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测量系统 |Pv)&'B"
L$@qEsO 应用示例简述 /'bX}H(dq l(8@?t^; 1. 系统说明 x}uDW Y"TrF(C 光源 6U1_Wk? — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) )c<[@::i 元件 ((6?b5[ — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 ]ts^h~BZ$ 探测器 Z5@E|O & — 干涉条纹 s@*i 建模/设计 qU ,{jD$ — 光线追迹:初始系统概览 R?#.z# — 几何场追迹加(GFT+): Pje1,B q 计算干涉条纹。 sRC?l_n; 分析对齐误差的影响。 =0>[-:Z P}he}k&IR 2. 系统说明 5e^z]j1Yv P9M%B2DQ6f 参考光路 {`9J8qRY  "7w=LhzV[$ 3. 建模/设计结果 Q5*"t*L!N !z]{zM% PVrNS7 Rk/ 4. 总结 _RWH$L9 {z@a{L:SC 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 MTn}]blH {#z[iiB 1. 仿真 *~d<]U5h 以光线追迹对干涉仪的仿真。 wNMA)S 2. 计算 4H`B]Zt7 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 zG<>-?q~' 3. 研究 -~
Dn^B1^ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 e]V7
7oc {&nDm$KTD 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 4Dasj8GsV C-/+n5J 应用示例详细内容 H:mcex 系统参数 5qkyi]/U8 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 *nwH1FjH \\Nt^j3qR 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 ;6`7
\ [2ri=lf, 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 Q>TNzh d26#0Gt-4i 2. 说明:光源 Gg%pU+'T J!yK/*sO, 1vCVTuRF 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 |wuN`;gc" 因此,相干长度大于1m 6df`]sc 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 q'%!qa+ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 U :8cz=# m[Qr>= "
b6'ZVB 5Trc#i<\ 3. 说明:光源 tD]vx`0> q0@b d2} !ozHS_ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 E>F6!qYm 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 R[H#av 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 `8;\}6:"1 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 %< Jj[F 4. 说明:光学元件 4r9AU mJqw hO(A_Bw QG09=GQ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 cpx:4R, 位相延迟平板材料为N-BK7。 zvT8r(<n} 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 /L` + 透镜材料为N-BK7。 DOq"=R+ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 _FN#Vq2 vH6.;j'^ t]xR`Rr;X 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 Q>uJ:[x+ ge%tj O #YSFiy:+r_ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 S*H
@`Do%d 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 T|uG1 #W/ATsDt 6. 分光器的设置 "}:SXAZ5` v5*JBW+c* ![m6$G{y :v^Od W 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 I %CrsEo 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 8aW<lu 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 i \@a&tw JY$;m3h 7. 合束器的设置 D`)K3;h y.::d9v 1c4:'0 BKu<p< 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 Pe`jNiI 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 ^-(DokdBn iT</ 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 tQ`|MO&o 2FEi-m} MK <\:g 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 "fu@2y4^ 应用示例详细内容 %ejq|i7 仿真&结果 c+:^0&l ~zQxfl/ 1. 结果:利用光线追迹分析 ^_uCSA'X p-,Bq!aG$ 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 -K6y#O@@ 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 V/yj.aA*@ |q
Pu*vR 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 k!d<2Qp W i ~rb-~o p+${_w>pl{ 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 gN[^ ,u 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 >*$Xbj* 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 p,7?rI\N }w{E<C(M 3. 对准误差的影响:元件倾斜 .L.9e#?3 lF\2a&YRbn 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 G}@a]EGm 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 -f"{%<Q 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 J{$c| Ka$lNL3<j 4. 对准误差的影响:元件平移 @%r"7%tq> bl#6B.*= 元件移动影响的研究,如球面透镜。 ,?wxW 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 =0SJf 3 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 m1M6N`f ow#8oUf= =tl~@~pqI 5. 总结 rnBp2'EM 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 z</^qy GF*uDJ Kp 4. 仿真 T75N0/teS 以光线追迹对干涉仪的仿真。 j? Vs"d| 9G4os!x) 5. 计算 AsI.8" 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 C#L|7M??; 6Y9<| . 6. 研究 {"db1Gbfg 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 R0-Y2v c,#Nd@ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 6sT(t8[ cvYKZB 扩展阅读 IH.EvierJ *?+2%zP 1. 扩展阅读 (*\y 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 =FfR?6 ~ (iht
LFp 开始视频 kB=5=#s - 光路图介绍 ruy?#rk - 参数运行介绍 :N' - 参数优化介绍 (R(NEN 其他测量系统示例: )M@^Z(W/a - 迈克尔逊干涉仪 15MKV=?oY
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