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测量系统 uR:rO^ ~*-qX$gr 应用示例简述 '!Wvqs '3Q3lM'lh 1. 系统说明 8:dQ._#v #]Y*0Wzpfn 光源 snC/H G7 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) {v,)G)obWw 元件 "@yyXS
r — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 24B<[lSK 探测器 %u!b& 5]e — 干涉条纹 |`0n"x7 建模/设计 B<,YPS8w — 光线追迹:初始系统概览 FFvCi@oT — 几何场追迹加(GFT+): {dzoEM[
1s 计算干涉条纹。 Qihdn66 分析对齐误差的影响。 e;( >cgpaj x* 2. 系统说明 ,H[SI0]; Bp_wnd 参考光路 Z
a(|(M H  <]U1\~j 3. 建模/设计结果 OfZN|S+~W sn{tra ea9oakF 4. 总结 3WUH~l{UJ |5MbAqjzC 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 S
v`qB'e2 #/70!+J_UF 1. 仿真 1@qgF 以光线追迹对干涉仪的仿真。 :Li/=>R^ 2. 计算 "rNL
`P7 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 E^CiOTN 3. 研究 D/ Dt 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 Adx`8}N8 sWqM?2g 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 $kPHxD!" ]Kh2;>=
Xj 应用示例详细内容 | C+o; 系统参数 1[PMDS_X 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 'jfRt-_- !mnUdR|>( 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 DBgMC"_ r>t1 _b+nu 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 KoBW}x9Jp [hh/1[ 2. 说明:光源 EgM*d)X d)ahF[82 ] d?x$> 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 8e2?tmWM 因此,相干长度大于1m A :e;k{J 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 j*R,m1e8 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 J/x2qQ$9 {?8B,G2r
CIC[1, I;MD>%[W, 3. 说明:光源 .~D>5 JnEk s0"e' ,kM)7!]N 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 r4XH = 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 ^J/)6/TMXm 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 3$/ 4wH^ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 7hw .B'7 4. 说明:光学元件 dcfe_EuT #"*e+.j[; Dr#c)P~Wd 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 nE W31 8 位相延迟平板材料为N-BK7。 }}{Yw 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 3Ofc\ 透镜材料为N-BK7。 rofNZ;nu 其中心厚度与位相平板厚度相等。 IDFFc& @{HrJ/4%:& >SmV74[s2 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 19U]2D/z CI7A#
6- _}6q{}jn:c 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 A[N{ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 _lxco=qd=%
iThSt72 6. 分光器的设置 F7}-! }"s;\?a K7)kS n6Z|Q@F 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 {S.>BXX 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 R^&q-M=O[ 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 e@<?zS6 N"7]R[* 7. 合束器的设置 Dl\` V-yUJ#f8[ m_NCx]#e
mEAXM1J| 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 L:&k(YOBA 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 3lxc4@Zmd Lxl_"kG 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 &2.u%[gO[q $)~ /F/;G*n 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 OS-f(qXd+ 应用示例详细内容 bZwnaM4"F 仿真&结果 3251Vq % Li{~=S@N* 1. 结果:利用光线追迹分析 19e8 [U{UW4 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 r?$?;%|C 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 hVpCB, SX0_v_%M 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 ki]ti={12 >]D4Q<TY T]9\VW4 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 ib6^x:HGU 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 [1G^/K" 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 K95;rd ^%T7. 1'x 3. 对准误差的影响:元件倾斜 vb{i \%jVg\4' 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 i'/m4 !>h 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
#;KsJb)N. 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 ._Zt=jB f:JlZ& 4. 对准误差的影响:元件平移 /+K? },$0&/>ft 元件移动影响的研究,如球面透镜。 (]2H7X:b 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 >pL2*O^{9 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 p*QKK@C dI'SwnR CB\{! 5. 总结 }ut]\]b 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 7*o*6,/ &]6)LFm 4. 仿真 {}~: &.D 以光线追迹对干涉仪的仿真。 o89(
h! tA.`k;LT 5. 计算 :*514N 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 I<oL}f c7uG9 6. 研究 X@N$Z{ 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 IIFMYl gF j V3)2C} 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 -Yi,_#3{ zt24qTKL 扩展阅读
g\fhp{gWB $RX'(/ 1. 扩展阅读 Z3KO90O!8 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 +FG$x/\*0 oih5B<&f# 开始视频 Q[n\R@ - 光路图介绍 Rg&-0b - 参数运行介绍 LwqC~N - 参数优化介绍 B:TR2G9UT 其他测量系统示例: +!t} - 迈克尔逊干涉仪 IE~%=/|
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