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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 nxB[T o*P  
                                             K|Eelhm  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 (%OZ `?`  
    _xmQGX!|  
    建模任务 $6(a6!  
    N<ux4tz  
    系统构建块-扫描源                                                     Gu@C* .jj!  
    #^BttI  
    How to Set Up a Scanning Source wX$|(Y }  
                                                                                    S'\e"w  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 ltlo$`PR  
    Y'5(exW  
    系统构建块-参数耦合 YUHiD *  
       w51l;2$des  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion N6v?Qzvi  
                                                                                       7377g'jL  
    系统构建块-失真分析仪 ?J,,RK.  
                                                                               jZC[_p;  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。  "iR:KW@  
     lXZ*Pb<j  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               Eh)VT{vp  
    e`:^7$  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         <nb%$2r1  
    ;rF[y7\  
    H>W8F2VT  
     C fM[<w   
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: 1= 7ASS9  
    T9XUNR{&  
    Universal Detector TEh.?  
                                                                                   8\^A;5  
    总结-组件… !/!ga)Y  
    -7]j[{?w  
     }i,r{Y]s]  
    系统观感   lx=tOfj8  
     g8l6bh$}  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 P%H  Dz  
    xQ7U$QF|]  
     pB#I_?(  
    性能评估-点位偏差 -- FzRO{D  
    gnjhy1o  
                                       s5rD+g]E`  
    性能评估-光斑直径测量                                                       jw9v&/-  
    o<%0|n_O&  
    M2N8?Ycv3  
    ~ !!\#IX  
    92t.@!m`  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 \hZ%NL j  
    3F@P$4!#l  
    VirtualLab Fusion技术 o{! :N>(  
             &b`W<PAc?4  
     
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