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《Essential Macleod中文手册》 SBt:
`, TUr}p aw_ 目 录 {eV_+@dT RL9P:]
^ ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 +__Rk1CVh 第1章 介绍 ..........................................................1 `BY`ltW 第2章 软件安装 ..................................................... 3 1XRVbQt 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 1qF.0 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 b
L~<~gA 第5章 软件结构 ............................................................... 21 ^;bkU|(`6 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 Jsl,r+'H 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 0g\&3EvD 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 e#^by(1@} 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 oY:>pxSz<@ 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 d-aF- 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 y5}|Y{5 第12章 优化和综合 ..................................................................120 gE~31:a^ 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 GS%Dn^l 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 2BY:qz%: 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 t60m:k4J 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 M#m7g4*L ! 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 KNhH4K2iP8 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 P@#6.Bb#V 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 rO GJ%|%( 第20章 运行表单 .................................................................... 251 cAS5&T< 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 ?~Des"F6)1 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 Lif mYn[ 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 <[bDNe["? 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 .wywO| 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 kcb'`<B 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 ~S9nLb:O{ 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 >KJ]\`2>)c 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 [nrP;
_ 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 NINiX( RWE%?` "7DPsPs N>_7Ltw/ {T9g\F* yLP0w^Q 内容简介 t
+_G%tv Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 \?ZdUY 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 6-~ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 7~&Y"& 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ?l/rg6mbI' 6yU~^))bx 目录 S^u!/ =& Preface 1 ;S7xJ'H 内容简介 2 Y'P8 `$ 目录 i !Zrvko 1 引言 1 fiZ8s=J 2 光学薄膜基础 2
,Xw/
