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《Essential Macleod中文手册》 @Vr?)_0 S5-}u)XnH 目 录 ]$EKowi l$}h1&V7 ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 K9mL1 [B 第1章 介绍 ..........................................................1 I'`Q_5s5 第2章 软件安装 ..................................................... 3 wbUpD( 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 ",B92[}Ar 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 BikmAa 第5章 软件结构 ............................................................... 21 ${8 1~ 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 c}U&!R2p{ 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 OU]!2[7c 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 /E2/3z 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 Q6`oo/ 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 &s_[~g< 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 PxM]3Aoa 第12章 优化和综合 ..................................................................120 THi*'D/ 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 u%Hegqn 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 9mEC|(m*WK 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 `$JPF Z 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 `9(TqcE 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 )|x)KY 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 _ncqd,&z 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 &DYHkG 第20章 运行表单 .................................................................... 251 J-:\^uP 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 Dr^#e 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 f[6;)ZA 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 /VgA}[%y 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 GO.mT/rB 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 %4Y/-xF}9, 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 ?dl7!I@<E< 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 (%rO'X 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 :D-My28' 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 5%mc| !_QE|tVeR npkE[JE: f\nF2rlu GPy+\P` il(dVW 内容简介 v/
dSz/<] Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 u7=`u/ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 QmvhmsDL 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 >)YaWcI 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 zqh.U@ B<SuNbR 目录 c:.k2u Preface 1 EJ;:O1,6H 内容简介 2 +/'3=!oyd 目录 i f
wWI2"} 1 引言 1 2>80Qp!xO 2 光学薄膜基础 2 R3`!Xj#&M 2.1 一般规则 2 ]x8^s 2.2 正交入射规则 3 D4g$x' 2.3 斜入射规则 6 _Qs=v0B// 2.4 精确计算 7 l ~kxt2& 2.5 相干性 8 v}XMFC ! 2.6 参考文献 10 +@ga 3 Essential Macleod的快速预览 10 Zg"g/I.+d 4 Essential Macleod的特点 32 y#!8S{ 4.1 容量和局限性 33 _&_#uV<WG0 4.2 程序在哪里? 33 R#.FfWTZ 4.3 数据文件 35 9!6sf
GZ 4.4 设计规则 35 %e.tAl"!$ 4.5 材料数据库和资料库 37 5(R ./
4.5.1材料损失 38 `?+lM 4.5.1材料数据库和导入材料 39 )EZ#BF<0| 4.5.2 材料库 41 PTfTT_t 4.5.3导出材料数据 43 V`sINX 4.6 常用单位 43 8Ux3,X= 4.7 插值和外推法 46 6," 86 4.8 材料数据的平滑 50 M@ILB-H 4.9 更多光学常数模型 54 d%FD=wm 4.10 文档的一般编辑规则 55 owHhlS{ 4.11 撤销和重做 56 jHBzZ!< 4.12 设计文档 57 th]1>
. 4.10.1 公式 58 FvQ>Y')R7Z 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 Bj5_=oo+d 4.10.3 沉积密度 59 sDA&U9; 4.10.4 平行和楔形介质 60 OBp<A+a 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 bBA
#o\[ 4.10.4 性能 61 ~jWG U-m 4.10.5 保存设计和性能 64 LxaR1E(Cc' 4.10.6 默认设计 64 7~n<%q/6 4.11 图表 64 2MaHD}1Jw 4.11.1 合并曲线图 67 >|Ps23J# 4.11.2 自适应绘制 68 !8S$tk 4.11.3 动态绘图 68 Khp`KPxz% 4.11.4 3D绘图 69 3m:[o`L 4.12 导入和导出 73 qP=4D
