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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 %ycCNS  
                                             &z\]A,=T c  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 Gkr^uXNg#  
    @M V%&y*z.  
    建模任务 7(<49bb.V  
    ]/+qM)F  
    系统构建块-扫描源                                                     GD$jP?  
    <}E^r_NvD  
    How to Set Up a Scanning Source p ]zYj >e  
                                                                                   ; YaR|)B  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 Iy}r'#N  
    r $du-U  
    系统构建块-参数耦合 wnE c   
       P'Fy,fNg  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion e<> Lr  
                                                                                       aqb;H 'F  
    系统构建块-失真分析仪 S%ri/}qI[{  
                                                                               !_`T8pJ`  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 ,qRSB>5c  
     F$K-Q;r]<  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               c#G]3vTdE  
    (jD..qMs#  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         f$E66yG  
    (/_Q r2KfC  
    f/b }X3K  
     FGOa! G  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: |7Q8WjCQ{m  
    c= 2e?  
    Universal Detector e^@/ Bm+B  
                                                                                   4:}`X  
    总结-组件… V=|^r?  
    2`* %NJ  
     g[;iVX^1&  
    系统观感   ru`;cXa,  
     34C ^vBp  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 t.pg;#  
    LeW.uh3.  
     1V`]sfRK  
    性能评估-点位偏差 <LW|m7  
    4(4JQ(5  
                                        &1Fcwj  
    性能评估-光斑直径测量                                                       Xh]\q)  
    2LYd # !i  
    yj$S?B Ee  
    .Qh8I+Q%  
    Hcd>\0  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 7o z(hO~  
    x#0C+cU  
    VirtualLab Fusion技术 DuvP3(K  
             y`Pp"!P"O  
     
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