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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 AhbT/  
                                             ;+r)j"W  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 in=k:j,U0  
    "W_jdE6v  
    建模任务 .WL\:{G8;  
    =E{{/%u{{S  
    系统构建块-扫描源                                                     SCfkv|hO  
    -CU7u=*b  
    How to Set Up a Scanning Source u/!mN2{Rd  
                                                                                   4,w{rmj  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 F653[[eQ  
    {0A[v}X ~  
    系统构建块-参数耦合 D_yY0rRM  
       N1s $3Ul  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion c5B_WqjJ  
                                                                                       :{wsd$Qlj  
    系统构建块-失真分析仪 yNLa3mW  
                                                                               7'{Yz  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 BuEQ^[Ex  
     7+D'W7Yx  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               ~x0-iBF  
    (jo(bbpj  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         p E(<XD3Q  
    YL9t3 ]  
    g6@NPQ  
     Eis%)oE  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: uwH)/BW)[  
    3I>S:|=K  
    Universal Detector JR a*;_  
                                                                                   8JtI&aH-L  
    总结-组件… CYFas:rPLT  
    *xv/b=  
     9?}rpA`P  
    系统观感   px [1#*  
     (1elF)  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 "#\bQf}  
    @KW+?maW  
     S,"ChR  
    性能评估-点位偏差 O&?CoA?  
    D25gg  
                                       W kDn  
    性能评估-光斑直径测量                                                       $Va]vC8?  
    :_~PU$%0  
    t5jhpPVf  
    tZNad  
    :`>+f.)  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 LG&Q>pt.  
    , R.+-X  
    VirtualLab Fusion技术 jC/JiI  
             K&D}!.~/  
     
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