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《Essential Macleod中文手册》 =r&i`L{] sBNqg~HwB? 目 录 "Q{7X[$$^ Mv:\T%] ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 V-"#Kf9 第1章 介绍 ..........................................................1 SXV2Y- 第2章 软件安装 ..................................................... 3 r/QI-Cf& 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 )[=C@U 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 eUD 5V 第5章 软件结构 ............................................................... 21 "J`# 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 y"H(F,(N 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 A>*#Nw5L 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 CU/Id`"tW 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 %d
/]8uO 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 zJOyr"B'8 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 ^xr &E 第12章 优化和综合 ..................................................................120 ,,?XGx 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 &C#?&AQ 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 tnq ZlS 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 ifmX<'(9A 第16章 逆向工程 ................................................................ 200
1b@]^Ue 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 +5%ncSJx 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 ?` 2z8uD/ 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 K'[kl' 第20章 运行表单 .................................................................... 251 >B.KI}dE 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 1TgD;qX 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 +}BKDEb 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 UAC"jy1D 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 ^ JU#_ 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 z\K-KD{Ad 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 BNixp[Hc 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 qI[AsM+ 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 (
;KTV*1 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 LVy (O9g 5K=>x< 0Q]{r ) Krr51`hZH o%$R`; O81'i2MJ9 内容简介 <JW%h :\t Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 /5?tXH" 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 u\f QaQV 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 `/(9#E 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 HUel j<h0`v 目录 v5W-f0Jo Preface 1 m4R:KjN* 内容简介 2 l4^MYwFR{O 目录 i _t6.9CXl 1 引言 1 &B$%|~Y5 2 光学薄膜基础 2 ~hT(uxU/ 2.1 一般规则 2 uao#=]?) 2.2 正交入射规则 3 G6X5`eLQ 2.3 斜入射规则 6 -I~\ 2.4 精确计算 7 C0&ZQvvy1: 2.5 相干性 8 I0_>ryA 2.6 参考文献 10 =ibKdPtTh^ 3 Essential Macleod的快速预览 10 d;).| .}P 4 Essential Macleod的特点 32 Yb'%J@T} 4.1 容量和局限性 33 |gfG\fL3V 4.2 程序在哪里? 33 +rKV*XX@ 4.3 数据文件 35 Pe@*')o* 4.4 设计规则 35 ^,Ft7 JAn 4.5 材料数据库和资料库 37 q oz[x 4.5.1材料损失 38 H$6;{IUz~ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 D#d/?\2 4.5.2 材料库 41 E/ ^N
