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《Essential Macleod中文手册》 )k01K,%#) ez=$ ]cln 目 录 f I>>w)5 Z.Lm[$/edn ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 fN~kdm. 第1章 介绍 ..........................................................1 jK/2n}q&] 第2章 软件安装 ..................................................... 3 G,M &z>ub0 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 zqfv|3-!} 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 ,X(P/x{B 第5章 软件结构 ............................................................... 21 SQ|pH" 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 t1?e$s 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 0l3v>ty 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 \s?OvqI: 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 : Q X~bq 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 V#[I/D 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 ";}Lf1M9 第12章 优化和综合 ..................................................................120 I"Y d6M%
; 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 PxzeN6f 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 yi<&'L; 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 @;kw6f:{d 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 q9.)p 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 au7%K5 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 (Z5=GJM?$ 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 F{)YdqQ 第20章 运行表单 .................................................................... 251 JL $6Fw; 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 +jYO?uaT 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 Cnd70tbD ) 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 r)Ts(#Z 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 r_p9YS@I 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 xEQ2iCeC 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 v#&r3ZW0 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 kv&%$cA 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 HmKvu"3 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 :J]S+tQ) 4"1OtBU3 5w"f.d' "6_#APoP I2kqA5>)j j}XTa[ 内容简介 O$u;]cg Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 *6 -;iT8 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 5r"BavA 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 '`?\CXX 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 J XKps#,(# iY"I:1l. 目录 KJWYG^zI Preface 1 %HSS
