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测量系统 @"^0%/2- oaIi2=Tf 应用示例简述 ++^l]8 (^Y~/ 1. 系统说明 j3{D^|0bP )84 ~ugs 光源 ?k(7 LX0j — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) 6V7B;tB 元件 q-}Fvel u — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 73/P&hT 探测器 ~=uWD&5B4 — 干涉条纹 gMzcTmbc8 建模/设计 )mF5Vw" — 光线追迹:初始系统概览 vzim<;i — 几何场追迹加(GFT+): !:q/Ye3. 计算干涉条纹。 7+\+DujE$ 分析对齐误差的影响。 ~?K ~L~f5 e,W%uH>X 2. 系统说明 ww],y@da ewctkI$,5 参考光路 =A83W/4  h4T5+~rw 3. 建模/设计结果 z=q3Zo cj$[E]B3V* <
HVl(O 4. 总结 9_Be0xgJ3^ wea-zN 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 3=aQG'B 2N: ,Q8~ 1. 仿真 W*Zkc:{eB 以光线追迹对干涉仪的仿真。 =THpdtL 2. 计算 :bwjJ}F 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 S[PE$tYT#t 3. 研究 Rh_np 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 L ~lxXTG\ g?z/2zKR 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 X= 5xh 5Co 应用示例详细内容 :~Wrf8UQ 系统参数 K,+LG7ec 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 |}BLF \LR~r%(rM 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 3@dL/x4A ,JAx
?Xb 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 ILEz;D{] (l^3Z3zf& 2. 说明:光源 QbkLdM,S* hT`J1nNt v+46QK|I& 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 WrQD X3 因此,相干长度大于1m JtYP E? 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 MQ5R O;RY 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 YIoQL}pX
mF*2#]%dx
HN=V"a ,(d)Qg 3. 说明:光源 e:fy#,HEj{ We$:&K0 sFT.Oxg< 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 ZSjMH .Ij" 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 7K,-01-: 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 :61Tun 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 #5cEV'm; 4. 说明:光学元件 JEXy%hl 1+szG1U= \?[v{WP) 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 O#:$^#j& 位相延迟平板材料为N-BK7。 Q sZx)
bO 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 .7e2YI,S 透镜材料为N-BK7。 KHe=O1 %QO 其中心厚度与位相平板厚度相等。 >7lx=T
x [I'0,y XG{{ 2f 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 @L<*9sLWh IHam 4$~- G18F&c~ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 1O/+8yw 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 ciBP7>':: Ixb=L(V 6. 分光器的设置 [Y|8\Ph`& 0h#lJS* sy:[T T!w xHL( !PF 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 hL/)|N~ 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 zKw`Md 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 lD)%s! .L9j>iP9 * 7. 合束器的设置 jN{Xfjmfv f[<m<I e<3K;Q N4^-` 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 X
iS1\* 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 /1"(cQ%? 'Y*E<6: 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 @Z*W o<|cA5f\ rM`X?>iT+ 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 $bW3_rl%X 应用示例详细内容 >p)MawT] 仿真&结果 (!ZM{Js% ?oVx2LdD| 1. 结果:利用光线追迹分析 rf
$ QxJ 5:pM4J 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 AJh w 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 +MR.>" VPO
N-{=` 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 uD\?(LM -=%@L&y1 XG}C+;4Aw 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 ;XF:\<+ 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 sPr~=,F 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 a][f ,5i` -OI 3. 对准误差的影响:元件倾斜 JSkLEa~< Bzkoo J 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 ;T"zV{;7BR 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 Wr<j!>J6Ki 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 >pU$wq|i Lx\8Z= 4. 对准误差的影响:元件平移 _2hS";K [<2<Y 元件移动影响的研究,如球面透镜。 s%qF/70' 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 !Y$h"<M 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 W}m)cn3@ q1z"-~i)E kjg~n9#T 5. 总结 OBMTgZHxv 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 @JtM5qB u$>4F|=T 4. 仿真 +1uF !G&l 以光线追迹对干涉仪的仿真。
8cU}I4| tmv&U;0Z 5. 计算 mtJ9nC 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 C9~52+S :Pvzl1 6. 研究 \?Z{hmN 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 6hlc1? 4.Q} 1%ZN 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 6N",-c *C5R}9O5 扩展阅读 +aJ>rR u])b,9&En 1. 扩展阅读 brW :C?} 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 19HM])Zw\ C69q&S, 开始视频 )Hpa}FGT - 光路图介绍 7({]x*o*% - 参数运行介绍 SLkhCR - 参数优化介绍 ]QpWih00V 其他测量系统示例: $K]m{ - 迈克尔逊干涉仪 T+*%?2>q"
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