l  
                                                                                   0a~t  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 jm}CrqU  
    ;8sL  
    系统构建块-参数耦合 B~p%pT S+  
       &."$kfA+  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion aZFpt/.d  
                                                                                       o?`FjZ6;x  
    系统构建块-失真分析仪 6_CP?X+T  
                                                                               rq+_ [!  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 8Zr;n`~  
     &N~Eu-@b  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                                YKyno?m  
    cS ~OxAS  
    通用探测器和探测器附加组件                                                          :Sq] |)  
    g6GkA.!X$  
    @N=vmtLP  
     cU1o$NRx  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: L5&M@YTH  
    GEc6;uz<  
    Universal Detector lA^1}  
                                                                                   ] ; w 2YR  
    总结-组件… T[oC='I+O  
    v=U<exM6%  
     AZj&;!}  
    系统观感   BEdCA]T  
     pv_o4qEN  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 h0{X$&:  
    #N|\7(#~u  
     m'o dVZ7  
    性能评估-点位偏差 yW_yHSx;  
    @!8aZB3odt  
                                       /9`4f"  
    性能评估-光斑直径测量                                                       cD!,ZL  
    HW@wia  
    kSAVFzUS  
    q+ax]=w  
    afm\Iv[*  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 (MwRe?Ih  
    PL/g| ;  
    VirtualLab Fusion技术 *1|7%*!8  
             djd/QAfSC  
     
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