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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 D2`tWRm0  
                                             |=7ouFl  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 8#gS{   
    S+Aq0B<  
    建模任务 f&w8o5=|I  
    q][{?  
    系统构建块-扫描源                                                     =|lKB;  
    &95iGL28Q  
    How to Set Up a Scanning Source ,r{[lD^  
                                                                                   l:O6`2Z  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 R6ynL([xh  
    D{&0r.2F  
    系统构建块-参数耦合 %rpJZ t  
       fX,L;Se"  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion x(/KHpSWK  
                                                                                       Yq;|Me{h  
    系统构建块-失真分析仪 h*_h M1*;  
                                                                               ~RV>V*l  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 m@hmu}qz-  
     EK^B=)q6:W  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               lF]cUp#<  
    <MhjvHg  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         JJHr<|K  
    #"^F:: b-  
    TO.71x|  
     stDrF1{  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: sp4J%2b  
    1]HEwTT/1_  
    Universal Detector SbNs#  
                                                                                   tn-_3C  
    总结-组件… T~%}(0=m  
    M{U{iS  
     wD}ojA&DU  
    系统观感   @V/Lqia  
     P@ewr}  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 ,EyZ2`|  
    {*VCR  
     :` >|N|i  
    性能评估-点位偏差 (9_~R^='y  
    {shf\pm!o  
                                       > uS?Nz5/  
    性能评估-光斑直径测量                                                       8}/v[8p  
    Wq_#46P-  
    vEJ2d&  
    <}~`YU>=v  
    , Vz 1l_7  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 )D ^.{70N  
    TqbDj|7`R  
    VirtualLab Fusion技术 /5^"n4/M  
             jseyT#2  
     
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