x+2oR 内容简介 2 W"Hjn/xSS 目录 i 9XWF&6w6yf 1 引言 1 xb\(>7M6Y 2 光学薄膜基础 2 ANtp7ad 2.1 一般规则 2 H6E@C}cyM 2.2 正交入射规则 3 6G6Hg&B 2.3 斜入射规则 6 5EDHJU> 2.4 精确计算 7 pcXY6[#N 2.5 相干性 8 3S1V^C-eBx 2.6 参考文献 10 {:m5<6?x) 3 Essential Macleod的快速预览 10 o/buU{)y 4 Essential Macleod的特点 32 LinARMPv 4.1 容量和局限性 33 2+"=i/8 4.2 程序在哪里? 33 :p@H 4.3 数据文件 35 4 q}1 4.4 设计规则 35 }l$M%Ps!a 4.5 材料数据库和资料库 37 L(TO5Y] 4.5.1材料损失 38 y@]4xLB] 4.5.1材料数据库和导入材料 39 cd{3JGgB 4.5.2 材料库 41 5~k-c Ua 4.5.3导出材料数据 43 Pc{D,/EpR 4.6 常用单位 43 .vNfbYH( 4.7 插值和外推法 46 {YZ)IaqZ 4.8 材料数据的平滑 50 X5 lB],t"= 4.9 更多光学常数模型 54 zr@Bf!VG: 4.10 文档的一般编辑规则 55 @3wI(l[
4.11 撤销和重做 56 fOiLb.BW 4.12 设计文档 57 C&D]!ZvF 4.10.1 公式 58 !_E E|#`n 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 L]B]~Tw 4.10.3 沉积密度 59 ^.Q{Aqu#.H 4.10.4 平行和楔形介质 60 $>v^%E;Y4 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 //@_`. 4.10.4 性能 61 &<@{ d 4.10.5 保存设计和性能 64 jjBcoQU$o 4.10.6 默认设计 64 nQK@Uy5Yr 4.11 图表 64 s=#IoNh 4.11.1 合并曲线图 67 U#G
uB&V 4.11.2 自适应绘制 68 I@cKiB 4.11.3 动态绘图 68 G+4a%?JH 4.11.4 3D绘图 69 OzBo*X/p 4.12 导入和导出 73 qMYR\4"$ 4.12.1 剪贴板 73 a$#,'UB 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 M_MiY|%V/K 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 oV?tp4& 4.13 背景 77 J x-^WB 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 COv#dOw 4.15 生成Rugate 84 i051qpj 4.16 参考文献 91 FePJ8 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ~U*2h =] 5.1 Jobs 92 8"wA8l. 5.2 创建一个新Job(工作) 93 c}Jy'F7&f 5.3 输入材料 94 dDW],d}B; 5.4 设计数据文件夹 95 xp/u, q 5.5 默认设计 95 H:U1#bQQ: 6 细化和合成 97 R8EDJ2u# 6.1 优化介绍 97 @SPmb o 6.2 细化 (Refinement) 98 d|on
y 6.3 合成 (Synthesis) 100 I OF~V)8k= 6.4 目标和评价函数 101 vtR<(tOu@ 6.4.1 目标输入 102 ;knSn$ 6.4.2 目标 103 aO
"JT 6.4.3 特殊的评价函数 104 51`w.ri 6.5 层锁定和连接 104 S)VuT0 6.6 细化技术 104 GY,@jp|R 6.6.1 单纯形 105 {ZbeF#*" 6.6.1.1 单纯形参数 106 y$*?k0=ZX 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
)%;#~\A 6.6.2.1 Optimac参数 108 dge58A)Q 6.6.3 模拟退火算法 109 Ul@ZCv+ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 qfC9 {gu 6.6.4 共轭梯度 111 #.9Xkn9S 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 zQ]IlMt 6.6.5 拟牛顿法 112 tl ;?/ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Ze WHSU
6.6.6 针合成 113 ehxtNjA 6.6.6.1 针合成参数 114 a6WE,4T9 6.6.7 差分进化 114 Iay7Fkv 6.6.8非局部细化 115 1{o
CMq/v 6.6.8.1非局部细化参数 115 =6 6.7 我应该使用哪种技术? 116 d q:M!F 6.7.1 细化 116 ~l6e&J 6.7.2 合成 117 }E>2U/wpXY 6.8 参考文献 117 U{>!`RN 7 导纳图及其他工具 118 NWCnt,FlY 7.1 简介 118 ui9gt"qS` 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 A
,LAA$ 7.2.1 四分之一波长规则 119 \`>Y 7.2.2 导纳图 120 !}1n?~]` 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 [n74&EH 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 OFRzz G@ 7.5 斜入射导纳图 141 }'H Da M 7.6 对称周期 141 y
