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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 K @h9 4Ni6  
                                             eelkK,4  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 v~AD7k2{8  
    9cJ1J7y  
    建模任务 G5T(  
    gK_#R]  
    系统构建块-扫描源                                                     p\G1O*Z  
    ;/R\!E   
    How to Set Up a Scanning Source /V"6Q'D  
                                                                                   (/^dyG|X'  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 LUfo@R  
    {+CBThC  
    系统构建块-参数耦合 `#c36  
       DPM4v7 S  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion g><i tA?  
                                                                                       *!c&[- g  
    系统构建块-失真分析仪 3DX@ggE2  
                                                                               ~RU-N%Kn  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 qo!6)Z  
     >MLP mER  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               h}n?4B~Gi  
    ('oA{,#L  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         :\cid]y3  
    4%"Df1 U  
     8\Uy  
     Fu\!'\6  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: tpj6AMO/`d  
    8k9q@FSln  
    Universal Detector i~i ?M)  
                                                                                   Qk?J4 B  
    总结-组件… pdq5EUdS  
    ^tRy6zG  
     I2^@>/p8\(  
    系统观感   t+t D  
     \L:+k `  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 SG{&2G  
    du>d?  
     eEZZ0NNe;  
    性能评估-点位偏差 G @8wv J  
    3,dIW*<**  
                                       g..&x]aS(  
    性能评估-光斑直径测量                                                       #p7_\+&5s  
    L 4Sa,ZL  
    y*vg9`$k  
    0kxe5*-|  
    +T8]R7b9  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 z"$huE>P6  
    ,c6c=di  
    VirtualLab Fusion技术 30<3DA_P  
             dCO7"/IHW  
     
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