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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 <pd6,l\  
                                             nquKeH  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 4Q0@\dR9  
    K`.wj8zGY  
    建模任务 p%304oP6  
    JyPsRpi\  
    系统构建块-扫描源                                                     )k5lA=(Yr+  
    Sz0M8fYT]  
    How to Set Up a Scanning Source mT N6-V  
                                                                                   w, 0tY=h6  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 ]+\@_1<ZI  
    db#y]>^l  
    系统构建块-参数耦合 k(VA5upCs  
       hCr7%`  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion =9pFb!KX  
                                                                                       Ypv"u0  
    系统构建块-失真分析仪 Ap}:^k5{  
                                                                               zKiKda%)  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 a |z{B b  
     NO* 1km[#  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               p(0!TCBs  
    I[[rVts  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         >DbG$V<v'  
    _HGDqj L  
    KY|Q#i|pM  
     h ?p^DPo  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: Y=}b/[s6;  
    KbwWrf>  
    Universal Detector %f{kT<XHu  
                                                                                   zyCl`r[}  
    总结-组件… xTAC&OCk^[  
    { Ja#pt  
     Z#4? /'  
    系统观感   p( Qm\g<  
     zD)2af  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 ~"=nt@M]  
    25YJH1x  
     1YM04*H  
    性能评估-点位偏差 u[d8)+VX  
    C'5i>;  
                                       vZXyc *  
    性能评估-光斑直径测量                                                       ]Ff&zBJ  
    `+* Mr  
    bR ;H@Fdg?  
    %?RX}37K  
    B~~rLo:a  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 Ko -<4wu  
    C=hE@  
    VirtualLab Fusion技术 :_H$*Q=1  
             Z,u:g c+*  
     
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