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《Essential Macleod中文手册》 l-ct?T_@ WHjUR0NZ 目 录 P@,nA41,j _T2=J+"-Kp ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 2 !At2P2 第1章 介绍 ..........................................................1 pek%08VSEU 第2章 软件安装 ..................................................... 3 ^}:# 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 +"8,Mh 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 'g$(QvGF9 第5章 软件结构 ............................................................... 21 czm&~n6$ 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 q-c=nkN3 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 *e-A6Sh 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 (;q\}u 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 wg0 \_@3 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 |b-]n"}c> 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 nWMmna.5 第12章 优化和综合 ..................................................................120 9nH?l{As 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 *,Za6.= 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 ik!..9aB 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 'JNElXqrv 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 >2]JXLq 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 VY)9|JJCO 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 cZT({uYGL 第19章 功能扩展 .................................................................. 229
F0:A]`| 第20章 运行表单 .................................................................... 251 DSt]{fl`P 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 RB+N
IoQQ| 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 R1& [S/ 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 cIp
D~0\ 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 K^B%/T]d 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 I('Un@hS 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 @DZB9DDR 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 WHlYo5? 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 v{9t]s>B 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 V^\8BVw Ur5FC r Op>%?W8/UF <x&%~6j G 2mX; !}4MN:r 内容简介 ({NAMc* Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 )=-0M9e.{ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 (sQr X{~ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ZKXo-~=> 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 E@P %v{) 59#lU~Kv 目录 `\m*+Bk[5 Preface 1 Bf$_XG3
内容简介 2 v*9<c{a 目录 i KX}Rr7a 1 引言 1 La@
+> 2 光学薄膜基础 2 MdXchO-Lyc 2.1 一般规则 2 O)Y?=G)
