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《Essential Macleod中文手册》 O4@Ki4f3A% Z_iu^Q 目 录 Q`7!~qV0= 1(gb-u0 ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 R)I 8 ) 第1章 介绍 ..........................................................1 ndOPD]A' 第2章 软件安装 ..................................................... 3 [@";\C_I 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 #KXaz Zu" 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 1T%Y:0 第5章 软件结构 ............................................................... 21 PkLRQ} 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 zpZlA_
第7章 设计窗口 .................................................................. 62 L4zSro:Si 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 =3{h9 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 z<+".sD' 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 K-)*S\<} 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 >L$y|8O 第12章 优化和综合 ..................................................................120 fg8V6FS 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 req=w;E: 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 Eg3rbqM- 8 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 Q0gO1T 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 [NFg9y;{h 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 5dMIv<#T` 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 "@gJ[BL# 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 lT@5=ou[ 第20章 运行表单 .................................................................... 251 @!Il!+^3 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 k!xi
(l<C 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 2K..
;A$ 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 1HN_ 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 elWN-~ 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 2
L%d,Ta> 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 `-\4Dx1!q 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 hEl)BRJ 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 3SpDV'} 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 GLwL'C'591 =P'=P0G {uM0J$P : 6O"Vy 3HO4h\mp Y">Q16( 内容简介 t}cj8DC! Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 C]WVH\Pp 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 MQQiQ 2 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 YM 7P!8Gc 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 Aw4Qm2Kf z Rz#0 目录 dDi 1{s Preface 1 kX'1.<[ 内容简介 2 B6 x5E 目录 i y@~.b^?_u 1 引言 1 '&?47+W 2 光学薄膜基础 2 >%qGK-_ 2.1 一般规则 2 5>j,P 2.2 正交入射规则 3 vW"x)~B 2.3 斜入射规则 6 ]}ff*W 2.4 精确计算 7 pP{b!1 2.5 相干性 8 2a5yJeaIv* 2.6 参考文献 10 >6:slNM# 3 Essential Macleod的快速预览 10 /{>ds-;- 4 Essential Macleod的特点 32 uji])e MN~ 4.1 容量和局限性 33 i/C#fIB2 4.2 程序在哪里? 33 tOnaD]J 4.3 数据文件 35 g[8VfIe 4.4 设计规则 35 &4O"Xs`ka 4.5 材料数据库和资料库 37 qlPjz*<h"H 4.5.1材料损失 38 eP&K]# 4.5.1材料数据库和导入材料 39 bp_3ETK]P 4.5.2 材料库 41 }=?r`J+Ev; 4.5.3导出材料数据 43 5c{=/}Y 4.6 常用单位 43 mrFMdpaHl% 4.7 插值和外推法 46 \Vm{5[ :SA 4.8 材料数据的平滑 50 m;KMr6sO 4.9 更多光学常数模型 54 ;NRm , 4.10 文档的一般编辑规则 55 {4}Sl^kn* 4.11 撤销和重做 56 OTN"XKa$ 4.12 设计文档 57 d>@{!c- 4.10.1 公式 58 5w}xjOYIjV 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 bCd! ap+# 4.10.3 沉积密度 59 tDy1Gh/c 4.10.4 平行和楔形介质 60 m$QFtrvy 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 4z#CkT 4.10.4 性能 61 BzTm[`(h 4.10.5 保存设计和性能 64 CrS[FM= +W 4.10.6 默认设计 64
gJs~kQU 4.11 图表 64 ?Z1pPd@ 4.11.1 合并曲线图 67 *'d5~dz= 4.11.2 自适应绘制 68 9nM {x? 4.11.3 动态绘图 68 ZJy
D/9y 4.11.4 3D绘图 69 -d_FB?X 4.12 导入和导出 73 CtjjN=59 4.12.1 剪贴板 73 tHJ1MDw' 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 CdWGb[uI 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 y"t5%Iv 4.13 背景 77 8y|(]5
'r 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 A<>W^ow 4.15 生成Rugate 84 O~'1)k> 4.16 参考文献 91 _AVCh)Zb 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 C$ZY=UXz!T 5.1 Jobs 92 8f8+3 5.2 创建一个新Job(工作) 93 IEC:zmkn 5.3 输入材料 94 (c(?s`; 5.4 设计数据文件夹 95 ip1jY!
