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《Essential Macleod中文手册》 S_`W@cp[ jw%fN!? 目 录 Hu[8HzJo R
A*(|n> ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 4p*?7g_WVH 第1章 介绍 ..........................................................1 a"MTQFm' 第2章 软件安装 ..................................................... 3 Cb+P7[X- 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 cF-Jc}h 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 b;SFI^
第5章 软件结构 ............................................................... 21 [>Ikitow 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 p<<6}3~ 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 K
lPm= 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 ?<-wHj) 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 2K5}3<KD/ 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 p!. / 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 mxtlr) 第12章 优化和综合 ..................................................................120 Jv-zB]3& 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 JkRGt Yq 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 7)g;Wd+H 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 n5/ZJur 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 DX]z=d)tc 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 PEMxoe<+ 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 3 (Gygq# 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 x(exx
)w 第20章 运行表单 .................................................................... 251 k9.u[y. 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 JDIz28 Ww 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 wY."Lw> 6 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 d#x8O4S%i2 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 (or =f` 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 Y j,9V], 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 {jq^hM!TEy 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 B3ohHxHu 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 #g5't4zqx 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 Zw3hp,P] nS?S6G5h Z&2
&wD Yj|c+&Ng Br_3qJNVP %D%e:se 内容简介 1\"BvFE*E~ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 MVu[gB 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 gDUoc*+h 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 @y&h4^)z 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ;jpw"-J` 3|z;K,`Fw 目录 0B#rqTEKu Preface 1 LNsE7t 内容简介 2 T%z!+/=&^ 目录 i _dH[STT 1 引言 1 'Q^G6'(SaK 2 光学薄膜基础 2 +'{:zN5m 2.1 一般规则 2 S1 R #] 2.2 正交入射规则 3 Lx4H/[$6D 2.3 斜入射规则 6 d1C/u@8^ 2.4 精确计算 7 "N=&4<]I5 2.5 相干性 8 -NI@xJO4(; 2.6 参考文献 10 P17]}F`` 3 Essential Macleod的快速预览 10 K~9 jin 4 Essential Macleod的特点 32 j[Hg] 4.1 容量和局限性 33 8.
~Euz 4.2 程序在哪里? 33 :Kt mSY 4.3 数据文件 35 'RN"yMv7l 4.4 设计规则 35 x&6i@ Jl 4.5 材料数据库和资料库 37 l.Lc]ZpB 4.5.1材料损失 38 \dQ2[Ek 4.5.1材料数据库和导入材料 39 `zV-1)= 4.5.2 材料库 41 u8$~N$L 4.5.3导出材料数据 43 k-t,y|N
4.6 常用单位 43 $[L)f|
l 4.7 插值和外推法 46 N-_| %C-. 4.8 材料数据的平滑 50 U iPVZ@? 4.9 更多光学常数模型 54 ' ]H#0. 4.10 文档的一般编辑规则 55 |<5J 4.11 撤销和重做 56 )gm \e?^ 4.12 设计文档 57 cmC&s'/8`D 4.10.1 公式 58 hPX2 Bp 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 x Ps&CyI 4.10.3 沉积密度 59 ~>wq;T:= 4.10.4 平行和楔形介质 60 $;g%S0:3) 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 !'UsC6Y4 4.10.4 性能 61 ^AC+nko* 4.10.5 保存设计和性能 64 r>D[5B 4.10.6 默认设计 64 v6,
o/3Ex 4.11 图表 64 vb4G_X0S 4.11.1 合并曲线图 67 DrYoC7 4.11.2 自适应绘制 68 ABS
BtH ? 4.11.3 动态绘图 68 yO69p 4.11.4 3D绘图 69 8~XI7g'5x 4.12 导入和导出 73 2* cKFv{ 4.12.1 剪贴板 73 8Gzs 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 [~rk` 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ,L;c{[*rh 4.13 背景 77 #v]aT
]} 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ,J4a~fPf 4.15 生成Rugate 84 }F9?*2\/ 4.16 参考文献 91 EJiF_ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 Fb`7aFIf 5.1 Jobs 92 [&k& $04_ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 d+wNGN 5.3 输入材料 94 . KSr@Gz 5.4 设计数据文件夹 95 3 %{'Uh, 5.5 默认设计 95 eWt>^]H~ 6 细化和合成 97 s(DaPhL6Qm 6.1 优化介绍 97 H'(o}cn7~ 6.2 细化 (Refinement) 98 1=cfk# 6.3 合成 (Synthesis) 100 z 4OR
