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《Essential Macleod中文手册》 n*8RYm)? DuC u6j 目 录 3E2.v5* NB6h/0*v ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 p=5H^E m1 第1章 介绍 ..........................................................1 -r2qIt 第2章 软件安装 ..................................................... 3 /n 3&e 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 4 >tYMyLt0 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 y7L4jO9h 第5章 软件结构 ............................................................... 21 u C8T!z 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 e^fKatI1 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 ST[1'T+L 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 $4~}_phi 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 M&\ ?)yG 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 x[uXD 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 8LM1oal} 第12章 优化和综合 ..................................................................120 2n+XML 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 k^%ec3l 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 TXOW/{B 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 1R~WY'Ed 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 3*23+}^G 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 DO,&Foh\ 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 s\1_-D5]Z 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 !5 :[X vI# 第20章 运行表单 .................................................................... 251 ob5nk^y 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 C-
Rie[ 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 dGW7,B~ 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 g[+Q~/yq 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 -/{}^QWB 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 jHw2Q8s|R 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 WM l ^XZO 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 ]SR`96vG 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 4g^+y.,r_f 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 ]mT}
\b : )*Ge3 ]M"'qC3g 4W-+k EuA<{%i ,%G2>PBt 内容简介 [cAg'R6 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ]TprPU39 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 29DWRJU 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 /<(ik&%N 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 U jzz`!mz yQ&%* ?J 目录 ffd3QQ Preface 1 u`2k6.- 内容简介 2 '*Mb
.s" 目录 i &+iW: 1 引言 1 Vxs`w 2 光学薄膜基础 2 z(68^-V=: 2.1 一般规则 2 xyWdzc](p 2.2 正交入射规则 3 ^TuEp$Z= 2.3 斜入射规则 6 E}j8p_p 2.4 精确计算 7 F@K;A%us) 2.5 相干性 8 sBI%lrO 2.6 参考文献 10 5kNs@FP 3 Essential Macleod的快速预览 10 RYaofW 4 Essential Macleod的特点 32 eE_XwLE 4.1 容量和局限性 33 w o9f99 4.2 程序在哪里? 33 -)+DVG.t 4.3 数据文件 35 }@6
%yR 4.4 设计规则 35 ~o5iCt;w 4.5 材料数据库和资料库 37 FQ1oqqr 4.5.1材料损失 38 z5'nS&x 4.5.1材料数据库和导入材料 39 P;/wb/ 4.5.2 材料库 41 C
P v}A 4.5.3导出材料数据 43 @&yj7-] 4.6 常用单位 43 '
uw&f;/E 4.7 插值和外推法 46 TBT*j&!L 4.8 材料数据的平滑 50 QLg9aG| 4.9 更多光学常数模型 54 ^ w1R"qE"m 4.10 文档的一般编辑规则 55 ?{")Wt 4.11 撤销和重做 56 Wy )g449 4.12 设计文档 57 }"k(kH 4.10.1 公式 58 uNBhVsM6< 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 S6X<3L`FfH 4.10.3 沉积密度 59 H2cc).8" 4.10.4 平行和楔形介质 60 >AFpO*q" 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 'A2"&6m)28 4.10.4 性能 61 .w)t<7 y 4.10.5 保存设计和性能 64 K a|\gl;V 4.10.6 默认设计 64 X#<Sv>c^ 4.11 图表 64 ^uzVz1%mM 4.11.1 合并曲线图 67 ji=po;g=E 4.11.2 自适应绘制 68 k@U`?7X 4.11.3 动态绘图 68 _S1uJ~j;E 4.11.4 3D绘图 69 nJg2O@mRJ 4.12 导入和导出 73 Xy}S}9 4.12.1 剪贴板 73 6<nO2 GW 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 :h~!#;w_ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 vn0*KIrX 4.13 背景 77 W7"sWaOhW 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 5Oq ;V:7 4.15 生成Rugate 84 hDsORh!i 4.16 参考文献 91 0yNlf-O 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 $g;xw?~# 5.1 Jobs 92 ro@BmRMW 5.2 创建一个新Job(工作) 93 k0?6.[ku 5.3 输入材料 94 &nProzC 5.4 设计数据文件夹 95 SiT &p 5.5 默认设计 95 .5xg;Qg\Y 6 细化和合成 97 gK#w$s50 6.1 优化介绍 97
