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测量系统 "L,FUo^& kY|_wDBSb\ 应用示例简述 vxwctJ& -r,J>2`l 1. 系统说明 `)%eU~ )~5`A*Ku 光源 @wg*~"d — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) $HH(8NoL 元件 YF;8il{p — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 prwyP 探测器 Y3-P* — 干涉条纹 7Ua
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建模/设计 1|gEY;Ru — 光线追迹:初始系统概览 fEpY3od — 几何场追迹加(GFT+): hA"N&v~ 计算干涉条纹。 ('gjfl 分析对齐误差的影响。 %xg"e
O2x sz)3
z 2. 系统说明 tf/ f-S ^C'k.pV
n~ 参考光路 q/Gy&8
K  3v {GP> 3. 建模/设计结果 G,XFS8{% 8kqxr&,[ k}BNFv8 4. 总结 2x{3' ^+l >N*QK6"=| 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 C!.6:Aj P8TiB 1. 仿真 PGybX:L 以光线追迹对干涉仪的仿真。 6IvLr+I 2. 计算 P_qxw-s 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 jeJGxfi i 3. 研究 }R>g(q=N 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 xF ,J[Aj hsl Js^ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 1.';:/~( E]gKJVf9[ 应用示例详细内容
e%qMrR 系统参数 OixQlAb{ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 31_5k./ XjX<?W 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 <H 3}N! s{CSU3vYmi 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 S>'wb{jj! ;`xu)08a 2. 说明:光源 lh5k@\X lID5mg31 Bd7A-T)q! 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 nGP>M#F 因此,相干长度大于1m \F<]l6E 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 eDy}_By^ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 Nl(Aa5:! HDC`g
H%/$Rqg `yxk
Sb 3. 说明:光源 FS20OD ?49wq4L;a - BocWq\ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 7#<|``]zNf 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 7gJ`G@y 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 t%=ylEPW 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 >Cf]uiR 4. 说明:光学元件 R Jg# A` @4&sL] (q #_H=pNWe 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 d2 d^XMe! 位相延迟平板材料为N-BK7。 AU
>d1S. 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 "cti(0F-d 透镜材料为N-BK7。 3nG(z> 其中心厚度与位相平板厚度相等。 EGV@L# :1AOund zZA I"\;W 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 J|K~a?&vN !Dun<\ <;acWT?( 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 W<58TCd 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 )~WxNn3rx ?B[Z9Ef"8l 6. 分光器的设置 T9(~^}_+9 TpnkJygIm MEo+S wCkkfTO 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 ) .#,1 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 'av
OQj]`K 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 Ot(EDa9}IJ <Q%o}m4Kt 7. 合束器的设置 EI+.Q 4cs`R+]o /TpM#hkq/2 }z[O_S,X 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 rYc?y 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 lMlXK4- VCh%v -/ 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 Yr[1-Oy/k rs!J<CRq N>@AsI 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 %1e`R*I 应用示例详细内容 8;+t.{ 仿真&结果 ZfMJU `<[Zs]Fe4 1. 结果:利用光线追迹分析 A87Tyk2Pi VP|9Cm=Fg 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 kigc+R 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 6)Oe]{- 3}XUYF; 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 lK}F>6^\ d~YDg{H ^@jOS{f l 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 3~M8.{
U#V 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 2\m+ 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 B< 6*Ktc Is-Kz}4L 3. 对准误差的影响:元件倾斜 fFiFc^ L(}T-.,Slr 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 /I: d<A 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 +dR$;!WB3 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 v!40>[?|p ptrLnJ|% 4. 对准误差的影响:元件平移 ]`+>{Sx 1 @{~x:P5g 元件移动影响的研究,如球面透镜。 3wa }p^ 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 tpA7"JD 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 <r9J+xh*p DUY#RJf {s4:V=J 5. 总结 pH)V:BmJ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 2<U5d` #|2w^Kn 4. 仿真 q!}&<w~| 以光线追迹对干涉仪的仿真。 i7*4hYY m<r.sq&; 5. 计算 sL[,J[AN; 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 1<pbO:r HOXqIZN85 6. 研究 Ujb||(W 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 `P"-9Ue= v-&^G3 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 |jc87(x< G8eAj%88 扩展阅读 %vn rLt$ tNfku 1. 扩展阅读 HL*jRl 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 f`H}Y!W( 5U%uS^%DP 开始视频 0=7C-A1(D - 光路图介绍 eH79,!=2 - 参数运行介绍 Ewu 7tq Z - 参数优化介绍 @ttcFX1:W 其他测量系统示例: sd.:PE < - 迈克尔逊干涉仪 JFl@{6c
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