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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 RoZV6U~  
                                             iN*@f8gf  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 L+L9)8FJ  
    9n7d "XD2  
    建模任务 5WYU&8+]{:  
    i\G3 u#  
    系统构建块-扫描源                                                     gK CIfxM  
    b.;W|$.  
    How to Set Up a Scanning Source #v-!GK_<  
                                                                                   ?da3Azp  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 Sj ?'T@  
    nabN.Ly  
    系统构建块-参数耦合 pxj"<q`nw8  
       -tQ|&fl  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion :*1w;>o)n  
                                                                                       25L{bcng  
    系统构建块-失真分析仪 3[rB:cE/  
                                                                               "K<VZ  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 E_oe1C:  
     |=POV]K  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               %}[??R0  
    )[1m$>  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         bBX~ZWw  
    U VT8TN-T  
    L;"<8\vWB  
     i  *<,@*  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: j4h 7q<  
    _*9Zp1r  
    Universal Detector Gu= Rf`o  
                                                                                   'SmdU1]4BD  
    总结-组件… 5IMH G%W7  
    Ogb_WO;)  
     aI{[W;43T  
    系统观感   gT.-Cf{  
     oC [g  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 #lO;G k{  
    i]nE86.;  
     { at; U@o  
    性能评估-点位偏差 )~`zjVx_  
    [Z 0 e$  
                                       {x8`gP\H  
    性能评估-光斑直径测量                                                       wb}tN7~Y;  
    ?vVkZsU  
    W.a/k7 p  
    6voK{C4J  
    1pV"< ,t  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 DB0xIP~i,?  
    Z8 T{Xw6%  
    VirtualLab Fusion技术 zE[c$KPP  
             r (uM$R$o  
     
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