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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 'rB% a<  
                                             b~aM=71  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 GD4S/fn3  
    J ?o  
    建模任务 wQSan&81Q  
    t6"%u3W8M  
    系统构建块-扫描源                                                     Yw|v5/>  
    G80N8Lm  
    How to Set Up a Scanning Source Vuz.b.,i`  
                                                                                   &N^j }^ Z  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 V,-we|"  
    *2h%dT:,%  
    系统构建块-参数耦合 httywa^  
       @j\:K<sk  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 3RaduN]  
                                                                                       e a=E/HR-  
    系统构建块-失真分析仪 0:V /z3?  
                                                                               9,?~dx  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 afrF%!  
     u''Ce`N  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               =v:?rY}  
    T]tP!a;K  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         ^MpMqm1?8;  
    \]> YLyG  
    t\,Y<9{w  
     G'JHimP2j  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: JX&U?Z  
    9L>?N:%5  
    Universal Detector WZ'Z"'  
                                                                                   w5>[hQR\  
    总结-组件… ei5YxV6I  
    F{x+1hct0  
     8 W  
    系统观感   qPPe)IM'Sc  
     Wk[a|>  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 FI^Wh7J  
    70qEqNoC  
     &l+Qn'N  
    性能评估-点位偏差 ]Q"T8drL  
    kp*v:*  
                                       :qE.(k1@5  
    性能评估-光斑直径测量                                                       YdhV a!Y  
    .`IhxE~mN  
    Y:DopKRD  
    W]po RTJ:  
    _*AI1/>`  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 5Cdn j  
    Kg 6J:HD49  
    VirtualLab Fusion技术 &@lfr623  
             Cfi4~&  
     
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