9 ] 4.12.1 剪贴板 73 ^GMM% 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 &o@IMbJ8 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 _P9Th#UAg 4.13 背景 77 C{AVV< 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 I,J*\)-%J 4.15 生成Rugate 84 's#"~<L^e 4.16 参考文献 91 fR[kjwX)<1 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 \1x<bx/1 5.1 Jobs 92 Dg(882#_ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 #;,dk(URo 5.3 输入材料 94 J<J_yRg2 5.4 设计数据文件夹 95 S- @E 5.5 默认设计 95 g*]Gc% 6 细化和合成 97 5H8]N#Y& 6.1 优化介绍 97 y!JZWq%= 6.2 细化 (Refinement) 98 sswYwU 6.3 合成 (Synthesis) 100 )1f8
H,q^ 6.4 目标和评价函数 101 eaSf[!24" 6.4.1 目标输入 102 }&|S8: 6.4.2 目标 103 h2M>4c 6.4.3 特殊的评价函数 104 t*X
k'(v 6.5 层锁定和连接 104 7S+_eL^ 6.6 细化技术 104 B"sQ\gb%Q 6.6.1 单纯形 105 Y v22,|: 6.6.1.1 单纯形参数 106 o9&&u1`M/ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 rZ}y'A 6.6.2.1 Optimac参数 108 b3Nr>(Z<} 6.6.3 模拟退火算法 109 }?^V9K- 6.6.3.1 模拟退火参数 109 Qry?h*p+` 6.6.4 共轭梯度 111 %C}TdG(C 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 3!]S8Y*LQP 6.6.5 拟牛顿法 112 L<8:1/d\ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 <i}lP/U 6.6.6 针合成 113 ;.Dm?J0 6.6.6.1 针合成参数 114 5~ho1Ud 6.6.7 差分进化 114 R Ptc \4 6.6.8非局部细化 115 k4WUfL d 6.6.8.1非局部细化参数 115 g?Jx99c; 6.7 我应该使用哪种技术? 116 II(7U3 6.7.1 细化 116 u!wR 6.7.2 合成 117 MBlhlMyI 6.8 参考文献 117 rmVF88/; 7 导纳图及其他工具 118 liu%K9-r 7.1 简介 118 Qe8F(k~k 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 )<Cf,R 7.2.1 四分之一波长规则 119 LRe2wT>I 7.2.2 导纳图 120 yCk9Xc 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 2|Of$oMc 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 oUXi4lsSc 7.5 斜入射导纳图 141 -44{b<:D 7.6 对称周期 141 RE*;_DF 7.7 参考文献 142 !{hC99q6 8 典型的镀膜实例 143 ~o"VZp 8.1 单层抗反射薄膜 145 ShFC@)<lJ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 V)HX+D> 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 7-p9IFcA 8.4 W-膜层 148 % Q| >t~ 8.5 V-膜层 149 PWU8 9YXp 8.6 V-膜层高折射基底 150 Q:U^):~ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 53vnON#{* 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 70sb{) 8.9 四层抗反射薄膜 153 Rwu
y!F 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 *CsRO 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 xV]eEOiLM 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 AC`4n|,zJ; 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 3}U {~l!K 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 >b6!*Lrhs 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Ab|
tE5% 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 TgFj-"L\ 8.17 1/4波长堆栈 162 +@n8DM{b 8.18 陷波滤波器 163 x d9+P 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 oRJ!J-Z] 8.20 褶皱 165 UJhmhI 8.21 消偏振分光器1 169 OC(S"&D 8.22 消偏振分光器2 171 ?zFeP6C 8.23 消偏振立体分光器 172 &nJH23h^ 8.24 消偏振截止滤光片 173 fMGL1VN 8.25 立体偏振分束器1 174 960[.99 8.26 立方偏振分束器2 177 '{e9Vh<x 8.27 相位延迟器 178 G6l:El& 8.28 红外截止器 179 qM~;Q6{v 8.29 21层长波带通滤波器 180 }(*eR F' 8.30 49层长波带通滤波器 181 `,-w+3?Al 8.31 55层短波带通滤波器 182 xK7xAO 8.32 47 红外截止器 183 |$hBYw 8.33 宽带通滤波器 184 pQ:7%+Om 8.34 诱导透射滤波器 186 R&lJ& SgC 8.35 诱导透射滤波器2 188 xEULV4Qw 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 <FaF67[Q 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 H8$l }pOz 8.35 增益平坦滤波器 193 >h!>Ll 8.38 啁啾反射镜 1 196 ef
!@|2 8.39 啁啾反射镜2 198 .mr&zq 8.40 啁啾反射镜3 199 *y6zwe !M 8.41 带保护层的铝膜层 200 [:vH_(| 8.42 增加铝反射率膜 201 8ClOd<I 8.43 参考文献 202 df85g 9 多层膜 204 FR bmeq3c 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 o#p{0y 9.2 内部透过率 204 bSG}I| 9.3 内部透射率数据 205 8Uv2p{ <# 9.4 实例 206 iZ^tLnc 9.5 实例2 210 fu=GgD* 9.6 圆锥和带宽计算 212 R]LRgfi9 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 b8QQS#q)V 10 光学薄膜的颜色 216 ()Tl\ 10.1 导言 216 2rzOh},RS 10.2 色彩 216 ?.A~O-w 10.3 主波长和纯度 220 "7G> 10.4 色相和纯度 221 [osIQ!u;: 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 V:YN! 10.6 色差 226 jyLE 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 &1!T@^56 10.8 颜色渲染指数 234 3Ygt! 10.9 色差计算 235 y}\d]*5 10.10 参考文献 236 CXAW>VdK_ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 q=, 11.1 短脉冲 238 MAv-`8@| 11.2 群速度 239 80'!XKSP 11.3 群速度色散 241 b6]MJ0do 11.4 啁啾(chirped) 245 vzXfJP 11.5 光学薄膜—相变 245 >'/KOK" 11.6 群延迟和延迟色散 246 ?W27
