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《Essential Macleod中文手册》 }N,$4h9Dj $s]vZ(H 目 录 dn1Fwy. ``:+*4e9 ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 hH(w O\s 第1章 介绍 ..........................................................1 1"yr`,}?8r 第2章 软件安装 ..................................................... 3 }5]2tH${ 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 h
]6:`5- 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 D8 BmC 第5章 软件结构 ............................................................... 21 M~eXC 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 $H8B%rT] 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 Mj<T+Ohz 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 pt$\pQ 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 *hvC0U@3 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 %5$)w;p.$' 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 {|{;:_.> 第12章 优化和综合 ..................................................................120 7z;X@+O}s 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 w&[&ZDsK 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 B&L-Lc2 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 =JNCQu 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 F87/p 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 Lm3~< vP1e 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 ^V7'S< 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 z3Zo64V~7 第20章 运行表单 .................................................................... 251 g^:
&Dh 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 8AQ__&nT 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 Mj6
0?k 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 'W*:9wah 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 10d.&vNw 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 dt|| nF 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 4G2iT+X- 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 %E2b{Y; 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 F}~qTF;H 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 <&RpGAk%I ")YD~ZA%) Ji4JP0
Dbu>rESz Marx=cNj M;LR$'cP 内容简介 b4&l=^:e= Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Nsn~mY% 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 !nU|3S[b
薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ShesJj 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 c!ieN9^+ fSVb.MZa7 目录 ,@kLH"a0 Preface 1 $p|Im, 内容简介 2 R-YNg 目录 i N*+ L'bO 1 引言 1 \ `;1[m 2 光学薄膜基础 2 Tq?7-_MLC$ 2.1 一般规则 2 Z4oD6k5oc 2.2 正交入射规则 3 -}u1ZEND 2.3 斜入射规则 6 rf+Z0C0WYi 2.4 精确计算 7 hg2Ywzfm- 2.5 相干性 8 8]mRX~ 2.6 参考文献 10 hof>:Rk 3 Essential Macleod的快速预览 10 5PsjGvm.% 4 Essential Macleod的特点 32 :%_h'9Qq 4.1 容量和局限性 33 iPdS>ee 4.2 程序在哪里? 33 SQ&}18Z~ 4.3 数据文件 35 $R%tD.d3 4.4 设计规则 35 }9kn;rb$g 4.5 材料数据库和资料库 37 NvC @ 4.5.1材料损失 38 sJ{r+wY 4.5.1材料数据库和导入材料 39 y+p"5s" 4.5.2 材料库 41 0t[ 1#!=k 4.5.3导出材料数据 43 }
m"':f 4.6 常用单位 43 CG;+Z-"X 4.7 插值和外推法 46 .W\JvPTC 4.8 材料数据的平滑 50 10Q!-K),p 4.9 更多光学常数模型 54 l9e=dV:pH 4.10 文档的一般编辑规则 55 z\"9T?zoo 4.11 撤销和重做 56 $xCJ5M4 4.12 设计文档 57 }@"v7X $ 4.10.1 公式 58 g/(BV7V 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 5=\^DeM@
H 4.10.3 沉积密度 59 V qcw2 4.10.4 平行和楔形介质 60 &kcmkRRG 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 :}2T of2 4.10.4 性能 61 lL'Bop@ 4.10.5 保存设计和性能 64 >;l rH& 4.10.6 默认设计 64 h^v#?3.@ 4.11 图表 64 LP !d|X 4.11.1 合并曲线图 67 -/
G#ls|? 4.11.2 自适应绘制 68 -oTdi0P 4.11.3 动态绘图 68 3xN_z?Rg 4.11.4 3D绘图 69 m#ig.z|A 4.12 导入和导出 73 U&43/;<, 4.12.1 剪贴板 73 <*+[E!oi 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 M N (o 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 na*Z0y 4.13 背景 77 b6xz\zCL 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 1:Ff#Eq,s 4.15 生成Rugate 84 v}id/brl 4.16 参考文献 91 (>,b5g 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 F("|SOhc 5.1 Jobs 92 M2;6Cz>,P 5.2 创建一个新Job(工作) 93 q6b&b^r+H 5.3 输入材料 94 n1aOpz6` 5.4 设计数据文件夹 95 2a;[2': 5.5 默认设计 95 Z?d][zGw 6 细化和合成 97 sgnc$x" 6.1 优化介绍 97 `4?|yp.|L 6.2 细化 (Refinement) 98 !x\\# 9 6.3 合成 (Synthesis) 100 NB5lxaL 6.4 目标和评价函数 101 F@HJ3O9 6.4.1 目标输入 102 :Gzp
(@<@e 6.4.2 目标 103 Jz*A!Li 6.4.3 特殊的评价函数 104 6oFA=CjU{ 6.5 层锁定和连接 104 }#2(WHf=< 6.6 细化技术 104 F(ZczwvR 6.6.1 单纯形 105
