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《Essential Macleod中文手册》 x2]chN ",E$}=
,Z 目 录 @q" #.?>s JHVesX ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 <M3&\ 第1章 介绍 ..........................................................1 Z=s]@r 第2章 软件安装 ..................................................... 3 )!`>Q|]}Zd 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 y=y#*yn & 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 7tT L,Nxe 第5章 软件结构 ............................................................... 21 lS`VJA6l. 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 nfr..4,: 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 YQfQ[{kp 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 9;pD0h| 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 Mg^3Y'{o 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 -v WXL 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 +u7nx 第12章 优化和综合 ..................................................................120 8bEii1EM 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 6$$ku 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 f'M7x6W 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 ];}7
%3 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 1QuR7p 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 s\1c. 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 '%A*Z,f 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 UazUr=|e 第20章 运行表单 .................................................................... 251 [E%Ov0OC 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 {B6tGLt#bf 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 |S VL%agZ 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 .[:*bo3 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 }%eXGdC 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 >_?Waz% 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 ji|tc9#6 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 3HmJixy 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 }#f~"-O 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 .3T#:Hl GCA?sFwo> 6/ thhP3`- V\o&{7! A@ lY{e ?qjlWCV|e 内容简介 W[tX%B Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 l+8G6?@]> 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 $5/lU
}To 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 lAPvphO 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 )y}W=Q>T 2r&T. 目录 |nj,]pA Preface 1 )[hQK_e] 内容简介 2 R~DZY{u+/$ 目录 i VM[Vhk[ 1 引言 1 w[wrZ:[ 2 光学薄膜基础 2 n$y)F} .- 2.1 一般规则 2 [8Zvs=1 2.2 正交入射规则 3 n~NOqvT < 2.3 斜入射规则 6 uCNi&. 2.4 精确计算 7 GE[J`?E] 2.5 相干性 8 m2"~.iM8 2.6 参考文献 10 7Z<ba^r} 3 Essential Macleod的快速预览 10 ^8yhx-mgb 4 Essential Macleod的特点 32 Jk!*j 4.1 容量和局限性 33 H|0GRjC 4.2 程序在哪里? 33 m0k~8^L@f 4.3 数据文件 35 &*#- %<=1 4.4 设计规则 35 -NyfW+T={ 4.5 材料数据库和资料库 37 S @'fmjA' 4.5.1材料损失 38 .-g++f(_i 4.5.1材料数据库和导入材料 39 DVq5[ntG 4.5.2 材料库 41 z!GLug*j` 4.5.3导出材料数据 43 B@W`AD1^{ 4.6 常用单位 43 !4f0VQI 4.7 插值和外推法 46 _ *O^|QbM 4.8 材料数据的平滑 50 HsGyNkr?r 4.9 更多光学常数模型 54 ]dKLzW:l 4.10 文档的一般编辑规则 55 &u'$q
4.11 撤销和重做 56 CcHf1
