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测量系统 wCn W]<+ /p X\)wi 应用示例简述 :[\}Hn= ;uDH&3W 1. 系统说明 XQlK}AK }@a_x,O/x} 光源 [",W TZ: — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) oryoGy=(yk 元件 )ZNH/9e/ — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 I.q nA 探测器 QXgh[9wG — 干涉条纹 $Wb"X=}tl 建模/设计 r+v*(Tu — 光线追迹:初始系统概览 >KM<P[BRd — 几何场追迹加(GFT+): mpXco *!_ 计算干涉条纹。 \f@PEiARG7 分析对齐误差的影响。 Wd&!##3$Q *Swb40L^ 2. 系统说明 a.wRJ [y=k}W}z 参考光路 k gWF@"_  Ou8@7S 3. 建模/设计结果 +?nW +a"Asvw2 ldi'@^ 4. 总结 (ioi !p %2bZeZ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 uK}k]x\z }& `# 1. 仿真 0(:"q!h 以光线追迹对干涉仪的仿真。 zOWbdd_zl 2. 计算 p4HX83y{ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ]W-:-.prh 3. 研究 xr)kHJ:v 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 I)Lg=n$ waO*CjxE: 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 (Dq3e9fX _@jl9<t=_ 应用示例详细内容 ^<[oKi;> 系统参数 Hz%#&E 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 $*L@ym Qighvei 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 cz&Qoyh{; r?[PIf 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 vr=iG
xD w*$nG$ 2. 说明:光源 7cY_=X-?Y +Rxf~m(pV 7PHvsd"]p 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 ]0V~|<0c 因此,相干长度大于1m $PHKI B( 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 o&fAnpia= 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 K,?M5n ' {$oZR"MP
byyz\>yAVq BLuILE:$ 3. 说明:光源 m"X0Owx +cQ4u4 {cq; SH 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 o^d(mJZ.F~ 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 6>SP5|GG 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 V,*YM 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 z#8GF^U:T 4. 说明:光学元件 R%8nR6iG" nPR_:_^ < |