4.5.3导出材料数据 43 ,oJ$m$(Lj 4.6 常用单位 43
nMBF/75 4.7 插值和外推法 46 7<LCX{Uw 4.8 材料数据的平滑 50 /7WdG)' 4.9 更多光学常数模型 54 +_ $!9m 4.10 文档的一般编辑规则 55 N \woFrG 4.11 撤销和重做 56 Crezo? 4.12 设计文档 57 h<g2aL21?F 4.10.1 公式 58 n_6#Df* 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 R^yh, 4.10.3 沉积密度 59 ZUl-&P_X 4.10.4 平行和楔形介质 60 n -xCaq 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 s=<65 4.10.4 性能 61 xQNGlVipZ@ 4.10.5 保存设计和性能 64 v
`;Hd8 4.10.6 默认设计 64 O*>`md?MH 4.11 图表 64 M'@ 4.11.1 合并曲线图 67 ].@8/. rg 4.11.2 自适应绘制 68 zuJ@@\75 4.11.3 动态绘图 68 :bqUA(k 4.11.4 3D绘图 69 RvyCc!d 4.12 导入和导出 73 r(g#3i4Q 4.12.1 剪贴板 73 9x#Tj/5% 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 )~ ^`[` 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 pwA~?$B1 4.13 背景 77 9r 5( 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ~pwk[Q! 4.15 生成Rugate 84 &_'3(xIO 4.16 参考文献 91 ,2mq}u>WU 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 8>|<m'e^\r 5.1 Jobs 92 (bD#PQXzm 5.2 创建一个新Job(工作) 93 r%`3*<ALV) 5.3 输入材料 94 !^Q4ZL,- 5.4 设计数据文件夹 95 KBgFS%-W 5.5 默认设计 95 b .cBg.a 6 细化和合成 97 4
i`FSO 6.1 优化介绍 97 k8,s<m 6.2 细化 (Refinement) 98 Wp^A. 6.3 合成 (Synthesis) 100 _:KeSskuO 6.4 目标和评价函数 101 <'~6L#>,< 6.4.1 目标输入 102 5m?9O7Pg 6.4.2 目标 103 tYx>?~ 6.4.3 特殊的评价函数 104 LRSt >;
M 6.5 层锁定和连接 104 J$S*QCo 6.6 细化技术 104 _RWH$L9 6.6.1 单纯形 105 {z@a{L:SC 6.6.1.1 单纯形参数 106 MTn}]blH 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 %U9f`qE 6.6.2.1 Optimac参数 108 k>:\4uI|<\ 6.6.3 模拟退火算法 109 =h/61Bl3 6.6.3.1 模拟退火参数 109 S"@@BQ#mf 6.6.4 共轭梯度 111 XLlJ|xhY-K 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 b6@0?_n 6.6.5 拟牛顿法 112 Q}1qt4xy* 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 -9R.mG 6.6.6 针合成 113 /&5:v%L 6.6.6.1 针合成参数 114 }s.\B
6.6.7 差分进化 114 U}GO* + 6.6.8非局部细化 115 )O>M~ 6.6.8.1非局部细化参数 115 b\H,+|iK 6.7 我应该使用哪种技术? 116 B+2.:Zn6 6.7.1 细化 116 /Y[ b8f 6.7.2 合成 117 /$j,p E= 6.8 参考文献 117 (Vt5@25JW 7 导纳图及其他工具 118 \+<=O` 7.1 简介 118 3w+ +F@( 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 G9CL}=lJ, 7.2.1 四分之一波长规则 119 0"iQHi 7.2.2 导纳图 120 8Y;2.Z`Rz 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 tZ:fh p 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