(5_(s`q. 6.2 细化 (Refinement) 98 ~!kbB4`WK 6.3 合成 (Synthesis) 100
@eWx4bl 6.4 目标和评价函数 101 +Z*%,m=N( 6.4.1 目标输入 102 tEs$+b 6.4.2 目标 103 JK`P
mp> 6.4.3 特殊的评价函数 104 +dv@N3GV 6.5 层锁定和连接 104 K e8cfd~c 6.6 细化技术 104 _: K\v8 6.6.1 单纯形 105 cpV i9] 6.6.1.1 单纯形参数 106 R&0l4g-4> 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 9n7d
"XD2 6.6.2.1 Optimac参数 108 a=dN.OB}F7 6.6.3 模拟退火算法 109 cj
*4XYu 6.6.3.1 模拟退火参数 109 LAeX e!y 6.6.4 共轭梯度 111 k_B^2= 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
.@Cshj 6.6.5 拟牛顿法 112 tS7u#YMh 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Jt8 v=<@ 6.6.6 针合成 113 ,}0pK\Y>$ 6.6.6.1 针合成参数 114 M<Mr (z 6.6.7 差分进化 114 +|;IIwo 6.6.8非局部细化 115 b&1@rE- 6.6.8.1非局部细化参数 115 Zpmy)W]1
6.7 我应该使用哪种技术? 116 #UQ[8e 6.7.1 细化 116 Xc^~|%+ 6.7.2 合成 117 n6f|,D!? 6.8 参考文献 117 7Go!W(8 7 导纳图及其他工具 118 icmDPq 7.1 简介 118 lLhCk>a 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 w6_}]
&F 7.2.1 四分之一波长规则 119 Ipe; %as# 7.2.2 导纳图 120 #,56vVY 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 O}Jb,?p 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 6X7_QBC) 7.5 斜入射导纳图 141 cx|j
_5%i 7.6 对称周期 141 i`~y%y 7.7 参考文献 142 Gf?KpU 8 典型的镀膜实例 143 [>;O'> 8.1 单层抗反射薄膜 145 w3@te\ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 @j6D#./7j 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 hd\#Vh(H 8.4 W-膜层 148 ?6dtvz;K+? 8.5 V-膜层 149 ,l6W|p?ZO^ 8.6 V-膜层高折射基底 150 5kF5`5+Vj 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 dQ[lXV[}v 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 w9%gaK; 8.9 四层抗反射薄膜 153 <_![~n$H 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 B.?yHaMI[ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 5IMH G%W7 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 d,77L 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 P*SXfb"HC 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 J{y@ O 8.15十五层宽带抗反射膜 159 DQ)SMqOotw 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 o;.-I[9h] 8.17 1/4波长堆栈 162 IQDWH/c 8.18 陷波滤波器 163 #lO;G
k{ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 g:Dg?_o 8.20 褶皱 165 9\8""- 8.21 消偏振分光器1 169 -n9e-0 8.22 消偏振分光器2 171 OjN]mp-q 8.23 消偏振立体分光器 172 jnTl%aQYc 8.24 消偏振截止滤光片 173 HZT;7< 8.25 立体偏振分束器1 174 NQG"}=KA 8.26 立方偏振分束器2 177 bbJa,}R 8.27 相位延迟器 178 vzw\f 8.28 红外截止器 179 b%kh:NV{S 8.29 21层长波带通滤波器 180 `Ao:} 8.30 49层长波带通滤波器 181 t]x HM 8.31 55层短波带通滤波器 182 ;Y"J j 8.32 47 红外截止器 183 J.<m@\U 8.33 宽带通滤波器 184 Z9U*SS5s, 8.34 诱导透射滤波器 186 =N=,;<6%A 8.35 诱导透射滤波器2 188 /Yh8r1^2tZ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Bg`b*(Q 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ,w6?}
N 8.35 增益平坦滤波器 193 k2=uP8 8.38 啁啾反射镜 1 196 )oj`K,# 8.39 啁啾反射镜2 198 c|7Pnx%gT 8.40 啁啾反射镜3 199 HiC\U%We 8.41 带保护层的铝膜层 200 L4NC- 8.42 增加铝反射率膜 201 0^m02\Li 8.43 参考文献 202 UW+I 8\^ 9 多层膜 204 8p
