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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 ]zR,Y= #  
                                             MnT+p[.  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 >a5avSn  
    +{/*P 5  
    建模任务 VkDFR [k_  
    ^`Qh*:T$  
    系统构建块-扫描源                                                     @V5'+^O  
    V[BlT|t  
    How to Set Up a Scanning Source }hX"A!0  
                                                                                   "Qxn}$6-  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 bcy( ?(  
    !Knv/:+  
    系统构建块-参数耦合 ,O}2LaK.O  
       yi9c+w)b  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion !>L+q@l)  
                                                                                       ^jMo?Zwy  
    系统构建块-失真分析仪 `A o;xOJ  
                                                                               x1ID6kI[{*  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 Le':b2o  
     OJ\rT.{  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               4!r> ^a  
    NurbioFL  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         M[ZuXH}  
    )B' U_*  
    ALY% h!L  
     /,Sd  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: dj0`Q:VZ  
    N~A#itmdx  
    Universal Detector S.Fip _  
                                                                                   )iG+pP@.@  
    总结-组件… b1{XGK'  
    lt&30nf=  
     f3]u-e'b  
    系统观感   @5# RGM)5^  
     Y)L\*+ >"[  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 tF d^5A*  
    A*:(%!  
     +6* .lRA  
    性能评估-点位偏差 v1j]&3O  
    ;ckv$S[p  
                                       7" wn0 24  
    性能评估-光斑直径测量                                                       /@bLc1"  
    OWK)4[HY(  
    7TQh'j   
    cMEM}Qh T  
    J}.y+b>8\  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 =9;jVaEMJL  
    = *A_{u;E  
    VirtualLab Fusion技术 g loo].z  
             p3eJFg$  
     
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