[讨论]镀膜稳定性的讨论1-充氧 [复制链接]

首先声明一下，在这里表达的只是个人看法，并不一定有道理。 `F&~SU,  
关于镀膜，大家都追求的是镀膜的连续性和稳定性。 #,6T.O  
甚至为了稳定性，一些镀膜机厂家宁可牺牲性能。 Z_S{$D  
比如说镀膜过程中使用APC充氧： 7m]J7 +4  
很多人认为APC充氧只是为了给类似于TiO2这些易失氧膜料进行补氧。 kQlwl9  
其实不然。使用离子源的情况下，氧其实是足够的。 g3{UP]Z71  
APC充氧还有一个重要的目的，维持镀膜环境的稳定性。 I_->vC|>  
APC是自动压力控制的英文缩写，它能起到稳定真空腔体真空度的作用。 9^8OIv?m8  
`=,emP&(H&  
在真空中，有个平均自由程的概念，一个粒子平均运动多远才能和其他粒子碰撞。 vlEW{B;)Z  
真空度越高，平均自由程越长，电子枪和离子源发出来原子或者离子就会更多的到达基板表面。 F
zt?M  
但是随着腔体的逐渐变脏，镀膜时候的真空度会变差，到达基板的原子和离子就会变少。 <m1v+cnqo  
一般会表现为外圈和内圈的分布变化，还有折射率的变化。 W-&V:S{<  
为了让分布和折射率稳定，在镀膜过程中使用APC是个解决的办法。 0x]?rd+q8Q  
 O&|<2Qr  
APC充氧口（也有充氮，充其他气体的）的位置也很重要。 0jjtx'F  
如果是补氧和维持真空度兼而有之的，一般充氧口放在底板的中心位置。 bJD$!*r\%!  
如果有其他特殊原因（比如说工艺和外观的要求），会有在伞圈下方100mm处放置一个充氧环，  |Nj6RB7  
均匀开孔以便于均匀充氧。

补充几个和真空相关的因素： vxI9|i  
1，真空计污染：皮拉尼真空计容易受污染， i 61k  
所以清扫机台的时候最好拆掉。清扫完再装上。 i-5,*0e6m  
e3:L]4t  
2，扩散泵返油：使用劣质回收油，或者扩散泵口冷却板冷却不好的时候， V(DY!f_%  
扩散泵容易返油，返油也会造成脱膜，膜质不好，分布问题。

我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來 ]- `wXi"  
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coldking:我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來
 (2023-04-04 15:28)  d-UeItyW*  

D'#Q`H  
APC不開也是可以,但是對於開或不開我還是沒弄明白

coldking:我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來
 (2023-04-04 15:28)  JQ&t"`\k  

6Dq4Q|C  
光驰机做的比较高，镀膜距离比较长，没有充氧的余量了。

谢谢分享 :]^e-p!z  

支持楼主！

大佬，扩散泵返油一般怎么去排查呢？或者说有设备/产品哪些异常的现象 }'X=&3m  

取掉百叶窗，进入高真空室查看高阀周围是否存在有漏油、渗油迹象？设备检查 pJpapA2l*6  
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产品 US6_5>/  
膜层脱落。干拉/水煮百格NG

jzdxzw:大佬，扩散泵返油一般怎么去排查呢？或者说有设备/产品哪些异常的现象 QWmE:F[M~  
 (2023-05-19 16:06)  ;rh.6Dl  

N&8TG  
取掉百叶窗，进入高真空室查看高阀周围是否存在有漏油、渗油迹象？设备检查 KuNLu31%  
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产品 myx/|-V"F  
膜层脱落。干拉/水煮百格NG