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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 4=xq:Tf  
                                             /THnfy \  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 U'y,YtF@  
    Hd%! Nt\u  
    建模任务 `4V"s-T'  
    zmiZ]uq  
    系统构建块-扫描源                                                     Fnb2.R'+  
    h0Ee?=  
    How to Set Up a Scanning Source "~/9F  
                                                                                   ^ S  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 #f*g]p{   
    ,."b3wR[w  
    系统构建块-参数耦合 K"\MU  
       3?.1n Gu  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion oq$w4D0Z  
                                                                                       Km!nM$=k  
    系统构建块-失真分析仪 fxgU~'  
                                                                               .et ^4V3  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 `ZMK9f:  
     lZW K2  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               __I/F6{ 9V  
    nN aXp*J  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         HI`q1m.  
    C!&y   
    \4{2eU  
     `#Kx|x6  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: tHh HrMxO  
    !tXZ%BP.u  
    Universal Detector  f:wd&V  
                                                                                   r &%.z*q  
    总结-组件… he$XLTmr:  
    Kesy2mE  
     C5@V/vA  
    系统观感   aY)2eY  
     ]]BOk  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 l&W;b6L  
    c|AtBgvf  
     a{'Z5ail  
    性能评估-点位偏差 B=X,7  
    zl%>`k!>  
                                       3s*(uS(  
    性能评估-光斑直径测量                                                       syPWs57pH  
    yGj.)$1},@  
    iY0>lDFm.  
    Y<f_`h^r  
    SDYv(^ f ,  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 8)yI<`q6  
    -*a?<ES`  
    VirtualLab Fusion技术 3y A2WW  
             EQ<RDhC@b  
     
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