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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 +"L$ed(=nJ  
                                             sx-F8:Qa  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 %N{sD[^  
    t:9 ZCu ay  
    建模任务 F aWl,}]  
    v>at/ef  
    系统构建块-扫描源                                                     3'@&c?F ye  
    lO&cCV;  
    How to Set Up a Scanning Source 'rx?hL3VW  
                                                                                   2nx9#B*/T  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 46dc.Yi  
    I*c;hfu  
    系统构建块-参数耦合 g8Aj `O  
       Ej|A ; &E  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion b"P&+c  
                                                                                       #HDesen  
    系统构建块-失真分析仪 R HXvee55  
                                                                               0Bu*g LY  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 )G4rJ~#@  
     bm6hZA|  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               1(pjVz&  
    _ _ =s'  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         08io<c,L  
    L?.7\a@  
    fKYKW?g;)Z  
     sU*3\  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: ;/aB)JZ5=  
    Z^+a*^w~{  
    Universal Detector 1g81S_T .  
                                                                                   1<ehV VP   
    总结-组件… y&3TQ]f\  
    r_=p,#}#  
     qSR? ,G  
    系统观感   X}?ESjZJ  
     @>CG3`?}  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 )BB%4=u@~.  
    xBt<Yt"  
     776 nWw)  
    性能评估-点位偏差 Fu mn9  
    iBS0rT_  
                                       /evaTQPz  
    性能评估-光斑直径测量                                                       `%%?zgY  
    v0u\xX[H;  
    {N Y]L==H  
    8k%H[Smn:  
    `:R-[>5P8  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 pr)K{~m]{<  
    =E; #OZO  
    VirtualLab Fusion技术 Gzj3Ka  
             6_Fpca3L  
     
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