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《Essential Macleod中文手册》 n7t}G'*Y!^ wC1pfXa 目 录 JipNI8\r Z/Rp?Jz\j/ ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 pN9 ! 第1章 介绍 ..........................................................1 y``\^F 第2章 软件安装 ..................................................... 3 UqK.b}s 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 <ToS& 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 qc8Ge\3s 第5章 软件结构 ............................................................... 21 jSI1tW8 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 (?z?/4>7< 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 csP4Oq\g[ 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 K~L&Z?~|E 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 m$vq%[/# 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 )N.3Q1g- 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 \{h_i
FU! 第12章 优化和综合 ..................................................................120 C[7!pd 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 vk7IqlEQ 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 %1?t)Bg 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 %' DOFiU 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 5rsz2;#p 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 be+-p 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 T`#nn| 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 N:`_Vl 第20章 运行表单 .................................................................... 251 Phn^0 iF 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 v=k+MvX 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 }U}zS@kI 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 J!C \R5\ 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 ,Fn;* 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 - Jaee,P 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 od
`;XVG 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 @76}d 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 dz^HN`AlzC 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 hz/mNDE] S{^x]h|? |f_'(-v`E b7.7@Ly
y 64'2ICf#m ^G!cv 内容简介 /\1'.GR Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 _7!ZnJrR 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 t|U5]$5 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ]L3U2H`7 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ^q-%# .gO|=E" 目录 @Ou
H=<YN Preface 1 )@!fLAT 内容简介 2 0>Y3xNb 目录 i .@{v{ 1 引言 1 ip?]&5s 2 光学薄膜基础 2 `l45T~`]$ 2.1 一般规则 2 AZ.QQ*GZ#y 2.2 正交入射规则 3 P00G*iY~\ 2.3 斜入射规则 6 q^xG%YdPz+ 2.4 精确计算 7 /
&Z8g4vc 2.5 相干性 8 gP>pbW_ 2.6 参考文献 10 4U dk# 3 Essential Macleod的快速预览 10 !Q\*a-C 4 Essential Macleod的特点 32 L}
