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测量系统 2".^Ma^D! f"wm]Q59 应用示例简述 /=|5YxY gk*Md+ 1. 系统说明 HoFFce7o r2Wx31j{ 光源 W8/8V, — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) cl4Vi% 元件 itp$c|{ — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 EZz`pE 探测器 U'Xw'?Uj — 干涉条纹 rl<!h5 建模/设计 7n_'2qY — 光线追迹:初始系统概览 ub#>kCL9 — 几何场追迹加(GFT+): HLPnbI-+ 计算干涉条纹。 `2j \(N, 分析对齐误差的影响。 X5M{No>z pO;BX5(x 2. 系统说明
H/eyc` @t;WdbxB% 参考光路 w(y#{!%+  )R QX1("O 3. 建模/设计结果 S!/N
lSr< 77:s=) nhUL{ER 4. 总结 SiM1Go}# [CfA\-gx<f 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 o*L#S1yL D>YbL0K>X~ 1. 仿真 }iK_7g`yKa 以光线追迹对干涉仪的仿真。 ,sM>{NK9R 2. 计算 |H,g}XWMU 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ~[|zf*ZISG 3. 研究 #*g .hL< 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 LB)sk$) SSS)bv8m 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 Rj/9\F3H %o~w 应用示例详细内容 ice7J2r_ 系统参数 7\q_^ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 V<#E!MG T@GR Tg 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 qlUw;{;p )LA^j|Y} 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 ATeXOe Rv
]?qJL 2. 说明:光源 /$IF!q+C }>
51oBgk_ (N etn& 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 4E Hb 因此,相干长度大于1m .?TPoqs7Z 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 Kp|#04] 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 I)$of9 NMSpi[dr
-V'`;zE6 A/ eZ!"Y 3. 说明:光源 iw,F)O NZ\aK}?~! ~dIb>[7wy 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 kXj%thDx 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 FmALmS 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 8Ee bWs*1 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 0I.9m[<Fc 4. 说明:光学元件 ZOFhX$I q4k)E @~!1wPvF`I 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 =A6/D 位相延迟平板材料为N-BK7。 x 5u.D^ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 <JA`e+Bi 透镜材料为N-BK7。 @G
vDl=. 其中心厚度与位相平板厚度相等。 9`8\<a'rU $ {$XJs4 -%XvWZvZ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 lR!Sdd} - I#Q
Tmg. /`iBv8! 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 mx#H+:}&r 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 q%4l!gzF3 gTK5z.] 6. 分光器的设置 ;Yrg4/Ipa VV(>e@Bc4 2a;vLc4 DPfP)J:~ 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 J&{qe@^ 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 W{OlJRX8 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 }2Lh'0 xY XpzdvR1 7. 合束器的设置 bQ-5uFe~$B 5Wj+ey^^w $+IE`(Ckf ]E66' 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 hFw\uETu 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 ,jBd3GdlZ w5l:^^zF( 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 2,nKbE9* IMY?L "C$z) 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 &XosDt 应用示例详细内容 =2#a@D6Bl 仿真&结果 s-eC' )w~E LxkToO{ 1. 结果:利用光线追迹分析 d\`A
^ ^4Ra$< 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 :GC<U|p 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 <^,w,A
,ZcW+! 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 W[o~AbU BRP9j
y 7?K?-Oj 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 wVBY^TE 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 ?;.j) 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 ?@9kVB*| DCb\=E 3. 对准误差的影响:元件倾斜 A~Eu_m @v9PI/c 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 L0SeG: 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 @<--5HbX 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 TX]4Y953D 0SV#M6`GX 4. 对准误差的影响:元件平移 :g3n
[7wR ;C%40;Q 元件移动影响的研究,如球面透镜。 'v4#mf 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 \)VV6'zih 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 CG IcuHp `rC9i5: XOO!jnQu 5. 总结 vV1F| 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ]]$s"F< ~$>l@> xX 4. 仿真 <Mo_GTOC! 以光线追迹对干涉仪的仿真。 PYqx&om WO$PW`k 5. 计算 `pF|bZ?v 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 IC+Z C w!)B\l^+c 6. 研究 9i WDEk 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 ^.,pq?_ eX9{ wb( 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 -UkP{x)S o=?sM q1< 扩展阅读 7/NXb xBd# 1. 扩展阅读 nnIBN4 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 dg 0`0k 0F sz 开始视频 u&`7 C - 光路图介绍 b9[;qqq@' - 参数运行介绍 $<2r;'?0D - 参数优化介绍 ~fB: >ceD 其他测量系统示例: 7*y_~H - 迈克尔逊干涉仪 zJ7vAL
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