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测量系统 P4H%pm{- Ut|G.%1Vd% 应用示例简述 zPWJ=T@N 1FC' iGI 1. 系统说明 *|97 g*G( ~m@v ~= 光源 /8](M5X]f — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) eksYIQZ] 元件 SI-G7e)3;> — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 r92C^h0 探测器 y<#?z 8P — 干涉条纹 n\CQ-*;l 建模/设计 ;G
27S<Q — 光线追迹:初始系统概览 wlvh DJ — 几何场追迹加(GFT+): Y5rR 计算干涉条纹。 7=Vs1TVc 分析对齐误差的影响。
B6| g2Tt {Ftz4y)6 2. 系统说明 n+Bh-a V ? dD<KCbP, 参考光路 ~k}>CNTr  '8 O(J7J 3. 建模/设计结果 )+!~xL /d<"{\o Y bX3_N& 4. 总结 +vR$% 8V]oR3' 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 w"p,6Ew JYQ.Y!X1O 1. 仿真 6L`{oSX! 以光线追迹对干涉仪的仿真。 !sbKJ+V7 2. 计算 >=<qAkk 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 c_oI?D9 3. 研究 jSY&P/[xb 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 ^4D7sS;~3 }M9R5!=q 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 5)%bnLxn KZK9|121 应用示例详细内容 QEUr+7[ 系统参数 _3G;-iNX; 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 3M/iuu y(I_ 6+B^ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 ,}9 G|$ y-Xd~<*Ia 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 K]0Q=HY{. st8=1}:&\ 2. 说明:光源 %TO=]>q m5m'ByX(* ~S5wfx& 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 Cd>GY 因此,相干长度大于1m s`:>"1\| 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 8(.DI/ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 ah82S)a`} $6&P 69<
bzI!;P1& iG:9uDY 3. 说明:光源 81O\BO.T |7ga9 Y}'8`. 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 M7$ h 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 |*~=w J_ 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 Bl)znJ^ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 ^LA.Y)4C2% 4. 说明:光学元件 buIy+ 6usy0g
D /(`B;? 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 A5d(L4Q]a( 位相延迟平板材料为N-BK7。 ^X&`:f 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 QuJ~h}k 透镜材料为N-BK7。 e ]@Ex 其中心厚度与位相平板厚度相等。 n?@3+wG 3f 1@<7* amPC C 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 XHKVs UV ?.KVD~ b!>w4MPe 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 /xK5%cE>B 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 r#Pkhut Jk$XL<t 6. 分光器的设置 "82<}D^; =xO q-M EYwDv4H,g 6bL"Z OEu 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 i.4L;(cg 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 N9W\>hKaeh 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 Ivw+U-Mz =c)O8 7. 合束器的设置 \M]w I G4!$48 =~Ac=j!q rUunf'w`e1 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 bL=32YS 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 :U5>. ): +6vm4(3? 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 V^qZ~US G\ twx ; |"[[.Adw9" 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 ]jWe']T 应用示例详细内容 )N{Qpbh 仿真&结果 RI#Cr+/ (n&Hjz,Fv 1. 结果:利用光线追迹分析 !_+LmBd
G sje}E+{[ 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 C[j'0@~V:B 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 Qp{rAAC: :#!m(s` 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 PVAs# ~ MB<oWH[e) H79|%@F" 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 ]Y|Y ? 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 q#v&&]N= 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 ojO<sT:by ArBgg[i 3. 对准误差的影响:元件倾斜 .tB[8Y =J &~
g||rq 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 [YT"UVI 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 ?YY'-\h? 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 $CaF"5}?Ke }U$Yiv 4. 对准误差的影响:元件平移 `0+zF- clz6;P 元件移动影响的研究,如球面透镜。 \NbMS C&H 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 9C5w!_b@ 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 M%f96XUM
R1'bB"$ [`P+{ R 5. 总结 4/S% eZB 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 iARIvhfdi
WpX)[au 4. 仿真 be `\ O 以光线追迹对干涉仪的仿真。 >JVZ@
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H Q4Mp[ 5. 计算 (3C6'Wt 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 8D
eRs# X)d7y 6. 研究 tk4~ 8 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 }p0|.Qu 9 ZK))91;v 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 U7U-H\t7 ev>gh0 扩展阅读 W?8 |h G S-@drZp_ 1. 扩展阅读 fU_itb( 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 +)Tt\Q%7 Klh7&HzR 开始视频 xtL_,ug - 光路图介绍 ?4wS/_C/ - 参数运行介绍 epi{Ayb - 参数优化介绍 xd\k;nq 其他测量系统示例: djV^A - 迈克尔逊干涉仪 Kx?3 ]
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