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《Essential Macleod中文手册》 NDglse XL_X0(AKf 目 录 -N(y+~wN 6Ii2rEzD ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 -iGt]mbJkP 第1章 介绍 ..........................................................1 EJO:3aKa 第2章 软件安装 ..................................................... 3 -wtavv,J 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 "Nj(0& 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 pOS:/~I3 第5章 软件结构 ............................................................... 21 PQ. xmg2 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 >^ 0JlL`XG 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 "tBdz V 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 TKvUBy 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 5F+5J)h 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 r.**
z j 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 }P#%aE&- 第12章 优化和综合 ..................................................................120 VV)PSo db 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 PA5ET@mD 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 {g@Wd2-J} 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 8Y3c,p/gS> 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 EC&t+"=R 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 x~!B.4gT2 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 .+]e9mV 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 [Tby+pC 第20章 运行表单 .................................................................... 251 daE/v.a4| 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 5(q\x(N 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 PvBx<i}A 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 Ij(S"P@ 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 -20o%t 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 I7r{&X) D 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 "B*a|
'n! 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 n9]^v-]K 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 AT}}RE@vq 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 TDBWYppM k:4 Zc3 KGxF3xS*7 `* "u"7e vC E$)z'" eJ+;!0 内容简介 &{9'ylv-B) Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 #HWz.Wb 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 'Y(#Yxc 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 P0~3<h?U8 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ~fI&F| >&TSz5Q 目录 Y;6<AIx> Preface 1 hhlQ!WV2 内容简介 2 q -M&f@Il 目录 i OOQfa#~k 1 引言 1 (9*s:)zD- 2 光学薄膜基础 2 0&=2+=[c 2.1 一般规则 2 \=Af AO@ 2.2 正交入射规则 3 '!Ps4ZTn_ 2.3 斜入射规则 6 `)\_ 2.4 精确计算 7 Wv_5sPqLW 2.5 相干性 8 M$ep.<Z1| 2.6 参考文献 10 7Ro7/PT( 3 Essential Macleod的快速预览 10 g-E!*K 4 Essential Macleod的特点 32 KSIH1E 4.1 容量和局限性 33 VH4P|w[YF 4.2 程序在哪里? 33 |xZDc6HDW 4.3 数据文件 35 J_}&Btb)e 4.4 设计规则 35 'G>Ejh@t 4.5 材料数据库和资料库 37 Jc~^32 4.5.1材料损失 38 ><"5
