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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 B]Thn  
                                             [n :<8ho  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 #`)(e JF  
    "g1)f"pL  
    建模任务 O6LS(5j2  
    7eAX*Kgt<_  
    系统构建块-扫描源                                                     Eea*s'  
    sG F aL  
    How to Set Up a Scanning Source  |'B7v i)  
                                                                                   i%0ur}p  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 a6uJYhS~  
    9po3m]|zy  
    系统构建块-参数耦合 -w"VK|SGm  
       lE4HM$p   
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion =,6z4" )  
                                                                                       Zg{KFM%  
    系统构建块-失真分析仪 rR(X9i  
                                                                               kZmpu?P  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 4bYK}o S  
     uFinv2Z '  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               Q o{/@  
    -#N.X_F  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         \D*KGd]M0  
    V<T9&8l+:  
    D=-SO +  
     `T5W}p[6  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: RwpdRBb  
    <^5Z:n!q  
    Universal Detector klT@cO-9  
                                                                                   H[U!%Z  
    总结-组件… fof TP1  
    n'E(y)9|  
     Dv5D~on{  
    系统观感   {#?N  
     %N>%!m  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 Lh!J >  
    S.-TOE  
     C26>BU<  
    性能评估-点位偏差 svcK?^ HTe  
    L.*M&Ry  
                                       'h|DO/X~L  
    性能评估-光斑直径测量                                                       gd`!tRcNY  
    -g*4(w  
    <7/R,\Wg~  
    3TeY%5iVt  
    5B3G @KR  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 e> e}vZlX  
    d928~y W  
    VirtualLab Fusion技术 7:plQ !7^  
             FKDk+ojw  
     
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