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摘要 +$QL0|RL
 1gy}E=noP F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 6BN(^y# -X >fj$ wOq 建模任务 P ~
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 IZv, Wo
系统构建块-扫描源 = 4WZ r  U6'haPlOk% How to Set Up a Scanning Source / >. X+N IS
9q 5/] 系统构建块-透镜系统组件 P5xmLefng  |wb(rua 系统构建块-参数耦合 9egaN_K  wY_-
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion EbYH?hPo
VrE 5^\k<a 系统构建块-失真分析仪 )zt4'b\)v
 S=amj cC 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 _%Ld
E z
 1 HWJxV" 虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 [gd P HXs })SdaZ
通用探测器和探测器附加组件 k Q(y^t W 5_C #_=E
 sfPN\^k2
 Y <k,E Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: :@Dos'0Px RZh)0S >J Universal Detector PQ"%Z.F" Bg0cC 总结-组件… "EhO )lR
 v ]U;5Uo
 7<o;3gR7Kj 系统观感 ;OJ0}\*iP8
@CI6$ 通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 A":b_!sW
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5g>kr< K 性能评估-点位偏差 p}7&x[fTLk
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 K/+C6Y? 性能评估-光斑直径测量 hBE> e a aB! Am +g  I 8;[DP9
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此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 Hbc&.W;g7[
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VirtualLab Fusion技术 NT/B4'_@
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