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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 odsFgh  
                                             0(D^NtB7  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 $+!dP{   
    t82'K@sq  
    建模任务 n%s%i-[5B  
    ~0a5  
    系统构建块-扫描源                                                     %,kP_[!>Q  
    {P]C>  
    How to Set Up a Scanning Source }OL"38P  
                                                                                   :x)H!z P  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 Dj&~x  
    7{L4a\JzT  
    系统构建块-参数耦合 8w&-O~M  
       $'4 98%K2  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion '6#G$  
                                                                                       8AuBs;i  
    系统构建块-失真分析仪 (Q^sK\  
                                                                               Nr4:Gih  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 U]iI8c  
     hfaU-IPcFX  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               /x6p  
    RZm%4_p4s  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         udZOg  
    EiL#Dwx  
    z1PwupXt1  
     0 =j }`  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: 3/kT'r  
    &9p!J(C  
    Universal Detector *1b|j|5v  
                                                                                   wA=r ]BT  
    总结-组件… <(L@@.87R  
    <v:VA!]  
     AK2Gm-hHK  
    系统观感   E-bswUVaEE  
     jxh:z  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 5Q?Jm~H9  
    B`~EA] d  
     /BL:"t@-  
    性能评估-点位偏差 sgX!4wG&Z  
    .Pc>1#z&[  
                                       6#?T?!vZ  
    性能评估-光斑直径测量                                                       2$JGhgDI  
    /4:bx#;A  
    ,ks2&e  
    1 em,/> "  
    XO <wK  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 zfIo] M`  
    'cW^S7  
    VirtualLab Fusion技术 =}^NyLE?  
             3S0.sU~_U  
     
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