2.2 正交入射规则 3 P0$e~=Q^4 2.3 斜入射规则 6 "3<da* D1 2.4 精确计算 7 HU9Sl*/ 2.5 相干性 8 Z*])6=2Q 2.6 参考文献 10 ?_ dIIQ 3 Essential Macleod的快速预览 10 |=EZ1<KzD 4 Essential Macleod的特点 32 H<QT3RF2 4.1 容量和局限性 33 BbRBT@ 4.2 程序在哪里? 33 :Dd$i_3= 4.3 数据文件 35 5r?m&28X 4.4 设计规则 35 XfKo A0 4.5 材料数据库和资料库 37 11,!XD*" 4.5.1材料损失 38 CEC
nq3 4.5.1材料数据库和导入材料 39 \tRG1&{$% 4.5.2 材料库 41 sF7^qrVQP9 4.5.3导出材料数据 43 D)@YI.T 4.6 常用单位 43 /"?HZ% W 4.7 插值和外推法 46 UK{irU|\ 4.8 材料数据的平滑 50 VL[kJi
4.9 更多光学常数模型 54 ru`U' 4.10 文档的一般编辑规则 55 VOr 1 4.11 撤销和重做 56 j+^oz'q 4.12 设计文档 57 8kbY+W%n 4.10.1 公式 58 rLU/W<F8 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ;3
F"TH
4.10.3 沉积密度 59 iA,kX\nK 4.10.4 平行和楔形介质 60 Qjnd6uv{I 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 -kS~xVS| 4.10.4 性能 61 7y`}PMn 4.10.5 保存设计和性能 64 E( h<$w8s 4.10.6 默认设计 64 }/,HM9Ke 4.11 图表 64 RID]pek 4.11.1 合并曲线图 67 5"/J^"!h 4.11.2 自适应绘制 68 :aG#~-Q 4.11.3 动态绘图 68 z`Hy'{1 4.11.4 3D绘图 69 @m?QR(LJ 4.12 导入和导出 73 suH&jE$ x 4.12.1 剪贴板 73 l?iSxqdT 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 5qf
BEPJ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 :iiw3#] 4.13 背景 77 *FfMI 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 U;n*j3wT 4.15 生成Rugate 84 vfNAs>X g" 4.16 参考文献 91 fGv#s
X 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 |8bq>01~ 5.1 Jobs 92 Lw'9 5.2 创建一个新Job(工作) 93 zd_HxYrN 5.3 输入材料 94 KIeT!kmDl 5.4 设计数据文件夹 95 DOz\n|8S 5.5 默认设计 95 m>}8'N) 6 细化和合成 97 {}o>{&X 6.1 优化介绍 97 'u4ezwF; 6.2 细化 (Refinement) 98 ZvGgmLN 6.3 合成 (Synthesis) 100 j,d*?'X 6.4 目标和评价函数 101 +x]9+D& 6.4.1 目标输入 102 `p'Q7m2y/b 6.4.2 目标 103 1shBY@mlq 6.4.3 特殊的评价函数 104 Uu 7dSU 6.5 层锁定和连接 104 1G7b%yPA 6.6 细化技术 104 fZKt%m 6.6.1 单纯形 105 |+U<S~ 6.6.1.1 单纯形参数 106 y{9~&r 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 J4=_w 6.6.2.1 Optimac参数 108 3u>8\|8wz 6.6.3 模拟退火算法 109 $ \*`
}Y 6.6.3.1 模拟退火参数 109 =op%8NJf 6.6.4 共轭梯度 111 D^U:
ih 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 q4UA]+-* 6.6.5 拟牛顿法 112 Gq#~vr 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 !'=15&5@ 6.6.6 针合成 113 |KY EK| 6.6.6.1 针合成参数 114 LwuF0\ 6.6.7 差分进化 114 %~NH0oFO 6.6.8非局部细化 115 J
wm T/ 6.6.8.1非局部细化参数 115 )R_E|@" 6.7 我应该使用哪种技术? 116 >\<*4J$PZ 6.7.1 细化 116 Y`6rEA0 6.7.2 合成 117 i77GE 6.8 参考文献 117 8_H=^a>2 7 导纳图及其他工具 118 6+K_ Z\ 7.1 简介 118 QIB>rQCceo 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 JIO$=+p 7.2.1 四分之一波长规则 119 ~^)^q8 7.2.2 导纳图 120 Q6C-4ja 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 r'BAT3 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ftk%EYT; 7.5 斜入射导纳图 141 ~n!!jM:N 7.6 对称周期 141 rSP_:} 7.7 参考文献 142 [O
