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《Essential Macleod中文手册》 9kY[j2,+ @TA9V@?) 目 录 M}"r#Plq ?68uS; ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 ,rwuy[Q8 第1章 介绍 ..........................................................1 tue/4Q#7 第2章 软件安装 ..................................................... 3 W {.78Zi9K 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 }98>5%Uv 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 VnJMmMM 第5章 软件结构 ............................................................... 21 i"^<CR@e 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 y466A]| 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 A~{f/%8D 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 :H[\;Z1_ 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 <<|H=![ 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 [{<dbW\ 9 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 w.+Eyu_I\ 第12章 优化和综合 ..................................................................120 lZt(&^T 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 <3O T>E[ 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 ;ggy5?>Qu 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 tllBCuAe 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 H.O(*Q= 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 xwzT#DXGJ 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 s3lwu :4f 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 22KI]$D#f 第20章 运行表单 .................................................................... 251 )3z]f2 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 yNJAWM7 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 eE/%6g 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 jlKGXD)Q[ 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 9g?xlue#? 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 ]Bb7(JX 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 ._p""'Sa 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 R/<=mZ 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 "gNK>< 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 {%']w BSp$F WvT? ^^$vR[7 8gmn6dCf s5Fr)q// ! voRfjsS~ 内容简介 T }uE0Z, Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 e.6Dl_ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 (@ea|Fd#4 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 K a r~I 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 Plz-7fy33 5&4F,v[zp 目录 ~2N-k1'-' Preface 1