FSm> 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ql#K72s 9.2 内部透过率 204 NB^.$39n 9.3 内部透射率数据 205 en 9.4 实例 206 te|VKYN%}[ 9.5 实例2 210 .JiQq] 9.6 圆锥和带宽计算 212 /EC m 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 C.@zVt 10 光学薄膜的颜色 216 /eI38>v 10.1 导言 216 ESO(~X+ 10.2 色彩 216 982$d<0% 10.3 主波长和纯度 220 68y.yX[ 10.4 色相和纯度 221 \R<yja 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 h*d,AJz &. 10.6 色差 226 `<K#bDU;a 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 WV8<gx`Q 10.8 颜色渲染指数 234 9J?j2!D 10.9 色差计算 235 #zXDh3%]a 10.10 参考文献 236 \z_@.Jw{ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 _uBf.Qfs 11.1 短脉冲 238 !B\\:k]aO^ 11.2 群速度 239 v}!,4,]:& 11.3 群速度色散 241 4 QDW}5xB 11.4 啁啾(chirped) 245 H`y- "L8q 11.5 光学薄膜—相变 245 #C+0m` 11.6 群延迟和延迟色散 246 MB#%k#z`B 11.7 色度色散 246 y|@^0]}%< 11.8 色散补偿 249 TqlUe@E 11.9 空间光线偏移 256 %B~`bUHjq 11.10 参考文献 258 !XFN/-Q , 12 公差与误差 260 ]\jhtC=2 12.1 蒙特卡罗模型 260 ,^+3AT 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 F/!C=nS 12.2.1 误差工具 267 $/D@=Pkc 12.2.2 灵敏度工具 271 9A6ly9DIS 12.2.2.1 独立灵敏度 271 89L-k%R 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ZK13[_@9 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 2Two|E 12.3 参考文献 276 0{j>u` 13 Runsheet 与Simulator 277 _|*j8v3 13.1 原理介绍 277 ^=t yf&" 13.2 截止滤光片设计 277 GxvVh71zP 14 光学常数提取 289 , vky 14.1 介绍 289 wHAh6lm 14.2 电介质薄膜 289 >V]>h&` 14.3 n 和k 的提取工具 295 vj#gY2qZ 14.4 基底的参数提取 302 b~\![HoCMM 14.5 金属的参数提取 306 J)R2O4OEd 14.6 不正确的模型 306 im&|H- 14.7 参考文献 311
3{:d$- y 15 反演工程 313 !0w'S>e 15.1 随机性和系统性 313 6Fm.^9@ 15.2 常见的系统性问题 314 Edjh* 15.3 单层膜 314 <cl$?].RE! 15.4 多层膜 314 t$}+oCnkv 15.5 含义 319 72PDqK# 15.6 反演工程实例 319 \O^=
Z{3y 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ~zuMX;[ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 =B;)h 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ~:JKXa? 16.1 光学性质的热致偏移 329 5B(|!Xq;I 16.2 应力工具 335 "e_ED* 16.3 均匀性误差 339 ftK.jj1: 16.3.1 圆锥工具 339 d 5Il0sG 16.3.2 波前问题 341 ]qXfgc 16.4 参考文献 343 1XSqgr"3 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 R+^/(Ws'< 17.1 引言 345 @]OI(B 17.2 操作数 345 *{C)o0D 18 如何在Function中编写脚本 351 YN\
QwV 18.1 简介 351 oVLz7Y[JE 18.2 什么是脚本? 351 _/KW5 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 MM^tk{2?. 18.4 基础 352 YGxdYwBwf 18.4.1 Classes(类别) 352 1Og9VG1^ 18.4.2 对象 352 yqoi2J: 18.4.3 信息(Messages) 352 MT0}MMr 18.4.4 属性 352 .fZv H 18.4.5 方法 353 0m?ul%= 18.4.6 变量声明 353 *yt/
Dj 18.5 创建对象 354 Ron^PvvY& 18.5.1 创建对象函数 355 3lKIEPf6r 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 [V1gj9t=, 18.5.3 丢弃对象 356 wl!'Bck= 18.5.4 总结 356 M>0~Ek%3 18.6 脚本中的表格 357 +|o-lb 18.6.1 方法1 357 X.JB&~/rO 18.6.2 方法2 357 bf}r8$, 18.7 2D Plots in Scripts 358 /0(4wZe~? 18.8 3D Plots in Scripts 359 BL]^+KnP 18.9 注释 360 _Jx?m 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 8y+Gvk: 18.11 一个更高级的脚本 362 ~L?p/3m 18.12 <esc>键 364 L*FnFRhU 18.13 包含文件 365 (L~3nN;rr 18.14 脚本被优化调用 366 \Ud2]^D= 18.15 脚本中的对话框 368 y_J{+ 18.15.1 介绍 368 Jq.26I= 18.15.2 消息框-MsgBox 368 S:DB%V3 18.15.3 输入框函数 370 dAga(<K 18.15.4 自定义对话框 371 IMVoNKW- 18.15.5 对话框编辑器 371 q/]tJ{FI 18.15.6 控制对话框 377 mV^dIm 18.15.7 更高级的对话框 380 6.ap^9AD 18.16 Types语句 384 uZ
OUp8QQ 18.17 打开文件 385 ]ImS@!Ajjx 18.18 Bags 387 |rNm_L2 18.13 进一步研究 388 OD*DHC2rN] 19 vStack 389 654PW9{( 19.1 vStack基本原理 389 <01MXT- 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 6C)OO"Bc 19.3 五棱镜 393 ECl[v%R/6 19.4 光束距离 396 /wIZ ' 19.5 误差 399 O1/!)E! 19.6 二向分色棱镜 399 %zY3,4~ 19.7 偏振泄漏 404 &M<431y
19.8 波前误差—相位 405 k"AY7vq@!P 19.9 其它计算参数 405 C?b Mj[$ 20 报表生成器 406 L@v0C) 20.1 入门 406 ,(lD5iN 20.2 指令(Instructions) 406 6#dx%TC 20.3 页面布局指令 406 NbgP,- 20.4 常见的参数图和三维图 407 fDqlN`P@ 20.5 表格中的常见参数 408 !M}&dW2 20.6 迭代指令 408 bEPXNN 20.7 报表模版 408 +y -:(aP 20.8 开始设计一个报表模版 409 `.><$F 21 一个新的project 413 zu*h9} 21.1 创建一个新Job 414 CVu'uyy 21.2 默认设计 415 Ih"f98lV 21.3 薄膜设计 416 >o(*jZ 21.4 误差的灵敏度计算 420 vR:t4EJ` 21.5 显色指数计算 422 ;m;wSp 21.6 电场分布 424 {'{ssCL 后记 426 >R.~'A/$F 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! #U!J2240
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