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测量系统 ?ng14e 27a*H1iQ 应用示例简述 e*P=2*]M t{X?PF\>o 1. 系统说明 9fuJJ3L[ ^b"bRQqm 光源 \+{t4Im — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) Sn(l$wk= 元件 !)%>AH' — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 MV<!<Qmj 探测器 Cfr<D3&,] — 干涉条纹 %K^gUd>,R 建模/设计 bR'mV-2' — 光线追迹:初始系统概览 M20Bc, VI — 几何场追迹加(GFT+): `8Jq~u6_Z 计算干涉条纹。 e?!L}^f6X 分析对齐误差的影响。 If-,c^i &]VQR2J}: 2. 系统说明 7?MB8tJ5r4 {Vxc6,= 参考光路 6QII&Fg  g8I!E$ 3. 建模/设计结果 DikdC5>O>m `V&1]C8x hV-VeKjZ( 4. 总结 i,#k}CNu J%\- 1 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ?GO
SeV 5iQmZ[ 1. 仿真 PFS;/ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 1yBt/U2 2. 计算 <&5m N 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 veUa|Bx.(v 3. 研究
@~k5+Z 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 Q(510) 3`A>j" 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 p^1zIC>F q^a|wTC 应用示例详细内容 ](W5.a,-$L 系统参数 qKdS7SoS 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 +VCo$o , 3X: ) 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 jzs.+dAg e}42/>}#D 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 >Mvka;T] w66v\x~ 2. 说明:光源 S&4+ e:K Kt
W6AZJ )Hbb&F 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 mC i[Ps 因此,相干长度大于1m i:o}!RZ> 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 Al7<s 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 mZ~ qG5@/F (CdJ;-@D
d^F|lc ]8 )K~w'TUr 3. 说明:光源 HH)"]E5 g(aZT#i i= Hjs} 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 0YzsA#yv 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 VeZey)Q 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 R?cUy8?'S 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 ~>V-*NT8 4. 说明:光学元件 /X4yB"J> +TC1nkX 8-7dokg> 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 gH %y 位相延迟平板材料为N-BK7。 25:Z;J> 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 3VmI0gsm.> 透镜材料为N-BK7。 ><;Q@u5~ 其中心厚度与位相平板厚度相等。
.~3kGf": )QmGsU}? 5m4DS:& 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 3{"byfO#% g\Wj+el} x97L6! 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 ?O??cjiA@ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 x(8n
9Q> OifvUTl9b 6. 分光器的设置 ;DuXSy!g W>B^S !X|k"km" wtXY:O 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 Py|;kF~! [ 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 7^$)VBQ/ 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 bd!U)b(}OV .WvlaPK 7. 合束器的设置 ?aBj# P;vxT}1 @6 /yu>% !}y1CA 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 G@gh#[b 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 )6{<
i5nJ\ uWjN2#&, 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 `>6T& i9rS6<V' ju|]Qlek 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 L@RIZu>ZW+ 应用示例详细内容 m@jge)O&D 仿真&结果 whye)w g5+7p@'fV 1. 结果:利用光线追迹分析 vE%s,E, 6<X%\[)n 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 5RF4]$zT 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 gAt~?HvW6 tdep|sD 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 zI^]esX!2_ ?cKZ_c 9sSN<7 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 +r]zs^' 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 /c` ^iPb 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 wpXgPVZT fRB5U' 3. 对准误差的影响:元件倾斜 4zjs!AK% p[9s<lEh 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 $A2n{ 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 mM_
k^4: 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 irbw'^;y |4;UyHh 4. 对准误差的影响:元件平移 ,
sjh^-; 0
Y>M=| 元件移动影响的研究,如球面透镜。 z.36;yT/ 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 D3D}DaEYj 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 kGHQ`h _{4^|{>Pv Io n~ 5. 总结 VwyVEZt 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 29&bbfU D`[Khs f 4. 仿真 I|9
SiZ0 以光线追迹对干涉仪的仿真。 pTJX""C 3BG>Y(v 5. 计算 ALc`t(..}A 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 SJ?cI!=x = &tmP 6. 研究 ]fBUT6 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 /Fgw$
^H ) ;FS7R
利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 o`n$b(VZ kV;fD$iW; 扩展阅读 k*?I>%^6#T s58C2 1. 扩展阅读 t `kui. 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 {pL+2%`~ =LkR!R= 开始视频 aNxAZMg - 光路图介绍 0[Ht_qxb - 参数运行介绍 ^uBxgWIC - 参数优化介绍 n]}W``=7 其他测量系统示例: H/+B%2Zj - 迈克尔逊干涉仪 -
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