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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 x9 n(3Oa  
                                             x{GFCy7  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 %K06owV(S)  
    0>e]i[P.  
    建模任务 $2blF)uYE  
    [Ls%nz|  
    系统构建块-扫描源                                                     _\= /~>Xl  
    II[-6\d!  
    How to Set Up a Scanning Source (v:8p!QN  
                                                                                   (?lT @RY/  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 Jw^my4  
    T!pZj_ h=  
    系统构建块-参数耦合 A`>^A]%  
       !x||ObW\H  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion e 0Z2B2  
                                                                                       ]"YXa~b  
    系统构建块-失真分析仪 x")Bmw$  
                                                                               %|f@WxNrU  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 i .eMrzJ|  
     E8<,j})*  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               |  >yc|W  
    cf*~G x_l  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         No+BS%F5  
    k)y<iHR_o  
    qLKL*m  
     [ :Sl~  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: ]gF=I5jn]  
    vBM<M3  
    Universal Detector PpNG`_O  
                                                                                   1|>bG#|  
    总结-组件… *KU:D Y{  
    J9y}rGO  
     qF`]}7"^  
    系统观感   >fkV65w{*  
     f}ch1u>  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 s.KfMJ"u[  
    3Q)"  
     $YJi]:3&  
    性能评估-点位偏差 |RqCI9N6  
    Ys?0hd<cn  
                                       0Jd>V  
    性能评估-光斑直径测量                                                       |S]fs9  
    iV\*7  
    o$7UWKW8  
    Bi"cWO  
    Fta=yH }  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 r?pFc3 ~N  
    kKDf%=  
    VirtualLab Fusion技术 f'qM?GlET  
             2n#H%&^?a  
     
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