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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 hJ'H@L7  
                                             LmF,en5  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 &[.`xZ(|  
    I9*cEZ!l=e  
    建模任务 d!y*z  
    "#j}F u_!  
    系统构建块-扫描源                                                     fe?Z33V  
    yp.K-  
    How to Set Up a Scanning Source PLyity-L[7  
                                                                                   ATNOb  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 /fr>Fd  
    +T+@g8S  
    系统构建块-参数耦合 |@Tga_0p  
       LwH#|8F  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 'x!\pE-  
                                                                                       %fqR  
    系统构建块-失真分析仪 ^/2I)y]W0  
                                                                               1sQIfX#2f  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 9t"Rw ns  
     V8?}I)#(7  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               ,S8K!  
    |^pev2g  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         Eah6"j!B8n  
    XIHN6aQ{X  
    <>cS@V5j  
     S\ k<  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: #< im?  
    o\IMYT  
    Universal Detector &XP(D5lf`B  
                                                                                   -u2i"I730  
    总结-组件… |\5^ub,m  
    G6sK3K  
     :d36oiHKu  
    系统观感   Aw o)a8e  
     FK|O^- >B  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 1j<(?MT-  
    1uw#;3<L  
     kN1MPd4Yh  
    性能评估-点位偏差 \N>-+r  
    AZtS4]4G)  
                                       >:;dNVz  
    性能评估-光斑直径测量                                                       <j'V}|3  
    l>?c AB[  
    |?`5~f  
    N%y i4  
    U@lc 1#  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 lfGyK4:  
    u2V-V#jS  
    VirtualLab Fusion技术 mP(3[a_Q  
             'Ts:.  
     
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