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测量系统 @{e}4s?7od By,eETU] 应用示例简述 ,ng Cv;s pF >i-i 1. 系统说明 gg/-k;@ Rf QL/(72K 光源 Dpac^ST — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) L{\8!51L 元件 xH,a=8&9 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 E=Bf1/c\ 探测器 y<3-?}.aZ — 干涉条纹 !F-w3
] 建模/设计 {fM'6;ak — 光线追迹:初始系统概览
8W7J3{d — 几何场追迹加(GFT+): On?v|10r' 计算干涉条纹。 B-Hrex] 分析对齐误差的影响。 hfB%`x#akQ ty!`T+3 2. 系统说明 (,2SXV LOYk9m 参考光路 a-tmq]]E  2pCaX\t 3. 建模/设计结果 $HzBD.CF|x W@IQ^
}E ?j.,Nw4FC 4. 总结 -i|}m++ lVa%$F{Pq 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 1GRCV8"Z^ !BF;
>f` 1. 仿真 >'$Mp < 以光线追迹对干涉仪的仿真。 q
i;1L
Kc 2. 计算 ,p a {qne 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 /nsX]V6i 3. 研究 h#*dI`>l- 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 .{^5X)
e9tjw[+A 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 N"R]Yp;j Z{d^- 应用示例详细内容 gQuw1 系统参数 (CL%>5V 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 5DZ#9m/ j (d~aqW 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 vr l-$ii sP~<*U.7 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 ^ytrK
Q +sA2WK] 2. 说明:光源 q`-N7 ,$T U)gH}0n& =nS3p6>rZ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 q;CiV 因此,相干长度大于1m ]6`% 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 L*+@>3mu) 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 jr."I+ F>l]
9!P|m
R n[cW5Y< tk`v:t!6U 3. 说明:光源 59A}}.@?m cT,sh~-x, p2](_}PK 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 ki!0^t:9 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 ~
7s!VR 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 kevrsV]/$ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 W!(zT6# 4. 说明:光学元件 M }D}K\) niyV8v CTa57R 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 u6agoK|^9 位相延迟平板材料为N-BK7。
Otuf]B^s 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 D@.6>:;il 透镜材料为N-BK7。 T5h
H 其中心厚度与位相平板厚度相等。 R 9\*#c +0Y&`{#Z H{wl% G 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ?tbrbkx QWYJ* ~>|ziHx 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 SJ,v?=S! 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 tD)J*]G e"<OELA 6. 分光器的设置 |{ip T SH !|(NgzDP/ MTn{d 7.oM J 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 "to;\9lP 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 mzgfFNm^G) 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 ?@86P|19 U xGApK=X 7. 合束器的设置 W<g1<z\f <5051UEu !Uo4,g6r+ WyiQoN'q 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 AwR=]W;j 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 mfr|:i <hyKu
8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 t6c4+D'{]. z24q3 3O >(<f 0 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 ob]w;" 应用示例详细内容 R|(a@sL 仿真&结果 /n&&Um\ ;xTpE2 -~ 1. 结果:利用光线追迹分析 e0 ecD3 '&b+R`g' 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 p_4<6{KEt 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
0y\Z9+G: *;FdD{+ 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 pb,d'z\S tH4B:Bgj! -9?]IIVb 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 %hP^%'G 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 2=}FBA,2 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 ;'1d1\wiDQ ueNS='+m 3. 对准误差的影响:元件倾斜 i|kRK7[6B UiNP3TJ'L 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 :`sUt1Fw. 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 -{vD:Il=6 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 Y]a@j! |.dRily+ 4. 对准误差的影响:元件平移 4qa.1j(R/ M6TD"- 元件移动影响的研究,如球面透镜。 WIGi51yC.x 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 zQ PQ 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 #dHa,HUk ,esmV- !,PWb3S 5. 总结 ~TtiO#,t 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 !VpoZ W,u:gzmhw 4. 仿真 7+*WH|Z@ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 "@ n%Z ,!9zrYi} 5. 计算 `D9$v(Ztr 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 j<$2hiI/?& jEwIn1 6. 研究 <VE@DBWyl~ 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 \)e'`29; ,,r>,Xq6 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 )/P}?`I KPki}'GO 扩展阅读 y{Q
{'De a q-~B~c`g 1. 扩展阅读 I^]nqK 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 ^zr`;cJ+c dr"1s-D4IQ 开始视频 7p[n - 光路图介绍 +T+#q@ - 参数运行介绍 !IR6
,A\ - 参数优化介绍 n"8Yv~v*2j 其他测量系统示例: iow"n$/ - 迈克尔逊干涉仪 9H~n_
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