t> 2.1 一般规则 2 y-U(`{[nM 2.2 正交入射规则 3 /D q]=P 2.3 斜入射规则 6 6!$S1z#wM 2.4 精确计算 7 }y1M0^M-$ 2.5 相干性 8 R[(,wY_1 2.6 参考文献 10 xl3U 3 Essential Macleod的快速预览 10 @l8?\^N 4 Essential Macleod的特点 32 <i5^izg 4.1 容量和局限性 33 K;95M^C\O* 4.2 程序在哪里? 33 ">o/\sXeH 4.3 数据文件 35 $2.DZ 4.4 设计规则 35 nF-FoO98 4.5 材料数据库和资料库 37 D7@10;F}[ 4.5.1材料损失 38 YANEdH`d 4.5.1材料数据库和导入材料 39 WXM_H0K 4.5.2 材料库 41 ~?p
> L 4.5.3导出材料数据 43 ps]6,@uyB 4.6 常用单位 43 UaBR;v-.B3 4.7 插值和外推法 46 -'nx7wnj2 4.8 材料数据的平滑 50 %bsdC0xM 4.9 更多光学常数模型 54 }8svd#S+ 4.10 文档的一般编辑规则 55 ,%C$~+xjM 4.11 撤销和重做 56 ^~0r+w61 4.12 设计文档 57 y|aWUX/a 4.10.1 公式 58 ]8^2(^3ct 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 m} V,+E 4.10.3 沉积密度 59 B}Qo8i7
z 4.10.4 平行和楔形介质 60 FR <wp 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 #wo_ 4.10.4 性能 61 ] !H<vR$8 4.10.5 保存设计和性能 64 s[g1ei9 4.10.6 默认设计 64 5Ql6?UHD 4.11 图表 64 ]mc,FlhU@ 4.11.1 合并曲线图 67 4
qnQF]4 4.11.2 自适应绘制 68 c*h5lM'n6 4.11.3 动态绘图 68 V$@2:@8mo 4.11.4 3D绘图 69 u,C-U!A 4.12 导入和导出 73 bIH2cJ 4.12.1 剪贴板 73 41.+3VP 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 L+u_153 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 >8VJ!Kg4 4.13 背景 77 #<JrSl62(K 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 e0qa~5 4.15 生成Rugate 84 -{<%Wt9 4.16 参考文献 91 !xlVyt5e 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 =m40{ 5.1 Jobs 92 q q`UvU 5.2 创建一个新Job(工作) 93 v|hi;l@7E 5.3 输入材料 94 ^8 z*f&g 5.4 设计数据文件夹 95 !87ebo 5.5 默认设计 95 G6
GXC`^+ 6 细化和合成 97 &O'yhAP] j 6.1 优化介绍 97 9Hu%Z/[!p 6.2 细化 (Refinement) 98 Ro1l:P)C` 6.3 合成 (Synthesis) 100 0t9G$23 6.4 目标和评价函数 101 X@cV']#V 6.4.1 目标输入 102 $q+7,," 6.4.2 目标 103 :S%|^QAN 6.4.3 特殊的评价函数 104 B1GSZUd^?0 6.5 层锁定和连接 104 >1r>cZn 6.6 细化技术 104 XnNK)dUT} 6.6.1 单纯形 105 &38Fj'l 6.6.1.1 单纯形参数 106 u_uC78`p 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 %~eZrG. 6.6.2.1 Optimac参数 108 ;zGGT^Dn 6.6.3 模拟退火算法 109 n"Ev25% 6.6.3.1 模拟退火参数 109 h.c)+wz/%C 6.6.4 共轭梯度 111 dx~F [ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 0!^{V:DtQ 6.6.5 拟牛顿法 112 m1frN#3 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 SY)o<MD 6.6.6 针合成 113 *z(.D\{% 6.6.6.1 针合成参数 114 gs. K,x ma 6.6.7 差分进化 114 D6 M:pIN* 6.6.8非局部细化 115 rVz#;d!`z 6.6.8.1非局部细化参数 115 ){6;o&CC: 6.7 我应该使用哪种技术? 116 Y H?>2u 6.7.1 细化 116 amPQU 6.7.2 合成 117 q'W`t>2T 6.8 参考文献 117 l jNd!RaB 7 导纳图及其他工具 118 }g`A*y;t 7.1 简介 118 Hiw{1E:rW 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 YAO.Cc z 7.2.1 四分之一波长规则 119 GSMP)8W 7.2.2 导纳图 120 `T}e3l 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 {gJOc,U4b 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 n0EKNMO 7.5 斜入射导纳图 141 LEk
W^Mv 7.6 对称周期 141 ;8UNM 7.7 参考文献 142 NjMo"1d 8 典型的镀膜实例 143
vH`u 8.1 单层抗反射薄膜 145 }B"kJNxV 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 \b'
<q 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ]2v31' 8.4 W-膜层 148 ==c\* o 8.5 V-膜层 149 u dH7Q&" 8.6 V-膜层高折射基底 150 ~uV.jh 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 @1rF9<
