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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 W[^qa5W<FB  
                                             ,-OCc!7K  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 rQaxr!  
    4sP2g&  
    建模任务 A4]s~Ur  
    e@ \p0(  
    系统构建块-扫描源                                                     Iy6$7~  
    >~Qr  
    How to Set Up a Scanning Source &|`C)6[C  
                                                                                   $e /^u[~:  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 gL3"Gg3  
    'gt-s547  
    系统构建块-参数耦合 bcZf>:gVf  
       u@4V7;L  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion kWrp1`  
                                                                                       7H|$4;X^  
    系统构建块-失真分析仪 s\P2Bp_{  
                                                                               <$hu   
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 4DOK4{4?5  
     zH*KYB  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               ~jb"5CX  
    1Zi,b  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         FEJ~k1z  
    nYJTKU  
    s|NjT  
     O/!bG~\Y  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: !S_^94b@  
    /AQMFx4-5  
    Universal Detector :hI@AA>g  
                                                                                   LvEnXS  
    总结-组件… B)QHM+[= F  
    %/rMg"f:  
     {b@KYR9K  
    系统观感   {N#KkYH{"  
     A mwa)  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 k`x=D5s\  
    z-c}NdW  
     T t>8?  
    性能评估-点位偏差 0{j&6I2  
    ai0Ut   
                                       M5trNSL&u  
    性能评估-光斑直径测量                                                       2m~V{mUT!  
    h/,${,}J  
    >G'SbQ8  
    W.w)H@]7m  
    SKW%X8  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 ,p9i%i  
    A%2:E^k(s  
    VirtualLab Fusion技术 ZlojbL@|4  
             "rAY.E]  
     
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