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测量系统 (orO=gST-/ cX'&J_T+ 应用示例简述 ?0HPd5=<v H6Q1r[(B 1. 系统说明 o)<c1\q ,<]X0;~oB 光源 V<f76U) — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) C]{:>= K 元件 0mj^Tms — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 ki`7S 探测器 <{U "0jY!9 — 干涉条纹 %G!BbXlz 建模/设计 W~sP7&sp — 光线追迹:初始系统概览 &y-(UOqbkP — 几何场追迹加(GFT+): B=K&+ 计算干涉条纹。 (vHB`@x 分析对齐误差的影响。 }$-;P=k f{=0-%dA 2. 系统说明 ~x`BV+R 7I>@PVN 参考光路 CFqteY"  9L+dN%C 3. 建模/设计结果 u*/. <0!/7*;#ZT '5j$wr zt 4. 总结 0&!,+ `4V_I%lJ& 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 Z>GqLq\`ed fN4d^0& 1. 仿真 v6B}ov[Y2 以光线追迹对干涉仪的仿真。 0zR4Kj7EE 2. 计算 I@x^`^+l 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 cTW3\S= 3. 研究 6J3:[7k=& 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 Na8%TT> =m{]Xep 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 WZkAlg7Z gc|?$aE 应用示例详细内容 #Fx$x#Gc@y 系统参数 Kts#e:k@ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 -X#Zn># 5(F @KeH> 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 ]oy>kRnb { z:C
VzK, 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 fh rS7f'Zd /ekeU+j 2. 说明:光源 gWcl@|I;\ s&-m!|P a#i;*J 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 *m_B#~4 因此,相干长度大于1m 1t" 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 E3bS Q 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 rp*f)rJ pa1.+ ~)
ROZOX$XM tBSHMz 3. 说明:光源 y_bb//IAG {<f_,Nlc # fvt:iE 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 [UqJ3@> 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 N5$IVz} 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 {Vy2uow0 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 p
BU,"Yy& 4. 说明:光学元件 YKF5|;} lCmTm 3N8RZt1.b 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 UA@(D 位相延迟平板材料为N-BK7。 F/ BB]gUB 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 7g'jg7 透镜材料为N-BK7。 ~";GH20 其中心厚度与位相平板厚度相等。 l;TWs_N KW^#DI6tr :by EXe;3 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 mj\]oWS7d S!*wK- BEn,py7 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 Ko6>h 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 ";:"p6? c rx8+ 6. 分光器的设置 kNW}0CDgs SJ/($3GkBd v[S>
E1p?v! 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 yXg #<H6V 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 /%W&zd=%# 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 Qx$CoY 4~;x(e@S 7. 合束器的设置 xl.iI$P x'Uv;mGo <B,z)c #
tN#_<W 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 z)z_] c-X+ 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 NWK+.{s>m '`.bmiM 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 6 w"-& )_$F/ug lLq9)+HGN 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 :nk $?5ib 应用示例详细内容 l Je=z 仿真&结果 ==$>M
d Aqi9@BH 1. 结果:利用光线追迹分析 )~(( 6?k4e f@:.bp8VB8 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 . 4$SNzv3V 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 y]dA<d?u MiB"CcU 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 X?p.U 3zV{cm0 *|Cmm>z"7 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 d(LX;sq? 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 Wn p\yx` 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 n\l$R!zr s\7]"3:wD 3. 对准误差的影响:元件倾斜 -kFPmM; %hEhZW{: 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 e
MX?x7 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 =!@5! 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 !F@9xG !G`7T 4. 对准误差的影响:元件平移 )FF3|dZ";K BQ\o?={ 元件移动影响的研究,如球面透镜。 /hx|KC&:e 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 -UJ; =/ 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 j?5s/ O!Rw?
Y 6jdNQC$#B 5. 总结 znNJ? 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 s<}d)L( %T OYU(k 4. 仿真 3&'u7e 以光线追迹对干涉仪的仿真。 5*Wo/%#q 82mKI+9&" 5. 计算 9&FFp*'3 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 85QVj] nr UK{6Rh ; 6. 研究 dZSv=UY) 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 Rn"Raq7Cn* 8IX:XDEQ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 x EX"pd g~>g]) 扩展阅读 Xup"gYTZQ Zx%ib8|j 1. 扩展阅读 3hN.`G-E 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 XOk0_[ G4VdJ(_ 开始视频 tC4:cX - 光路图介绍 BqF%2{ - 参数运行介绍 W.B;Dy,Y - 参数优化介绍 J.R|Xd 其他测量系统示例: ~E]ct F - 迈克尔逊干涉仪 !9w;2Z]uum
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