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测量系统 Yc7YNC. kyHli~Nr" 应用示例简述 |^Iox0A )Q1>j 2& 1. 系统说明 i.E2a) e"hfeNphz 光源 AQ)gj$
m3 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) =gj?!d` 元件 x0# Bc7y — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 B<d=;V 探测器 Lap?L/NS — 干涉条纹 _V"0g=&Hc 建模/设计 ]Q"T8drL — 光线追迹:初始系统概览 X /c8XLe" — 几何场追迹加(GFT+): ]^ R':YE 计算干涉条纹。 M+%Xq0`T 分析对齐误差的影响。 x17:~[c'] iM!2m$'s 2. 系统说明 &'u|^d _*AI1/>` 参考光路 !FgZI4?/Y=  %RD\Sb4YV 3. 建模/设计结果 AMyg>n! BdD]HXB|_ :Q`Of}# 4. 总结 TnQ>v{Rx i%o%bib# 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 H@(O{ 9Yl; QATRrIj{e 1. 仿真 X,49(-~\ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 x'L=p01 2. 计算 naR< 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 #&.Znk:@.f 3. 研究 K+~?yOQj 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 KPToyCyR1 H q6%$!q 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 Y#@D%
a 8 FGn"j@m0 应用示例详细内容 AGFA;X 系统参数 <,:{Q75 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 c+ZOC8R z\eQB%aM 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 DQ8/]Z{H d}O\:\}y 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 ovp/DM uUjjAGZ 2. 说明:光源 $6n
J+ X2V+cre O\Huj= 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 8oE`>Y 因此,相干长度大于1m 76D$Nm 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 {]6-,/3UR 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 Nk@-yZ@,8 |pHlBzHj
K^!#;,0 A
l;a~45 3. 说明:光源 N5K(yY_T brTNwRze a]Pi2:S 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 6c!F%xU} 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 }aOqoi7w 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 LZ)g&A(j? 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 Pyuul4( 4. 说明:光学元件 Il&FC T8m]f< 1{M?_~g4 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 IN/$b^Um 位相延迟平板材料为N-BK7。 ] !*K|?VL 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 *w;?&)8% 透镜材料为N-BK7。 6-\Mf:%B 其中心厚度与位相平板厚度相等。 >\K=)/W2 M
IIa8; -o~zb-E 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 d21thV ,S |"K%Tvxe oU)(/ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 G$a@}9V 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 ; s(bd#Q N?m)u,6-l 6. 分光器的设置 z#!<[**& vFL$wr :uAL(3pQ O`CZwXD 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 m|fcWN[ 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 2W0nA t 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 P]m{\K Vsi:O7|+
} 7. 合束器的设置 7[=G;2< GI{EP& |