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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 }E,jR=@  
                                             /Ht/F)&P  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 KS?mw`Nr  
    % mJ~F*Dy  
    建模任务 uFC?_q?4\  
    CJv> /#$/F  
    系统构建块-扫描源                                                     IO*l vy  
    HLM;EZ  
    How to Set Up a Scanning Source B(8mH  
                                                                                   { v,{x1  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 ' *}^@[&  
    .#sz|0  
    系统构建块-参数耦合 W  _J&M4  
       -}E)M}W  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion |>Z&S=\I)  
                                                                                       wKGo gf[(%  
    系统构建块-失真分析仪  gm(De9u  
                                                                               G *ds4R?!  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 r)OO&. P@j  
     Zd8drT'@#  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               % Oz$_Xe  
    n>br,bQe  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         sw[oQ!f  
    H_Iim[v#  
    T<f2\q8Uo=  
     8~.iuFp  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: ~:T3|  
    Wx}M1&d/J  
    Universal Detector /8=:qIJYA  
                                                                                   MF&3e#mdB  
    总结-组件… |3 ;u"&(P  
    h (qshbC}  
     ud yAP>  
    系统观感   `0Yt1Z&  
     mm_^gQ,`  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 SOhSg]g  
    T~s&)wD  
     "Ys_ \  
    性能评估-点位偏差 S|~i>  
    XpR.rq$]  
                                       "|F. 'qZrm  
    性能评估-光斑直径测量                                                       #m[vn^8B]y  
    ]Mn&76 fu  
    5LO4P>fq  
    ^CfM|L8>  
    qo6 1O\qm  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 5woIGO3X  
    -Uzc"Lx B  
    VirtualLab Fusion技术 F='Xj@&O  
             ~^^!"-  
     
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