H+CyL\ 7.7 参考文献 142 /6gRoQ%j 8 典型的镀膜实例 143 GmAE!+" 8.1 单层抗反射薄膜 145 Y#]Y$n 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 i":-g"d 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 F,:F9r?l,H 8.4 W-膜层 148 e1<28g 8.5 V-膜层 149 iZSjT"l^ 8.6 V-膜层高折射基底 150 'c &Bmd40 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Q&QR{?PMD 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 J8b]*2D 8.9 四层抗反射薄膜 153 ni%^w(J3Q 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 "A/kL@ -C 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 T7W+K7kbI 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Ce_Z
&? 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ]KuK\(\ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 v(: VUo]H 8.15十五层宽带抗反射膜 159 (n`\ b47 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 [dzb{M6_ 8.17 1/4波长堆栈 162 |(P>'fat-p 8.18 陷波滤波器 163 ]iz5VI@ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 F`u{'w:Hv 8.20 褶皱 165 efbt\j6@%2 8.21 消偏振分光器1 169 P?0b-Qr$a 8.22 消偏振分光器2 171 X&p-Ge1>z 8.23 消偏振立体分光器 172
RMi
2Ip 8.24 消偏振截止滤光片 173 pp{); 8.25 立体偏振分束器1 174 D!Gm9Pa} 8.26 立方偏振分束器2 177 Q'|cOQX 8.27 相位延迟器 178 6B+
@76w H 8.28 红外截止器 179 lA]u8+gXd 8.29 21层长波带通滤波器 180 (c}0Sg 8.30 49层长波带通滤波器 181 8F[j}.8q 8.31 55层短波带通滤波器 182 hD$U8~zK 8.32 47 红外截止器 183 T8Khm O 8.33 宽带通滤波器 184 hh8UKEM- 8.34 诱导透射滤波器 186 p}Gk|Kjlq, 8.35 诱导透射滤波器2 188 Gg;#U` 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 b _u&% 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 R]V`t^1 8.35 增益平坦滤波器 193 Vy/g;ZPU1 8.38 啁啾反射镜 1 196 /kJ*WA?J 8.39 啁啾反射镜2 198 \`XJz{Lm] 8.40 啁啾反射镜3 199 /60[T@Mz 8.41 带保护层的铝膜层 200 =x^I 5Pn 8.42 增加铝反射率膜 201 !t_,x= 8.43 参考文献 202 O]PfQ 9 多层膜 204 9
/zz@ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 NeK:[Q@je 9.2 内部透过率 204 jkdNisq37 9.3 内部透射率数据 205 m+u>%Ys` 9.4 实例 206 C>03P.s4c 9.5 实例2 210 w_{z"VeD 9.6 圆锥和带宽计算 212 W*s`1O > 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ?"C]h s 10 光学薄膜的颜色 216 oVhw2pKpM 10.1 导言 216 Zq`bd55~ 10.2 色彩 216 vc!S{4bN 10.3 主波长和纯度 220 T.|0;Eb 10.4 色相和纯度 221 H?~u%b@ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 nRo`O 10.6 色差 226 ~/#?OLj(T 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 z`Q5J9_<cV 10.8 颜色渲染指数 234 JA)gM 10.9 色差计算 235 T,IV)aq 10.10 参考文献 236 nAX|=qp# 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 yf8UfB#a 11.1 短脉冲 238 -w2ga1 11.2 群速度 239 8bysg9H0 11.3 群速度色散 241 FQ87[|
S 11.4 啁啾(chirped) 245 /9yiMmr5W 11.5 光学薄膜—相变 245 ~XxD[T5 11.6 群延迟和延迟色散 246 =L=#PJAPj 11.7 色度色散 246 cp2fDn 11.8 色散补偿 249 0Fw\iy1o 11.9 空间光线偏移 256 /~^I]D 11.10 参考文献 258 >4VU 12 公差与误差 260 g:6yvEu$ - 12.1 蒙特卡罗模型 260 lcP@5ZW 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 %%Kg'{-: 12.2.1 误差工具 267 2%<jYm#'z- 12.2.2 灵敏度工具 271 0!VLPA: 12.2.2.1 独立灵敏度 271 `kv$B3 12.2.2.2 灵敏度分布 275 R P X`2zr 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 k1U~S`>$ 12.3 参考文献 276 FKx9$B 13 Runsheet 与Simulator 277 e-')SB 13.1 原理介绍 277 0>;#vEF*1 13.2 截止滤光片设计 277 ~ghz%${` 14 光学常数提取 289 1h#k&r#*3 14.1 介绍 289 _l,Z38 14.2 电介质薄膜 289 pkU e|V 14.3 n 和k 的提取工具 295 8k1r|s@d 14.4 基底的参数提取 302 "^=[*i 14.5 金属的参数提取 306 A{J 1 n 14.6 不正确的模型 306 0C p} 14.7 参考文献 311 Fa!)