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测量系统 ;pH&YBY 3P}^Wu 应用示例简述 44r@8HO1 5>S=f{ghFw 1. 系统说明 E\$7tXQK6 bh
Nqj 光源 6_rgj{L — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) E:7R>.g 元件 PQ0l <]Y — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 At t~NTL 探测器 ]'"aVGqa. — 干涉条纹 1K&_t 建模/设计 BdMmeM2h — 光线追迹:初始系统概览 }piDg(D — 几何场追迹加(GFT+): .,vF%pQ 计算干涉条纹。 UZ*Yt 分析对齐误差的影响。 Q:v9C ^7 7RpAsLH= 2. 系统说明 j]6c_r3 0`H)c)
pP 参考光路 {e/6iSpT  M9PzA'}4W6 3. 建模/设计结果 )8,) &F +t8{aaV !kpnBgm U 4. 总结 Qnr7Qnb s7
K](T4 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 s{Wj&.)M ' K\ $B_ 1. 仿真 [V2`t' 以光线追迹对干涉仪的仿真。 ^q@6((O 2. 计算 cUDo}Yu 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 >Nho`m( 3. 研究 #P,C9OQD 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 r5s$#,O/&Q "d3qUk 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 |to|kU 6@X j 应用示例详细内容 %~{G*%: 系统参数 =Z~ nzyaN 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 USrBi[_ci\ =X24C'!Mpe 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 13f@Ox$ S!J wF&EW 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 jb'AOs 7%7 \2!0J} 2. 说明:光源 B098/`r ?c7}
v ;Q{~jT 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 wMx#dP4W8 因此,相干长度大于1m Osj/={7g 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 2<X.kM?N{B 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 ?*K{1Ghf H%&e[PU
HuRq0/" 4xl}kmvv
3. 说明:光源 &}."sGK S+mM S pI]tv@>:f 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 3{/Y&/\"'^ 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 K:_5#!*^98 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 cZFG~n/ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 g=q1@ ) 4. 说明:光学元件 O&vE 5%x #ts;s\! 2*5]6B-( 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 7#G8qh< 位相延迟平板材料为N-BK7。 d:"#_ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 -&UP[Mq 透镜材料为N-BK7。 {OBV+}# 其中心厚度与位相平板厚度相等。 EW}7T3g #J_+
SL[ ZaKT~f%%z 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 f?[0I\V[$ 8gK
<xp L3s1a -K 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 grWmF3c# 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 _f1~r^(/T0 ijuIf9! 6. 分光器的设置 M0$wTmXM A&8{0 Zp'q;h_ g)/#gyT4Y 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 `COnb@uD 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 :rcohzfa 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 L?:fyNA3[ FQp@/H^ 7. 合束器的设置 5k]xi)% >r8$vQ Gj W, YYL(L 6vL+qOd x 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 Mb
+ 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 I4RUXi 5 K H&o`U(} 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 -Rcl(Q}LZ )/4xR] 7~H.\4HB 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 t,4'\nv* 应用示例详细内容 'qt+.vd 仿真&结果 898=9`7e )o\U4t 1. 结果:利用光线追迹分析 S)L(~N1 hxX-iQya
首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 @Y| % 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 fk!P# Du7DMo=l 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 L2P#5B!S p*l]I*x'< WN`|5"?$ 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 @9ndr$t 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 Fmo^ ?~b 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 UX!)\5- ! {c"C 3. 对准误差的影响:元件倾斜 _G1C5nkDl4 hO H
DXc" 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 s ;N PY 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 >?yxig:_ 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 gPYF2m 9d8bh4[ 4. 对准误差的影响:元件平移 F?EAIL x}(p\Efx 元件移动影响的研究,如球面透镜。 GL-r;
现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 '"~ 2xiin 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 @Q#<-/ lemE/(`a_ ~SD8#;v2 5. 总结 )HPe}(ypt 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 sPoH12?AL V3] Z~@ 4. 仿真 sn=_-uoU 以光线追迹对干涉仪的仿真。 /QT"5fxKJ >|!s7.H/J/ 5. 计算 EKTn$k= 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 D1g
.Fek5 8 "5^mj 6. 研究 c(5r 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 [\ALT8vC?m !GL
kAV 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 ~wl4 "oc&uj 扩展阅读 {T2=bK~ XA4miQn& 1. 扩展阅读 xfsf 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 H1^m>4ll9 +;*dFL 开始视频 1NI%J B - 光路图介绍 +`D,7"{Eu - 参数运行介绍 =MCQNyf+ - 参数优化介绍 FvTc{"w / 其他测量系统示例: gdKn!; ,w# - 迈克尔逊干涉仪 u:[vqlU
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