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摘要 s7gf7E#Y
.h }D%Qa F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 }6(:OB? P,], N) 建模任务 eS+LFS7*k
s;)tLJ! 系统构建块-扫描源 t38T0Ao e1a %Rj~ How to Set Up a Scanning Source `fHiY.- {uG_)G Fr0 系统构建块-透镜系统组件 Np)!23 " F:U_gW? 系统构建块-参数耦合 [! o-F; YLr2j 7 Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion Z/;SR""wa ,1kV9_x 系统构建块-失真分析仪 9t gkAU`
Sy~Mh]{E 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 3sNq3I
D~,R@7 虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 Gj?q+-d!(5 #,pLVt< 通用探测器和探测器附加组件 suSIz 7:
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VP^md Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: :zoX
Xo 1gr jK.x Universal Detector wm4e:& h)8_sC 总结-组件… ' ga2C\)
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.})8gL7V 系统观感 +cN2 KP :4TcCWG 通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 N"{o3QmA P&VI2k
i=UJ*c 性能评估-点位偏差 Wov_jVdN\ CaMG$X&O
bHNaaif}P 性能评估-光斑直径测量 9p<l}h7g Ab)7hCUW Y_B(R vYkoh/(/u
5kz`_\& 此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 UK/k?0 zrM|8Cu VirtualLab Fusion技术 J)_42Z
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