'=TTa 内容简介 2 a0zG(7.D 目录 i %9c|%#3 1 引言 1 bBE^^9G=Z 2 光学薄膜基础 2 4NVgOr: 2.1 一般规则 2 ;x>;jS.t 2.2 正交入射规则 3 ehc<|O9tY 2.3 斜入射规则 6 JY4_v>Aob 2.4 精确计算 7 uaQ&&5%%J 2.5 相干性 8 mMxHR$2 2.6 参考文献 10 FH n,]Tfx 3 Essential Macleod的快速预览 10 p\txlT 4 Essential Macleod的特点 32 !5;t#4= 4.1 容量和局限性 33 tvWH04T 4.2 程序在哪里? 33 \FI^Vk 4.3 数据文件 35 O~Uw&Bq 4.4 设计规则 35 6bL"LM`s 4.5 材料数据库和资料库 37 ur xqek 4.5.1材料损失 38 E2yz=7sv5 4.5.1材料数据库和导入材料 39 FYeEG 4.5.2 材料库 41 ;2W2MZ!TF 4.5.3导出材料数据 43
g@(30{ 4.6 常用单位 43 5~yb
~0 4.7 插值和外推法 46 r|8V @.@i 4.8 材料数据的平滑 50 F>Mr<k=@; 4.9 更多光学常数模型 54 byj[u!{ 4.10 文档的一般编辑规则 55 O&P>x#w 4.11 撤销和重做 56 >DmRP7v
4.12 设计文档 57 )n7)}xy#z 4.10.1 公式 58 cJ4S! 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 bf^ly6ml
4.10.3 沉积密度 59 xXa#J)' 4.10.4 平行和楔形介质 60 lWl-@*' 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 xDe47&qKM 4.10.4 性能 61 8c?8X=|D7 4.10.5 保存设计和性能 64 s#Q_Gu 4.10.6 默认设计 64 WA$ p_% r= 4.11 图表 64 k*9%8yi_ U 4.11.1 合并曲线图 67 6(5c7R# 4.11.2 自适应绘制 68 hd=j56P5P 4.11.3 动态绘图 68 }moz9a 4.11.4 3D绘图 69 W,'3D~g8 4.12 导入和导出 73 /kb$p8!C". 4.12.1 剪贴板 73 ~g96o81V 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 :dbV2'vIQ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ^*zW"s 4.13 背景 77
bn|DRy 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 3 \9][S-B 4.15 生成Rugate 84 W.GN0(uG 4.16 参考文献 91 C_89YFn+ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 .hnF]_QQ 5.1 Jobs 92 Kk56/(_S 5.2 创建一个新Job(工作) 93 6NKF'zh 5.3 输入材料 94 ~)!VV) 5.4 设计数据文件夹 95 4}PeP^pj 5.5 默认设计 95 (HaU,vP 6 细化和合成 97 o[H\{a> 6.1 优化介绍 97 :=B[yD! 6.2 细化 (Refinement) 98 a#6,#Q" 6.3 合成 (Synthesis) 100 9M19UP& 6.4 目标和评价函数 101 |7Yvq%E 6.4.1 目标输入 102 }W)Mwu'W 6.4.2 目标 103 7@\GU].2 6.4.3 特殊的评价函数 104 3# :EK
M~! 6.5 层锁定和连接 104 j!"iYtgV 6.6 细化技术 104 d<)s@Ntgm 6.6.1 单纯形 105 2w;G4 6.6.1.1 单纯形参数 106 k@lXXII ? 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 JiUT\y 6.6.2.1 Optimac参数 108 ]b!R-G!gV 6.6.3 模拟退火算法 109 y>&VtN{E 6.6.3.1 模拟退火参数 109 012:BZR 6.6.4 共轭梯度 111 aq$62>[ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 2@OBeR 6.6.5 拟牛顿法 112 E{?L= ^cU 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 S@;&U1@h 6.6.6 针合成 113 cKSfqqPm$" 6.6.6.1 针合成参数 114 nN!vgn
j 6.6.7 差分进化 114 =54Vs8. 6.6.8非局部细化 115 Ty(yh(oYF` 6.6.8.1非局部细化参数 115 ($,iAb 6.7 我应该使用哪种技术? 116 Rb yF#[} 6.7.1 细化 116 Udg&
eEF 6.7.2 合成 117 CiHn;-b; 6.8 参考文献 117 G<Th<JF)Q 7 导纳图及其他工具 118 ejDCmD 7.1 简介 118 6qY\7R2+ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 [k}dES# 7.2.1 四分之一波长规则 119 8dYk3sk 7.2.2 导纳图 120 / N*HE 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 jw2_!D 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 2"B}} 7.5 斜入射导纳图 141 c4S>_qH 7.6 对称周期 141 R'jUS7]Y 7.7 参考文献 142 3/yt*cr 8 典型的镀膜实例 143 (bM)Nd 8.1 单层抗反射薄膜 145 Q;d+]xj 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 U`HXsq
p} 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ,7WK<0