R"1O 4.1 容量和局限性 33 4b<|jVl\ 4.2 程序在哪里? 33 "G%S
m") 4.3 数据文件 35 Q0xGd(\ 4.4 设计规则 35 `)cI^! 4.5 材料数据库和资料库 37 +2MF#{ tS 4.5.1材料损失 38 X3sAy(q 4.5.1材料数据库和导入材料 39 A.b^?k%I 4.5.2 材料库 41 !SuflGx,q 4.5.3导出材料数据 43 G$,s.MSf 4.6 常用单位 43 RQ=rB9~:ZN 4.7 插值和外推法 46 &0kr[Ik. 4.8 材料数据的平滑 50 k
(AE%eA 4.9 更多光学常数模型 54 '`^~Zy?c 4.10 文档的一般编辑规则 55 WWSycH
?[ 4.11 撤销和重做 56 *Xnf}Ozx 4.12 设计文档 57 ;MeY@*"{ 4.10.1 公式 58 @PM<pEve 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 q:kGJxfaW 4.10.3 沉积密度 59 cn}15JHdR 4.10.4 平行和楔形介质 60 A\?t^T 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ?Tc|3U 4.10.4 性能 61 ObM/~{rKx 4.10.5 保存设计和性能 64 'A|c\sy 4.10.6 默认设计 64 igL5nE=n 4.11 图表 64 _1)n_P4 4.11.1 合并曲线图 67 YC;@ ^ 4.11.2 自适应绘制 68 u>;aQtK~ 4.11.3 动态绘图 68 q25p3 4.11.4 3D绘图 69 }V]*FCpQ 4.12 导入和导出 73 %3dc_YPS 4.12.1 剪贴板 73 r.)n>
4.12.2 不通过剪贴板导入 76 d"5_x]Z; 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Q>Ct]JW& 4.13 背景 77 dWzf C@] 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 XR",.3LD 4.15 生成Rugate 84 X.{xHD&_ 4.16 参考文献 91 OybmyGHY 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 B^9C}QB 5.1 Jobs 92 ^6# yL6E,~ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 Xc+YoA0Ez 5.3 输入材料 94 F4~OsgZ'N 5.4 设计数据文件夹 95 Pz*BuL< 5.5 默认设计 95 Yt*NIwWr 6 细化和合成 97 41/civX>V 6.1 优化介绍 97 sT =|"H? 6.2 细化 (Refinement) 98 L[PqEN\i 6.3 合成 (Synthesis) 100 vE`;1UA} 6.4 目标和评价函数 101 tX%
C5k 6.4.1 目标输入 102 H.M:
cD: 6.4.2 目标 103 ax5n} 6.4.3 特殊的评价函数 104 _S[@?]=`b 6.5 层锁定和连接 104 n<|8Onw 6.6 细化技术 104 '`k 6.6.1 单纯形 105 *0oa2fz% 6.6.1.1 单纯形参数 106 V|A.M-XLv4 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 8Y% 6.6.2.1 Optimac参数 108 `6-flc0r 6.6.3 模拟退火算法 109 b&A/S$* 6.6.3.1 模拟退火参数 109 \RDqW+, 6.6.4 共轭梯度 111 -hfDf{QN 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 hQ>$"0K
6.6.5 拟牛顿法 112 5Bq;Vb 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 8~qpOQX^V 6.6.6 针合成 113 f4\F:YT 6.6.6.1 针合成参数 114 |H=5Am 6.6.7 差分进化 114 Jv
5l 6.6.8非局部细化 115 GZ<@#~1%\ 6.6.8.1非局部细化参数 115 T-n>+G{ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 7#"y mE 6.7.1 细化 116 qm#?DSLap 6.7.2 合成 117 pqv l,G5 6.8 参考文献 117 sAO/yG 7 导纳图及其他工具 118 U(+QrC: 7.1 简介 118 M`#g>~bI#R 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 &
:W6O)uY 7.2.1 四分之一波长规则 119 Te!eM{_$T 7.2.2 导纳图 120 StR)O))I 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 S&=@Hj- 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 LDw.2E
7.5 斜入射导纳图 141 o ;9H~E 7.6 对称周期 141 g<F+Ldgj