&0OH:P% 7.5 斜入射导纳图 141 q'%!qa+ 7.6 对称周期 141 U :8cz=# 7.7 参考文献 142 m[Qr>= " 8 典型的镀膜实例 143 @`aPr26>? 8.1 单层抗反射薄膜 145 DO~~ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 sAjN<P 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 (mx}6A 8.4 W-膜层 148 y 48zsm{ 8.5 V-膜层 149 +B4 i,]lCx 8.6 V-膜层高折射基底 150 T^Hq 5Oy 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 0kaMYV? 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 3vEwui-5 8.9 四层抗反射薄膜 153 4r9AU mJqw 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 E/_n}$Z 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 7+rroCr" 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 'i 8`LPQ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 x/%/MFK)>8 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
TrBtTqH) 8.15十五层宽带抗反射膜 159 |j4;XaG) 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 cK'}+ 8.17 1/4波长堆栈 162 * K0aR! 8.18 陷波滤波器 163 _w7yfZLv+ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 yg"FF:^T 8.20 褶皱 165 K\5/ ||gi 8.21 消偏振分光器1 169 Q1x=@lXR 8.22 消偏振分光器2 171 la`f@~Bbr1 8.23 消偏振立体分光器 172 XKvH^Z4h{l 8.24 消偏振截止滤光片 173 kM3#[#6$! 8.25 立体偏振分束器1 174 YyC$\HH6 8.26 立方偏振分束器2 177 8[oZ>7LMzC 8.27 相位延迟器 178 v5*JBW+c* 8.28 红外截止器 179 AdRK )L 8.29 21层长波带通滤波器 180 'Kd-A:K2g 8.30 49层长波带通滤波器 181 u`u{\
xN9 8.31 55层短波带通滤波器 182 7 M$cIWe$ 8.32 47 红外截止器 183 >&Vz/0 8.33 宽带通滤波器 184 D*ZswHT{y 8.34 诱导透射滤波器 186 yRt7&,}zL 8.35 诱导透射滤波器2 188 /&yc?Ui 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 i L'j9_w, 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Om2w+yU 8.35 增益平坦滤波器 193 m|PJwd6 8.38 啁啾反射镜 1 196 A#]78lR 8.39 啁啾反射镜2 198
`dIwBfg_ 8.40 啁啾反射镜3 199 x(A6RRh 8.41 带保护层的铝膜层 200 2FEi-m} 8.42 增加铝反射率膜 201 2W;2._ 8.43 参考文献 202 "fu@2y4^ 9 多层膜 204 "FLiSz%ME 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ccy q~ 9.2 内部透过率 204 TmJXkR.5 9.3 内部透射率数据 205 >&Y\g?Z6G 9.4 实例 206 "MyMByomQ 9.5 实例2 210 :13u{5:th 9.6 圆锥和带宽计算 212 Eopb##o 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ]qiX"<s>~C 10 光学薄膜的颜色 216 i ~rb-~o 10.1 导言 216 p+${_w>pl{ 10.2 色彩 216 gN[^ ,u 10.3 主波长和纯度 220 >*$Xbj* 10.4 色相和纯度 221 XjTu`?Na; 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 V2$M`|E 10.6 色差 226 (SByN7[gb 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 iK8jX? 10.8 颜色渲染指数 234 4TSkm`iR 10.9 色差计算 235 1+qP7 3a^ 10.10 参考文献 236 /?*ut&hwv 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 Tb{RQ?Nw' 11.1 短脉冲 238 3]kN9n{ 11.2 群速度 239 [ZS.6{vr 11.3 群速度色散 241 ~gg&G~ET 11.4 啁啾(chirped) 245 rv2;)3/* 11.5 光学薄膜—相变 245 imyfki $B 11.6 群延迟和延迟色散 246 V9wL3* 11.7 色度色散 246 r"dR}S.Uf 11.8 色散补偿 249 Y /l~R7 11.9 空间光线偏移 256 9rT"_d# 11.10 参考文献 258 $}=r45e0K 12 公差与误差 260 TNF 12.1 蒙特卡罗模型 260 WnA
Y<hZ| 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 $ SZIJe"K 12.2.1 误差工具 267 #It!D5A 12.2.2 灵敏度工具 271 6sT(t8[ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 o Va[ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 IH.EvierJ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 *?+2%zP 12.3 参考文献 276 (*\y 13 Runsheet 与Simulator 277 [C@Ro,mI 13.1 原理介绍 277 a >k9&
