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测量系统 r2`?Ta .SFwjriZ 应用示例简述 w8zQDPVB% 0drc^rj
! 1. 系统说明 A[Xw |9 $>`8'I 光源 .^W0;ISX — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) Ho9*y3] 元件 wOSNlbQ5jl — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 yrb%g~ELGn 探测器 cZi&L p — 干涉条纹 32J 建模/设计 ?q7Gs)B=^' — 光线追迹:初始系统概览 v2SsfhT — 几何场追迹加(GFT+): n6dg
计算干涉条纹。 SxyFFt 分析对齐误差的影响。 !"">'}E1 ;0WlvKF 2. 系统说明 Cq'r
'cBZ #-8/|_* 参考光路 |MGw$  Xp@OIn 3. 建模/设计结果 Oms`i&}"} Z r*ytbt >m46tfoM 4. 总结 R 1\]Y 8Aqe'2IH= 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ' 1IH^<b ^^mi@&ApLD 1. 仿真 (yVI<Os{a 以光线追迹对干涉仪的仿真。 6&cU*Io@ 2. 计算 [ ff.R 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 nfR5W~%*: 3. 研究 ul1Vsj 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 2^:nlM{u f+RDvgkKU 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 TlJF{ <E a$-ax[:\sm 应用示例详细内容 NiF*h~q 系统参数 {w(N9Va,( 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 B;$5*3D+ 7KLq-u-8 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 SX.v5plhc f&J*(F*u 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 <XU]%}o Xb {y*', 2. 说明:光源 s4\2lBU? bL<cgtz7) 9lwg`UWl, 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 !cZIoz 因此,相干长度大于1m 2TO1i0 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 mv_-|N~ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 7(-<x@ e "@_f>3z
]](hwj %1<|.Dmd 3. 说明:光源 hi%>&i* p;HZA}p \ K} @q+ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 %$U+?lk} 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 CEiGjo^ 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 NUseYU`` 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 `CB TZG09 4. 说明:光学元件 =6hf'lP C\Rd]P8\ 60m1
>" 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
}#1g; 位相延迟平板材料为N-BK7。 c|XnPqo;f 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 x1Uj4*Au 透镜材料为N-BK7。 -ydT%x 其中心厚度与位相平板厚度相等。 V3S`8VI G!uxpZ lnhZ!_
5. 马赫泽德干涉仪光路视图 d*(1t\ H
Zc;.jJ !
d(,t[cV 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 8GX@76o 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 qohUxtnTK> wiZK-#\x 6. 分光器的设置 "xKJ?8
g~]FI 6b0#z#E o{/D:B 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 :'03*A_[ 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 =619+[fK 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 %q@@0qenv Cs< d\"+ 7. 合束器的设置 LY7'wONx j`bOJTBE eG<32$I KpWQ;3D2 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 BX?Si1c
为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 I2b[ :%{8lanO 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 ]Kd:ZmJ K.k=\N )7f:hg 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 8"? t6Z;5 应用示例详细内容 VHy$\5oYg 仿真&结果 qzXch["So d)LifsD) 1. 结果:利用光线追迹分析 F2#^5s(
n/?_] 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 [b`k\~N4r 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 hTF]-&
hZ TMbj]Mso 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 >zhbOkR9c _d:l1jD `5
bHZ 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 3K{'~?mM 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 Al!P=h 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 y5>H>NS i=Y#kL~f 3. 对准误差的影响:元件倾斜 Y?Xs
Z RszqDm 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 ZT!DTb
B 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 '/mwXvl 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 YS&3+Tp ^;M!u8 [ 4. 对准误差的影响:元件平移 f"S^:F0 (@]{=q< 元件移动影响的研究,如球面透镜。 ) "'J]6 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 S?&ntUah 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 rB-&'#3% xGN&RjPk\ v]BN. SHE_ 5. 总结 =MA$xz3 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 @hp@*$#& 9 Y2}\~I0 4. 仿真 Y*0mC "n} 以光线追迹对干涉仪的仿真。 5G|(od3 XfharJ_b 5. 计算 A^xDAxk 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 0I1bY]* so1%
MV 6. 研究 .z+[3Oj_E 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 |-bAzt Y'wQ(6ok 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 a=Pl3Uo 3x=T&X+ 扩展阅读 }Til $TT%H h?jKq2`
1. 扩展阅读 XI@;;>D1=U 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 p xjb^GZ0 ~m'PAC"Q$ 开始视频 |4UW.dGHPo - 光路图介绍 !;>j(xc - 参数运行介绍 p{gJVP#l'Z - 参数优化介绍 <7-3j{065 其他测量系统示例: 4@-
'p - 迈克尔逊干涉仪 Qt`}$]
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