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摘要 '=eE6=m^K
 ]w[T_4 l F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 jIs2 R3B IB+) 2 ` 建模任务 Ghpk0ia%d
 l]o)KM<
系统构建块-扫描源 'U'#_mYG  F"M$ "rC] How to Set Up a Scanning Source nmrYB w> S0<m><| kl 系统构建块-透镜系统组件 Z6 vm!#\  `Gp !Y 系统构建块-参数耦合 ~
U,a?LR/  I!1nB\l
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion *PVv =SU
L/R ES 系统构建块-失真分析仪 hMiuv_EO !
 cWA$O*A 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 \7Fkeo+
 >av.pJ(> 虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 /Aq):T T ? hQ,'M2
通用探测器和探测器附加组件 h8MkfHH7{ TGJ\f
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 br 9`77J8 Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: =
5 E:C P 4{r_EV[( Universal Detector G$D6#/rR U 0M>A 总结-组件… !F|iL
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 j> 0~"A 系统观感 )*Qa 9 + :
Pyx$$cj 通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 ^:RDu q
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 h8yv:}XU* 性能评估-点位偏差 ; # $zHR
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 j8G>0f) 性能评估-光斑直径测量 '*KP{"3\ Z)U#5|sf  ZREAEGi{
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此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 afZPju"-
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VirtualLab Fusion技术 .F~EQ %
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