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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 +n9&q#ah  
                                             $ sEe0  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 KK]AX;  
    qfppJ8L  
    建模任务 gq[}/E0e  
    u 8U>R=M  
    系统构建块-扫描源                                                     mMrvr9%  
    >?M:oUVDU  
    How to Set Up a Scanning Source 7H[#  
                                                                                   s\o </ZDo  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 NNutpA}s  
    8c+i+gp!  
    系统构建块-参数耦合 *|$s0ga C  
        2b1LC!'U  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion ;^}cZ  
                                                                                       AyNl,Xyc4  
    系统构建块-失真分析仪 h'UWf"d  
                                                                               H|F>BjXn5  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 I=f1kr pR  
     C_O 7  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               lqqY5l6j  
    QEUg=*3W=  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         (' `) m  
    M0c"wi@S_  
    ~ ;)@a  
     E_WiQ?p   
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: o [ar.+[  
    !Si ZA"  
    Universal Detector TKoO\\  
                                                                                   a<!g*UVL0M  
    总结-组件… `ZV;Le '  
    iv#9{T  
     7_#v_ A^  
    系统观感   ?]kIztH  
     U <4<8'  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 _PNU*E%s<  
    BT d$n!'$n  
     LfOGq%&  
    性能评估-点位偏差 FD_0FMZ9,  
    gADt%K2 #Z  
                                       #: ' P3)&  
    性能评估-光斑直径测量                                                       }qV4]*+{  
    .vQ2w  
    J9poqp@`MG  
    9IMRWtZWT  
    22tY%Y9  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 ;1{S"UY  
    IA8kq =W  
    VirtualLab Fusion技术 z_JZx]*/  
             JEJ] '3  
     
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