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测量系统 J[ds.~ $ yNu_>!Cp5 应用示例简述 :yay:3qv d@%"B($nR 1. 系统说明 5/H,UL -[>de!
T3$ 光源 ^E&PZA\,; — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) <,d550GSm 元件 _1"
ecaA — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 Uqr>8|t? 探测器 vSzpx — 干涉条纹 bMH~vR 建模/设计 Hxu5Dx5![ — 光线追迹:初始系统概览 Q=~"xB8 — 几何场追迹加(GFT+): lH-VqkR\ 计算干涉条纹。 ]5Cr$%H= 分析对齐误差的影响。 5'%I4@Qn+ &(F
c .3m 2. 系统说明 \Lx=iKs< L3&Ys3-h 参考光路 G5ATR<0m  FaHOutP 3. 建模/设计结果 C=D* 3o.x<G( ]4:QqdV 4. 总结 <'Q6\R}:vC Xfiwblg 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 RQ+, 7Ir F>;Wbk&[| 1. 仿真 J,W<ha* 以光线追迹对干涉仪的仿真。 D%SOX N 2. 计算 A U~DbU0O 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 [6GYYu\ 3. 研究 TrI+F+; 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 qHt/,w='Q *V>?m6y/ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 )f?I{ ?sfqg gi 应用示例详细内容 ]#0 ( 系统参数 J)nK9 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 *-VRkS-G f*k7 @[rSv 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 "*vrrY M/ S~"iD 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 bY_'B5$.^2 _^ hg7&dF 2. 说明:光源 LV}R 9f <Iw{fj| :EX>Y<`] 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 vQWmHv\P 因此,相干长度大于1m Xhe& "rM 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 @3`5(xwzm 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 )uqzu%T RZ6y5
~${~To8$CW MA
.;=T 3. 说明:光源 gt{kjrTv& M}]
*j ~ l}f@@u 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 bBIh}aDN 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 n;Bb/Z!~ 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 M9)4ihK 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 [f+wP|NKL 4. 说明:光学元件 x`E<]z*w} #]h
X."b2
f' A$':Y 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 4DL;Y 位相延迟平板材料为N-BK7。 ]_C"A 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 aM5]cc% 透镜材料为N-BK7。 @]qP:h. 其中心厚度与位相平板厚度相等。 @a9.s ("U<@~ (xgw';g 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 !Yof%%m$; WK|5:V8E |z)s9B;:#i 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 Kx9u|fp5 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 !!\}-r^y% Kq[4I[+R 6. 分光器的设置 puPI^6y% q7 PCMe m>=DJ{KQ ///Lg{ie 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 7y$\|WG?!r 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 (MLcA\LJ 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 $udhTI#, -nSf< 7. 合束器的设置 M5{#!d}^D <WP@q&^k\ h0<PQZJ #*bmwb*i 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 [wQ48\^ 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 C8K2F5c5 k6C XuU 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 HAjl[c JP4DV=}L d-b04Q7DQ 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 EHUx~Q
应用示例详细内容 tA#Pc6zBuC 仿真&结果 %>FtA) n^nE&'[?0g 1. 结果:利用光线追迹分析 c|/HX%Y
`<9>X9.+ 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 'dwW~4|B 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 `#$}P;W irQ'Rm[ 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 Et3]n$ -+"#G?g <IR#W$[ 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 vK!`#W`X 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 M">v4f&K1! 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 z>PVv)X @bg9
}Z%\h 3. 对准误差的影响:元件倾斜 s!(R -+E.I*st 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 }r,M(Zr 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 8$NVVw]2, 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 r~,y3L6ic W'4/cO 4. 对准误差的影响:元件平移 n=!T(Hk 7wj2-BWa 元件移动影响的研究,如球面透镜。 6!_Wo\_% 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 >SXSrXyYX 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 O?OAXPK2 b^HDN(v Aits<0 5. 总结 CA#g(SiZ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 CFFb>d ]+:yfDtZd 4. 仿真 PMP{|yEx" 以光线追迹对干涉仪的仿真。 +Q+O$-a< [r`KoHwdm 5. 计算 N1'"7eg/ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 xCZ_x$bk k^}[+IFJ 6. 研究 $^Xxn.B9 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 })OS2F THwM',6 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 PzPNvV/o eP2Q2C8g 扩展阅读 uUfw"*D ~k34#j:J65 1. 扩展阅读 A}Iyl 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 _-f LD 6 :4GI 开始视频 ).kU7;0 - 光路图介绍 St?mq* , - 参数运行介绍 4&NB xe - 参数优化介绍 Hs)] 其他测量系统示例: c&T5C,] - 迈克尔逊干涉仪 wA{)9.
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