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摘要 >jAr9Blz]
v=?U{{xQ F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 ?iG}Qj@5 V%&t'H{ 建模任务 pRmnS;*z&
:qy`!QPUm 系统构建块-扫描源 2XrPgq' B+|E|8" How to Set Up a Scanning Source RsU=fe, "/hM& 系统构建块-透镜系统组件 eSXt"t 9@C3jZ+9`H 系统构建块-参数耦合 (A?{6
9"R]"v3BA Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 5=Mm=HyI2 DHGv<
F@ 系统构建块-失真分析仪 {s|rk
13Ga # 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 cs`/^2Vf"#
W<TW6_*e 虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 %*P59% !c:Q+:,H 通用探测器和探测器附加组件 Rk^Fasg" 8^=g$;g
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H V<|eL # Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: wo7.y["$ AY:3o3M Universal Detector Mw7!w-1+ c\UVMyE 总结-组件… zfL$z,zgf
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"FZ`( 系统观感 i0,{*LD%^ I"@X~Y7} 通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 Mm-FdP
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&'Qz 性能评估-点位偏差 Y+<C[Fiq uOc>~ITPS
&KgR;.R^J 性能评估-光斑直径测量 :gY$/1SYD *wP8)yv7 cO<]%L0 sl|s#+Z
g}IdU;X$NT 此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 y&9S+ &/=>:ay+# VirtualLab Fusion技术 UT [7 J
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