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测量系统 1EyL#;k ai*f
F 应用示例简述 FE o269Ur \(">K 1. 系统说明 ?h!i0Rsm LOTP*Syjf 光源
=~I-]4 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) ?<*-j4v 元件 fo4.JyBk — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 |+$%kJR= 探测器 DD44"w_9 — 干涉条纹 ;=? ~
-_ 建模/设计 KLX/O1B — 光线追迹:初始系统概览 z5bo_Eq — 几何场追迹加(GFT+): /CTc7.OYt 计算干涉条纹。 (5Sivw*mP 分析对齐误差的影响。 R1Ye<R!Q Z`&4SH=j 2. 系统说明 &P,^.' =YG _z^' 参考光路 NvN~@TL28  w{dIFvQ"$ 3. 建模/设计结果 M _LXg% v2,%K`pAU BA=,7 y&;j 4. 总结 6'W [{gzl zS< jd~ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 CDi<<, [&*6_q"V 1. 仿真 C%~a`e|/Y 以光线追迹对干涉仪的仿真。 >E,U>@+ 2. 计算 kcDyuM` 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 GTv#nnC 3. 研究 I-agZag% 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 3zT_^;:L [j4v]PE 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 tDDy]==E hAj1{pA, 应用示例详细内容 c)&>$S8* 系统参数 TPE:e)GO 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 z>R#H/h+ _W3Y\cs,- 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 g=T/_ Y
qcD-K 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 ~ 7)A"t HMY@F_qY`u 2. 说明:光源 EVQ0l@K
bw&myzs g+PPW88P; 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 'lZ.j& 因此,相干长度大于1m DF {OnF 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 k'_ P7 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 8j1ekv (5^ZlOk3
[_xyl e 2u?zO7W)-L 3. 说明:光源 h.K(P+h iq*A("pU X bkb5EkA 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 zhB ">j8j 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 <:8,niKtw 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 OlD`uA 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 YDmWN# 4. 说明:光学元件 &Np9kIMCB #=}$OFg woq)\;CK 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 YwH./)r= 位相延迟平板材料为N-BK7。 =8=!Yc(> 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 l2hG$idC 透镜材料为N-BK7。 ;7Oi! BC 其中心厚度与位相平板厚度相等。 +\# Fd SK$Vk[c] 2>em0{e 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 T}7uew\v0< e~v(eK_ P%X-@0) 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 p$;I' 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 8Z85D A\te*G0:S 6. 分光器的设置 O7aLlZdg~ 6g>)6ux>aV q;AT>" = ) ^+?|Qfi 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 c#xP91.m 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 cjULX+h 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 d`Q7"}uZ |dadH7 7. 合束器的设置 L4f7s7rJ #k5#j4!b P"7ow- MEwdw3 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 5nCu~<uJ 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 GIHpSy`z 6ew "fCrH! 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 @{Py % ;BH>3VK fMK#x\.4 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 -pTI? 应用示例详细内容 1K|@h&@ 仿真&结果 POU}/e!Ua k4KHS<n0 1. 结果:利用光线追迹分析 #I`ms$j% 8V4V3^_xs 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 VGH/X.NJ 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 <xS=# %hT4qzJj 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 M:ai<TZ] B!aK &:?e & 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 'zgvQMu 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 m[2'd 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 I6OSC&A` a5`eyL[f 3. 对准误差的影响:元件倾斜 4?]oV%aP) QV,E#(\5 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 zJ& b|L 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 {^RG%
&S 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 )@:l^$x , &' Y 4. 对准误差的影响:元件平移
Go+[uY^ lQt% Qx 元件移动影响的研究,如球面透镜。 @sf90&f 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 uzorLeu 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 Di??Q_$ak )bWrd$X QdDtvJLf 5. 总结 MguL$W&l 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 {tzxA_ Mz|L-62 4. 仿真 !
sYf< 以光线追迹对干涉仪的仿真。 y' tRANxQ N
<pbO#e 5. 计算 StM/ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 B3L4F" |6B6?' 6. 研究 %RFYm 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 8j\d~Lw= ZzL@[g 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 -Z?Ck!00 QN 0r E@a 扩展阅读 ZC\mxBy Fd!iQ 1. 扩展阅读 Tt6{WDscZ 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 o`U|`4, M]ap: 开始视频 =WRO\lgv. - 光路图介绍 Dsb(CoWw - 参数运行介绍 W]LQ &f - 参数优化介绍 uZ[/%GTX{) 其他测量系统示例: 6D*chvNA; - 迈克尔逊干涉仪 +{&+L0DfH~
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