8.4 W-膜层 148 pXGK:ceFu 8.5 V-膜层 149 &! 5CwEIF 8.6 V-膜层高折射基底 150 JsHxQ0Tw 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Y8{T.\%\+ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 M^!C?(Hx^x 8.9 四层抗反射薄膜 153 iDyMWlV 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 )ylv(qgV 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ;Hz`0V 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 L5i#Kh_ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 \pT^Zhp) 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 "P>$=X~Zi 8.15十五层宽带抗反射膜 159 d"QM;9 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 j=!(F`/ 8.17 1/4波长堆栈 162 Z{8exym 8.18 陷波滤波器 163 Ncs4<"{$ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 OtrXYiKB
8.20 褶皱 165 q!ulE{ ^ 8.21 消偏振分光器1 169 U4
go8 8.22 消偏振分光器2 171 ^!-E`<jW8 8.23 消偏振立体分光器 172 )Gu0i7iN 8.24 消偏振截止滤光片 173 P':]A{<Z 8.25 立体偏振分束器1 174 P 'FPe55F 8.26 立方偏振分束器2 177 Y`E{E|J 8.27 相位延迟器 178 N{0+C?{_ 8.28 红外截止器 179 ZEXj|wC 8.29 21层长波带通滤波器 180 J7 Oa})-+' 8.30 49层长波带通滤波器 181 GgZEg
?@ 8.31 55层短波带通滤波器 182 D]LFX/hlH 8.32 47 红外截止器 183 ~jgN_jz 8.33 宽带通滤波器 184
$\JQGic` 8.34 诱导透射滤波器 186 DKaG?Y,*p 8.35 诱导透射滤波器2 188 )- Wn'C'Z 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 xIq"[?m 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 6KZ8 .m}: 8.35 增益平坦滤波器 193 Ah8^^h|TPJ 8.38 啁啾反射镜 1 196 r P<d[u 8.39 啁啾反射镜2 198 >qh>Qm8w 8.40 啁啾反射镜3 199 CBz(hCaI 8.41 带保护层的铝膜层 200 -E,{r[Sp 8.42 增加铝反射率膜 201 a{%52B" 8.43 参考文献 202 d=.n|rS4
W 9 多层膜 204 OoU '86) 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 f0HV*%8 9.2 内部透过率 204 Occ8Hk/l. 9.3 内部透射率数据 205 Hz;jJ&S 9.4 实例 206 4P-'(4I) 9.5 实例2 210 q:D0$YY0 9.6 圆锥和带宽计算 212 ozxK?AMgG 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 pRDON)$ 10 光学薄膜的颜色 216 lN=m$ J 10.1 导言 216 Fh3Dc 83~ 10.2 色彩 216 ]w&?k:y> 10.3 主波长和纯度 220 1z$}*` 10.4 色相和纯度 221 =4w^)'/ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 D,m&^P=%e 10.6 色差 226 `*2*xDuP 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 $.x?in|_ 10.8 颜色渲染指数 234 ;)bF#@Q 10.9 色差计算 235 L3hxe]mr 10.10 参考文献 236 #u]_7/(</` 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 LYxlo<f 11.1 短脉冲 238 .k!k-QO5La 11.2 群速度 239 ngH~4HyT 11.3 群速度色散 241 l#5k8+s 11.4 啁啾(chirped) 245 ZF11v(n 11.5 光学薄膜—相变 245 EL)/5-=S 11.6 群延迟和延迟色散 246 "YdDaj</ 11.7 色度色散 246 sLpCWIy 11.8 色散补偿 249 +oKpA\mz 11.9 空间光线偏移 256 .AmM%I4K 11.10 参考文献 258 JQvQm|\nc 12 公差与误差 260 MWd_6XM 12.1 蒙特卡罗模型 260 4d3]pvv 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 4-?`# 12.2.1 误差工具 267 (
_F 12.2.2 灵敏度工具 271 w|UKMbRMU] 12.2.2.1 独立灵敏度 271 0z<]\a4 12.2.2.2 灵敏度分布 275 +ouy]b0`t 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 M0" g/W 12.3 参考文献 276 ~sU!
