切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 2932阅读
    • 11回复

    [讨论]镀膜稳定性的讨论1-充氧 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线ouyuu
     
    发帖
    567
    光币
    3369
    光券
    1
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-04-04
    首先声明一下,在这里表达的只是个人看法,并不一定有道理。 0`KR8# A@  
    关于镀膜,大家都追求的是镀膜的连续性和稳定性。 f)1*%zg%  
    甚至为了稳定性,一些镀膜机厂家宁可牺牲性能。 ~+S,`8-P  
    比如说镀膜过程中使用APC充氧: ?<efKs  
    很多人认为APC充氧只是为了给类似于TiO2这些易失氧膜料进行补氧。 >J) 9&?  
    其实不然。使用离子源的情况下,氧其实是足够的。 ?M B Od9  
    APC充氧还有一个重要的目的,维持镀膜环境的稳定性。 Plj>+XRO  
    APC是自动压力控制的英文缩写,它能起到稳定真空腔体真空度的作用。 ]O&\Pn0q  
    e4LJ3y&z"  
    在真空中,有个平均自由程的概念,一个粒子平均运动多远才能和其他粒子碰撞。 C Ef*:kr  
    真空度越高,平均自由程越长,电子枪和离子源发出来原子或者离子就会更多的到达基板表面。 L ARMZoyi  
    但是随着腔体的逐渐变脏,镀膜时候的真空度会变差,到达基板的原子和离子就会变少。 I_5[-9  
    一般会表现为外圈和内圈的分布变化,还有折射率的变化。 &t,"k'p  
    为了让分布和折射率稳定,在镀膜过程中使用APC是个解决的办法。 ;pt.)5  
    YVLK X}$)(  
    APC充氧口(也有充氮,充其他气体的)的位置也很重要。 ^H`4BWc  
    如果是补氧和维持真空度兼而有之的,一般充氧口放在底板的中心位置。 ^;'FC vd  
    如果有其他特殊原因(比如说工艺和外观的要求),会有在伞圈下方100mm处放置一个充氧环, G#YBfPmr  
    均匀开孔以便于均匀充氧。
     
    分享到
    离线ouyuu
    发帖
    567
    光币
    3369
    光券
    1
    只看该作者 1楼 发表于: 2023-04-04
    补充几个和真空相关的因素: s0m k<>z  
    1,真空计污染:皮拉尼真空计容易受污染, KM9H<;A  
    所以清扫机台的时候最好拆掉。清扫完再装上。 N{H#j6QW  
    GG %*d]  
    2,扩散泵返油:使用劣质回收油,或者扩散泵口冷却板冷却不好的时候, x}~Z[bx  
    扩散泵容易返油,返油也会造成脱膜,膜质不好,分布问题。
    离线coldking
    发帖
    33
    光币
    43
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2023-04-04
    我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來 r0s(MyI  
    0[p"8+x  
    Ctbc!<@o  
    离线coldking
    发帖
    33
    光币
    43
    光券
    0
    只看该作者 3楼 发表于: 2023-04-04
    回 coldking 的帖子
    coldking:我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來
     (2023-04-04 15:28)  `3*QKi$  
    HX ,\a`  
    APC不開也是可以,但是對於開或不開我還是沒弄明白
    离线ouyuu
    发帖
    567
    光币
    3369
    光券
    1
    只看该作者 4楼 发表于: 2023-04-08
    回 coldking 的帖子
    coldking:我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來
     (2023-04-04 15:28)  {,1>(  
    bjI3xAs~  
    光驰机做的比较高,镀膜距离比较长,没有充氧的余量了。
    在线谭健
    发帖
    6860
    光币
    24097
    光券
    0
    只看该作者 5楼 发表于: 2023-04-09
    谢谢分享 9EY`j,{4  
    离线阿俊
    发帖
    42
    光币
    16
    光券
    0
    只看该作者 6楼 发表于: 2023-04-14
    支持楼主!
    离线jzdxzw
    发帖
    75
    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 7楼 发表于: 2023-05-19
    大佬,扩散泵返油一般怎么去排查呢?或者说有设备/产品哪些异常的现象 Dr[;\/|#  
    离线逸轩yx
    发帖
    113
    光币
    3337
    光券
    0
    只看该作者 8楼 发表于: 2024-03-26
    取掉百叶窗,进入高真空室查看高阀周围是否存在有漏油、渗油迹象?设备检查 A?$-Uqb"  
    t\'MB  
    产品 D~Ef%!&  
    膜层脱落。干拉/水煮百格NG
    离线逸轩yx
    发帖
    113
    光币
    3337
    光券
    0
    只看该作者 9楼 发表于: 2024-03-26
    回 jzdxzw 的帖子
    jzdxzw:大佬,扩散泵返油一般怎么去排查呢?或者说有设备/产品哪些异常的现象 Ha/Qz'^S;  
     (2023-05-19 16:06)   S.B?l_d^  
    }*}F_Y+  
    取掉百叶窗,进入高真空室查看高阀周围是否存在有漏油、渗油迹象?设备检查 _-TW-{7bh  
    maY.Z<lN  
    产品 =nc;~u|]  
    膜层脱落。干拉/水煮百格NG