VwR 4.5.1材料数据库和导入材料 39 LeO
)) 4.5.2 材料库 41 a({qc0+UK 4.5.3导出材料数据 43 o m`r^3, 4.6 常用单位 43 s#`%c({U| 4.7 插值和外推法 46 L$zT`1Hy 4.8 材料数据的平滑 50 _55T 4.9 更多光学常数模型 54 =vT3SY 4.10 文档的一般编辑规则 55 FI.S?gy0 4.11 撤销和重做 56 T~s/@*y9 4.12 设计文档 57 2n?\tOm(V 4.10.1 公式 58 1@yXVD/ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 _Ta9rDSP] 4.10.3 沉积密度 59 to[EA6J8l 4.10.4 平行和楔形介质 60 SOb17:o3| 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 FRF3V> 4.10.4 性能 61 PtO-%I<N 4.10.5 保存设计和性能 64 Vm'ReH 4.10.6 默认设计 64 $}TqBBe 4.11 图表 64 TUJ]u2J8? 4.11.1 合并曲线图 67 }!0,(<EsV 4.11.2 自适应绘制 68 e~$MIHBY] 4.11.3 动态绘图 68 (*&6XTV( 4.11.4 3D绘图 69 Wq0h3AjR 4.12 导入和导出 73 H`-%)c= 4.12.1 剪贴板 73 B5#a
4G. 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 3
C=nC 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 TcZ
Ci^1F 4.13 背景 77 5U|f"3&8 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 dS0G+3J&+E 4.15 生成Rugate 84 <%J dQ82? 4.16 参考文献 91 TMKemci 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 EYGJDv(S 5.1 Jobs 92 sa#=#0yg 5.2 创建一个新Job(工作) 93 9V zk:zOT 5.3 输入材料 94 U'" ; 5.4 设计数据文件夹 95 Xu3^tH-b< 5.5 默认设计 95 XT{1!I( 6 细化和合成 97 qw%4j9} 6.1 优化介绍 97 Lr)h>j6\ 6.2 细化 (Refinement) 98 `C=!8q 6.3 合成 (Synthesis) 100 ;Bcf~[ErM 6.4 目标和评价函数 101 1:My8 6.4.1 目标输入 102 5ez"B]&T 6.4.2 目标 103 _ H$Cm 6.4.3 特殊的评价函数 104 ~#I1!y~` 6.5 层锁定和连接 104 U( W#H| 6.6 细化技术 104 @WhcY*R2 6.6.1 单纯形 105 U~Ni2|}\C9 6.6.1.1 单纯形参数 106
[+{ ot
6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 bT[Q:#GL 6.6.2.1 Optimac参数 108 J9/9k 6.6.3 模拟退火算法 109 ]_d(YHYf 6.6.3.1 模拟退火参数 109 kC|tv{g#> 6.6.4 共轭梯度 111 K_]LK 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Ip8 Ap$ 6.6.5 拟牛顿法 112 +;Cq>1x, 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 x18ei@c 6.6.6 针合成 113 T]Tz<w W( 6.6.6.1 针合成参数 114 7X|&:V.s| 6.6.7 差分进化 114 d#ld*\| 6.6.8非局部细化 115 |+!Jr_ By 6.6.8.1非局部细化参数 115 8C,?Ai<ro 6.7 我应该使用哪种技术? 116 SjlkKulMF 6.7.1 细化 116 l-t:7`=| 6.7.2 合成 117 "~]9}KM}3W 6.8 参考文献 117 zG [-n. 7 导纳图及其他工具 118 Nj#!L~^h, 7.1 简介 118 Zs+6Zd4f 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ^Xa-)Pu 7.2.1 四分之一波长规则 119 hH"3Y}U@ 7.2.2 导纳图 120 w$Dp m.0( 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ,:>>04O 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 gjo\gP@ 7.5 斜入射导纳图 141 5U1@wfKE3> 7.6 对称周期 141 YI%7#L7C 7.7 参考文献 142 JFYeOmR+l 8 典型的镀膜实例 143 ~p'/Z@Atu 8.1 单层抗反射薄膜 145 %*|XN*i XC 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 M_9|YjwS 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ^o,@9GTs 8.4 W-膜层 148 C,tlp 8.5 V-膜层 149 E_
