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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 !%X`c94  
                                             QBy*y $  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 Jq#Cn+zW  
    ~e+w@ lK  
    建模任务 hrD6r=JT<~  
    bSghf"aN  
    系统构建块-扫描源                                                     YeLOd  
    TfVD'HAN;l  
    How to Set Up a Scanning Source dmy-}.pqN  
                                                                                   bZXNo  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 dE]"^O#Mc  
    "/?qT;<$)  
    系统构建块-参数耦合 .[fz x`  
       ks;wc"k"  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion ? ^CGJ1  
                                                                                       '5U$`Xe1  
    系统构建块-失真分析仪 \xxVDr.  
                                                                               F/SsiUBS  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 u&xK>7  
     yp^*TD/J  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               =.hDf<U  
    61/zrMPn  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         uFWgq::\  
    Bedjw =B  
    #L0I+ K,K\  
     N{t :%[  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: @t8kN6.  
    ] <3?=$  
    Universal Detector q'U5QyuC  
                                                                                   p8dn-4  
    总结-组件… 8M9\<k6  
    I JY5wP1"  
     Ch9!AUiR  
    系统观感   \]A;EwC4C  
     @a\SR'8  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 b6vYM_ Q  
    pHB35=p28  
     JvL'gJ$70  
    性能评估-点位偏差 \_AEuz3 F  
    78CJ  
                                       t=rAc yNM  
    性能评估-光斑直径测量                                                       BQ&q<6Tk  
    ~<- ci  
    /^ 3oq]  
    y!N)@y4  
    B"9hQb  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 ;nKHm  
    G5#}Ed4  
    VirtualLab Fusion技术 .00=U;H%`  
             Df~p 'N-$  
     
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