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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 >jAr9Blz]  
                                        
    v=?U{{xQ  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 ?iG}Qj@5  
    V%&t'H{  
    建模任务 pRmnS;*z&  
    :qy`!QPUm  
    系统构建块-扫描源                                                
    2XrPgq'  
    B+|E|8"  
    How to Set Up a Scanning Source RsU=fe,  
                                                                                   "/hM&  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 eSXt"t  
    9@C3jZ+9`H  
    系统构建块-参数耦合 (A?{6  
       9"R]"v3BA  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 5=Mm=HyI2  
                                                                                  
    DHGv< F@  
    系统构建块-失真分析仪 {s|rk  
                                                                          
    13Ga #  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 cs`/^2Vf"#  
    W<TW6_*e  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               %*P59%  
    !c:Q+:,H  
    通用探测器和探测器附加组件                                                    
    Rk^Fasg"  
    8^=g$;g  
    ,.tT9? m  
    H V<|eL #  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: wo7.y["$  
    AY:3o3M  
    Universal Detector Mw7!w-1+  
                                                                                   c\UVMyE  
    总结-组件 zfL$z,zgf  
    =<(:5ive  
    nL@ "FZ`(  
    系统观感   i0,{*LD%^  
    I"@X~Y7}  
    通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 Mm-FdP m  
    sj2v*tFb  
    &'Qz  
    性能评估-点位偏差 Y+<C[Fiq  
    uOc>~ITPS  
                                  
    &KgR;.R^J  
    性能评估-光斑直径测量                                                       :gY$/1SYD  
    *wP8)yv7  
    cO<]%L0  
    sl|s#+Z  
    g}IdU;X$NT  
    此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 y&9S+  
    &/=>:ay+#  
    VirtualLab Fusion技术 UT [7 J  
        
    MLY19;e  
     
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