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摘要 ORF:~5[YS`
 H#V&5|K% F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 :] U\{;q2 yZ[g2*1L 建模任务 ^dk$6%0
 J ]Z~.f="
系统构建块-扫描源 "9 c=kqkX  ,m]5j _< } How to Set Up a Scanning Source V Zr:yE JttDRNZAU 系统构建块-透镜系统组件 @q>Hl`a  6i+,/v r 系统构建块-参数耦合 a9p:k
]{  ILAn2W
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion a,S;JF)v
M.s'~S7y 系统构建块-失真分析仪 q! 'p
 +e2:? d@ 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 [(3s5)O
 ^Z;zA@[wt 虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 %>=6v} f,+ $57b.+2n
通用探测器和探测器附加组件 hchG\ i t>?tWSN f
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 K y%lu^ Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: J+E,Ui ZU O8bxd6xb Universal Detector EV{Ys}3M [H <Tc T8 总结-组件… kUS]g
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 4%ooJi|) 系统观感 D%yY&q;
"E MW'>&m 通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 RfTGTz@H
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 CKK}Z;~: 性能评估-点位偏差 _7;:*'>a4
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 '-RacNY 性能评估-光斑直径测量 =gQ9>An -GCo`PR?b  Su2{ nNC>
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此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 Yjjh} R#
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VirtualLab Fusion技术 \/M x|7<
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