4g 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 rU(N@i% 8.9 四层抗反射薄膜 153 /\C9FGS 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ZJd1Lx 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 8_W<BXW 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 W4T>@b. 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ;c~6^s`2 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 F!N;4J5u 8.15十五层宽带抗反射膜 159 o^gqpQv 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 L{osh0 8.17 1/4波长堆栈 162 +xB!T1pD 8.18 陷波滤波器 163 eBG7]u,Q 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 *O+YhoR? 8.20 褶皱 165 G^oBu^bq~ 8.21 消偏振分光器1 169 oO!@s` 8.22 消偏振分光器2 171 hE+6z%A8 8.23 消偏振立体分光器 172 6Kg
lp\2 8.24 消偏振截止滤光片 173 }h EBX:- 8.25 立体偏振分束器1 174 <#LHL
8.26 立方偏振分束器2 177 OP%h` 8.27 相位延迟器 178 bvs0y7M=' 8.28 红外截止器 179 CQQX7Y\ 8.29 21层长波带通滤波器 180 U3az\E)HV 8.30 49层长波带通滤波器 181 5c`DkWne% 8.31 55层短波带通滤波器 182 2r<UYB 8.32 47 红外截止器 183 Ond"Eq=r 8.33 宽带通滤波器 184 /w`{]Ntgu 8.34 诱导透射滤波器 186 9^)ochY3 8.35 诱导透射滤波器2 188 p~$\@8@ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 X Oc0j9Oa 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 .0r5= 8.35 增益平坦滤波器 193 c-n'F+fZ 8.38 啁啾反射镜 1 196 )d_)CuUBe 8.39 啁啾反射镜2 198 qXCl6Yo8 8.40 啁啾反射镜3 199 ?7YX@x 8.41 带保护层的铝膜层 200 #c./<<P5} 8.42 增加铝反射率膜 201 M
+~guTh 8.43 参考文献 202 \$<kJ||lS 9 多层膜 204 G]=U=9ZI 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 `3*>tq 9.2 内部透过率 204 J<V}g v 9.3 内部透射率数据 205 #<MLW4P 9.4 实例 206 L_=J(H| 9.5 实例2 210 e(6g|h 9.6 圆锥和带宽计算 212 6oL-Atf 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Qf$0^$ " 10 光学薄膜的颜色 216 2sk^A
ly 10.1 导言 216 U]@t\T3W 10.2 色彩 216 plv"/K JM 10.3 主波长和纯度 220 NGd|7S[^+c 10.4 色相和纯度 221 o.Mb~8Yu 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 7'xT)~*$4 10.6 色差 226 ]j}zN2[A 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 |&o1i~Y 10.8 颜色渲染指数 234 :nd
}e 10.9 色差计算 235 ^>72<1U% 10.10 参考文献 236 C;OU2,c,T 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 d9R0P2 11.1 短脉冲 238 nsaf6y&E 11.2 群速度 239 ~lzV=c$t 11.3 群速度色散 241 uY5f mM9 11.4 啁啾(chirped) 245 q@8Rlc& 11.5 光学薄膜—相变 245 st:[|` 11.6 群延迟和延迟色散 246 #:"\6s 11.7 色度色散 246 49
fs$wr@ 11.8 色散补偿 249 o{f n} 11.9 空间光线偏移 256 RIC'JLWQ 11.10 参考文献 258 X. UN=lu 12 公差与误差 260 ?:lOn(0& 12.1 蒙特卡罗模型 260 O8[dPmW 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 yV$p(+KkS 12.2.1 误差工具 267 }zlvs
a+ 12.2.2 灵敏度工具 271 cJ&l86/l1 12.2.2.1 独立灵敏度 271 [j1SX-NX 12.2.2.2 灵敏度分布 275 S;Lqx5Cd 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 vJtQ&,zG 12.3 参考文献 276 ^X)U^Qd 13 Runsheet 与Simulator 277 [77]0V7 13.1 原理介绍 277 nC_<pq^tr 13.2 截止滤光片设计 277 dU:s^^f&R 14 光学常数提取 289 ucJR #14 14.1 介绍 289 e&<#8;2X 14.2 电介质薄膜 289 h:a5FK@ 14.3 n 和k 的提取工具 295
