切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 691阅读
    • 0回复

    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek
     
    发帖
    6421
    光币
    26250
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 s7gf7 E#Y  
                                        
    .h } D%Qa  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 }6(:OB?  
    P,], N)  
    建模任务 eS+LFS7*k  
    s;)tLJ!  
    系统构建块-扫描源                                                
    t38T0Ao  
    e1a%Rj~  
    How to Set Up a Scanning Source `fHiY.-  
                                                                                   {uG_)GFr0  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 Np)!23 "  
    F:U_gW?  
    系统构建块-参数耦合 [! o -F;  
       YLr2j 7  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion Z/;SR""wa  
                                                                                  
     ,1kV9_x  
    系统构建块-失真分析仪 9tgkAU`  
                                                                          
    Sy~Mh]{E  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 3s Nq3I  
    D~,R @7  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               Gj?q+-d!(5  
    #,pLVt<  
    通用探测器和探测器附加组件                                                    
    suSIz 7:  
    [J#(k`@  
    _u!G 6   
    |0 VP^md  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: :zoX Xo  
    1gr jK.x  
    Universal Detector wm4e:&  
                                                                                   h)8_sC  
    总结-组件 ' ga2C\)  
    e76)z; '  
    .})8gL7 V  
    系统观感   +cN2 KP  
    :4TcCWG  
    通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 N"{o3QmA  
    P&VI2k  
    i=UJ*c  
    性能评估-点位偏差 Wov_jVdN\  
    CaMG$X&O  
                                  
    bHNaaif}P  
    性能评估-光斑直径测量                                                       9p<l}h7g  
    Ab)7hCUW  
    Y_B( R  
    vY koh/(/u  
    5kz`_\ &  
    此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 UK/k?0  
    zrM|8Cu  
    VirtualLab Fusion技术 J)_ 42Z  
        
    NgKNT}JDv  
     
    分享到