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测量系统 ]?tC+UKb /%fBkA#n 应用示例简述 %&w 8E[ z><uYO$ 1. 系统说明 /P { Zo Oh)s"f\N 光源 iZm#
"}VG — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) FOz~iS\ 元件 HGM ?
?= — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 WZ,}]D 探测器 /Y|y0iK — 干涉条纹 6:_@ ;/03% 建模/设计 J8IdQ:4^l — 光线追迹:初始系统概览 trlZ ^K — 几何场追迹加(GFT+): %c:v70*h= 计算干涉条纹。 {EU?{# 分析对齐误差的影响。 ~0/tU#& "pUqYMB2i 2. 系统说明 =ie8{j2: \A
"_|Yg 参考光路 z 3((L  WRIOj Q: 3. 建模/设计结果 P5;n(E(19 k+qxx5{ GY% ^!r 4. 总结 S=NP}4w,_) FVY$A=G 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 Z8mSm[w ^<u9I5? 1. 仿真 "$P|!k45( 以光线追迹对干涉仪的仿真。 9rD6."G 2. 计算 < 7 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 zt,Tda4Y 3. 研究 F/8="dM 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 fyHFfPEE <;eXbO>Q 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 1=o|[7 xbUL./uj 应用示例详细内容 b{+7sl 系统参数 <d*;d3gm 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 TTGk"2
Q' ui>0?O*G 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 pk>p|q }253Q!f 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 r [NI#wW $!Qv f 2. 说明:光源 8)KA {gN} t 0 omJP 0XgJCvMcB 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 Wnf3[fV6P 因此,相干长度大于1m S{uKm1a 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 N"',
在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 5Yxs_t4 owR`Z`^h)
D6Q6yNE lhk=yVG3 3. 说明:光源 @Yzdq\FI A,H|c=" ?v5OUmFM 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 n PAl8 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 k_,wa]ws$ 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 bY@ S[ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 }Cs.Hm0P 4. 说明:光学元件 5u:{lcC.X N'5AU ( V
eD<1< 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 1J{1>r 位相延迟平板材料为N-BK7。 {?+dVLa^; 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
v,eTDgw 透镜材料为N-BK7。 jIvSjlm I 其中心厚度与位相平板厚度相等。 {p90 sJ3O ] u*h+c8|zI 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 L!>EW0 )NjxKSiU@ Y-ZTv(< 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 SWq5=h 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 5YG%\ Y%GIKtP 6. 分光器的设置 H?H(= S.)+C2g,@ 1woBw>g N!=$6`d 为实现光束分束,采用理想光束分束器。
'F .tOD 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 o6b\
w 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 _T^+BUw l)P~#G+C 7. 合束器的设置 H)5V \ Nn:>c<[ {=Y3[ /4xp?Lo: 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 6xC$R q 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 sM _m .ou#BWav/ 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 "TQ3{=j{ _Pe,84Ro VNggDKS~K 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 4UV6'X)V 应用示例详细内容 WF&?OHf2 仿真&结果 7j//x Tr}a }
N$soaUs 1. 结果:利用光线追迹分析 ]!mC5Ea ?c7}
v 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 Dpf"H 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 F,)\\$=, >P_/a,O8 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 rL9u7)x +#wh`9[wBt vi8)U]6 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 9~lC/I')t 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 x[m&ILr 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 }z|@X KA# S+mM S 3. 对准误差的影响:元件倾斜 #CcC& I
:c B{dR/q3;@ 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 \[CPI`yQe 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 <5fb,@YN 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 'U|Tye i? ,T<q"d7-# 4. 对准误差的影响:元件平移 mAZfo53 V!XT=Ou?6 元件移动影响的研究,如球面透镜。 65g"$:0 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 R4x!b`:i 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 XqxmvN tpQ?E<O +C8yzMN\ 5. 总结 EW}7T3g 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 NJqjW 4IUdlb 4. 仿真 ob(S/t 以光线追迹对干涉仪的仿真。 J6s@}@R1 dF#`_!4pbf 5. 计算 (h$[g"8 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 X
8#Uk} / xJemc3]2 6. 研究 K|Kc.
不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 ("!P_Q# ?mME^?x
Mu 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 {%! >0@7 g)/#gyT4Y 扩展阅读 Dmq_jt eCfy'US;@3 1. 扩展阅读 a"Q> K7K 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 `rQDX<? !8ch&cr)o+ 开始视频 ]?"1FSu-8r - 光路图介绍 =|Vm69 - 参数运行介绍 4n9c - 参数优化介绍 Xpp%j 其他测量系统示例: N{<9Njmm - 迈克尔逊干涉仪 3{"M N=
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