mgYW*5 8.6 V-膜层高折射基底 150 YXV![gw0 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 7t@jj%F 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 gkBat(Uc 8.9 四层抗反射薄膜 153 ,{'~J @ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 s<<vHzm 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Ij=hmTl{P 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
HkEp}R 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 %A82{ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 B Am{Gb 8.15十五层宽带抗反射膜 159 D#(A?oN 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 } k5pfz 8.17 1/4波长堆栈 162 [W^6=7EO 8.18 陷波滤波器 163 5fVdtJk7 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 oWXvkDN
8.20 褶皱 165 L0+@{GP? 8.21 消偏振分光器1 169 {_k 6 t 8.22 消偏振分光器2 171 \BJnJk!% 8.23 消偏振立体分光器 172 vtL) 8.24 消偏振截止滤光片 173 $Q47>/CUc^ 8.25 立体偏振分束器1 174 bzUc;&WDz 8.26 立方偏振分束器2 177 PicO3m 8.27 相位延迟器 178 q/4PX 8.28 红外截止器 179 g@nE7H1V 8.29 21层长波带通滤波器 180 NiWooFPKJ 8.30 49层长波带通滤波器 181 _ZR2?y-M 8.31 55层短波带通滤波器 182 :U r%.0 8.32 47 红外截止器 183 Ui?t@. 8.33 宽带通滤波器 184 !_x-aro3< 8.34 诱导透射滤波器 186 ,{E'k+ 8.35 诱导透射滤波器2 188 YdeSJ(: 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 a2).Az 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 =3 -G 8.35 增益平坦滤波器 193 U6M4}q(N] 8.38 啁啾反射镜 1 196 t$Qav>D 8.39 啁啾反射镜2 198 `^_.E:f 8.40 啁啾反射镜3 199 &,e@pv c3 8.41 带保护层的铝膜层 200 D}3E1`)W 8.42 增加铝反射率膜 201 Cs*u{O 8.43 参考文献 202 ]^j)4us 9 多层膜 204 (F_#LeJ| 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 *a$z!Ma3h 9.2 内部透过率 204 2RM0ca_F 9.3 内部透射率数据 205 @x{;a 9y 9.4 实例 206 eRv3ZHH 9.5 实例2 210 (_-zm)F7 9.6 圆锥和带宽计算 212 lHP[WO
9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 t%8*$"~X 10 光学薄膜的颜色 216 .^Ek1fi. 10.1 导言 216 4|Z3;;%+ 10.2 色彩 216 ,&l>^w/ 10.3 主波长和纯度 220 YpNTq_S1, 10.4 色相和纯度 221 m _:ib} 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 kA#>Xu/ 10.6 色差 226 \&W~nYXq" 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 qU=$ 0M 10.8 颜色渲染指数 234 d_]MqH>R\ 10.9 色差计算 235 (?J&Ar0 10.10 参考文献 236 -y$|EOi? 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 zeR!Y yt! 11.1 短脉冲 238 (c[|k 11.2 群速度 239 eqjl$QWPJS 11.3 群速度色散 241 L4Kkbt<x 11.4 啁啾(chirped) 245 ux-Fvwoh 11.5 光学薄膜—相变 245 ~Jq<FVK 11.6 群延迟和延迟色散 246 ^iTjr$hQ; 11.7 色度色散 246 srC'!I=s>8 11.8 色散补偿 249 )8e_<^M 11.9 空间光线偏移 256 PW.W.<CL 11.10 参考文献 258 1Rwk}wL 12 公差与误差 260 <K 4zH<y 12.1 蒙特卡罗模型 260 #x"pG 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 9~u1fk{ 12.2.1 误差工具 267 ^WM)UZEBC 12.2.2 灵敏度工具 271 N5oao'7|A 12.2.2.1 独立灵敏度 271 KZ<zsHX8H 12.2.2.2 灵敏度分布 275 rEZa%)XJ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 L6U[H#3( 12.3 参考文献 276 RCgs3JIE+2 13 Runsheet 与Simulator 277 WKmGw^ 13.1 原理介绍 277 &a-:ZA@ 13.2 截止滤光片设计 277 Y_f6y9?ZE 14 光学常数提取 289 g!aM-B^C 