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测量系统 r=k}EP&< nO/5X>A,Zw 应用示例简述 #4hP_Vhc A#i-C+"} 1. 系统说明 rB)WHx<
SX4p(t 光源 2 rH6ap — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) |&'*Z\*ya 元件 u-W=~EO5# — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 >5j/4Ly 探测器 spI{d!c — 干涉条纹 3S9~rLrn? 建模/设计 lL^7x — 光线追迹:初始系统概览 zEGwQp< — 几何场追迹加(GFT+): 07#!b~N 计算干涉条纹。
~)Z`Q 分析对齐误差的影响。 ERZ[t\g)
y5#_@ 2. 系统说明 A gPg0(G c;e,)$)-| 参考光路 Z\ Q7#dl  W6PGv1iaW> 3. 建模/设计结果 W)_B(;$] "gO5dZ\0 Ac54VN 4. 总结 aZ^lI
6@+4 OU+*@2")t 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 '*k\IM{h ob;oxJ@[c 1. 仿真
Bb o* 以光线追迹对干涉仪的仿真。 \Q$);:=qQ 2. 计算 [q@%)F 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 vZxy9Wmc 3. 研究 okv7@8U#p 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 @|@43}M]C- ieI-_]|[ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 K?>&Mr b-Hn=e _ 应用示例详细内容 &td#m"wI 系统参数 "&%Hb's 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 Xx^c?6YM m|k,8guG 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 X}yYBf/R` Ef!F;D e)A 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 c"xaN ?,NAihN] 2. 说明:光源 *G^]j
)/ ^#o.WL%4/B r$7rYxFR 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 GZ={G2@=I 因此,相干长度大于1m l0_V-|x 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 j;3o9!.s: 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 YV
msWuF |2# Ro*
V*aTDU%-. 3XRG" 3. 说明:光源 D4\I;M^ R<=t{vTJ5 .phQ7":` 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 iH>djGhTh 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 ($s{em4L 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 _X[c19q 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 *pMA
V[^ 4. 说明:光学元件 &u8c!;y$b |#wz)=mD Ba6xkEd 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 Pz 'Hqvd 位相延迟平板材料为N-BK7。 J[l K 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 zvD5i,I 透镜材料为N-BK7。 m%&B4E#3T 其中心厚度与位相平板厚度相等。 +[ zo2lBx =m:W YO,ldsSz|r 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 Oq5k4 5glGlD6R (R-Q9F+; 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 i`qh|w/b_ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 YLGLr@:q TTpF m~?( 6. 分光器的设置 .Dm{mV@*T -+>am? BXY'%8q _a _SqrQ 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 ;Y\,2b, xh 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 0^[6 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 #F@7>hd1 1*h7L<#|mQ 7. 合束器的设置 sXxO{aeev "+&<Q d2 ;^]A@WN6_ Y>~JI;Cu` 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 V{{x~Q9 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 (#]KjpIK
Ysu/7o4 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 @:B1 G.8b\E~ $P3nP=mf 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 [2V/v 应用示例详细内容 ]||=<!^kn 仿真&结果 U@nwSfp:G JuSS5 _& 1. 结果:利用光线追迹分析 ;kBies>V [<QWTMjR 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 GwBQ
pNjy 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 MVZ>:G9: S!_?# ^t 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 [[Z>(d$8 46Nf|~ Oy$BR
<\ 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 W?-BT >#s 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 Ah{pidUx 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 $:!T/*p* bl_WN|SQ 3. 对准误差的影响:元件倾斜 PBtU4) NCt sx /C 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 yan[{h]EZ 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 @~3c"q;i7 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 y>|XpImZ :g[x;Q[@ 4. 对准误差的影响:元件平移 "|`9{/] \*aLyyy3 元件移动影响的研究,如球面透镜。 ecpUp39\ 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 *J5RueUG 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 shIi,!bZ =hIT?Z6A y51D-vj 5. 总结 yX3H&F6 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 5C1Rub) 'hw@l>1\9 4. 仿真 8p{ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 @;D}=$x /? 1Yf 5. 计算 jMui+G(h 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 &xroms"S= 9Pk3}f)a 6. 研究 5dw@g4N %^ 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 ZM`P~N1?)g I A#*T` 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 +WN>9V0H `)M\(_ 扩展阅读 % W',c u "UGj4^1f 1. 扩展阅读 Z !25xqNCd 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 kah3Uhr~ p[F=L P 开始视频 PJ'lZu8?x - 光路图介绍 tW"ptU^9) - 参数运行介绍 ([dL:Fb - 参数优化介绍 w<>6>w@GZ 其他测量系统示例: tr9Y1vxo{ - 迈克尔逊干涉仪 y{Y+2}Dv/
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