_CI 4.12 设计文档 57 gOA 4.10.1 公式 58 jLs-v 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 (0T6kD 4.10.3 沉积密度 59 'bXm,Ed 4.10.4 平行和楔形介质 60 Sp=6%3fZ]m 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 }qf)L. 4.10.4 性能 61 D|}%(N@sl 4.10.5 保存设计和性能 64 6:(*u{ 4.10.6 默认设计 64 +JMB98+l 4.11 图表 64 ./009p 4.11.1 合并曲线图 67 ni@N/Z?!pA 4.11.2 自适应绘制 68 Ty21-0F 4.11.3 动态绘图 68 =;9*gDf D 4.11.4 3D绘图 69 /{';\?w 4.12 导入和导出 73 2%'iTXF 4.12.1 剪贴板 73 ^$7Lmd.qI 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 -4&SYCw 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 L"akV,w4p 4.13 背景 77 =~i~SG/f 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ^hhJ6E_W 4.15 生成Rugate 84 ]iyJ>fC 4.16 参考文献 91 EhkvC>y 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 #l6L7u0~wC 5.1 Jobs 92 RY(\/W#$ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 hDp
-,ag{ 5.3 输入材料 94 ,&;#$ b5 5.4 设计数据文件夹 95 ]F5qXF5 5.5 默认设计 95 QGYO{S 6 细化和合成 97 s 9,?"\0Zm 6.1 优化介绍 97 I&oHVFY+ 6.2 细化 (Refinement) 98 <(YmkOS+ 6.3 合成 (Synthesis) 100 wr/Z)e =^3 6.4 目标和评价函数 101 ,iXE3TN;W 6.4.1 目标输入 102 O3JN?25s 6.4.2 目标 103 0B^0,d(s 6.4.3 特殊的评价函数 104 .`OyC' 6.5 层锁定和连接 104 <m"yPi3TY 6.6 细化技术 104 q^
{Xn-G 6.6.1 单纯形 105 dsKEWZ
= 6.6.1.1 单纯形参数 106 #HD$=ECcw 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 V=pg9KR!T 6.6.2.1 Optimac参数 108 jJc?/1 jv 6.6.3 模拟退火算法 109 ,!BiB* 6.6.3.1 模拟退火参数 109 (%huWW
j 6.6.4 共轭梯度 111 ef\Pu\'U 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 %t&5o>1C 6.6.5 拟牛顿法 112 p!MOp-;- 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 e~C^*w L 6.6.6 针合成 113 Ds4n>V,o 6.6.6.1 针合成参数 114 k#8,:B2 6.6.7 差分进化 114 FqOV/B
/z2 6.6.8非局部细化 115 85rXm*Df 6.6.8.1非局部细化参数 115 ;?>xuC$ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 _7(>0GY 6.7.1 细化 116 N4$!V}pp 6.7.2 合成 117 Iz/o|o]# 6.8 参考文献 117 ~yH<,e 7 导纳图及其他工具 118 [:x^ffs 7.1 简介 118 sT"U} 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 'k=GSb 7.2.1 四分之一波长规则 119 >y C1X|d~t 7.2.2 导纳图 120 zkXG%I4h 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 x |
= 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 pei-R 7.5 斜入射导纳图 141 }(h_ztw 7.6 对称周期 141 TSHsEcfO 7.7 参考文献 142 $=7[.z& 8 典型的镀膜实例 143 T6[];|%W 8.1 单层抗反射薄膜 145 <StyO[ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 M),i4a?2 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 -4|\,=j 8.4 W-膜层 148 &ah!g!o3 8.5 V-膜层 149 :- B,Q3d 8.6 V-膜层高折射基底 150 QMoh<[3qu
8.7 V-膜层高折射率基底b 151 zQJ9V\0 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 Az29?|e 8.9 四层抗反射薄膜 153 pqmS
w 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 RF/I*5 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 .lVC>UT 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 1b:3'E.#w 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 MA\"JAP/ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ~y.{WuUD 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Fp>iwdjFg 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 `mTpL^f 8.17 1/4波长堆栈 162 Q}GsCmt=)O 8.18 陷波滤波器 163 XUT,)dL 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 TfaL5evio 8.20 褶皱 165 RG [*:ReB9 8.21 消偏振分光器1 169 P?GHcq$\ 8.22 消偏振分光器2 171 t#tAvwFM8 8.23 消偏振立体分光器 172 M>+FIb( 8.24 消偏振截止滤光片 173 Az.(tJ X" 8.25 立体偏振分束器1 174 (|DmYn! 8.26 立方偏振分束器2 177 0e1W& 8.27 相位延迟器 178 .LDK+c 8.28 红外截止器 179 ]J;pUH+u 8.29 21层长波带通滤波器 180 ">vxYi 8.30 49层长波带通滤波器 181 0|<ER3xkx 8.31 55层短波带通滤波器 182 pPt7M'uL" 8.32 47 红外截止器 183 QXZjsa_| 8.33 宽带通滤波器 184 L&$ X\\Lv^ 8.34 诱导透射滤波器 186 s& |