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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 69?I?,7  
                                             *(>Jd|C  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 Y]?Kqc  
    dV$3u"9  
    建模任务 mMga"I9  
    q^u6f?B  
    系统构建块-扫描源                                                     x ru(Le}E  
    _J +]SNk  
    How to Set Up a Scanning Source jDFp31_X  
                                                                                   pFS F[9?e>  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 !Q[;5Lqt  
    fdg[{T4:  
    系统构建块-参数耦合  9F/|`  
       (=6P]~,  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion aYqqq|  
                                                                                       x0y% \  
    系统构建块-失真分析仪 gt#MeU  
                                                                               _QD/!~O  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 7^`RP e^a+  
     U<1}I.hDJ  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               #}nBS-+  
    aA7S'[NjB  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         YNuewD  
    3AX?B~s  
    27}.s0{D  
     wEZqkV  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: Y}85J:q]  
    ?S+/QyjcfJ  
    Universal Detector GZ; Z  
                                                                                   &3!i@2d;3f  
    总结-组件… n5/ZJur  
    DX]z=d)tc  
     PEMxoe<+  
    系统观感   3 (Gygq#  
     1Kp?bwh"u  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 $Vd?K@W[h  
    clij|?O  
     I8XGU)  
    性能评估-点位偏差 $IZ *|>(  
    O e0KAn  
                                       L5hQdT/b$  
    性能评估-光斑直径测量                                                       }])G Q@  
    >b[4  
    *fOS"-C L  
    Zw3hp,P]  
    nS?S6G5h  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 Z&2 &wD  
    #c8"  
    VirtualLab Fusion技术 Br_3qJNVP  
             1q;I7_{ 2  
     
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