$eb7 15 反演工程 313 mce`1Tjw 15.1 随机性和系统性 313 5muW*7 15.2 常见的系统性问题 314 nMa^Eq# 15.3 单层膜 314 vg.%. ~!9 15.4 多层膜 314 M$W#Q\<*#r 15.5 含义 319 4d 3Znpf 15.6 反演工程实例 319 eq+o_R}CS 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 JAb?u.,Ns_ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 XH *tChf< 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 *D{/p/|[ 16.1 光学性质的热致偏移 329 by
U\I5 16.2 应力工具 335 _tReZ(Vw 16.3 均匀性误差 339 oGVSy`ku 16.3.1 圆锥工具 339 $.N~AA~0 16.3.2 波前问题 341 1a$V{Eag 16.4 参考文献 343 ;a3nH 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 &o/4hnHYt 17.1 引言 345 a!:8`X~[/$ 17.2 操作数 345 Doh|G:P]# 18 如何在Function中编写脚本 351 B# ?2, 18.1 简介 351 !~N4}!X3du 18.2 什么是脚本? 351 !:<UgbiVv 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 VqL
5f 18.4 基础 352 |3s&Y`x-D 18.4.1 Classes(类别) 352 AMd)d^; 18.4.2 对象 352 `zp2;]W 18.4.3 信息(Messages) 352 NN 6KLbC( 18.4.4 属性 352 E.`dk. 18.4.5 方法 353 $uw+^(ut 18.4.6 变量声明 353 LZ)m](+M 18.5 创建对象 354 0Ad~!Y+1 18.5.1 创建对象函数 355 V"H7zx 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 b H?qijrC 18.5.3 丢弃对象 356 >NRz*h # 18.5.4 总结 356 klJ[ {p 18.6 脚本中的表格 357 b'1d<sD 18.6.1 方法1 357 G\+nWvV7 18.6.2 方法2 357 HD)HCDTX 18.7 2D Plots in Scripts 358 +qj*P9 18.8 3D Plots in Scripts 359 K)`:v|d 18.9 注释 360 !1'-'Q@f 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 qysa!B 18.11 一个更高级的脚本 362 R-Q1YHUQM 18.12 <esc>键 364 6rQpK&Jx 18.13 包含文件 365 GD[ou.C}k 18.14 脚本被优化调用 366 t/*K#]26 18.15 脚本中的对话框 368 {*
j^g6; 18.15.1 介绍 368 o~x39 18.15.2 消息框-MsgBox 368 :pDY 18.15.3 输入框函数 370 6#)Jl 18.15.4 自定义对话框 371 MpA;cw]cI/ 18.15.5 对话框编辑器 371 'K3s4x($ 18.15.6 控制对话框 377 I\upnEKKzZ 18.15.7 更高级的对话框 380 \`/E
!ub 18.16 Types语句 384 E,LYS"%_ 18.17 打开文件 385 ZJ9Jf2 c 18.18 Bags 387 `8(h,aj; 18.13 进一步研究 388 E ;!<Z4 19 vStack 389 tw/#ENo 19.1 vStack基本原理 389 :@ E1Pun? 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 4`6c28K0? 19.3 五棱镜 393 QM ZUt 19.4 光束距离 396 (.,'}+1 19.5 误差 399 Q+d.%qhc 19.6 二向分色棱镜 399
_@!QY
19.7 偏振泄漏 404 z,bX.*.- 19.8 波前误差—相位 405 ,|.8nk" 19.9 其它计算参数 405 Q)Iv_N/ 20 报表生成器 406 0TO_1 0D 20.1 入门 406 ySQ-!fQnP 20.2 指令(Instructions) 406 b6nZ55 h 20.3 页面布局指令 406 2{e dW+ 20.4 常见的参数图和三维图 407 u`Z0{d 20.5 表格中的常见参数 408 {^cF(7p 20.6 迭代指令 408 q#99iiG1 20.7 报表模版 408 -XVEV 20.8 开始设计一个报表模版 409 wb6 L?t 21 一个新的project 413 @VC .> 21.1 创建一个新Job 414 ,\lYPx\P[ 21.2 默认设计 415 VW9>xVd4 21.3 薄膜设计 416 a|QE *s. 21.4 误差的灵敏度计算 420 xHJ8?bD p 21.5 显色指数计算 422 .Iwur;/\ 21.6 电场分布 424 :}@C9pqr2 后记 426 dG\U)WA(p 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! ;8*XOC;[
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