[讨论]镀膜稳定性的讨论1-充氧 [复制链接]

首先声明一下，在这里表达的只是个人看法，并不一定有道理。 U:p"IY#%  
关于镀膜，大家都追求的是镀膜的连续性和稳定性。 NF.6(PG|  
甚至为了稳定性，一些镀膜机厂家宁可牺牲性能。 7D_kkhN  
比如说镀膜过程中使用APC充氧： Tq_X8X#p  
很多人认为APC充氧只是为了给类似于TiO2这些易失氧膜料进行补氧。 GyM%vGl 3  
其实不然。使用离子源的情况下，氧其实是足够的。 5i-;bLm  
APC充氧还有一个重要的目的，维持镀膜环境的稳定性。 o*
ED!y7  
APC是自动压力控制的英文缩写，它能起到稳定真空腔体真空度的作用。 SIVLYi  
p:>?  
在真空中，有个平均自由程的概念，一个粒子平均运动多远才能和其他粒子碰撞。 Y52xrIvl\  
真空度越高，平均自由程越长，电子枪和离子源发出来原子或者离子就会更多的到达基板表面。 7tO$'q*h  
但是随着腔体的逐渐变脏，镀膜时候的真空度会变差，到达基板的原子和离子就会变少。  KGwL09)  
一般会表现为外圈和内圈的分布变化，还有折射率的变化。 tnbs]6  
为了让分布和折射率稳定，在镀膜过程中使用APC是个解决的办法。 YhK/pt43C  
dC|#l?P  
APC充氧口（也有充氮，充其他气体的）的位置也很重要。 P\0%nyOG(%  
如果是补氧和维持真空度兼而有之的，一般充氧口放在底板的中心位置。 tZ24}~d
a  
如果有其他特殊原因（比如说工艺和外观的要求），会有在伞圈下方100mm处放置一个充氧环， d3J_IW+8R$  
均匀开孔以便于均匀充氧。

补充几个和真空相关的因素： 0c6AQP"=V  
1，真空计污染：皮拉尼真空计容易受污染， w/Dm  
所以清扫机台的时候最好拆掉。清扫完再装上。 w3UJw  
rX d2[pp  
2，扩散泵返油：使用劣质回收油，或者扩散泵口冷却板冷却不好的时候， ^`5Yxpz  
扩散泵容易返油，返油也会造成脱膜，膜质不好，分布问题。

我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來 ^K[tO54  
5i&V ~G  
+~]g&Mf6o  

coldking:我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來
 (2023-04-04 15:28)  N*W.V,6yH  

c5pG?jr+d  
APC不開也是可以,但是對於開或不開我還是沒弄明白

coldking:我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來
 (2023-04-04 15:28)  A[MEtI=Q J  

cxV3Vrx@A  
光驰机做的比较高，镀膜距离比较长，没有充氧的余量了。

谢谢分享 p6p_B  

支持楼主！

大佬，扩散泵返油一般怎么去排查呢？或者说有设备/产品哪些异常的现象 pV_2JXM~@  

取掉百叶窗，进入高真空室查看高阀周围是否存在有漏油、渗油迹象？设备检查 j:g/[_0s  
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产品 qSON3Iid  
膜层脱落。干拉/水煮百格NG

jzdxzw:大佬，扩散泵返油一般怎么去排查呢？或者说有设备/产品哪些异常的现象 (h%!Kun  
 (2023-05-19 16:06)  k? X7h2  

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取掉百叶窗，进入高真空室查看高阀周围是否存在有漏油、渗油迹象？设备检查 :`25@<*u  
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产品 52=?! JM  
膜层脱落。干拉/水煮百格NG