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测量系统 s`r-v/3l SF"#\{cjj 应用示例简述 7Zo&+ k*OvcYL1A 1. 系统说明 TZj[O1E [u7 vY@ 光源 @~s~/[ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) prwC>LE 元件 V0s,f.a — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 U>in2u9 探测器 y&y/cML? — 干涉条纹 \hrrPPD1z 建模/设计 5cgo)/3M@} — 光线追迹:初始系统概览 qP&byEs" — 几何场追迹加(GFT+): bI#<Ee0nJ 计算干涉条纹。 ):^ '/e 分析对齐误差的影响。 Yg[ v/[] 0~qf-x 2. 系统说明 wZ$tJQO abL/Y23
" 参考光路 n}0za#G  |PI)A` 3. 建模/设计结果 uC- A43utv [gpOuTW sr;:Dvx~ 4. 总结 ;*W=c 0r0c|*[+4z 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 hHCzj*5 KUF$h Er 1. 仿真 ~:T3| 以光线追迹对干涉仪的仿真。 w2 /* `YO 2. 计算 kJI3`gS+ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 sTt9'P` 3. 研究 P@2tR5<R 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 v#iFQVBq $pjf#P8U 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 Cca6L9% K2*1T+?X 应用示例详细内容 Y 5Qb4Sa 系统参数 D!X>O} 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 w~4
z@/^"p K?9WY]Ot 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 Z"-ntx# O;UiYrXU 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 tp#Z@5= RV(
w%g 2. 说明:光源 ]Mn&76fu 5LO4P>fq ^CfM|L8> 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 qo61O\qm 因此,相干长度大于1m 5woIGO3X 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 -Uzc"Lx B 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 sP9 ^IP ~^^!"-
P)Z/JHB v$[ @]` 3. 说明:光源 L& I`
# [&1iF1)4 V/`#B$6 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 |)28=Z|Z 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 mG>T`c|r3 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 ,D:iQDG^ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 ARmu{cL 4. 说明:光学元件 v;K{|zUdB 6].yRNy" #x, ]D 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 sXSj OUI 位相延迟平板材料为N-BK7。 <dq,y> 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 WA<H 透镜材料为N-BK7。 +F1]M2p] 其中心厚度与位相平板厚度相等。 0\V\qAk OI'uH$y bq c;.4$ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 Bx\#`Y :X3rd|;kc {[l'S 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 X4Pm)N` 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 '}wG"0 $~
pr+Ei 6. 分光器的设置 ~+nS)4( :`{9x%o; B=Xnv*e RH<@c^ S 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 K~7'@\2
? 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 1gF*Mf_7 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 [37f#p I'KR'1z 9 7. 合束器的设置 Xulh.:N} 1.hOE>A% gg lNpzj P Xyyyir{ 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 `l
HKQwu 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 ~0VwF /V#MLPA 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 ^ %~Et>C E&RoaY0 e1f^:C 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 S#dyRTmI 应用示例详细内容 5O;/ lX!u 仿真&结果 rC=p;BC@dD Up]VU9z 1. 结果:利用光线追迹分析 oN1!>S9m "cnG/{($* 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 #J%h!#3g 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 *>}McvtTw ]pM5?^<~ 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 htdn$kqG
{GGO')p sqq/b9 uL/ 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 kMwIuy 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 ^L*VW
gi9 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 1A,4Aw< 'W<a54T?z 3. 对准误差的影响:元件倾斜 pAPQi|CN 30gZ_8C>} 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 `4"y#Z 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 D{&+7C:8. 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 0ER6cTo-t 2u I`$A: 4. 对准误差的影响:元件平移 Ep v3/`I T }8r;<P6 元件移动影响的研究,如球面透镜。 1*c0\:BQ;z 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 b&|YQW}~ 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 %8z+R m,Ot 2WbZ>^:Nsk he#Tr'j 5. 总结 P /f ~ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 @BB,i / 0X S' v,| 4. 仿真 I?:+~q}lZr 以光线追迹对干涉仪的仿真。 hj#+8= cwDD(j
5. 计算 w
oY)G7% 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 U4mh! v J,xz*rc` 6. 研究 ZQ-z2s9U 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 #h5Hi9LKf ZRVF{D??"% 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 Qbe{/ Y
GcY2p< 扩展阅读 @Tj
6!v LeRh(a`=$ 1. 扩展阅读 wTJMq`sY_ 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 `P)64So-1 {F{[!. 开始视频 .Q6{$Y%l - 光路图介绍 y(p:)Iv - 参数运行介绍 ogh2kht - 参数优化介绍 \gPNHL* 其他测量系统示例: {&JurZ - 迈克尔逊干涉仪 A`r$fCt1Vi
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