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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 , %X~/V  
                                             6l IFxc  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 mfLS< /A  
    Y;S+2])R2  
    建模任务 >L?)f3_a  
    72} MspzUt  
    系统构建块-扫描源                                                     z7F~;IB*u  
    [Fe`}F}Co8  
    How to Set Up a Scanning Source d;|Pp;dc  
                                                                                   KcP86H52I  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 p_ =^E*J]  
    :*TfGV  
    系统构建块-参数耦合 ^r73(8{)  
       4`)B@<  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion a;m-Vu!  
                                                                                       pm O}m>  
    系统构建块-失真分析仪 <T:u&Ic  
                                                                               YVZm^@ZVV  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 GEy^*, d  
     {PGNPxUbe  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               _QfA'32S  
    )El#Ks5u  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         "YHqls}c  
    R1/ )Yy  
    Q$G!-y+"i  
     *nU7v3D  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: VWd=7  
    @v_ )(  
    Universal Detector $@[6jy  
                                                                                   I :%(nKBK  
    总结-组件… c3]ZU^  
    SfQ ,uD6  
     ?n>h/[/  
    系统观感   &H;0N"Fn  
     e?3 S0}  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 8.Wf^j$+{  
    ZffK];D  
     t.c XrX`k  
    性能评估-点位偏差 >V@-tT"^:  
    =yOIP@  
                                       y^=\w?d  
    性能评估-光斑直径测量                                                       ,*8}TIS(s  
    M?x/C2|  
    Uaog_@2n,  
    5`*S'W}\>  
    & ,2XrXiFu  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 IIUoB!`  
    {LVii}<  
    VirtualLab Fusion技术 g:`V:kbY$  
             9a"[-B:  
     
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