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测量系统 x;STt3M~ 6s!=de 应用示例简述 1dy" .NF3dC\ 1. 系统说明 J/Ch
/Sa ue!4By8T 光源 W<~u0AyO
3 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) x IL]Y7HWM 元件 oHu 7<r — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 8ux 探测器 d=g,s[FMm — 干涉条纹 /Hq#!2) 建模/设计 %~lTQCPE — 光线追迹:初始系统概览 A- #c1KU! — 几何场追迹加(GFT+): )fke;Y0 计算干涉条纹。 O;(n[k 分析对齐误差的影响。 R!x
/,6,_ a5`9mR)Y$' 2. 系统说明 ZRa~miKyM eQ=6< ^KZ 参考光路 )@.0ai  iVM% ]\ 3. 建模/设计结果 {'?PGk%v W#x~x| (c "Z-YZ>2 4. 总结 @<
0c ' |yBz1uL 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ^|cax|> A_.}-dzF 1. 仿真 =cx_3gCr{ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 4(8BWP~.y2 2. 计算 |1+mHp 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 CL!s #w1I\ 3. 研究 =MmAnjo 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
;,@Fz 7wbpQ&1_ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 FeZGPxc~ W)odaab7 应用示例详细内容 >H]|R }h 系统参数 z)
"(&__ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 v
5&8C A=wh&X 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 i%r+/D)KvG . H8 6f != 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 W3B:)< |