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测量系统 s)`(@"{ kLF`6ZXtd 应用示例简述 5RFro^S9E Pd\4hy 1. 系统说明 }7(+#ISK6 !'p<Kh[i 光源 R54ae:8 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) HY
FMf3 元件
vxTn — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 @#OL{yMy 探测器 eZqEFMBTm — 干涉条纹 `bfUP s 建模/设计 OKlR`Vaty — 光线追迹:初始系统概览 6QCVi — 几何场追迹加(GFT+): j1%8r*Jj 计算干涉条纹。 nJ]7vj,rB 分析对齐误差的影响。 =eUKpYI
&:&l+ 2. 系统说明 -X!<$<\y; gBv!E9~l 参考光路 "Zh,;)hS SsTBjIX 3. 建模/设计结果 QK[^G6TI ^tGAJ_b79 qnboXGaFu 4. 总结 &qG/\ ))f@9m 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 (ct1i>g `gx\m=xG 1. 仿真 %W\NYSm 以光线追迹对干涉仪的仿真。 :_6o|9J\t 2. 计算 BInSS*L 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 J<"K`|F 3. 研究 * @]wT' 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 q"<=^vi CLzF84@W= 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 m(U.BXo SNOc1c<~ 应用示例详细内容 _>\33V-?b 系统参数 PiM(QR 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 +_J@8k syW[uXNLZ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 -Yse^(^"s XjN=UhC 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 ocWl]h]. 7FcZxu\ 2. 说明:光源 ,$:u^;V( eLPtdP5k 3WF]%P%
使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 <Hr<QiAK 因此,相干长度大于1m pJ}U'*Z2 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 H!]&"V77 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 lwX9:[Z STjb2t,a !7I07~&1 <M1*gz 3. 说明:光源 9nc_$H{ en'[_43 KPO w 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 _]o7iqtv 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 "=s}xAM|A 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 xbhHP2F| 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 sx=1pnP9` 4. 说明:光学元件 ,\"x#Cc f RNw#sR j[gqS% 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 W vB]Rs 位相延迟平板材料为N-BK7。 L;")C,CwQ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 lhYJectJa 透镜材料为N-BK7。 1$03:ve1 其中心厚度与位相平板厚度相等。 2QbKh) 9ns( F: TxK
v!-1 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 9_5>MmiB Sy <E@1 yJC:
bD1xi 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 YT!iI 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 +BtLd+)R A'jL+dI. 6. 分光器的设置 18%$Z$K, >$rH,Er +
>dC vzI>:Bf 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 (Ud"+a 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 c{1)-&W 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 h\@X!Z, jbS@6 *_ 7. 合束器的设置 npkT>dB+ <Rw2F?S~)n s-Gd{=%/q )fXw ~ 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 yxu7YGp% 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 #]c_2V v2]N5 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 <(Ar[Rp SHPDbBS ^E\4` 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 RjUrpS[I 应用示例详细内容 B]yO 仿真&结果 ,ov$`v bz nMD 1. 结果:利用光线追迹分析 {f4jE#a>v P|ibUxSA~, 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 [AFR \{ 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 k8n9zJ8 g/$RuT2U 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 NKFeND 3'L =S F7C+uGTs 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 6W YVHG 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 Jb> X$|N'% 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 fGeie m 3%9XJ]Qao 3. 对准误差的影响:元件倾斜 \25EI] DS4y@,/)' 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 _M8'~$Sg 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 voRb>xF 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 9f&
!Uw_W 6X'0 T} 4. 对准误差的影响:元件平移 nvQX)Xf _8PNMbv{ 元件移动影响的研究,如球面透镜。 % mPv1$FH 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 Y#9bM$x7 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 GK6~~ga= M7Xn=jc =`(W^&| 5. 总结 {C]tS5$Z 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 w
`d9" n w?"M 4. 仿真 p {.6 以光线追迹对干涉仪的仿真。 aEa.g.SZ O`_, _ 5. 计算 '"Uhw$#t 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 '.%Omc
>U\P^yU 6. 研究 a|]deJU^ 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 Ht}?=ZzW Uv<nJM 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 {QdoIPr3 dqBN_P% 扩展阅读 ;c|_z 9+ (ruMOKW 1. 扩展阅读 o+k*ia~Fa 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 ~A%+oa*2~ W%&s$b( 开始视频 o)b-fAd@$ - 光路图介绍 Hv'
OO@z - 参数运行介绍 G[`2Nd< - 参数优化介绍 sc-h O9~k 其他测量系统示例: }=|{"C - 迈克尔逊干涉仪 8ZjRMr}
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