3bJ|L3G 6.6.1.1 单纯形参数 106 p>f?Rw_ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 of
GoaH*h 6.6.2.1 Optimac参数 108 u%6b|M@P 6.6.3 模拟退火算法 109 hd,O/-m# 6.6.3.1 模拟退火参数 109 u?rX:KkS 6.6.4 共轭梯度 111 a]Y9;( 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 s}yN_D+V 6.6.5 拟牛顿法 112 Z$r7Hi 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 |qwx3 hQ? 6.6.6 针合成 113 +G\i$d;St 6.6.6.1 针合成参数 114 7z&$\qu2 6.6.7 差分进化 114 <>Ha<4A
=E 6.6.8非局部细化 115 OT$++cj^ 6.6.8.1非局部细化参数 115 g3yZi7b5FU 6.7 我应该使用哪种技术? 116 *=!r|UdB. 6.7.1 细化 116 HIt9W]koO 6.7.2 合成 117 nywC]T 6.8 参考文献 117 ]rNxvFN*j 7 导纳图及其他工具 118 d{7)_Sbky 7.1 简介 118 UI'fzlB 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 vP+qwvpGr 7.2.1 四分之一波长规则 119 UR S=1+ 7.2.2 导纳图 120 .,U4 ATO 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 "!fwIEG 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 HuKOb4g 7.5 斜入射导纳图 141 c.5u \I9" 7.6 对称周期 141 aR'~=t&;z1 7.7 参考文献 142 `I4E':
ZG 8 典型的镀膜实例 143 .TDg`O24c, 8.1 单层抗反射薄膜 145 ]=]MJ3_7 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 Z6Z/Y()4Tl 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 9qB4\ONXZ 8.4 W-膜层 148 ?GtI.flV 8.5 V-膜层 149 }f% Qk0^ 8.6 V-膜层高折射基底 150 `B:hXeI 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 _meW9)B 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 e.#,9 8.9 四层抗反射薄膜 153 =P_*.SgR 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 O3%#Q3c>3 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ?AQA>D#W 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 rYg%B6Fp 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 +(z[8BJl 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 "DH>4Q]
d 8.15十五层宽带抗反射膜 159 /[ft{:#&t 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
;O5Iu 8.17 1/4波长堆栈 162 Iz;^D! 8.18 陷波滤波器 163 DRTT3;,N 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 VVpJ + 8.20 褶皱 165 @v!#_%J 8.21 消偏振分光器1 169 .2_xTt 8.22 消偏振分光器2 171 f^F"e'1 8.23 消偏振立体分光器 172 (H:A|Lw 8.24 消偏振截止滤光片 173 84i0h$ZZo 8.25 立体偏振分束器1 174 4L4u< 8.26 立方偏振分束器2 177 1CM8P3 8.27 相位延迟器 178 .cx9+; 8.28 红外截止器 179 rOj(THoc{ 8.29 21层长波带通滤波器 180 ?'"BX 8.30 49层长波带通滤波器 181 }<w9Jfr"X 8.31 55层短波带通滤波器 182 ) ]<^*b> 8.32 47 红外截止器 183 ='C;^
Bk 8.33 宽带通滤波器 184 D0MW~Y6{ 8.34 诱导透射滤波器 186 qV,x )y:V 8.35 诱导透射滤波器2 188 %da-/[ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Y?zo") 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 [Ls%nz| 8.35 增益平坦滤波器 193 _\=
/~>Xl 8.38 啁啾反射镜 1 196 II[-6\d! 8.39 啁啾反射镜2 198 /11CC \ 8.40 啁啾反射镜3 199 ^ P
A|RFP 8.41 带保护层的铝膜层 200 {a9.0N :4 8.42 增加铝反射率膜 201 +^J;ic 8.43 参考文献 202 'YYT1H) 9 多层膜 204 =^l`c$G< 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 )nK+`{;@! 9.2 内部透过率 204 mv`b3 $ 9.3 内部透射率数据 205 w{;~ 9.4 实例 206 : t75iB= 9.5 实例2 210 TV0Y{x*~iH 9.6 圆锥和带宽计算 212 y&\t72C$Fi 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 -Ekf T_ 10 光学薄膜的颜色 216 "T<7j.P? 10.1 导言 216 wAzaxeV= 10.2 色彩 216 +%~me? 10.3 主波长和纯度 220 N+H[Y4c?F& 10.4 色相和纯度 221 6Bexwf<u 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 De>,i%`Q,D 10.6 色差 226 %\)AT" 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 IlI5xkJ( 10.8 颜色渲染指数 234 'P4V_VMK 10.9 色差计算 235 O#>,vf$ 10.10 参考文献 236 v:>sS_^ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 osLEH?iKW 11.1 短脉冲 238 V%C'@m(/SZ 11.2 群速度 239 S@~ReRew2 11.3 群速度色散 241 'dv( 11.4 啁啾(chirped) 245 P=y1qqC 11.5 光学薄膜—相变 245 ra_TN;( 11.6 群延迟和延迟色散 246 n* .<L 11.7 色度色散 246 fi&>;0?7 11.8 色散补偿 249 0Jd>V 11.9 空间光线偏移 256 |S]fs9 11.10 参考文献 258 /#L4ec-' 12 公差与误差 260 J*ZcZ FbWN 12.1 蒙特卡罗模型 260 nvc(<Ovw 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 3RcnoXX_ 12.2.1 误差工具 267 uaCI2I 12.2.2 灵敏度工具 271 Pi,86? 12.2.2.1 独立灵敏度 271 _.EM])b 12.2.2.2 灵敏度分布 275 L&]{GNw 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 }/IP\1bG 12.3 参考文献 276 Z7?\ >4V 13 Runsheet 与Simulator 277 j<9^BNl 13.1 原理介绍 277 d?cCSf 13.2 截止滤光片设计 277 *xKy^f 14 光学常数提取 289 ]!/R tt 14.1 介绍 289 1,we:rwX 14.2 电介质薄膜 289 fl4'dv 14.3 n 和k 的提取工具 295 e<~bDFH 14.4 基底的参数提取 302 =Pp-9<&S 14.5 金属的参数提取 306 #H5+8W 14.6 不正确的模型 306 E%Ko[G 14.7 参考文献 311 zU4*FXt 15 反演工程 313 (&_^1 15.1 随机性和系统性 313 1&Mpx!K*T 15.2 常见的系统性问题 314 "-G7eGQ 15.3 单层膜 314 qK%#$JgqA 15.4 多层膜 314 , 0?_?
