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    [讨论]镀膜稳定性的讨论1-充氧 [复制链接]

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    离线ouyuu
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-04-04
    首先声明一下,在这里表达的只是个人看法,并不一定有道理。 `F&~SU,  
    关于镀膜,大家都追求的是镀膜的连续性和稳定性。 #,6T.O  
    甚至为了稳定性,一些镀膜机厂家宁可牺牲性能。 Z_S{$D  
    比如说镀膜过程中使用APC充氧: 7m]J7 +4  
    很多人认为APC充氧只是为了给类似于TiO2这些易失氧膜料进行补氧。 kQlwl9  
    其实不然。使用离子源的情况下,氧其实是足够的。 g3{UP]Z71  
    APC充氧还有一个重要的目的,维持镀膜环境的稳定性。 I_->vC|>  
    APC是自动压力控制的英文缩写,它能起到稳定真空腔体真空度的作用。 9^8OIv?m8  
    `=,emP&(H&  
    在真空中,有个平均自由程的概念,一个粒子平均运动多远才能和其他粒子碰撞。 vlEW{B;)Z  
    真空度越高,平均自由程越长,电子枪和离子源发出来原子或者离子就会更多的到达基板表面。 Fzt?M  
    但是随着腔体的逐渐变脏,镀膜时候的真空度会变差,到达基板的原子和离子就会变少。 <m1v+cnqo  
    一般会表现为外圈和内圈的分布变化,还有折射率的变化。 W-&V:S{<  
    为了让分布和折射率稳定,在镀膜过程中使用APC是个解决的办法。 0x]?rd+q8Q  
     O&|<2Qr  
    APC充氧口(也有充氮,充其他气体的)的位置也很重要。 0jjtx'F  
    如果是补氧和维持真空度兼而有之的,一般充氧口放在底板的中心位置。 bJD$!*r\%!  
    如果有其他特殊原因(比如说工艺和外观的要求),会有在伞圈下方100mm处放置一个充氧环,  |Nj6RB7  
    均匀开孔以便于均匀充氧。
     
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    离线ouyuu
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-04-04
    补充几个和真空相关的因素: vxI9|i  
    1,真空计污染:皮拉尼真空计容易受污染, i 61k  
    所以清扫机台的时候最好拆掉。清扫完再装上。 i-5,* 0e6m  
    e3:L]4t  
    2,扩散泵返油:使用劣质回收油,或者扩散泵口冷却板冷却不好的时候, V(DY!f_%  
    扩散泵容易返油,返油也会造成脱膜,膜质不好,分布问题。
    离线coldking
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    只看该作者 2楼 发表于: 2023-04-04
    我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來 ]- `wXi"  
    vI5lp5( -3  
    X|eZpIA45  
    离线coldking
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    只看该作者 3楼 发表于: 2023-04-04
    回 coldking 的帖子
    coldking:我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來
     (2023-04-04 15:28)  d-UeItyW*  
    D'#Q`H  
    APC不開也是可以,但是對於開或不開我還是沒弄明白
    离线ouyuu
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    只看该作者 4楼 发表于: 2023-04-08
    回 coldking 的帖子
    coldking:我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來
     (2023-04-04 15:28)  JQ&t"`\k  
    6Dq4Q|C  
    光驰机做的比较高,镀膜距离比较长,没有充氧的余量了。
    离线谭健
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    只看该作者 5楼 发表于: 2023-04-09
    谢谢分享 :]^e-p!z  
    离线阿俊
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    只看该作者 6楼 发表于: 2023-04-14
    支持楼主!
    离线jzdxzw
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    只看该作者 7楼 发表于: 2023-05-19
    大佬,扩散泵返油一般怎么去排查呢?或者说有设备/产品哪些异常的现象 }'X=&3m  
    离线逸轩yx
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    只看该作者 8楼 发表于: 2024-03-26
    取掉百叶窗,进入高真空室查看高阀周围是否存在有漏油、渗油迹象?设备检查 pJpapA2l*6  
    )xGAe#E~j  
    产品 US6_5>/  
    膜层脱落。干拉/水煮百格NG
    离线逸轩yx
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    只看该作者 9楼 发表于: 2024-03-26
    回 jzdxzw 的帖子
    jzdxzw:大佬,扩散泵返油一般怎么去排查呢?或者说有设备/产品哪些异常的现象 QWmE:F[M~  
     (2023-05-19 16:06)  ;rh.6Dl  
    N&8TG  
    取掉百叶窗,进入高真空室查看高阀周围是否存在有漏油、渗油迹象?设备检查 KuNLu31%  
    r^9l/H~ $  
    产品 myx/|-V"F  
    膜层脱落。干拉/水煮百格NG