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    [讨论]镀膜稳定性的讨论1-充氧 [复制链接]

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    离线ouyuu
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-04-04
    首先声明一下,在这里表达的只是个人看法,并不一定有道理。 %eah=e  
    关于镀膜,大家都追求的是镀膜的连续性和稳定性。 Z9sg6M@s  
    甚至为了稳定性,一些镀膜机厂家宁可牺牲性能。 <K0lS;@K  
    比如说镀膜过程中使用APC充氧: AjlG_F  
    很多人认为APC充氧只是为了给类似于TiO2这些易失氧膜料进行补氧。 p5H Mg\hT  
    其实不然。使用离子源的情况下,氧其实是足够的。 3Q]MT  
    APC充氧还有一个重要的目的,维持镀膜环境的稳定性。 ~*[}O)7#  
    APC是自动压力控制的英文缩写,它能起到稳定真空腔体真空度的作用。 0?:ZERv  
    ji8 Rd"S  
    在真空中,有个平均自由程的概念,一个粒子平均运动多远才能和其他粒子碰撞。 ,H%\+yn{  
    真空度越高,平均自由程越长,电子枪和离子源发出来原子或者离子就会更多的到达基板表面。 I&xRK'  
    但是随着腔体的逐渐变脏,镀膜时候的真空度会变差,到达基板的原子和离子就会变少。 vB Jva8;Q  
    一般会表现为外圈和内圈的分布变化,还有折射率的变化。 *m"mt  
    为了让分布和折射率稳定,在镀膜过程中使用APC是个解决的办法。 A |&EI-In  
    /.?\P#9)  
    APC充氧口(也有充氮,充其他气体的)的位置也很重要。 1Jd:%+T  
    如果是补氧和维持真空度兼而有之的,一般充氧口放在底板的中心位置。 1=D!C lcb  
    如果有其他特殊原因(比如说工艺和外观的要求),会有在伞圈下方100mm处放置一个充氧环, :qZ^<3+:  
    均匀开孔以便于均匀充氧。
     
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    离线quan6658
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    只看该作者 11楼 发表于: 2024-08-29
    镀钛开APC产品很容易发白,镀钽没必要充APC,所以我选择不开
    离线comebackz
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    只看该作者 10楼 发表于: 2024-07-31
    谢谢分享
    离线逸轩yx
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    只看该作者 9楼 发表于: 2024-03-26
    回 jzdxzw 的帖子
    jzdxzw:大佬,扩散泵返油一般怎么去排查呢?或者说有设备/产品哪些异常的现象 $kma#7  
     (2023-05-19 16:06)  (J&Xo.<Z-  
    >!1f`  
    取掉百叶窗,进入高真空室查看高阀周围是否存在有漏油、渗油迹象?设备检查 G)hH?_U#T  
    +ca296^  
    产品 I_G>W3  
    膜层脱落。干拉/水煮百格NG
    离线逸轩yx
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    只看该作者 8楼 发表于: 2024-03-26
    取掉百叶窗,进入高真空室查看高阀周围是否存在有漏油、渗油迹象?设备检查 |OZ>/l {  
    .)> /!|i  
    产品 Nf'dT;s.N  
    膜层脱落。干拉/水煮百格NG
    离线jzdxzw
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    只看该作者 7楼 发表于: 2023-05-19
    大佬,扩散泵返油一般怎么去排查呢?或者说有设备/产品哪些异常的现象 J(0=~Z[  
    离线阿俊
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    只看该作者 6楼 发表于: 2023-04-14
    支持楼主!
    离线谭健
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    只看该作者 5楼 发表于: 2023-04-09
    谢谢分享 ?%dCU~ z  
    离线ouyuu
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    只看该作者 4楼 发表于: 2023-04-08
    回 coldking 的帖子
    coldking:我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來
     (2023-04-04 15:28)  }j5R@I6P  
    f gK2.;>  
    光驰机做的比较高,镀膜距离比较长,没有充氧的余量了。
    离线coldking
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    只看该作者 3楼 发表于: 2023-04-04
    回 coldking 的帖子
    coldking:我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來
     (2023-04-04 15:28)  jsk:fh0~M  
    ^G|w8t+^  
    APC不開也是可以,但是對於開或不開我還是沒弄明白