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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 {F;,7Kn+l  
                                             oHxGbvQc  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 TF BYY{Y  
    kxwNbxC  
    建模任务 @)9REA(U  
    I)[`ZVAXR  
    系统构建块-扫描源                                                     t[%x}0FP-F  
    G1kDM.L  
    How to Set Up a Scanning Source 4O$mR  
                                                                                   bBA$}bv  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 V]r hr  
    L30>| g  
    系统构建块-参数耦合 :lgHL3yl  
       \BLp-B1s  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion %,33gZzf  
                                                                                       ]PeLcB  
    系统构建块-失真分析仪 F;pTXt}?5  
                                                                               qpoquWZ  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 Hr(6TLNw  
     DP|TIt,Rl  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               $2Kau 1  
    4S'[\ZJO  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         ojX%RU  
    -&@]M>r@  
    :qBGe1Sv(  
     D)y{{g*Lnm  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: _8al  
    ,g%o  
    Universal Detector nlaG<L#  
                                                                                   n;%y  
    总结-组件… 3QIdN  
    :MK=h;5Z  
     yDzdE;  
    系统观感   ZOp^`c9~  
     o\&~CW~@~  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 C9o$9 l+B  
    WPtMds4  
     %?Rs*-F.~1  
    性能评估-点位偏差 ~xw5\Y^  
    ]\7lbLv  
                                       'm[6v}  
    性能评估-光斑直径测量                                                       "2%>M  
    &&&9  
    l"kx r96  
    c& 3#-DNI  
    p+RAtRf  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 b"Zq0M0 l  
    o_sQQF  
    VirtualLab Fusion技术 m#*h{U$  
             n3'dLJH|  
     
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