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《Essential Macleod中文手册》 }OR@~V{Gj ZY= {8T@ 目 录 x"=f+Mr P6`u._mX ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 bHYy }weZ 第1章 介绍 ..........................................................1 Yui3+}Ms 第2章 软件安装 ..................................................... 3 hbDXo: 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 iL&fgF"' 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 O,
wJR 第5章 软件结构 ............................................................... 21 .t-4o<7 3 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 Oc#syfO 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 !u[9a;Sa# 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 $y &E(J 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 +F` S>U 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 #aJ(m& 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 rSk> 第12章 优化和综合 ..................................................................120 W~;`WR;. 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 %QGC8Tz 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 ,j{,h_Op 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 ||= )d& 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 py!|\00} 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 AaOuL,l 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 *uf'zQ<9 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 Q7\w+ANf0 第20章 运行表单 .................................................................... 251 *8Xh(`
Mj7 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 S>6~lb8G 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 }Yzco52 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 I\{ 1u 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 Q5`*3h6p= 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 Y|f[bw 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 @7]yl&LZ 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 5E;qM|Ns 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 -t'jNR' 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 x b~yM%*c )e+>w=t Y0@"fU35 O)*+="Rg HGs $* T{.pM4Hd 内容简介 DDP/DD;n}r Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 3g,`.I_ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 `l
^9/_g'6 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 R6Km\N 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ,{u
yG: q4:o#K# 目录 kR-SE5`Jk Preface 1 ]d0BN`*U. 内容简介 2 /<=u\e'rE 目录 i >V?eog%~ 1 引言 1 Ys!82M$g 2 光学薄膜基础 2 uM IIYS 2.1 一般规则 2 eK?MKe 2.2 正交入射规则 3 (AaoCa[ 2.3 斜入射规则 6 !mJ"gg 2.4 精确计算 7 4i azNl# 2.5 相干性 8 ghG**3xr 2.6 参考文献 10 rNWw?_H-H( 3 Essential Macleod的快速预览 10 %9F([K 4 Essential Macleod的特点 32 u<tbbKM 4.1 容量和局限性 33 WUe{vV#S'0 4.2 程序在哪里? 33 +US!YU 4.3 数据文件 35 6 l|DU7i 4.4 设计规则 35 @]%IK(| 4.5 材料数据库和资料库 37 .\ULbN3Z 4.5.1材料损失 38 ;~)5s' 4.5.1材料数据库和导入材料 39 WYm\)@ 4.5.2 材料库 41 S]e|"n~@ 4.5.3导出材料数据 43 |P
