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测量系统 YGCL2Y 1NA.nw. 应用示例简述 %aVq+kC h i6Emhji 1. 系统说明 \n|EM@=eE 5uj?#)N 光源 JYbL?N — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) ou{2@" 元件 l?n\i]' — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 K^<BW(s 探测器 N~zdWnSZ@G — 干涉条纹 U>}w2bZ* 建模/设计 ?QdWrE_
— 光线追迹:初始系统概览 Uf;^%*P4 — 几何场追迹加(GFT+): ]Ntmy;Q 计算干涉条纹。 a'yK~;+_9 分析对齐误差的影响。 S k\K4 t)$:0 2. 系统说明 h^(*Tv-! 5(Q%XQV*P 参考光路 ,uhb~N<  '$]97b7G 3. 建模/设计结果 0rs"o-s< ]Wlco M\Ye<Tk 4. 总结 eiaFaYe\ . ~~T\rmI 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 1JG'%8}#8 ['tY4$L( 1. 仿真 ^EQ<SCh 以光线追迹对干涉仪的仿真。 =|y9UlsD 2. 计算
=ncVnW{ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 tpQ(g% 3. 研究 r1{@Ucw2 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 0)e\`Bv ^7WN{0 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 .2Elr(&*h hT&Y#fh
应用示例详细内容 ,CcV/K 系统参数 9ZsVy 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ,K"U>& W/bQd)Jvk 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 :zke %Yx 4-y:/8 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 aa/(N7 A>;bHf@ 2. 说明:光源 k:#!zK} 6@F9G4<Z ;)z:fToh 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 ;rGwc$?| 因此,相干长度大于1m `w7v*h|P 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 h#
o6K# 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 $$;M^WV^?. a;qryUyG
SaAFz&WRl 4=.89T#< 3. 说明:光源 ub#a` Ru!iR#s)! )|R)Q6UJ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 li'YDtMKCY 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 J~zUp(>K 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 dI@(<R 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 Sc1 8dC0 4. 说明:光学元件 {{D)YldtA r|fL&dtr (Ag16 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 l\!fj# 位相延迟平板材料为N-BK7。 0oZ=
yh 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 lH x^D;m6 透镜材料为N-BK7。 4I
k{ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 M2>Vj/ tGh~!|P P%:wAYz1^O 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 6azGhxh i$:*Pb3mV 'qb E= 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 F^t DL: 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 L~rBAIdD %Ycy{` 6. 分光器的设置 gx8ouOh t?x<g <PJ4 Sw8]EH6 :bu/^mW[ 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 7{)G_?Q& 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 2G67NC?+ 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 %S@ZXf~: ,]ma+(| 7. 合束器的设置 'EEJU/"u 0d"[l@UU0 nwB_8mN| 4n!aW?% 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 4$iz4U:P 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 LqoB 10Kc\ F3v!AvA| 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 B:;pvW] ?wiCQ6*$ b9KP( _ 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 _"Dv
uR 应用示例详细内容 MSQEO4ge 仿真&结果 /7nb,!~~l av}k)ZT_ 1. 结果:利用光线追迹分析 @; zl q#Z@+(^ 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 w(*vj 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 7 S#J>* #zv3b[@ 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 2\A$6N;_ JgKO|VO
{7"Q\ 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 xaq-.IQAM$ 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 }{K)
4M 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 c@!_/0 Z58X5" 3. 对准误差的影响:元件倾斜 67JA=,EE fnjPSts0 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 IXMop7~ 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 jH5
k 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 \%JgH=@
:= =V,mtT 4. 对准误差的影响:元件平移 EnKR%Ctw iW]j9} t 元件移动影响的研究,如球面透镜。 }WC[$Y_@ 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 }>pknc? 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 sQUM~HD\a xBThq?N? 0rQMLx 5. 总结 :KSV4>X[%a 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 AP n| \ !1jBC.G1 4. 仿真 QUwd [ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 #px+;k5 /wQy17g 5. 计算 -/wtI 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 2@n{yYwy Dzpq_F!;V 6. 研究 lK?uXr7^ 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 dc+>m,3$ }/0X'o 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 (R[[Z,>w. c?(4t67| 扩展阅读 ^H p; .f. 'Cb6Y#6 1. 扩展阅读 jnkR}wAA 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 aq>kTaz bQzZy5, 开始视频 f&NgS+<K$ - 光路图介绍 B+|Kjlt - 参数运行介绍 7cuE7" - 参数优化介绍 m<<+ 其他测量系统示例: Hck]aKI+ - 迈克尔逊干涉仪 euK5pA>L
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