w 13.2 截止滤光片设计 277 bb$1zSA 14 光学常数提取 289 _WI~b 14.1 介绍 289 Y\F4 14.2 电介质薄膜 289 ;s#]."v_= 14.3 n 和k 的提取工具 295 NWj4U3x 14.4 基底的参数提取 302 SBY0L. 14.5 金属的参数提取 306 \jAI~|3 14.6 不正确的模型 306 .I%B$eH 14.7 参考文献 311 /'^BHA|h 15 反演工程 313 /f hS#+V* 15.1 随机性和系统性 313 W >|'4y) 15.2 常见的系统性问题 314 7**zO3
H 15.3 单层膜 314 7mL1$i6= 15.4 多层膜 314 $SfY<j,R 15.5 含义 319 kH=qJ3Z 15.6 反演工程实例 319 ](`:<>c 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 bG+Gg*0p 15.6.2 反演工程提取折射率 327 {ea*dX872: 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 (@S9>z4s 16.1 光学性质的热致偏移 329 m;PTO$-- 16.2 应力工具 335 IG~Zxn1o 16.3 均匀性误差 339 1;v wreJ 16.3.1 圆锥工具 339 S5~(3I
)v 16.3.2 波前问题 341 C}\kp0mz 16.4 参考文献 343 JC}T*h>Ee 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 %h
v-3L#V 17.1 引言 345 EW/N H&{ 17.2 操作数 345 ML%JTx0+Z 18 如何在Function中编写脚本 351 |RDE/ 18.1 简介 351 mFE7#OM 18.2 什么是脚本? 351 |WW'qg]Uu 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Gi&/`vm 18.4 基础 352 =q[ynZ8O\w 18.4.1 Classes(类别) 352 ZL9|/
PY 18.4.2 对象 352 N8X)/W 18.4.3 信息(Messages) 352 4ZB]n,pfT 18.4.4 属性 352 Kc+9n%sp 18.4.5 方法 353 8an_s%,AW 18.4.6 变量声明 353 {(h!JeQ 18.5 创建对象 354 2-^['R 18.5.1 创建对象函数 355 GD!!xt 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 d!"gb,ec 18.5.3 丢弃对象 356 Hq,znRz~` 18.5.4 总结 356 uC2 5pH" 18.6 脚本中的表格 357 '(8}
<(% 18.6.1 方法1 357 #:Ukv? 18.6.2 方法2 357 w# ;t$qz} 18.7 2D Plots in Scripts 358 Po.izE!C 18.8 3D Plots in Scripts 359 YW"nPZNPy~ 18.9 注释 360 EDg; s-T= 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 =E&1e;_xlE 18.11 一个更高级的脚本 362 A \Z _br 18.12 <esc>键 364 fg
GTm: 18.13 包含文件 365 C 6d#+ 18.14 脚本被优化调用 366 ^L'<%_#. 18.15 脚本中的对话框 368 Gn<e&|4>i} 18.15.1 介绍 368 &cf_?4 18.15.2 消息框-MsgBox 368 f1t?<=3Ek< 18.15.3 输入框函数 370 d)0 hAdh 18.15.4 自定义对话框 371 M*F`s&vM 18.15.5 对话框编辑器 371 Y }8HJTMB 18.15.6 控制对话框 377 Dj
w#{WR 18.15.7 更高级的对话框 380 DMT2~mh 18.16 Types语句 384 RI]x= 18.17 打开文件 385 Hlj3z3 18.18 Bags 387 Z
FIgKWZ' 18.13 进一步研究 388 D
\boF+^ 19 vStack 389 !1P<A1K 19.1 vStack基本原理 389 Qq\hD@Z| 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 Rz33_ qA 19.3 五棱镜 393 ~bfjP2
g 19.4 光束距离 396 kqLpt 19.5 误差 399 fjS# 19.6 二向分色棱镜 399 S|_lbMZM 19.7 偏振泄漏 404 D*8oFJub 19.8 波前误差—相位 405 I5g!c|#y
19.9 其它计算参数 405 pwV{@h! 20 报表生成器 406 L(BL_ 20.1 入门 406 M'$?Jp#]} 20.2 指令(Instructions) 406 JwUz4 20.3 页面布局指令 406 8HdjZ! 20.4 常见的参数图和三维图 407 OPDRV\ 20.5 表格中的常见参数 408 {|tMN,Z 20.6 迭代指令 408 9RY}m7 20.7 报表模版 408 Y>K3.*. 20.8 开始设计一个报表模版 409 (M%ZSF V 21 一个新的project 413 J(`(PYo\i 21.1 创建一个新Job 414 ~<=wTns! 21.2 默认设计 415 58Z,(4:E 21.3 薄膜设计 416 ]$A6krfh| 21.4 误差的灵敏度计算 420 M_\)<a(8 21.5 显色指数计算 422 lUHpGr|U% 21.6 电场分布 424 %X(|Z4dL 后记 426 0j[%L!hny 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! xQ8?"K;iX
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