{pd%I 14.4 基底的参数提取 302 f$*M;|c1c/ 14.5 金属的参数提取 306 /U N%P2>^1 14.6 不正确的模型 306 m&Ms[X 14.7 参考文献 311 yE{l
Xp; 15 反演工程 313 [|ky~sRr 15.1 随机性和系统性 313 u32wS$*8 15.2 常见的系统性问题 314 :*0k:h6g 15.3 单层膜 314 8ENAif 15.4 多层膜 314 UF D_ 15.5 含义 319 ^q%~K{'`- 15.6 反演工程实例 319 X
H{5E4P 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 e7]IEBbX2O 15.6.2 反演工程提取折射率 327 s^L\hr 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 [EB2o.EsO 16.1 光学性质的热致偏移 329 S4~^HvMG[Y 16.2 应力工具 335 a9FlzR 16.3 均匀性误差 339 j(va#f# 16.3.1 圆锥工具 339 P:ys--$" 16.3.2 波前问题 341 -S)HB$8 16.4 参考文献 343 goRoi\z $ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 _$MoMg{uJH 17.1 引言 345 r>$jMo.S" 17.2 操作数 345 n)$ q*IN" 18 如何在Function中编写脚本 351 w2/%e$D!9 18.1 简介 351 ,i>5\Yl% 18.2 什么是脚本? 351 P1T LH2) 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 i"Ct}7i 18.4 基础 352 |\~cjPX( 18.4.1 Classes(类别) 352 B<8Z?:3YS 18.4.2 对象 352 w y:. 18.4.3 信息(Messages) 352 n?kU 18.4.4 属性 352 M={k4r_t 18.4.5 方法 353 An/)|B4 18.4.6 变量声明 353 i`Lt=)@& 18.5 创建对象 354 (Pvch! 18.5.1 创建对象函数 355 ]%>;R^HY 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 xjR/K&[m 18.5.3 丢弃对象 356 |{t}ULc 18.5.4 总结 356 @B+ 18.6 脚本中的表格 357 >qcir~ & 18.6.1 方法1 357 eR8h4M~O 18.6.2 方法2 357 Xps MgJ/w 18.7 2D Plots in Scripts 358 Fc 5g~T 18.8 3D Plots in Scripts 359 a)y8MGx? 18.9 注释 360 X1tAV>k5'L 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ;v8,r#4 18.11 一个更高级的脚本 362 el+euOV 18.12 <esc>键 364 H^'*F->BA 18.13 包含文件 365 Z^h'&c# 18.14 脚本被优化调用 366 3&x_%R 18.15 脚本中的对话框 368 [S3X 18.15.1 介绍 368 )0qXZgs 18.15.2 消息框-MsgBox 368 dIIsO{Zqv 18.15.3 输入框函数 370 IE'OK 18.15.4 自定义对话框 371
BX+-KvT 18.15.5 对话框编辑器 371 "QGP]F 18.15.6 控制对话框 377 <<4G GO 18.15.7 更高级的对话框 380 @f{)]I +f 18.16 Types语句 384 ]7'Q2OU7 18.17 打开文件 385 A+;]# 1y(D 18.18 Bags 387 $\m=-5 0- 18.13 进一步研究 388 j G{xFz>x 19 vStack 389 {l_R0 19.1 vStack基本原理 389 :~U1JAs$ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 :jB(!XH 19.3 五棱镜 393 $ZwsTV]x 19.4 光束距离 396 *A
c~ 19.5 误差 399 B)ynF?" 19.6 二向分色棱镜 399 lE=Q(QUr 19.7 偏振泄漏 404 Oh<Z0M) 19.8 波前误差—相位 405 7d'4"c;*; 19.9 其它计算参数 405 9r\8 !R 20 报表生成器 406 !4I?59 20.1 入门 406 <(#cPV@j 20.2 指令(Instructions) 406 &&JI$x0; 20.3 页面布局指令 406 e`#Gq0}8 20.4 常见的参数图和三维图 407 BniFEW:< 20.5 表格中的常见参数 408 -^\k+4; 20.6 迭代指令 408 -+Quw2465^ 20.7 报表模版 408 hiU_r="*ox 20.8 开始设计一个报表模版 409 &v3r#$Hj[
21 一个新的project 413 V/>SjUNq 21.1 创建一个新Job 414 fbo64$!hZ 21.2 默认设计 415 j(Q$frI 21.3 薄膜设计 416 iWQBo>x 21.4 误差的灵敏度计算 420 EsA^P2?_+ 21.5 显色指数计算 422 z-$?.?d 21.6 电场分布 424 EB@!?=0x 后记 426 A[+op'>k 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! WMh'<'wN_
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