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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 'Si 1r%'m#  
                                             Pkm3&sW  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 a^*@j:[  
    {cNH|  
    建模任务 Uv-xP(X  
    G(puC4 "&  
    系统构建块-扫描源                                                     ?Q< o-o;B  
    NTHy!y<!h  
    How to Set Up a Scanning Source |Q'l&Gt6  
                                                                                   5 E%dF9q  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 3KF[ v{  
    ^}-(8~_en  
    系统构建块-参数耦合 zlh}8Es  
       @CSTp6{y  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion `dYM+ jpa  
                                                                                       \gh`P S-B  
    系统构建块-失真分析仪 6[h 3pb/m  
                                                                               0.^9)v*i  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 M. Fu>Xi  
     :(,Eq?  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               5"Ibm D>D  
    $Q[>v!!X  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         #Fua^]n  
    G?Y2 b  
    ~ituPrH%<  
     yK +&1U2`  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: C} #:<Jx  
    qp-/S^%  
    Universal Detector ])= k";76  
                                                                                   "RG.27  
    总结-组件… acWm+  
    v'C`;I  
     ELp @/c=Wr  
    系统观感   Y&O<A8=8  
     .)W'{2J-  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 "+js7U-  
    "YlN_ U  
     @`N)`u85[  
    性能评估-点位偏差 V~+{douq  
    8J:6uO c|  
                                       m8Q6ESg<*u  
    性能评估-光斑直径测量                                                       dkuB{C,  
    vj I>TIy  
    %f.(^<G u  
    u-zl-?Ne  
    %@Nuzdp  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 `J h> 1l  
    klG]PUzd  
    VirtualLab Fusion技术 Kc=&jCn  
             FAVw80?5k  
     
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