HT694Uz 4.6 常用单位 43 rxvx 4.7 插值和外推法 46 {tuYs: 4.8 材料数据的平滑 50 .PIL
+x*]N 4.9 更多光学常数模型 54 np"\19^ 4.10 文档的一般编辑规则 55 ~F|+o}a`
4.11 撤销和重做 56 3=P]x;[ba 4.12 设计文档 57 45@ I *` 4.10.1 公式 58 u"cV%(# 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 +K:Dx!9 4.10.3 沉积密度 59 }_M~2L?i 4.10.4 平行和楔形介质 60 y*jp79G 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 /!yU!`bY 4.10.4 性能 61 ,GbR!j@6 4.10.5 保存设计和性能 64 ,F8 Yn5h 4.10.6 默认设计 64 )Pa'UGY 4.11 图表 64 8sWJcmVo 4.11.1 合并曲线图 67 Olt?~} 4.11.2 自适应绘制 68 v!-/&}W)1 4.11.3 动态绘图 68 .LnGL]/ 4.11.4 3D绘图 69 .=7vI$ujd 4.12 导入和导出 73 ^+>laOzC`8 4.12.1 剪贴板 73 i4Q@K,$ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 V5nwu# 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 T"}5}6rSG 4.13 背景 77 O_muD\ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 1Kw+,.@d 4.15 生成Rugate 84 E!)xj.aS$ 4.16 参考文献 91 c(f 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ~]|6T~+]83 5.1 Jobs 92 4<w.8rR:A 5.2 创建一个新Job(工作) 93 Af~$TyX 5.3 输入材料 94 av8B-GQI*# 5.4 设计数据文件夹 95 )5Q~I,dP 5.5 默认设计 95 9IdA%RM~mH 6 细化和合成 97 Ytp(aE: 6.1 优化介绍 97 Fc)@,/R"v 6.2 细化 (Refinement) 98 HTv2# 6.3 合成 (Synthesis) 100 }z'8Bu 6.4 目标和评价函数 101 PfAgM1 6.4.1 目标输入 102 @|Cz-J;D 6.4.2 目标 103 GE:vp>>}` 6.4.3 特殊的评价函数 104 Ws3)gvpPA 6.5 层锁定和连接 104 xf\ C|@i 6.6 细化技术 104 }1L4"}L. 6.6.1 单纯形 105 cN-?l7 6.6.1.1 单纯形参数 106 Jc&{`s^Nu 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 a_^\=&?' 6.6.2.1 Optimac参数 108 TPQ%L@^L+ 6.6.3 模拟退火算法 109 c)6m$5] 6.6.3.1 模拟退火参数 109 Gt8M&S-; 6.6.4 共轭梯度 111 : %_LpZ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 RtkEGxw*^ 6.6.5 拟牛顿法 112 D#9m\o_ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 -lr
vKrt7 6.6.6 针合成 113 kf\PioD8 6.6.6.1 针合成参数 114 ('4_
xOb 6.6.7 差分进化 114 /e5O"@ 6.6.8非局部细化 115 T8?Ghbn 6.6.8.1非局部细化参数 115 p;`>e>$ 6.7 我应该使用哪种技术? 116
7~G9'P< 6.7.1 细化 116 pTth}JM> 6.7.2 合成 117 hIYNhZv 6.8 参考文献 117 v|)4ocFK 7 导纳图及其他工具 118 "=HA Y 7.1 简介 118 @(EAq<5{ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 a Yg6H2Un 7.2.1 四分之一波长规则 119 y>8sZuH0 7.2.2 导纳图 120 9R!atPz9 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 gMi0FO' 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 nI?[rCM 7.5 斜入射导纳图 141 W 8<&gh+ 7.6 对称周期 141 gmUz9P( 7.7 参考文献 142 d~])K#oJ 8 典型的镀膜实例 143 @o].He@L<j 8.1 单层抗反射薄膜 145 |"q5sym8Y_ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 2lZ
Q) 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 hk;5w{t}} 8.4 W-膜层 148 M><yGaaX/ 8.5 V-膜层 149 (fH#I tf 8.6 V-膜层高折射基底 150 '0;l]/i. 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 g i3F`