GO 15.5 含义 319 5B3sRF} 15.6 反演工程实例 319 &k`lbkq 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 bZj5qjl`x 15.6.2 反演工程提取折射率 327 +]~}kvk: 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 nS Vr,wU 16.1 光学性质的热致偏移 329 zqRps8= 16.2 应力工具 335 ;:Tb_4Hr 16.3 均匀性误差 339 u_o]\D~ 16.3.1 圆锥工具 339 ogV v 8Xb 16.3.2 波前问题 341 VmXXj6l& 16.4 参考文献 343 <^ratz!- 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 [EQTrr(
D 17.1 引言 345 (ti E%nF+ 17.2 操作数 345 X8~?uroq 18 如何在Function中编写脚本 351 Z8f?uF 18.1 简介 351 )L_@l5l 18.2 什么是脚本? 351 7dR]$~+*e 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 X'xnJtk 18.4 基础 352 e YiqT Wn: 18.4.1 Classes(类别) 352 ~{{7y]3M- 18.4.2 对象 352 Ldy(<cN 18.4.3 信息(Messages) 352 c;n\HYk 18.4.4 属性 352 _d>{Hz2 18.4.5 方法 353 ^t`0ul]c 18.4.6 变量声明 353 Pv*]AF;9pQ 18.5 创建对象 354 /7ykmW 18.5.1 创建对象函数 355 L_M(Lj 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 :*t5? 18.5.3 丢弃对象 356 crgVedx~} 18.5.4 总结 356 V~$?]Z %_ 18.6 脚本中的表格 357 /#?!9c 18.6.1 方法1 357 Y+0GJuBf 18.6.2 方法2 357 Q0g^% 18.7 2D Plots in Scripts 358 CWb*bw0 18.8 3D Plots in Scripts 359
KvO5-g 18.9 注释 360 #f_. 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 3A.lS+P1 18.11 一个更高级的脚本 362 \9}DAM_ 18.12 <esc>键 364
| 1a}p 18.13 包含文件 365 Kv ajk~ 18.14 脚本被优化调用 366 R ^INl@(O 18.15 脚本中的对话框 368 =i},$"Bf*% 18.15.1 介绍 368 f7;<jj;w7 18.15.2 消息框-MsgBox 368 N]F}Z#h 18.15.3 输入框函数 370 0="wxB 18.15.4 自定义对话框 371 p ^)3p5w 18.15.5 对话框编辑器 371 xX.{(er 18.15.6 控制对话框 377 J"XZnb)E= 18.15.7 更高级的对话框 380 1=PTiDMJ<* 18.16 Types语句 384 j?\z5i""f 18.17 打开文件 385 N%)q.'M 18.18 Bags 387 )kYDN_W 18.13 进一步研究 388 z00,Vr^m 19 vStack 389 =}Yz[-I 19.1 vStack基本原理 389 HKVtO%& 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 :*YnH& 19.3 五棱镜 393 f*Os~@K 19.4 光束距离 396 oFsV0 {x%) 19.5 误差 399 ~"8r=8| 19.6 二向分色棱镜 399 :BB=E'293 19.7 偏振泄漏 404 vdot . 19.8 波前误差—相位 405 jVqpokWH 19.9 其它计算参数 405 Ml'lZ) 20 报表生成器 406 dZ4c!3'F 20.1 入门 406 msQ?V&+< 20.2 指令(Instructions) 406 iV!V!0- @ 20.3 页面布局指令 406 -wh 20.4 常见的参数图和三维图 407 ?.Ip(g 20.5 表格中的常见参数 408 0g#x QzE 20.6 迭代指令 408 s&XL |