5.5 默认设计 95 (O?z6g 6 细化和合成 97 dN\pe@#lKP 6.1 优化介绍 97
9FWn 6.2 细化 (Refinement) 98 |
@di<d@ 6.3 合成 (Synthesis) 100 yv$MQ~] 6.4 目标和评价函数 101 1/HPcCsHb 6.4.1 目标输入 102 Ig N,]y 6.4.2 目标 103 p,kJ# I 6.4.3 特殊的评价函数 104 V#3VRh 6.5 层锁定和连接 104 zYls>fbp, 6.6 细化技术 104 Bm~>w`1wK 6.6.1 单纯形 105 ?KS9Dh 6.6.1.1 单纯形参数 106 fC~WuG3 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 w`!Yr:dU 6.6.2.1 Optimac参数 108 f3v/Y5) 6.6.3 模拟退火算法 109 >vP^l
{SD 6.6.3.1 模拟退火参数 109 N3x}YHFF 6.6.4 共轭梯度 111 K.X% Q,XD 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 k{@z87+& 6.6.5 拟牛顿法 112 SxOM@A 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 vP,WV9Q1u 6.6.6 针合成 113 RKjA`cJ 6.6.6.1 针合成参数 114 55,vmDd 6.6.7 差分进化 114 EEkO[J[= 6.6.8非局部细化 115 Y~Jq ! 6.6.8.1非局部细化参数 115 Q{$2D& 6.7 我应该使用哪种技术? 116 m$@Cw Qj 6.7.1 细化 116 hp>me*vzr 6.7.2 合成 117 Nc;7KMOIA 6.8 参考文献 117 nG8]c9\Q# 7 导纳图及其他工具 118 kkzXv`+ 7.1 简介 118 8|J%IE 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 9k$uo_i' 7.2.1 四分之一波长规则 119 +A:}5{ 7.2.2 导纳图 120 i uN8gHx 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 2V~Yb1P 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 xX|-5cM; 7.5 斜入射导纳图 141 c*ytUI* 7.6 对称周期 141 {ifYr(|p` 7.7 参考文献 142 i$%V)pH~F 8 典型的镀膜实例 143 3}N:oJI$z 8.1 单层抗反射薄膜 145 _oLK"*
[# 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 M4DRG%21 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 W6\s@)b; 8.4 W-膜层 148 B*?v`6 8.5 V-膜层 149 3J:!8Gmk 8.6 V-膜层高折射基底 150 +, PBhB 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ){ wE)NN 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 1miTE4;? 8.9 四层抗反射薄膜 153 ;OVJM
qg 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 nR
,j1IUF 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Ad`;O+/; 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 w>m/c1 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 H"n"Q:Yp 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 A4SM@ry 8.15十五层宽带抗反射膜 159 W=G[hT5L{ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 6lZhV[~Z/ 8.17 1/4波长堆栈 162 o#6j+fo!n 8.18 陷波滤波器 163 .m+KXlP 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 `FmI?:Cv 8.20 褶皱 165 y~W6DL} 8.21 消偏振分光器1 169 ]huqZI 8.22 消偏振分光器2 171 |'a5nh! 8.23 消偏振立体分光器 172 %tpt+N? 8.24 消偏振截止滤光片 173 ob0clJX 8.25 立体偏振分束器1 174 <0lfkeD 8.26 立方偏振分束器2 177 .Cm wR$u& 8.27 相位延迟器 178 FC)aR[ 8.28 红外截止器 179 cG^'Qm 8.29 21层长波带通滤波器 180 Zcf?4{Kd?
