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摘要 ADv"_bB:h
 . xLF}{u F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 97]a-)SA (&P0la 1 建模任务 BvZ^^IUb
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系统构建块-扫描源 u_6 BHsU  ueE?"Hk How to Set Up a Scanning Source DNW2;i<hsz +>!B(j\gx 系统构建块-透镜系统组件 mj(&`HRs4  lR@i`)'?U 系统构建块-参数耦合 ^0s\/qyqm  4$?w D <
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion l\=-+' Y
-#S)}N En 系统构建块-失真分析仪 C7jc 6(> m
 pg?i F1 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 r}y[r }vk
 L'\/)!cEd 虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 GIRSoRVsh :<N6i /
通用探测器和探测器附加组件 0Y 6q$h>4 KYkS6|A
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 S}m$,<x Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: pVV}1RDa $@_<$ t Universal Detector PHRGhKJW}) h"PS-]:CD 总结-组件… Y[ iDX#
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 C?[a3rNH( 系统观感 _^6| ^PT.
+ -H}s` 通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 @@%i( >4Z
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 e' U"`)S 性能评估-点位偏差 bSrRsgKvT
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b(}Gm@# 性能评估-光斑直径测量 jF38kj3O7 p K6e/eC  2/v35| ?
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此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 *t# s$G a
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VirtualLab Fusion技术 ocIt@#20 K
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