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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 QIN# \  
                                             g5Hsz,x  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 < R@&<E6  
    R<h0RKiM@  
    建模任务 8r\xQr'8h  
    Eh_[8:dK  
    系统构建块-扫描源                                                     q|D*H9[ke  
    AQ.q?'vE)  
    How to Set Up a Scanning Source ~}~ yR*K%  
                                                                                   f'Xz4;  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 DUm/0q&  
    1^;&?E  
    系统构建块-参数耦合 \v9<L'NP)  
       ~>$(5 s2  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion v#sx9$K T  
                                                                                       f;ycQc@f  
    系统构建块-失真分析仪 ~0.@1zEXj  
                                                                               GWShv\c}  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 +n`^W(  
     z#&qWO  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               1G8t=IA%D  
    VHws9)  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         p7O4CP>9[  
    :TWHmxch  
    @1[LD[<  
     wA)R7%&  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: Fn%:0j  
    wY}+d0Ch  
    Universal Detector PsD]gN5"  
                                                                                   &9g#Vq%   
    总结-组件… 3 ?/}  
    gzdgnF2  
     WI'csM;M#  
    系统观感   |b7>kM}"  
     *XzUqK  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 <~8W>Y\m  
    ')FNudsC  
     [K9q+  
    性能评估-点位偏差  Q{Bj(f  
    _H3cqD  
                                       pK1(AV'L  
    性能评估-光斑直径测量                                                       o_$r*Z|HG  
     L_Ai/'  
    ;j_#,Da9<  
    Wj*6}N/  
    &k{@:z  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 KoXXNJax  
    XJ NKM~  
    VirtualLab Fusion技术 hQ8{ A7  
             q{JD]A:  
     
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