h 11.7 色度色散 246 XABB6J] 11.8 色散补偿 249 D
,U#z 11.9 空间光线偏移 256 qk+RZ>T<o 11.10 参考文献 258 ZyJ-}[z 12 公差与误差 260 b +4x2{ 12.1 蒙特卡罗模型 260 rDD,eNjG 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 GR%h3HO2& 12.2.1 误差工具 267
*v}3So 12.2.2 灵敏度工具 271 yPn!1=-( 12.2.2.1 独立灵敏度 271 0%W0vTvL 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Qm(KvL5 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 i".nnAI: 12.3 参考文献 276 (#)-IdXXO< 13 Runsheet 与Simulator 277
|/YwMBi 13.1 原理介绍 277 ='[J. 13.2 截止滤光片设计 277 fPpFAO 14 光学常数提取 289 K/;*.u`: 14.1 介绍 289 eI^Q!b8n 14.2 电介质薄膜 289 EqYBT 14.3 n 和k 的提取工具 295 FD1Z}v!5IJ 14.4 基底的参数提取 302 3}F{a8iIm 14.5 金属的参数提取 306 +YX*.dW 14.6 不正确的模型 306 <N~&Leh 14.7 参考文献 311 9kO}054 15 反演工程 313 [YTOrN 15.1 随机性和系统性 313 ^&|KuI+u 15.2 常见的系统性问题 314 QnZ7e#@UP 15.3 单层膜 314 /[FES78p 15.4 多层膜 314 yu.N> [= 15.5 含义 319 YCBcyE}p 15.6 反演工程实例 319 8q"C=t7 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 -#y^$$i0 15.6.2 反演工程提取折射率 327 #;lB5) oe 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 [
U`}) 16.1 光学性质的热致偏移 329 Y+ Qm. 16.2 应力工具 335 NDo>"in 16.3 均匀性误差 339 .Bs~FIe^ 16.3.1 圆锥工具 339
D=!T,p= 16.3.2 波前问题 341 .S6u{B 16.4 参考文献 343 A.|98*U% 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ^}{`bw {
17.1 引言 345 kw$*o
k 17.2 操作数 345 \Um & 18 如何在Function中编写脚本 351 wRCv?D`vV 18.1 简介 351 ,UA-Pq3} 18.2 什么是脚本? 351 uJ:SN; 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 (oG-h"^/ 18.4 基础 352 $j"TPkW{M 18.4.1 Classes(类别) 352 ~]l
T>|X 18.4.2 对象 352 D&]dlY@* 18.4.3 信息(Messages) 352 }~bx==SF6! 18.4.4 属性 352 >&-"
X# : 18.4.5 方法 353 mW 4{* 18.4.6 变量声明 353 ][[\!og 18.5 创建对象 354 IV]2#;OO? 18.5.1 创建对象函数 355 rv26vnJy" 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 9`|
^cL*6 18.5.3 丢弃对象 356 8)m 18.5.4 总结 356 rl0|)j 18.6 脚本中的表格 357 =JM !`[ 18.6.1 方法1 357 |Ev VS 18.6.2 方法2 357 Eq82?+9 18.7 2D Plots in Scripts 358 g-O}e4 18.8 3D Plots in Scripts 359 QP={b+8 18.9 注释 360 i4g99Kvl 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ,Srj38p 18.11 一个更高级的脚本 362 JZom#A.
dt 18.12 <esc>键 364 Rct=vDU 18.13 包含文件 365 v0uA]6: 18.14 脚本被优化调用 366
24L
=v 18.15 脚本中的对话框 368 wx*)7Y* 18.15.1 介绍 368 dl; 18.15.2 消息框-MsgBox 368 qs
0'}> 18.15.3 输入框函数 370 !Bqmw 18.15.4 自定义对话框 371 ;qwNM~ 18.15.5 对话框编辑器 371 <`Q*I
Y 18.15.6 控制对话框 377 >6\rhx> 18.15.7 更高级的对话框 380 cd-;?/ 18.16 Types语句 384 /2jw]ekQ' 18.17 打开文件 385 <}z,!w8 18.18 Bags 387 KU5|~1t 4 18.13 进一步研究 388 l99{ eD 19 vStack 389 z&W5@6")` 19.1 vStack基本原理 389 ge@ KopZ& 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 zZ})$Ny( 19.3 五棱镜 393 ^Ss4< 19.4 光束距离 396 +u[?8D7Y 19.5 误差 399 oHvVZ 19.6 二向分色棱镜 399 dxwH C\"5 19.7 偏振泄漏 404 0X:
:<N@ 19.8 波前误差—相位 405 j ?gscQ3 19.9 其它计算参数 405
k\wcj^"cb 20 报表生成器 406 P{{U 20.1 入门 406 *5Aq\g,n 20.2 指令(Instructions) 406 gsD0N^ 20.3 页面布局指令 406 9 ! 6\8 20.4 常见的参数图和三维图 407 lMW4SRk1C 20.5 表格中的常见参数 408 ")?NCun> 20.6 迭代指令 408 |8<P%:*N 20.7 报表模版 408 #nS[]UbwZ 20.8 开始设计一个报表模版 409 0{'%j~" 21 一个新的project 413 #5a'Z+ 21.1 创建一个新Job 414 { kF"<W 21.2 默认设计 415 A\S1{JrR 21.3 薄膜设计 416 dXvp-oi 21.4 误差的灵敏度计算 420 SPEDN}/^ 21.5 显色指数计算 422 [bIR$c[G 21.6 电场分布 424 FaVeP%v 后记 426 *M^t@ h l 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! wg0hm#X
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