8.30 49层长波带通滤波器 181 w#-rl@JQ4 8.31 55层短波带通滤波器 182 lRentNg0b 8.32 47 红外截止器 183 Kk#8r+, 8.33 宽带通滤波器 184 ~+4OG 0 8.34 诱导透射滤波器 186 o&X!75^G> 8.35 诱导透射滤波器2 188 Y&+<'FA 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 O":x$>'t 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 3+(Fq5I 8.35 增益平坦滤波器 193 RdvJA:;q 8.38 啁啾反射镜 1 196 ]@Zj-n8 8.39 啁啾反射镜2 198 uTn(fs)D 8.40 啁啾反射镜3 199 OyTBgS G?a 8.41 带保护层的铝膜层 200 F"9qBl~ 8.42 增加铝反射率膜 201 &@{Ba~S 8.43 参考文献 202 B_@>HZ\& 9 多层膜 204 ^i@t OtS 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 J9>uLz 9.2 内部透过率 204 w~1K93/p! 9.3 内部透射率数据 205 -a/5 9.4 实例 206 (bZ)pW/iw 9.5 实例2 210 U3p=H^MB. 9.6 圆锥和带宽计算 212 L2Mcs 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 R$cg\DD 10 光学薄膜的颜色 216 $s?q>Z) 10.1 导言 216 +#n[55d 10.2 色彩 216 w^P4_Yr[T 10.3 主波长和纯度 220 [NH[n# 10.4 色相和纯度 221 _DH,$evS% 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 &9TG&~(+ 10.6 色差 226 syV&Ds) 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 J6&;pCAi 10.8 颜色渲染指数 234 1C'lT,twl 10.9 色差计算 235 2<|+h=
& 10.10 参考文献 236 nq A>
}A
11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ,mjwQ6:Ny 11.1 短脉冲 238 Qt!l-/flh 11.2 群速度 239 :?yv0Iu 11.3 群速度色散 241 FFP>Y*v( 11.4 啁啾(chirped) 245 +&Sf$t 1 11.5 光学薄膜—相变 245 ^Cpvh}1# 11.6 群延迟和延迟色散 246 |>VDMezy 11.7 色度色散 246 eWcS>N 11.8 色散补偿 249 epz2d~; 11.9 空间光线偏移 256 vek9. 4! ] 11.10 参考文献 258 R.+QK6B& 12 公差与误差 260 :DQHb"( 12.1 蒙特卡罗模型 260 -1Tws|4gc 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 (hdP(U77 12.2.1 误差工具 267 O"_FfwO
a 12.2.2 灵敏度工具 271 +9,"ne1'e 12.2.2.1 独立灵敏度 271 l}Jf;C*j1z 12.2.2.2 灵敏度分布 275 rzEE | 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Mg-Kh}U 12.3 参考文献 276 i]xyD '0 13 Runsheet 与Simulator 277 k`kmmb> 13.1 原理介绍 277 )2u=U9 13.2 截止滤光片设计 277 /]iv9e{uh( 14 光学常数提取 289 '$4o,GA8 14.1 介绍 289 [C/h{WPC- 14.2 电介质薄膜 289 uppA`> 14.3 n 和k 的提取工具 295 VA.:'yQtJ 14.4 基底的参数提取 302 ~Ui<y=d 14.5 金属的参数提取 306 9cX
~ 14.6 不正确的模型 306 >wz-p
nD 14.7 参考文献 311 rhwY5FD? 15 反演工程 313 xHe<TwkI 15.1 随机性和系统性 313 `'.u$IBW 15.2 常见的系统性问题 314 Gl`Yyw@84 15.3 单层膜 314 ;R 'OdQ$o 15.4 多层膜 314 j<wWPv 15.5 含义 319 H2|& 15.6 反演工程实例 319 fg+Q7'*Vq 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
8X[G)J; 15.6.2 反演工程提取折射率 327 1}BW 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 .6f
