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测量系统 '8!YD?n 1(I6.BHW 应用示例简述 RS)tO0 8<8:+M} 1. 系统说明 "Zl5< JBE!j-F 光源 x:),P-~w — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) . 1KhBgy^K 元件 [d(U38BI — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 5-aj2>=7 探测器 lQ" p ! — 干涉条纹 ]xRM&=)< 建模/设计 pA9+Cr!0Q — 光线追迹:初始系统概览 gy#/D& N[ — 几何场追迹加(GFT+): Y9uC&/_C 计算干涉条纹。 gQ'zW 分析对齐误差的影响。 fGUE<l ]P.'>4 2. 系统说明 gl\\+VyU jcuB 参考光路 %E#s\B,w  i~I%D%; 3. 建模/设计结果 $ M`hh{ - !W5 ( nuk*.Su 4. 总结 AgS7J(^&3 =Je[c,&j$? 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ';3{T:I +x0!*3q 1. 仿真 _ FpTFfB 以光线追迹对干涉仪的仿真。 U>]$a71 2. 计算 Q.l}NtHwV 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 0AZ")<^~7 3. 研究 Z/k:~%|E 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 ,\_1w ,]9P{k]O 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 ,{M^-3C 2oVSn" 应用示例详细内容 em,u(#)& 系统参数 R3x3]]D 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 `uOT+B%R 1S{D6#bE 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 5gYRwuf L2\#w<d 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 yv t. %j.0G`x9 + 2. 说明:光源 B3We|oe !
}Yb[ 3{'Ne}5%I 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 7m4aoK 因此,相干长度大于1m 4!Fo$9 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 |iak z|]) 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 [xSF6 )
i;1*jK
u+Y\6~=+ q]T1dz? 3. 说明:光源 _Gn2o2T Q-_N2W? [w0QZyUn 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 uaT!(Y6 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。
~ksi</s 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 6HT;#Znn 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 Vr]id 4. 说明:光学元件 :ci5r;^ &5\iM^ %RTBV9LIXr 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 T-.% 位相延迟平板材料为N-BK7。 #eoome2Q 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 Bo)3!wO8 透镜材料为N-BK7。 2^r<{0@n 其中心厚度与位相平板厚度相等。 `g(Y*uCp EAT"pxP /a{la8Ni 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ]^yFaTfS ,f~J`3(& &Y!-%{e 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 ,|3MG",@@h 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 F^WP <0C &-;4.op 6. 分光器的设置 PRx8I
. +9M^7/}H X3{G:H0\p caIL&G, 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 @@R7p 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 Xnt~]k\" 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 \K5DOM "# QX!-B 7. 合束器的设置 DVG(Vw qyZ"
%Kz MX$0Op ZT'`hK_up 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 }u\])I3 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 )Q=_0;#;k 6"wlg!k8 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 b LB:MW\% D[4u+g?[}> q8FTi^=Kb 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 rV2WnAb[H& 应用示例详细内容 L9r8BK; 仿真&结果 v_<rNc,z-s lG9bLiFY 1. 结果:利用光线追迹分析 ^hG-~z< |nc@"OJ 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 4QH3fTv
对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 c?tBi9'Y] n&L+wqJ 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 lsJSYJG& |N4.u
_hM {Bk[rCl 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 S*==aftl( 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 YpWPz %`: 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 +O"!qAiK Z
8S\@I 3. 对准误差的影响:元件倾斜
Us)Z^s |WQBDB`W 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 a+[RS]le 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 x/NfZ5e0X 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 ,KF'TsFf bk[U/9Z\ 4. 对准误差的影响:元件平移 F5LuSy+v viW!,QQ(S 元件移动影响的研究,如球面透镜。 <5-[{Q/2z 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 BHIRHmM<Y 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 %oF}HF. @GPCwE1 "LHcB]^< 5. 总结 ?L5zC+c! 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 18)'c?^. :iK(JE` 4. 仿真 qaqBOHI6G 以光线追迹对干涉仪的仿真。 rDD:7*z j?A/# 5. 计算 ED2a}Tt>Z 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 3oBtP<yG. |+"<wEKI 6. 研究 1[mXd 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 XQrF4l _- [''(E 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 2n,*Nd` ^Xuvy{TkPH 扩展阅读 q
VjdOY:z wa(8Hl|Y 1. 扩展阅读 r [9x 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 &X`C%h $CxKuB( 开始视频 5 z~1Dw - 光路图介绍 d)"3K6s|5 - 参数运行介绍 2`AY~i9 - 参数优化介绍 @D)al^]x6 其他测量系统示例: 8J*"%C$qe - 迈克尔逊干涉仪 heltgRt
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