7.7 参考文献 142 \{rhHb\|h 8 典型的镀膜实例 143 h+dk2|a 8.1 单层抗反射薄膜 145 ,]qc#KDq-1 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ZJ)>gV 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 #mioT",bm= 8.4 W-膜层 148 ;=%cA#}_0 8.5 V-膜层 149 8DD1wK\U~ 8.6 V-膜层高折射基底 150 ?st}rJ_ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Y$^vA[]c> 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 A$~H`W<yxB 8.9 四层抗反射薄膜 153 _;BNWH 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 +|oLS_ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 [vBP,_Tjx 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 V/\`: 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 cWQ &zc 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 (.z0.0W 8.15十五层宽带抗反射膜 159 -NzOX"V]3 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 vGH]7jht 8.17 1/4波长堆栈 162 ]We0 RD"+ 8.18 陷波滤波器 163 !#5y%Bf 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 PHez5 }T 8.20 褶皱 165 o|n+;h
8.21 消偏振分光器1 169 $+{o* 8.22 消偏振分光器2 171 *c.w:DkfB 8.23 消偏振立体分光器 172 %"E!E1_Sv 8.24 消偏振截止滤光片 173 qbD_ 8.25 立体偏振分束器1 174 ,rY}IwMw 8.26 立方偏振分束器2 177 J| 46i 8.27 相位延迟器 178 E^w0X,0XlE 8.28 红外截止器 179 gpbdK? 8.29 21层长波带通滤波器 180 %0u5d$b q 8.30 49层长波带通滤波器 181 E-9>lb 8.31 55层短波带通滤波器 182 ls "Z4v(L6 8.32 47 红外截止器 183 _s=<Y^l%x 8.33 宽带通滤波器 184 Q&&=:97d 8.34 诱导透射滤波器 186 -G1R><8[ 8.35 诱导透射滤波器2 188 EcR[b@YI 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 H?=[9?1wI5 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 o9{1_7K 8.35 增益平坦滤波器 193 )>rYp
) 8.38 啁啾反射镜 1 196 1 j|XC 8.39 啁啾反射镜2 198 Q\^BOdX^` 8.40 啁啾反射镜3 199 B( wi+; 8.41 带保护层的铝膜层 200 pXNH 8.42 增加铝反射率膜 201 zyK11 8.43 参考文献 202 527u d^: 9 多层膜 204 '7]9q#{su 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 2{ hG",JL 9.2 内部透过率 204 lP(<4mdP 9.3 内部透射率数据 205 Ox aS<vQ3 9.4 实例 206 o}D7 $6 9.5 实例2 210 Pl|*+g 9.6 圆锥和带宽计算 212 z.t,qi$;{U 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 4l{La}Aj 10 光学薄膜的颜色 216 2Y}A9Veb 10.1 导言 216 TU| 0I 10.2 色彩 216 o:%;AOcl 10.3 主波长和纯度 220 @nj`T{*. 10.4 色相和纯度 221 +jGUp\h%9; 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ^'vWv C 10.6 色差 226 >ZAn2s 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 XQ Si 10.8 颜色渲染指数 234 2ZxZ2?.uJ 10.9 色差计算 235 *;
6LX 10.10 参考文献 236 0NSCeq%;6q 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 \7(OFT\u: 11.1 短脉冲 238 w (,x{Bg\ 11.2 群速度 239 @^Kw\s 11.3 群速度色散 241 u])MI6LF 11.4 啁啾(chirped) 245 cPl$N5/5 11.5 光学薄膜—相变 245 H//,qxDc 11.6 群延迟和延迟色散 246 Nm0|U.< 11.7 色度色散 246 m?)F@4] 11.8 色散补偿 249 "L)?dlb6T 11.9 空间光线偏移 256 I]~UOl 11.10 参考文献 258 P9# }aw+ 12 公差与误差 260
({t6Cbw 12.1 蒙特卡罗模型 260 `b5pa `\4 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 q[.,i{2R} 12.2.1 误差工具 267 l'\m'Ioh 12.2.2 灵敏度工具 271 CakB`q(8 12.2.2.1 独立灵敏度 271 0^MRPE|f5 12.2.2.2 灵敏度分布 275 @%As>X<3t 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 p:4oA<V 12.3 参考文献 276 `[4{]jX+< 13 Runsheet 与Simulator 277 T!H }^v 13.1 原理介绍 277 s9?H#^Y5u 13.2 截止滤光片设计 277 eOd'i{f@F 14 光学常数提取 289 Ar$Am 14.1 介绍 289 MJ@PAwv" 14.2 电介质薄膜 289 14Jkr)N 14.3 n 和k 的提取工具 295 K~\Ocl 14.4 基底的参数提取 302 vQ
