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摘要 QRjt.Ry|
 Y sDl2P F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 *~"`&rM( M#p,Z F 建模任务 RAxz+1JT
 g:)v thOs
系统构建块-扫描源 /l`X Js  WI9.?(5q How to Set Up a Scanning Source %qHT!aP n"
~*9' 系统构建块-透镜系统组件 a]k&$  +!Ltn 系统构建块-参数耦合 SrtmpQ  tvUvd(8 w
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion >tzXbmFp;
7 AiCQW f9 系统构建块-失真分析仪 ba ?k:b
 cmeyCyV* 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 }M9al@"
 xRUYJ=|oh 虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 [:'n+D=T3M Hn~1x'$
通用探测器和探测器附加组件 MocH>^, $^!w`>0C
 !O-+ h0Z
 Y< +4>Eh Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: ~}AP@t* \2,18E Universal Detector :I('xVNPz Uk9g^\H<D 总结-组件… h"ylpv+
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 ^4[[+r 系统观感 gT
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bAiw] xi 通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 ,LZ:y1z'V-
L'Zud,JKg
 d@t r]v5 B 性能评估-点位偏差 N 3c*S"1
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 =@ZtUjcJx 性能评估-光斑直径测量 G{.+D2 7
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此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 %b;+/s2W
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VirtualLab Fusion技术 LDe VNVM
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