m 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 >F|>cc>_E 8.9 四层抗反射薄膜 153 aL\PGdgO 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 z#9aP&8 Q 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 C#.->\ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ~p6 V,Q 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ~Py`P'+ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 F@D`N0Pte 8.15十五层宽带抗反射膜 159 +zqn<<9 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ~f2z]JLr: 8.17 1/4波长堆栈 162 V5@:#BIs 8.18 陷波滤波器 163 ZuzEg *lb 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 RXMISt3+{y 8.20 褶皱 165 tH@Erh|% 8.21 消偏振分光器1 169 DaQ?\uq 8.22 消偏振分光器2 171 {S]}.7`l9( 8.23 消偏振立体分光器 172 nAAs{ 8.24 消偏振截止滤光片 173 BiLY(1, 8.25 立体偏振分束器1 174 +yG~T 8.26 立方偏振分束器2 177 >a<.mU|# 8.27 相位延迟器 178 AG
nxYV"p 8.28 红外截止器 179 fCd&D 8.29 21层长波带通滤波器 180 Uk wP 8.30 49层长波带通滤波器 181 3@_xBz,I . 8.31 55层短波带通滤波器 182 3lL-)<0A( 8.32 47 红外截止器 183 5+0gR
&|j 8.33 宽带通滤波器 184 dw>C@c#" 8.34 诱导透射滤波器 186 BGZ#wru 8.35 诱导透射滤波器2 188 wQl
, 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 C\3rJy(VJ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Ys9[5@7 8.35 增益平坦滤波器 193 >{n,L6_t 8.38 啁啾反射镜 1 196 H\" sgoJ 8.39 啁啾反射镜2 198 aH(J,XY 8.40 啁啾反射镜3 199 f1RWP@iar 8.41 带保护层的铝膜层 200 wD}l$& + 8.42 增加铝反射率膜 201 Vi$~-6n& 8.43 参考文献 202 4}baSV 9 多层膜 204 m#Jmdb_ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 h|9L5 9.2 内部透过率 204 dh\'<|\K 9.3 内部透射率数据 205 fSj5ZsO 9.4 实例 206 Pl06:g2I 9.5 实例2 210 PcMD])Z{G 9.6 圆锥和带宽计算 212 ;W
)Y
OT 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 np^N8$i:n 10 光学薄膜的颜色 216 QD&`^(X1p 10.1 导言 216 ~8Fk(E_ 10.2 色彩 216 qbN
=4 10.3 主波长和纯度 220 LzKj=5'Y 10.4 色相和纯度 221 ./Zk`-OBT 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 LKB$,pR~1l 10.6 色差 226 'W^YM@ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 (UD@q>c 10.8 颜色渲染指数 234 i v38p%Zm 10.9 色差计算 235 qH>d 10.10 参考文献 236 ;%9 |kU 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 3AtGy'NTp 11.1 短脉冲 238 1z4OI6$Af 11.2 群速度 239 Yx%Hs5}8 11.3 群速度色散 241 K&]G3W%V 11.4 啁啾(chirped) 245 N0Lw}@p 11.5 光学薄膜—相变 245 9d659iC 11.6 群延迟和延迟色散 246 Xza(k 11.7 色度色散 246 7hcYD!DS 11.8 色散补偿 249 :6
R\OeH+ 11.9 空间光线偏移 256 9ULQrq$? 11.10 参考文献 258 ,AFu C< 12 公差与误差 260 g}{aZ$sta 12.1 蒙特卡罗模型 260 :J@gmY:C 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 R4cM%l_#W 12.2.1 误差工具 267 c
( C%Hld 12.2.2 灵敏度工具 271 I-*S&SiXjI 12.2.2.1 独立灵敏度 271 83\pZ1>)_ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 &)ChQZA 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 n5NsmVW \x 12.3 参考文献 276 E7UU 13 Runsheet 与Simulator 277 - % h.t+=U 13.1 原理介绍 277 j{A y\n ( 13.2 截止滤光片设计 277 VA_PvL.9 14 光学常数提取 289 .@U@xRu7| 14.1 介绍 289 }<SQ 14.2 电介质薄膜 289 !CT5!5T 14.3 n 和k 的提取工具 295 *vxk@`K~ 14.4 基底的参数提取 302 }2.`N%[ 14.5 金属的参数提取 306 `(V3:F("@ 14.6 不正确的模型 306 *)T^ChD, 14.7 参考文献 311 2r?G6D| 15 反演工程 313 u|TeE\0 15.1 随机性和系统性 313 0&|\N
