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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 PUU "k:{  
                                             y}\d]*5  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 vO?\u`vY  
    u0o}rA  
    建模任务 -za+Wa`vH  
    5{PT  
    系统构建块-扫描源                                                     )o=ipm[  
    KxA ^?,t[  
    How to Set Up a Scanning Source ?3duW$`  
                                                                                   Ro2Ab^rQ|  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 .!oYIF*0zC  
    SV?^i`  
    系统构建块-参数耦合 , z-#B]  
       ep,"@,,  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion e >6NO  
                                                                                       y E; n. L  
    系统构建块-失真分析仪 GR%h3HO2&  
                                                                               +o ;}*  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 ],W/IDv  
     8:9/RL\"x  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               2HX#:y{\l  
    *XCgl*% *  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         ji&%'h  
    u/ Gk>F  
    MsD@pa  
     X2 PyFe  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: K/;*.u`:  
    3g{T+c*  
    Universal Detector (O(X k+L  
                                                                                   ((AsZ$[S  
    总结-组件… cns~)j~  
    17C"@1n-  
     F7"v}K]X  
    系统观感   E S>iM)M  
     N!Q~?/!d  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 4nz$J a)  
    Vlf=gP  
     4b@ Awtk  
    性能评估-点位偏差 ,,Ia4c  
    JYesk  
                                       -#y^$$i0  
    性能评估-光斑直径测量                                                       #;lB5) oe  
    G@(ukt`0}  
     L7rEMq  
    -qDM(zR  
    M3EB=tU  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 gP^p7aYwn  
    QcN$TxU>  
    VirtualLab Fusion技术 Iq% 0fX  
             T1_qAz+  
     
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