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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 e}P@7e  h  
                                              Mz+vT0  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 vp9wRGd  
    L"NfOST3'R  
    建模任务 0Wc_m;  
    %NTJih`  
    系统构建块-扫描源                                                     B =7maYeU  
    NFC/4  
    How to Set Up a Scanning Source -@Urq>^v T  
                                                                                   u^#e7u  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 d0&  
    YW&`PJ9o  
    系统构建块-参数耦合 ^SW9J^9  
       #{^qBP[  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion uu"hu||0_  
                                                                                       /Ahh6=qQY  
    系统构建块-失真分析仪 p )]x,F  
                                                                               0\s&;@xKk  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 Q1x15pVku/  
     x9S9%JG :  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               #!%zf{(C+  
    k#7A@Vb  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         %o{IQ4Lz#  
    6j+X@|2^  
    zSu,S4m_;  
     *"4l}&  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: ~*UY[!+4^=  
    Mn<s9ITS-  
    Universal Detector }T AG7U*  
                                                                                   /L5:/Z  
    总结-组件… jA[")RVG  
    j)Kd'Va  
     U0srwt97S  
    系统观感   lC,~_Yb  
     45$aq~%as  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 &%8IBT  
    ,'9R/7%s  
     eT]*c?"  
    性能评估-点位偏差 TeO'E<@  
    9?~6{!m_9  
                                       m|t\w|B2  
    性能评估-光斑直径测量                                                       t}?-ao  
    vy2"B ch  
    r .6?|  
    ,"{e$|iY  
    bNiJ"k<pN  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 qDz[=6BF  
    Dl AwB1Ak  
    VirtualLab Fusion技术 7^mQfQv  
             c': 4e)  
     
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