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测量系统 )bR0>3/ ?AD-n6 应用示例简述 $,J0) ~ 4I$Y"|_e 1. 系统说明 G<=I\T'g; #g0_8>t 光源 ;ne`ppz0 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) Pc =ei 元件 ]{q=9DczG( — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 Ow*va\0 探测器 H8I)D& cw — 干涉条纹 mI!iSVqr 建模/设计 \O4s0*gw — 光线追迹:初始系统概览 2J{vfF — 几何场追迹加(GFT+): j~1K(=Ng 计算干涉条纹。 -3i(N.)<; 分析对齐误差的影响。 Y.) QNTh <" nWGF4d 2. 系统说明 qD4s?j-9 xEurkR 参考光路 ;4ybkOD  R6BbkYWrX 3. 建模/设计结果 BO4;S/ O wM4{\ f\ gm2|`^Xq$ 4. 总结 g-wE(L
Z^2SG_pD 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 4K'U}W D ka8[z7 1. 仿真 kmC0.\ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 eOiH7{OA, 2. 计算 9#9bm 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 :d9GkC 3. 研究 p0 X%^A,4
不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 pP1DR' krFp q; 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 vR:#g;mnk LwRzzgt 应用示例详细内容 C5-u86F 系统参数 TK18U*z7J 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 D{Nd2G Be]z @E1x 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 ;$6L_C4B $)"T9$>$ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 w-ald?` .tLRY 2. 说明:光源 {Kr}RR*{X )L6
it
8|{ZcW 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 >QvqH 2 因此,相干长度大于1m ;Us6:}s 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 o.NU"$\? 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 ]:D&kTc 0.wF2!V.
?OF$J|h *Vq'%b9 3. 说明:光源 =23B9WT 7F>]zrbK Jj[3rt?8 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 l![79eFp 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 NR(rr. 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 ,"`3N2!Y} 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 *~6]IWN` 4. 说明:光学元件 %A~. NNbS O4f9n 0'r}]Mws 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 8aVQW_m} 位相延迟平板材料为N-BK7。 D$)F
X(
所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 paD[4L?4Hk 透镜材料为N-BK7。 ~s4JGV~R 其中心厚度与位相平板厚度相等。 \G v\&_ 3{co.+ }0E@eL 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 u c!6?+0h uGXvP(Pg' ,/Gp>Yqx 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 c/bT5TIEWs 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 rjcH[U( {`2 0' 6. 分光器的设置 "7+^`? YK8l#8K $aTo9{M ^ 8i`T?KB 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 XU}i<5 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 wjX0r7^@ 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 ._x"b5C xP1D 9 7. 合束器的设置 otjT?R2g' }.|a0N 5 j^ 8Hjg \ :@!rM 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 Z%.Ld2Q{ 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 cqh1,h$sG E"BW-<_! 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 ',FVT4OMw fvTp9T\f3
2i6P<&@ 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 e
jk?If 07 应用示例详细内容 C;ha2UV0H 仿真&结果 }o
GMF~ p|;#frj 1. 结果:利用光线追迹分析 p,8:(|( O&.gc p! 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 d<\X)-" 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 uh)f/)6 ;erxB6* 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 |1OF!(: 'g)5vI~' z9AX8k(B6 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 bsc b 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 &{M-<M 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 M#],#o*G kbz+6LcV 3. 对准误差的影响:元件倾斜 `o+J/nc /WAOpf5 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 +@Kq 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 :oZ~&H5Q 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 Sf`?j Tt0]G_ 4. 对准误差的影响:元件平移 ,+n{xI2 $I4JKh 元件移动影响的研究,如球面透镜。 k
lr1"q7 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 w~9Y=|YI7 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 .0y .0=l BXl
Y V" %.IW H9P7 5. 总结 kafj?F 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 w 01\KV &eg@ZnPn 4. 仿真 .ddf'$6h 以光线追迹对干涉仪的仿真。 d{'u97GDc =p!Hl# 5. 计算 L|2WTyMU 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 olDzmy(=W* MIAC'_<-e 6. 研究 h7\16j 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 /EM=!@ka ?O
e, 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 W2,Uw1\:1 P.t7_v> 扩展阅读 h4M>k{ {1wjIo"ptg 1. 扩展阅读 ~rz%TDX0\ 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 _H2%6t/V !Ie={BpzbZ 开始视频 +u7nx - 光路图介绍 \G]vTK3 - 参数运行介绍 )d?L*X~y' - 参数优化介绍 8nRxx`U\q 其他测量系统示例: G-T2b,J
[ - 迈克尔逊干涉仪 9d,2d5Y
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