", 8 典型的镀膜实例 143 Dbx~n#n G 8.1 单层抗反射薄膜 145 >cL{Ya}Rz 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 Ap\AP{S4 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 rAdacnZV 8.4 W-膜层 148 p3^jGj@ 8.5 V-膜层 149 '[ P}&<ie, 8.6 V-膜层高折射基底 150 !.5),2 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 P5QQpY{<I 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 O(H1 P[ 8.9 四层抗反射薄膜 153 % 0:p)Z0 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 tGcya0RL 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 FZpKFsPx 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 io4A>>W==/ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 o=fgin/E\ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ~:sE:9$z 8.15十五层宽带抗反射膜 159 &ogt2<1W 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 R@T6U:1 8.17 1/4波长堆栈 162 ,je`YEC 8.18 陷波滤波器 163 |f2A89 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 g+zJ? 8.20 褶皱 165 $<)Yyi>6E 8.21 消偏振分光器1 169 E^ h=!RW{ 8.22 消偏振分光器2 171 $<?X7n^ 8.23 消偏振立体分光器 172 pF=g||gS 8.24 消偏振截止滤光片 173 I12KT~z<r 8.25 立体偏振分束器1 174 ZX`J8lZP 8.26 立方偏振分束器2 177 1@sM1WMX 8.27 相位延迟器 178
r@)A
k 8.28 红外截止器 179 q<=:
>? 8.29 21层长波带通滤波器 180 t]_S 8.30 49层长波带通滤波器 181 i&+w _hD 8.31 55层短波带通滤波器 182 v$|mo;6 8.32 47 红外截止器 183 eTE2J~\ 8.33 宽带通滤波器 184 y)J(K*x/$ 8.34 诱导透射滤波器 186 ]Nk!4" 8.35 诱导透射滤波器2 188 OjnJV 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 >X Qv?5 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 +`| *s3M 8.35 增益平坦滤波器 193 p_terD: 8.38 啁啾反射镜 1 196 1-;?0en&0 8.39 啁啾反射镜2 198 zDBD .5R; 8.40 啁啾反射镜3 199 ]= x
1`j 8.41 带保护层的铝膜层 200 Aa(<L$e!` 8.42 增加铝反射率膜 201 |DG@ht 8.43 参考文献 202 0~E 6QhV: 9 多层膜 204 /r$&]C:Fi 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 +$beo2x6 9.2 内部透过率 204 r:.uBc&_ 9.3 内部透射率数据 205 ?s{C// 9.4 实例 206 ?AsDk ~3 9.5 实例2 210 %JoxYy- 9.6 圆锥和带宽计算 212 }N3`gCy9eN 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 0-e 10 光学薄膜的颜色 216 H*!5e0~rR 10.1 导言 216 F$6?t.@J 10.2 色彩 216 ;( KMGir 10.3 主波长和纯度 220 /(6zsq'v| 10.4 色相和纯度 221 wa3F 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 F,Fo}YQX 10.6 色差 226 6&!l'[hU 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 a?<?5 10.8 颜色渲染指数 234 5j[#'3TSU 10.9 色差计算 235 1Kc^m\ 10.10 参考文献 236 pzEABA 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ?eWJa 11.1 短脉冲 238 _`aR_%Gx 11.2 群速度 239 X5E
'*W 11.3 群速度色散 241 (:} <xxl 11.4 啁啾(chirped) 245 Va9q`XbyO 11.5 光学薄膜—相变 245 #MM&BC 11.6 群延迟和延迟色散 246 ,t~sV@ap 11.7 色度色散 246 G,DOBA 11.8 色散补偿 249 !k h{9I>M 11.9 空间光线偏移 256 E%*AXkJ'dZ 11.10 参考文献 258 3q~Fl=|.o 12 公差与误差 260 jU$Y>S>l 12.1 蒙特卡罗模型 260 k:0P+d 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 O)5#Fcp( 12.2.1 误差工具 267 [
-12]3 12.2.2 灵敏度工具 271 xii$e 12.2.2.1 独立灵敏度 271 i[=C_+2 12.2.2.2 灵敏度分布 275 <d!6[,W; 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ZlM_m
>,o 12.3 参考文献 276 2v^lD(' 13 Runsheet 与Simulator 277 Jr?!Mh- 13.1 原理介绍 277 )5i*/I\ 13.2 截止滤光片设计 277 ?'+8[OHiF^ 14 光学常数提取 289 #:W%,$9\P 14.1 介绍 289 x(6vh2#vD 14.2 电介质薄膜 289 /+P5)q