1 13 Runsheet 与Simulator 277 5yN8%_)T 13.1 原理介绍 277 6@_@nlA<1 13.2 截止滤光片设计 277 piM11W}|/ 14 光学常数提取 289 pmpn^ZR 14.1 介绍 289 7<C~D,x6 14.2 电介质薄膜 289 %` uRUex 14.3 n 和k 的提取工具 295 uD*s^ 14.4 基底的参数提取 302 3lrZ-k+S{ 14.5 金属的参数提取 306 k;Ny%%5 14.6 不正确的模型 306 Q!A3hr$IF 14.7 参考文献 311 p(b1I+! 15 反演工程 313 !6fpMo 15.1 随机性和系统性 313 c%,6L <[ 15.2 常见的系统性问题 314 HZQ3Ht 3Vh 15.3 单层膜 314 zZjLt1 15.4 多层膜 314 JgjL$n;F 15.5 含义 319 ,knI26Jh 15.6 反演工程实例 319 ~9>[ U%D 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 -~GJ; Uw 15.6.2 反演工程提取折射率 327 <cS7L0h 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 @ke})0`5 16.1 光学性质的热致偏移 329 uJ5%JB("E 16.2 应力工具 335 r+.4|u 16.3 均匀性误差 339 {*r$m>HpM 16.3.1 圆锥工具 339 R(Pa Q 16.3.2 波前问题 341 DP'Dg /D 16.4 参考文献 343 3[O =2 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 7(+ZfY~w" 17.1 引言 345 3usA 17.2 操作数 345 bqwW9D( 18 如何在Function中编写脚本 351 rZCAj 18.1 简介 351 WuQ<AS= 18.2 什么是脚本? 351 3f.Gog 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 R~c vml 18.4 基础 352 /Rcd}rO 18.4.1 Classes(类别) 352 la{:RlW 18.4.2 对象 352 W[Ew6)1T 18.4.3 信息(Messages) 352 ^9f`3~!#bc 18.4.4 属性 352 |l \/ {F 18.4.5 方法 353 nX aX= 18.4.6 变量声明 353 ='||BxB 18.5 创建对象 354 K1{nxw!` 18.5.1 创建对象函数 355 ?RAR 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 *RE-K36m|u 18.5.3 丢弃对象 356 `}Zbfe~ 18.5.4 总结 356 r@ *A 18.6 脚本中的表格 357 kITmo"$K 18.6.1 方法1 357 Saq>o. 18.6.2 方法2 357 v2=!* 18.7 2D Plots in Scripts 358 J9t? ]9.,: 18.8 3D Plots in Scripts 359 r!gCh`PiK 18.9 注释 360 3EX&.OL! 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 %1+~(1P 18.11 一个更高级的脚本 362 fU7:3"|s8 18.12 <esc>键 364 _<}5[(qu 18.13 包含文件 365 T@.m^|~ 18.14 脚本被优化调用 366 h_"/@6 18.15 脚本中的对话框 368 &UH z 18.15.1 介绍 368 DH*|>m& 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ]8nm9qmF< 18.15.3 输入框函数 370 .vF<3p| 18.15.4 自定义对话框 371 )7mJ+d[ 18.15.5 对话框编辑器 371 /
H/Ne
)r 18.15.6 控制对话框 377 Sq]1SW3
18.15.7 更高级的对话框 380 &{{f|o=u. 18.16 Types语句 384 MQMy Z: 18.17 打开文件 385 $5(%M8qmQ 18.18 Bags 387 4J|t} 18.13 进一步研究 388 BCB/cBE 19 vStack 389 t|"d#5' 19.1 vStack基本原理 389 )@|Fh@| 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 fB}5,22 19.3 五棱镜 393 d"a7{~l 19.4 光束距离 396 zszx@`/3 19.5 误差 399 U>jk`?zW 19.6 二向分色棱镜 399 T mE4p 19.7 偏振泄漏 404 <:t\P. 19.8 波前误差—相位 405 )F2tV ]k\ 19.9 其它计算参数 405 =9MH 20 报表生成器 406 ^K[tO54 20.1 入门 406 >{=RQgGy 20.2 指令(Instructions) 406 I<-"J^2 20.3 页面布局指令 406 >~InO^R`5 20.4 常见的参数图和三维图 407 f^)nZ:~ 20.5 表格中的常见参数 408 gZSi\m> 20.6 迭代指令 408 Vs(Zs[ 20.7 报表模版 408 _j
tS-CnO 20.8 开始设计一个报表模版 409
`.-C6! 21 一个新的project 413 'F~SNIay 21.1 创建一个新Job 414 OyZ>R~c'B 21.2 默认设计 415 a-5$GvG 21.3 薄膜设计 416 SkUP9 21.4 误差的灵敏度计算 420 CU&,Kq@ 21.5 显色指数计算 422 >p:fWQ6 21.6 电场分布 424 [=!MS?-G 后记 426 o`Brr: 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! yln.E vJjD
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