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测量系统 o1^Rx5 ~A-Y%P 应用示例简述 *%p`Jk-U Z^_-LX:% 1. 系统说明 \YMe&[C:o >"?jW@|g 光源
WH^^.^(i — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) [PP&}.k4" 元件 @en*JxIM — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 'OjsV$_ 探测器 !Sj0! \ — 干涉条纹 DGrk} 建模/设计 5N
/NUs
— 光线追迹:初始系统概览 #[B]\HO — 几何场追迹加(GFT+): sO$X5S C9 计算干涉条纹。 j.O+e|kxU 分析对齐误差的影响。 7^<{aE: :SJxG&Pm=~ 2. 系统说明 `~;`q "xxt_ 参考光路 ^=.QQo||B  C(!A% > 3. 建模/设计结果 nA4PY] 1wTPT,k EgB$y"fs 4. 总结 e,8[fp-7 Ef2i#BoZ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 T6^H%;G !E.CpfaC 1. 仿真 kC8M2 |L 以光线追迹对干涉仪的仿真。 @0[#XA_> 2. 计算 &|Cd1z#? 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 +JlPQ~5 3. 研究 ~`Rb"Zn 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 ?Jy/]j5fI ,We'AR3X 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 @CNe)&U 0/TP`3$X#" 应用示例详细内容 j[Z<|Da 系统参数 ttfCiP$ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 b2Oj 1dP1 \\9I:-j:p 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 \6L,jSoBl :N#8|;J1Fl 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 {NTMvJLm k\<8h% 2. 说明:光源 OYLg-S A(}D76o_ G;he:Bf 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 w:HRzU> 因此,相干长度大于1m Boj#r ,x 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 F1GFn|OA 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 )l6(ss!J kK%@cIXS3
:D:Y-cG*n< YS0^!7u 3. 说明:光源 PUbfQg Qy7 pM8~h &1Cif$Y4w 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 _X)`S"EsJ 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 ~jD~_JGp 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 e#!,/pE 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 *6/OLAkyF 4. 说明:光学元件 c@|f'V4 BK)3b6L=% .Ge`)_e 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 <TEDqQ 位相延迟平板材料为N-BK7。 pv"QgH 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 k< $( 透镜材料为N-BK7。 vWVQ8S. 其中心厚度与位相平板厚度相等。 &|I{ju_ [pX cKN ?%ei+ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 q_86nvB< '4)4* 3z,
Fp~0 ^ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 OICH:(t_ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 UFGUP]J> ZLlAK ?N 6. 分光器的设置 [vn"r^P ~u-_DOA #3}!Q0 ~tZy-1 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 v9MliD' 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 YJB/*SV^ 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 "sJ@_lp %@^9(xTE 7. 合束器的设置 ![ @i+hl $E-c%- jhB+ ] icN#8\E 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 Cig!3 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 H,Yrk(O- m+3]RIr&A 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 U.c~l,5%" $g '4' RU+F~K< 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 qDPl( WXb 应用示例详细内容 I<!,_$: 仿真&结果 oH1]-Nl$ JlE b 1. 结果:利用光线追迹分析 @<z#a9 \4Z"s[8} 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 UQnv#a> 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 ^w*&7.Z N4w&g- 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 G5*_ cv9-ZOxJ CO{AC~ 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 1?{w~cF} 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 ]69z-; 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 no9=K4h` pykRi#[UrX 3. 对准误差的影响:元件倾斜 MrhJk q],/%W 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 xbsX-F 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 AME<V-5 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 i+~H~k}"X `3L?x8g 4. 对准误差的影响:元件平移 !Q{~f;L LsaRw-4.c 元件移动影响的研究,如球面透镜。 E[M.q;rM 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 r?}L^bK 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 wj9Hh =po5Q6@i l-M
.C8N 5. 总结 seA=7c5E 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 bix}#M )]{& 4. 仿真 VV"1I R 以光线追迹对干涉仪的仿真。 _F3=
H]P vnH[D)`@ 5. 计算 dwz{Yw( 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 :PP!v!vk 7-c3^5gn{ 6. 研究 g>H\"cUv 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 rQ&F Gb 0b+End#mp 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 '/@i}
digf ICUI0/J 扩展阅读 uY:u[ C[nacAi 1. 扩展阅读 ?Bsc;:KF 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 aKw7m={ `:5W1D( 开始视频 &u0on)E - 光路图介绍 kRB2J3Nt. - 参数运行介绍 o&kgRv[ - 参数优化介绍 89[OaT_hs 其他测量系统示例: y-vQ4G5F| - 迈克尔逊干涉仪 WGI4DzKa
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