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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 SEzjc ~@3  
                                             T]&?^QGAZ  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 3R%JmLM+R9  
    `0]N#G T  
    建模任务 ms}o[Z@n  
    RNB&!NC  
    系统构建块-扫描源                                                     h]&  
    5O]tkHYR  
    How to Set Up a Scanning Source =T2SJ)  
                                                                                   |Ol29C$@|  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 1 PdG1'  
    ?o+%ckH  
    系统构建块-参数耦合 vf.MSk?~ar  
       J{\Uw].|0  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion hizM}d-"C  
                                                                                       )GG9[%H!  
    系统构建块-失真分析仪 56s%Qlgx  
                                                                               Aj cKz  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 =bD.5,F)  
     (N&?Z]|yr  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               $)ka1L"N  
    E%v0@  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         d5Ae67  
    )HE{`yiLL  
    qtAt=` s  
     s1cu5eCt  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: y$-@|M$GG  
    G9okl9;od  
    Universal Detector N(4y}-w$  
                                                                                   2=K|kp5  
    总结-组件… !^F_7u@Q  
    qdpi-*2  
     c$ib-  
    系统观感   T_Tu>wQX  
     BrSvkce  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 e'$[PF  
    Rjq\$aY}%  
     zL+t&P[\  
    性能评估-点位偏差 UJqh~s  
    em,1Yn?  
                                       80Hi v  
    性能评估-光斑直径测量                                                       1K/ :  
    F%p DF\  
    Ow>u!P!  
    6:%lxG  
    H:hM(m0?q  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 cd1-2-4U  
    !YGHJwW:  
    VirtualLab Fusion技术 HM)D/CO,?  
             sk9Ejaf6>  
     
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