14.1 介绍 289 ,D~C40f 14.2 电介质薄膜 289 })ss. 14.3 n 和k 的提取工具 295 )zen"](cze 14.4 基底的参数提取 302 O7q-MeMM 14.5 金属的参数提取 306 VJJw"4DJ 14.6 不正确的模型 306 ywCE2N<-V? 14.7 参考文献 311 :2 15 反演工程 313 %'t~+_ 15.1 随机性和系统性 313 b~v 15.2 常见的系统性问题 314 875V{fvPBU 15.3 单层膜 314 c+-L>dsss 15.4 多层膜 314 m"@M~~bh 15.5 含义 319 4JP01lq'\ 15.6 反演工程实例 319 xae}8E 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 k(hes3JV 15.6.2 反演工程提取折射率 327 l=bB,7gL 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 Fc42TH
p 16.1 光学性质的热致偏移 329 }%_x T 16.2 应力工具 335 O^oFH
OpFh 16.3 均匀性误差 339 g4%x7#vz0 16.3.1 圆锥工具 339 ;>|:I(l; 16.3.2 波前问题 341 9k2HP]8=[{ 16.4 参考文献 343 &~^"yo#b 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 E%jOJA 17.1 引言 345 T4qbyui{ 17.2 操作数 345 USe"1(|E 18 如何在Function中编写脚本 351 sDWX} NV 18.1 简介 351 3]<$;[Q 18.2 什么是脚本? 351 .ay
K+6I 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 H9nZ%n 18.4 基础 352 0>Ecm# 18.4.1 Classes(类别) 352 fm:/}7s 18.4.2 对象 352 }=7tGqfw 18.4.3 信息(Messages) 352 H6rWb6i 18.4.4 属性 352 .U9NQwd 18.4.5 方法 353 [-1Nn} 18.4.6 变量声明 353 ]@M$.msg@ 18.5 创建对象 354 U}7$:hO"dX 18.5.1 创建对象函数 355 :]e:-JbT4z 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 MdZ7Yep 18.5.3 丢弃对象 356 -Qqb/y 18.5.4 总结 356 #.a4}ya19 18.6 脚本中的表格 357 3"!2C,3c# 18.6.1 方法1 357 XQ,IEj| 18.6.2 方法2 357 5K{(V^88F 18.7 2D Plots in Scripts 358 `;5UlkVZ5 18.8 3D Plots in Scripts 359 BJ~Q\Si6 18.9 注释 360 yBht4"\Al 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 uoaF(F- 18.11 一个更高级的脚本 362 +JBhw4et;. 18.12 <esc>键 364 w0tlF:Eg 18.13 包含文件 365 @wZ`;J % 18.14 脚本被优化调用 366 h'w9=Pk~6y 18.15 脚本中的对话框 368 Lg_y1Mu7o 18.15.1 介绍 368 7Dom[f 18.15.2 消息框-MsgBox 368 B,|M
18.15.3 输入框函数 370 >Mrz$
z{x 18.15.4 自定义对话框 371 S1E2E3 18.15.5 对话框编辑器 371 W[j =!o 18.15.6 控制对话框 377 RYS]b[-xZz 18.15.7 更高级的对话框 380 fx%'7/+ 18.16 Types语句 384 ,N<;!6e 18.17 打开文件 385 <w.V !"! 18.18 Bags 387 (Qq! u 18.13 进一步研究 388 (al7/EhY 19 vStack 389 +5?sYp\ 19.1 vStack基本原理 389 ?2_u/x 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
6bo,x 19.3 五棱镜 393 U|-4*l9Ed 19.4 光束距离 396 0%`\8 19.5 误差 399 H,KU!1p 19.6 二向分色棱镜 399 i
LK8Wnrq 19.7 偏振泄漏 404 N, ;'oL+ 19.8 波前误差—相位 405 k$k(g 19.9 其它计算参数 405 p0`Wci 20 报表生成器 406 _Vj O
[hx 20.1 入门 406 @Mt6O_V 20.2 指令(Instructions) 406 zUIh8cAoE 20.3 页面布局指令 406 J
Y %B: 20.4 常见的参数图和三维图 407 7b:oz3 ?PI 20.5 表格中的常见参数 408 L.l%EcW=, 20.6 迭代指令 408 #e+%;5\ 20.7 报表模版 408 ~=Er=
0 20.8 开始设计一个报表模版 409 u)R>ozER 21 一个新的project 413 NVeb,Pf 21.1 创建一个新Job 414 I)_072^O 21.2 默认设计 415 vlp]!7v 21.3 薄膜设计 416 .eK1xwhJ 21.4 误差的灵敏度计算 420 #x)G2T'? 21.5 显色指数计算 422 `Ft`8=( 21.6 电场分布 424 i*W8_C:S 后记 426 ^ylJ_lN&=1 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! ( F0.lDZ
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