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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 &|3 $!S  
                                             SN7"7joP<  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 jB{4\)  
    7Mb# O_eh  
    建模任务 }by;F9&B  
    )M6w5g  
    系统构建块-扫描源                                                     i;LXu%3\  
    ?7<JQh)"e  
    How to Set Up a Scanning Source s l]_M  
                                                                                   1 $/%m_t  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                  J5^'HU3  
    ,lZB96r0  
    系统构建块-参数耦合 yE}}c{hSn  
       uV!^,,~  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion Z .92y  
                                                                                       ?b(=1S\E'^  
    系统构建块-失真分析仪 gb H<]?  
                                                                               F(tx)V ~T3  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 E[/\7 v\  
     &*+'>UEe5  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               9I6a"PGDb  
    D)L+7N0D~  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         `{dm;j5/y  
    < jJ  
    kqFP)!37  
     f&Gt|  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: E=nIRG|g  
    ?l9XAW t\  
    Universal Detector hb}+A=A=+  
                                                                                   aDU<wxnSvO  
    总结-组件… E|iQc8gr&  
    i<#QW'R(  
     Q+[n91ey**  
    系统观感   3}}38A|4  
     2LF/H$] o5  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 oKuI0-*mR  
    {*G9|#[/@  
     IxY|>5z  
    性能评估-点位偏差 c2l@6<Ww  
    Te"ioU?.  
                                       rC5 p-B%  
    性能评估-光斑直径测量                                                       xi~?>f  
    0X6YdW_2X  
    ag [ZW  
    (C\]-E>  
    marQNZ  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 oB(?_No7  
    5_GYrR2  
    VirtualLab Fusion技术 6]K_m(F  
             Ni9/}bb  
     
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