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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 Mc.^s  
                                             i /C'0  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 jw/ wcP  
    S [ i$e  
    建模任务 T<_+3kw  
    aTi0bQW{  
    系统构建块-扫描源                                                     mJ/^BT]  
    E:%>0FE  
    How to Set Up a Scanning Source Z#%}K Z  
                                                                                   5N Fq7&rJ6  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 Un~]Q?w  
    Xk;Uk[  
    系统构建块-参数耦合 5BZ+b_A>VV  
       ^9n}-Cqeq  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion zv&ePq\#  
                                                                                       #V,LNX)  
    系统构建块-失真分析仪 01'y^`\xQ  
                                                                               ]U#JsMS  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 rGGS]^  
     elNB7%Y/  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               &`-_)~5]  
    3{6ps : w  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         x4/T?4k  
    :LU"5g  
    A3m{jbh  
     hYs82P|2Ol  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: 9@JlaY)0  
    I=Gr^\x=  
    Universal Detector @#'yPV1  
                                                                                   3}v0{c  
    总结-组件… ': 5Trx  
    gF$1wV]e  
     ' }y]mFpF  
    系统观感   ,ZsYXW  
     mrw]yu;2<n  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 |k/`WC6As.  
    oSpi{ $x  
     B4PW4>GF  
    性能评估-点位偏差 u Zo]8mV  
    #p']-No  
                                       #JHy[!4  
    性能评估-光斑直径测量                                                       f>.` xC{  
    \HBVNBY  
    UUt~W  
    nL "g23  
    *C[4 (DmB  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 Lg\8NtP   
    ,AGM?&A  
    VirtualLab Fusion技术 {o Q(<&Aw  
             tg4LE?nv  
     
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