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测量系统
M U?{?5 n</k/Mk} 应用示例简述 )
\-96 xd 7Ai o`&^ 1. 系统说明 V~T`& -VWCD,c 光源 22GnbA7O — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) #dZ/UM(u 元件
VFl 1 f — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 %6A-OF 探测器 Y9i9Uc.] — 干涉条纹 ,@Fgr(?'`> 建模/设计 E kBae= — 光线追迹:初始系统概览 %j*k — 几何场追迹加(GFT+): (_w
% 计算干涉条纹。 {_zV5V 分析对齐误差的影响。 g\o{}Q%X ls"b#eFC# 2. 系统说明 =w^TcV D3S+LV 参考光路 z;dcAdz9  ]{!!7Zz 3. 建模/设计结果 As@ihB+(\ pbDw Lo] 1C_'H.q<= 4. 总结 )L |tn _W0OM[ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 CKv&Re vWU%ST 1. 仿真 :1aL9 fT 以光线追迹对干涉仪的仿真。 8 7RHA $? 2. 计算 (R_CUH 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 >ik1]!j]Lv 3. 研究 $gVLk. 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 \!^i;1h0c3 g4N%PV8 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 Ia=_78MgZ ?"{QK:` 应用示例详细内容 },DyU 系统参数 Z)mX,=p 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 P*pbwV#| Zc-#;/b3T 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 }{ n\tzR =op`fn% 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 Bv^+d\*1 .Y!;xB/ 2. 说明:光源 4|nQ=bIau }0QN[$H! _yj1:TtCNT 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 1g1? zk8zO 因此,相干长度大于1m bxAsV/j 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 hUVk54~l 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 @l'G[jN5 E;6~RM:
H(G!t`K Mx8Gu^FW.d 3. 说明:光源 nO~b=qO -b
cG[W3 h$70H ^r 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 75ZH 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 9#uIC7M 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 Y}ng_c 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 q( IZJGb 4. 说明:光学元件 );nz4/V AHwG<k h40'@u^W 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 f`9JE8 位相延迟平板材料为N-BK7。 4otl_l(`yv 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 MY!q% 透镜材料为N-BK7。 =_[2n?9y 其中心厚度与位相平板厚度相等。 #e/2C Z!=L a:A n=NA 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 XYe~G@Q Z 6mCq/$ PWvSbn6 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 VJDoH 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 vQ 4}WtvA 1?(cmXj 6. 分光器的设置 ]ni6p&b> d<x1*a /HkFlfPd 'WQdr( 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 PL@~Ys0 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 vt.P*Z5 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 9JPEj-3`g n#BvW,6J 7. 合束器的设置 RvyuGU .s2$al H?tUCbw (ss3A9tG 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 } B0sC%cm 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 .n`( X#,*l n!G.At'JP 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 nL+p~Hi rVH6QQF=\ Q".g.k 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 O$qtq(Q% 应用示例详细内容 ydQ!4 仿真&结果 H\E7o"m t0Zk-/s 1. 结果:利用光线追迹分析 537?9 U\jb" 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 dv~pddOs 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 M+poB+K. mu[Op*) 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 @TzvT3\q B>z?ClH$R ]78!!G[` 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 /[K_
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