%"E, 16.1 光学性质的热致偏移 329 jsfyNl?6 16.2 应力工具 335 >*B/Wy 16.3 均匀性误差 339 jZ7#xRt5w 16.3.1 圆锥工具 339 u
m(A3uQ 16.3.2 波前问题 341 ]X;Ty\UD& 16.4 参考文献 343 @T>)fKCg 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 uZ\ > 17.1 引言 345 oq(um:m 17.2 操作数 345 buG0#: 18 如何在Function中编写脚本 351 Vb|DNl@ 18.1 简介 351 =H3 JRRS 18.2 什么是脚本? 351 F=$2Gz
'RT 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 uXNJ{]o 18.4 基础 352 K zKHC 18.4.1 Classes(类别) 352 ID E3>D 18.4.2 对象 352 Z?O aY4 18.4.3 信息(Messages) 352 3RZP 12x 18.4.4 属性 352 p!|ok#sW 18.4.5 方法 353 %AXa(C\1 18.4.6 变量声明 353 i~ PN(h 18.5 创建对象 354 ?&pjP,a 18.5.1 创建对象函数 355 #rF|X6P 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 4:y;<8+j\ 18.5.3 丢弃对象 356 W9t%:wF 18.5.4 总结 356 o_vK4%y( 18.6 脚本中的表格 357 O>lF{yO0` 18.6.1 方法1 357 }<9*eAn` 18.6.2 方法2 357 u&mB;:& 18.7 2D Plots in Scripts 358 218ZUg -a 18.8 3D Plots in Scripts 359 AhiZ0W" 18.9 注释 360 <RKh%4#~ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 HhH[p E 18.11 一个更高级的脚本 362 l;b5 v]~ 18.12 <esc>键 364 LoPWho[8 18.13 包含文件 365 ''s]6Jjw 18.14 脚本被优化调用 366 GG/~)^VMe 18.15 脚本中的对话框 368 @G~T&6E! 18.15.1 介绍 368 \\Fl,' 18.15.2 消息框-MsgBox 368 l5l:'EY> 18.15.3 输入框函数 370 (S&X??jfB5 18.15.4 自定义对话框 371 :%{MMhbx 18.15.5 对话框编辑器 371 pMHY2t 18.15.6 控制对话框 377 Xv|~1v%s7 18.15.7 更高级的对话框 380 JLp.bxx 18.16 Types语句 384 ]<WKi= 18.17 打开文件 385 "|gNNmr 18.18 Bags 387 .zAB)rNc
| 18.13 进一步研究 388 .fk!~8b[Q+ 19 vStack 389 3&/5!zOg) 19.1 vStack基本原理 389 &|LZ%W0Fb 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 l[fU0;A 19.3 五棱镜 393 lGwX.cA!' 19.4 光束距离 396 jt@k<#h~ 19.5 误差 399 J'sVT{@GS 19.6 二向分色棱镜 399 .\7R/cP}{A 19.7 偏振泄漏 404 _1VtVfiZ{ 19.8 波前误差—相位 405 D[x0sly 19.9 其它计算参数 405 JVD#wwic 20 报表生成器 406 & ;ie+/B 20.1 入门 406 .36z 20.2 指令(Instructions) 406 g|a2z_R 20.3 页面布局指令 406 Jk!}z+X'A 20.4 常见的参数图和三维图 407 ~N&j6wHg# 20.5 表格中的常见参数 408 wv|:-8V 20.6 迭代指令 408 QHUoAa`6v 20.7 报表模版 408 \h~;n)FI 20.8 开始设计一个报表模版 409 N1jj\.nB 21 一个新的project 413 3+;]dqZ 21.1 创建一个新Job 414 79AOvh 21.2 默认设计 415 LNmsv U 21.3 薄膜设计 416 B5hk]=Ud 21.4 误差的灵敏度计算 420 1C6H\; 21.5 显色指数计算 422 CTv-$7# 21.6 电场分布 424 o}mD1q0yE 后记 426 ExqI=k`Zs 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! f*04=R?w7>
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