? 8_ 15.2 常见的系统性问题 314 l<LI7Z]A 15.3 单层膜 314 zP8lN(LA 15.4 多层膜 314
xF'EiX ~ 15.5 含义 319 06Sceq 15.6 反演工程实例 319 ?M9=yA 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 )23H1 15.6.2 反演工程提取折射率 327 )~JHgl 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 #rfiD%c 16.1 光学性质的热致偏移 329 7'V@+5 16.2 应力工具 335 kfY}S 16.3 均匀性误差 339 '8H4shYg 16.3.1 圆锥工具 339 m@v\(rT. 16.3.2 波前问题 341 ~KX/
Ai 16.4 参考文献 343 xy[3u?,&s! 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 SsDmoEeB[ 17.1 引言 345 Vaw+.sG`AP 17.2 操作数 345 ,f'CD{ E 18 如何在Function中编写脚本 351 @,7GaK\ 18.1 简介 351 L+i=VGm0 18.2 什么是脚本? 351 k(G^z 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 f+)L#>Gl? 18.4 基础 352 L48_96 18.4.1 Classes(类别) 352 A[{yCn`tM 18.4.2 对象 352 'yEHI 18.4.3 信息(Messages) 352 #gs`#6 ,' 18.4.4 属性 352 D.u{~ 18.4.5 方法 353 [<yaXQxl 18.4.6 变量声明 353 fxHH;hRfv 18.5 创建对象 354 `e&Suyf4B 18.5.1 创建对象函数 355 L\ "d 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 i3mcx)d@H 18.5.3 丢弃对象 356 +lcbi 18.5.4 总结 356 0znR0%~ 18.6 脚本中的表格 357 Ie#Bkw'* 18.6.1 方法1 357 .|fHy 18.6.2 方法2 357 3~{:`[0Q 18.7 2D Plots in Scripts 358 !F'YDjTot 18.8 3D Plots in Scripts 359 J<h$
wM 18.9 注释 360 E4/Dr}4 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 s*]}QmRpr 18.11 一个更高级的脚本 362 flbd0NB 18.12 <esc>键 364 ~HsJUro 18.13 包含文件 365 nMUw_7Y6 18.14 脚本被优化调用 366 iz PDd{[ 18.15 脚本中的对话框 368 d^
8ZeC# 18.15.1 介绍 368 j6 z^Tt12 18.15.2 消息框-MsgBox 368 c-6?2\]j@ 18.15.3 输入框函数 370 X5$ Iyis 18.15.4 自定义对话框 371 '_FsvHQ 18.15.5 对话框编辑器 371 7[XRd9a5( 18.15.6 控制对话框 377 >}i E( 18.15.7 更高级的对话框 380 `1fY)d^ZS 18.16 Types语句 384 g:8h|w) 18.17 打开文件 385 r[iflBP 18.18 Bags 387 h3
}OX{k 18.13 进一步研究 388 I,vJbvvl! 19 vStack 389 4!no~ $b 19.1 vStack基本原理 389 Iit;F 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ENs&RZ; 19.3 五棱镜 393 @lr ztM 19.4 光束距离 396 )Y{L&A 19.5 误差 399 V {ddr:]4 19.6 二向分色棱镜 399 X\qNG] 19.7 偏振泄漏 404 K1yzD6[eW 19.8 波前误差—相位 405 +VOK%8,p 19.9 其它计算参数 405 -k e's 20 报表生成器 406 BpPy& 20.1 入门 406 )1`0PJoHE 20.2 指令(Instructions) 406 fJ!R6D 20.3 页面布局指令 406 }Oq5tC@$G 20.4 常见的参数图和三维图 407 r52gn(, 20.5 表格中的常见参数 408 n9ej7oj 20.6 迭代指令 408 ]jp6k<KF 20.7 报表模版 408 I:1C8*/ 20.8 开始设计一个报表模版 409 T}v4*O., 21 一个新的project 413 f(y:G^V 21.1 创建一个新Job 414 =MDysb&: 21.2 默认设计 415 d|Lj~x| 21.3 薄膜设计 416 $5%SNzzl 21.4 误差的灵敏度计算 420 G3AesTT| 21.5 显色指数计算 422 .Rs^YZ F 21.6 电场分布 424 ?J> 后记 426 LBDjIpR6 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! N2<!}Eyu
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