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测量系统 D@m3bsMwe KBgFS%-W 应用示例简述 lr)9 U7 qCm8R@ 1. 系统说明 E*L5D4Kw \cHFV 光源 _TbvQY — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) }D!o=Mg^ 元件 O:#/To' — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 [f]:hJi 探测器 ;b 'L2 — 干涉条纹 *56q4\1 建模/设计 /mK]O7O7 — 光线追迹:初始系统概览 )!'7!" $ — 几何场追迹加(GFT+): ov1#BeQ 计算干涉条纹。 BuOe'$F
0t 分析对齐误差的影响。 1+xi1w}3a b:$q5 2. 系统说明 r>t|.=! e_3B\59k 参考光路 J>fq5  -#r= 3. 建模/设计结果 e+y%M (w
Q,($@ <,J O 4. 总结 -5@hU8B'a jOL=vG 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 sRflabl *x s^/2sjoL 1. 仿真 SU(J 以光线追迹对干涉仪的仿真。 pAyUQe;X# 2. 计算 8L*#zaSAf 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 DKG;up0 3. 研究 6dYa07 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 BipD8`a 9!6u Yf+ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 DN;$->> 0,6!6>BOT 应用示例详细内容 v1 f^gde 系统参数 )2R]KU_=g 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 bUc++M o)H|
#9h5 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 NFI~vkk'G tD]vx`0> 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 ;ih;8 !ozHS_ 2. 说明:光源 /Ur]U
w :d@RN+U `8;\}6:"1 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 %< Jj[F 因此,相干长度大于1m UL xgvq 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 E/_n}$Z 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 7+rroCr" 'i 8`LPQ
x/%/MFK)>8 cd4HbSp 3. 说明:光源 q[c^`5 4!Lj\.!$ QV _aM2 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 y~wN: 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 :* J! 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 5w</Ga 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 ~ _ko$(;A 4. 说明:光学元件 8>DX
:` 'fY29Xr^ ePTxuCf> 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 Nk?/vMaw 位相延迟平板材料为N-BK7。 o1[[!~8e 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 LKst
QP!I 透镜材料为N-BK7。 [\=1|t5n~ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 \Lm`jU(:l 8/-hODoT_ PsN_c[+ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 H2CpZK' (_fovV= Oo9' 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 n^/)T3mz{ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 ne=CN!= ~FnY'F<35 6. 分光器的设置 c>wne\(5H [vxHsY3z a!,X@5 \Z-Fu=8J8^ 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 2W;2._ 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 "fu@2y4^ 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 B9]bv] c+:^0&l 7. 合束器的设置 ~zQxfl/ ^_uCSA'X eqqnR.0 'v5q/l 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 yER 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 |q
Pu*vR ]qiX"<s>~C 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 i ~rb-~o BVS
SO's FPu$N d&\ 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 X5=I{eY} 应用示例详细内容 C9eisUM 仿真&结果 h79~d%- .L.9e#?3 1. 结果:利用光线追迹分析 W4)bEWO+q ?)7UqVyq 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 ~Sx\>wBlc 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 ix5<h } Tb{RQ?Nw' 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 3]kN9n{ [ZS.6{vr ~gg&G~ET 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 rv2;)3/* 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 imyfki $B 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 \og2\Oh&gH 8qoA5fW> 3. 对准误差的影响:元件倾斜 0+AMN- *TPWLR ^ 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 D0h6j0r5 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 8[:G/8VI 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 ~iq=J5IN# $}=r45e0K 4. 对准误差的影响:元件平移 K+P a b ? )-25?B 元件移动影响的研究,如球面透镜。 q&^H"
fF 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 _AH_<Z( 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 wcGv#J], w^}*<q\ c,#Nd@ 5. 总结 6sT(t8[ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 cvYKZB kH4m6p
4. 仿真 !wKiMgLS 以光线追迹对干涉仪的仿真。 (*\y i#PR
Tbc 5. 计算 HstL'{&,-m 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 GK#D R/OM -jVg{f! 6. 研究 38%"#T3# 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 B)rBM )M8@|~~ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 {~#d_!( D!i|KI/ 扩展阅读 juxAyds >2NsBS( 1. 扩展阅读 (Z8wMy&: 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 ^MVOaV65 Y]i:$X]C?X 开始视频 He&A>bA)z - 光路图介绍 c*R18,5- - 参数运行介绍 /9| 2uw` - 参数优化介绍 AG"iS<u 其他测量系统示例: IEWl
I - 迈克尔逊干涉仪 R S] N%`]
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