DlS1L 14.5 金属的参数提取 306 KQrG|<J 14.6 不正确的模型 306 `c_Wk]i 14.7 参考文献 311 <~.1>CI9D3 15 反演工程 313 , *Z!Bd8 15.1 随机性和系统性 313 nA#dXckoc 15.2 常见的系统性问题 314 @w[HXb 15.3 单层膜 314 EYKV}` 15.4 多层膜 314 y)+lU 15.5 含义 319 <a%RKjQvT 15.6 反演工程实例 319 O>2i)M-h9x 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ,y*|f0&"~ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 Ne2eBmY}( 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 `CEHl &w 16.1 光学性质的热致偏移 329 CF@j]I@{
16.2 应力工具 335 "?{=|%mf 16.3 均匀性误差 339 _2S(
* 16.3.1 圆锥工具 339 hW-?j&yJ? 16.3.2 波前问题 341 w:[\G%yQ 16.4 参考文献 343 sxU
0Fg 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 !&vPG>V 17.1 引言 345 V5HK6- T 17.2 操作数 345 A#Jx6T`a 18 如何在Function中编写脚本 351 kG3m1: : 18.1 简介 351 =E-V-?N\ 18.2 什么是脚本? 351 :0j_I\L 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 IX 2 dic' 18.4 基础 352 ?hnxc0~P 18.4.1 Classes(类别) 352 'C<4{agS 18.4.2 对象 352 `-82u :" 18.4.3 信息(Messages) 352 Z(a,$__ 18.4.4 属性 352 j.7BoV 18.4.5 方法 353 pK@8= + 18.4.6 变量声明 353 B)u*c]<qU 18.5 创建对象 354 Xg1QF^ 18.5.1 创建对象函数 355 ! $8 e6 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 v,A8Mk2s# 18.5.3 丢弃对象 356 E4N{;' 18.5.4 总结 356 'P3jUc) 18.6 脚本中的表格 357 % (x9~" 18.6.1 方法1 357 F>s5<pKAX 18.6.2 方法2 357 QlK]2r9 18.7 2D Plots in Scripts 358 2"!s8x1$ 18.8 3D Plots in Scripts 359 <]h?_) 18.9 注释 360 ^ah9:}Ll 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 <e@+w6Kp'7 18.11 一个更高级的脚本 362 (od9adSehV 18.12 <esc>键 364 aLt2fB1 ) 18.13 包含文件 365 XMw*4j2E 18.14 脚本被优化调用 366 {E$smX 18.15 脚本中的对话框 368 BDz7$k] 18.15.1 介绍 368 gano>W0 18.15.2 消息框-MsgBox 368 4|Ay;}X \ 18.15.3 输入框函数 370 [e;c)XS[ 18.15.4 自定义对话框 371 TnQ"c)ta 18.15.5 对话框编辑器 371 T43Jgk, 18.15.6 控制对话框 377 Av_JcH 18.15.7 更高级的对话框 380 $ucA.9pJ 18.16 Types语句 384 @PAT|6 18.17 打开文件 385 zX}t1:nc 18.18 Bags 387 B6xM#) 18.13 进一步研究 388 V(3=j)# 19 vStack 389 w0`8el; 19.1 vStack基本原理 389 fm1yZX?` 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 6g&Ev' 19.3 五棱镜 393 S>V+IKW;( 19.4 光束距离 396 b.|k j 19.5 误差 399 Ws*UhJY<GS 19.6 二向分色棱镜 399 0<#>LWaM_ 19.7 偏振泄漏 404 = 4 wf 19.8 波前误差—相位 405 ;Bwg'ThT 19.9 其它计算参数 405 On-zbE 20 报表生成器 406 uJ
T^=Y 20.1 入门 406 X)b@ia'"Wp 20.2 指令(Instructions) 406 sFV&e->AN\ 20.3 页面布局指令 406 Zi=/w 20.4 常见的参数图和三维图 407 lgQ"K(zY 20.5 表格中的常见参数 408 "kd)dy95H 20.6 迭代指令 408 &$g{i:)Z 20.7 报表模版 408 VMIX=gTZ 20.8 开始设计一个报表模版 409 yXT8:2M 21 一个新的project 413 F(KsB5OY? 21.1 创建一个新Job 414 o&ETs)n| 21.2 默认设计 415 cB=ExD.Q 21.3 薄膜设计 416 Lz{z~xNHW. 21.4 误差的灵敏度计算 420 %8{nuq+c 21.5 显色指数计算 422 "."ow| 21.6 电场分布 424 K*S3{s%UR 后记 426 <\ EJ: 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! :T )R;E@
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