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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 jemg#GB8  
                                             F7wpGtt  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 wIIxs_2Q0c  
    n5X0Gi9  
    建模任务 0!YB.=\{_q  
    xJ)hGPrAl  
    系统构建块-扫描源                                                     GpV"KVJJ/  
    rYbb&z!u  
    How to Set Up a Scanning Source 00 Qn1  
                                                                                   Bkvh]k;F8  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 Q<.84 7 )  
    UGK4uK+I`  
    系统构建块-参数耦合 gwtR<2,p  
       s_A<bW566F  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion sHx>UvN6  
                                                                                       z{w!yMp"  
    系统构建块-失真分析仪 y| *X  
                                                                               =^m,|j|d>4  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 c0.i  
     mrR~[533j  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               TQyi -Dc  
    #I jG[a-  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         r]p 0O(  
    8y5iT?.~vy  
    I^*&u,  
     O)78 iEXi|  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: G:NI+E"]  
    ,C%fA>?UF8  
    Universal Detector $gU6=vN1#  
                                                                                   #;59THdtPk  
    总结-组件… 1'wwwxe7  
    kXGJZ$  
     jdsNZV  
    系统观感   z yyt`  
     Gj^JpG  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 !iBe/yb  
    x#ub % t  
     Fdsaf[3[v  
    性能评估-点位偏差 BFP (2j  
    t .*z)N  
                                       @C]]VE  
    性能评估-光斑直径测量                                                       :=qblc  
    ;Z%PBMa  
    / 4P+  
    41f4zisZ  
    "L'0"  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 VPG+]> *  
    UruD&=AMK  
    VirtualLab Fusion技术 $e66jV  
             34ij5bko_)  
     
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