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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 ujt0?DM  
                                             ;hcOD4or  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 !}[,ODJ4 d  
    }0%~x,  
    建模任务 (oKrIm  
    MeSF,*lP  
    系统构建块-扫描源                                                     |hlc#t ?  
    (8$; 4q[!  
    How to Set Up a Scanning Source 7H~J?_  
                                                                                   I<["ko,t@?  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 ~%8T_R/3  
    x_yQoae  
    系统构建块-参数耦合 tzKIi_2  
       .Zzx W  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion ;]/emw=a  
                                                                                       ZjEc\{ s  
    系统构建块-失真分析仪 rda/  
                                                                               ^@"EI|fsP  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 [J`%i U  
     ("+J*u*kq_  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               Hfw*\=p  
    (H/2{##  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         Qel2OI`b  
    LZ ?z5U:  
    .h0@Vs  
     *T+Bjj;w  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: Wvg+5Q  
    =[7[F)I~O  
    Universal Detector LMF@-j%  
                                                                                   bJ$6[H-:  
    总结-组件… KO~_  
    M`~UH\  
     ?aMV{H*Q*  
    系统观感   de&*#O5  
     WlJ $p$I`  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 -{^IT`  
    Tgf#I*(^]  
     %O=U|tuc$  
    性能评估-点位偏差 d[p-zn.  
    .d4L@{V  
                                       D #`o  
    性能评估-光斑直径测量                                                       %+=y!  
    ,/XeG`vk  
    }r+(Z.BHM  
    vzr?#FG  
    h}T+M BA%  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 a (mgz&*  
    Q"@x,8xW  
    VirtualLab Fusion技术 {`Jr$*;  
             yqY nd<K4  
     
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