TKL 14.3 n 和k 的提取工具 295 3:" &Z6t# 14.4 基底的参数提取 302 ;Uk!jQh 14.5 金属的参数提取 306 qhxC 5f4Z 14.6 不正确的模型 306 44Qk;8* 14.7 参考文献 311 ~^7 15 反演工程 313 *R!]47Y d 15.1 随机性和系统性 313 9Z9l:}bO 15.2 常见的系统性问题 314 K{FhT9R' 15.3 单层膜 314 kknhthJ 15.4 多层膜 314 NEg>lIu<~ 15.5 含义 319 x vJ^@w' 15.6 反演工程实例 319 ylim/`u}6 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 P' FKk< 15.6.2 反演工程提取折射率 327 GiqBzV3" 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 @Y NGxg~*g 16.1 光学性质的热致偏移 329 kpT>G$s~gy 16.2 应力工具 335 <[5#c*A 16.3 均匀性误差 339 -#Jj-t_Fe 16.3.1 圆锥工具 339 <|Iyt[s 16.3.2 波前问题 341 UFk!dK+ 16.4 参考文献 343 p\ok_*b 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 JP_kQ 17.1 引言 345 M/)B" q 17.2 操作数 345 f~v"zT 18 如何在Function中编写脚本 351 TRCI\ 18.1 简介 351 j #es2; 18.2 什么是脚本? 351 Y`=z.D{ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 2b~
HHVruX 18.4 基础 352 ywe5tU 18.4.1 Classes(类别) 352 7A[Ogro 18.4.2 对象 352 @dl<- 18.4.3 信息(Messages) 352 vhNohCt 18.4.4 属性 352 s/PhXf\MN 18.4.5 方法 353
BUV/twU) 18.4.6 变量声明 353 mR!rn^<l 18.5 创建对象 354 }2mI*"%)\u 18.5.1 创建对象函数 355 [^Q&suy 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 $&Ac5Zo%} 18.5.3 丢弃对象 356 Bj+wayMi 18.5.4 总结 356 79a9L{gso 18.6 脚本中的表格 357 g X8**g' 18.6.1 方法1 357 Yim#Pq&_ 18.6.2 方法2 357 8}9Ob~on
18.7 2D Plots in Scripts 358 [Q=4P*G}X 18.8 3D Plots in Scripts 359 `L;OY 4 18.9 注释 360 M(NH9EE 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 2\,e 18.11 一个更高级的脚本 362 h%/ssB 18.12 <esc>键 364 -2z,cj&E{ 18.13 包含文件 365 ` )]lUvR 18.14 脚本被优化调用 366 .h a`)@MsZ 18.15 脚本中的对话框 368 a.1`\$]d 18.15.1 介绍 368 4"z;CGE7 18.15.2 消息框-MsgBox 368 =}"R5 18.15.3 输入框函数 370 E"ZEo9y@^ 18.15.4 自定义对话框 371 Jtext%"eNg 18.15.5 对话框编辑器 371 s v6INe: 18.15.6 控制对话框 377 {dDq*sLf 18.15.7 更高级的对话框 380 /jvOXS\M 18.16 Types语句 384 y3Y2QC( 18.17 打开文件 385 # UjEY9"M 18.18 Bags 387 \y@ eBW 18.13 进一步研究 388 SC]6F* 19 vStack 389 ?${V{=)*X' 19.1 vStack基本原理 389 4YBf ~Pp 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 iq,ah"L 19.3 五棱镜 393 aQxe) 19.4 光束距离 396 <Ak:8&$O 19.5 误差 399 &bn*p.=G 19.6 二向分色棱镜 399 zv`zsqDJ 19.7 偏振泄漏 404 FzA{UO 19.8 波前误差—相位 405 V;P1nL4L 19.9 其它计算参数 405 W3"vTZJF 20 报表生成器 406 PVZEB 20.1 入门 406 _dJp
3D 20.2 指令(Instructions) 406 8u/3?Kc 20.3 页面布局指令 406 s87 a% 20.4 常见的参数图和三维图 407 gYRqqV 20.5 表格中的常见参数 408 =z+-l5Gu" 20.6 迭代指令 408 i'U,S`L6> 20.7 报表模版 408 fmtuFr^a1 20.8 开始设计一个报表模版 409 tsB.oDMP 21 一个新的project 413 Z4=_k{* 21.1 创建一个新Job 414 tP&{ J^G 21.2 默认设计 415 gv`%Z8u( 21.3 薄膜设计 416 }R4(B2vup 21.4 误差的灵敏度计算 420 #W_i{bdO 21.5 显色指数计算 422 FpwlV}: 21.6 电场分布 424 ^ b=5 6~[ 后记 426 oZ?IR#^ 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! ?SHc}iaU#
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