UQ 6.4 目标和评价函数 101 7G #e~,M5 6.4.1 目标输入 102 97@?QI} 6.4.2 目标 103 [8(9.6f 6.4.3 特殊的评价函数 104 R^w >aZoJ 6.5 层锁定和连接 104 ,)\5O0 D6 6.6 细化技术 104 /Gu2@m[r 6.6.1 单纯形 105 B7^n30+L 6.6.1.1 单纯形参数 106 u\\niCNA 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 jjlCi<9CQ^ 6.6.2.1 Optimac参数 108 ROiX=i 6.6.3 模拟退火算法 109 70l;**"4 6.6.3.1 模拟退火参数 109 7=[O6<+o 6.6.4 共轭梯度 111 */m~m? 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 / o3FK 6.6.5 拟牛顿法 112 t~=@r9`S
6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Hr.JZ>~< 6.6.6 针合成 113 tfU3 6PR 6.6.6.1 针合成参数 114 6xQe!d3>s3 6.6.7 差分进化 114 pzp"NKxi 6.6.8非局部细化 115 ^)K[1]"uM 6.6.8.1非局部细化参数 115 ?^A:~" ~ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 AZ@Zo' 6.7.1 细化 116 pt;Sk?-1 6.7.2 合成 117 ]m,p3 6.8 参考文献 117 g KY
,G 7 导纳图及其他工具 118 z.F+$6 7.1 简介 118 SNV+.xN 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 SYhspB 7.2.1 四分之一波长规则 119 $ }bC$?^ 7.2.2 导纳图 120 OX`GN#yl 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 PX{~! j%n 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 n\NDi22 7.5 斜入射导纳图 141 `v+O5 7.6 对称周期 141 dD2e"OIX 7.7 参考文献 142 {Ao^3vB 8 典型的镀膜实例 143 ?At-
8.1 单层抗反射薄膜 145 ,#FH8%Yf 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 hA19:H=7R0 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
vX )Y%I 8.4 W-膜层 148 #6Ph"\G/ 8.5 V-膜层 149 X-^Oz@.> 8.6 V-膜层高折射基底 150 ^mb*w)-p? 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 uy%PTi+A 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 B_G7F[/K 8.9 四层抗反射薄膜 153 9 W
r(w 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 nff ]Y$FB 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 GM92yi!8 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 +f~3FXM 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 *qOCo_=P8 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 n8ya$bc 8.15十五层宽带抗反射膜 159 yc}t(*A5 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Q%h
o[KU 8.17 1/4波长堆栈 162 +Rd{ ?)2~ 8.18 陷波滤波器 163 U}h
|Zk 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 N8Q{4c 8.20 褶皱 165 /1GZN *I 8.21 消偏振分光器1 169 <]`2H}*U' 8.22 消偏振分光器2 171 vDb}CQ\ 8.23 消偏振立体分光器 172 cHd39H9 8.24 消偏振截止滤光片 173 ! (tJZ5 8.25 立体偏振分束器1 174 `215Llzk; 8.26 立方偏振分束器2 177 2UJ0%k 8.27 相位延迟器 178 id9T[^h 8.28 红外截止器 179
'Z}$V* 8.29 21层长波带通滤波器 180 ? +!?$h 8.30 49层长波带通滤波器 181 lO@Ba;x 8.31 55层短波带通滤波器 182 "61n?Z#,M[ 8.32 47 红外截止器 183 #&gy@!a~ 8.33 宽带通滤波器 184 L zy|<:K+$ 8.34 诱导透射滤波器 186 6g&nnA 8.35 诱导透射滤波器2 188 Q&;qFv5-l 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 3xY]Lqwv 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 S-dV 8.35 增益平坦滤波器 193 sP8B?Tn1W 8.38 啁啾反射镜 1 196 7 {<lH%Tn 8.39 啁啾反射镜2 198 7 4UE-H) 8.40 啁啾反射镜3 199 JC3)G/m(03 8.41 带保护层的铝膜层 200 ] lTfi0}g_ 8.42 增加铝反射率膜 201 1(a\$Di 8.43 参考文献 202 q>Y[.c- 9 多层膜 204 -|mRJVl8 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ShxX[k 9.2 内部透过率 204 &*-2k-16 9.3 内部透射率数据 205 )2hoO_l: 9.4 实例 206 =Q/i<u 9.5 实例2 210 - d6> 9.6 圆锥和带宽计算 212 Reo0ZU> 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 548BM^^"r 10 光学薄膜的颜色 216 85]UrwlA4 10.1 导言 216 @x4Dt&:" 10.2 色彩 216 2
{0VyLx 10.3 主波长和纯度 220 c9
c Nlp 10.4 色相和纯度 221 VVOt%d 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 nrS_t
y 10.6 色差 226 a#=-Aj- 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 Uk4">]oct 10.8 颜色渲染指数 234 @TDcj~oR? 10.9 色差计算 235 =uTV\) 10.10 参考文献 236 1C{n\_hR 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 pj6Cvq4bD 11.1 短脉冲 238 Qa+gtGtJ 11.2 群速度 239 =%`" 11.3 群速度色散 241 on$a]zx'@ 11.4 啁啾(chirped) 245 7\lb+^$ 11.5 光学薄膜—相变 245 C~*m&,@TT^ 11.6 群延迟和延迟色散 246 .}wir, 11.7 色度色散 246 Wi<Fkzj 11.8 色散补偿 249 g<Xwk2_=g 11.9 空间光线偏移 256 g(^l>niF: 11.10 参考文献 258 /jAs`"U 12 公差与误差 260 5[k35c{ 12.1 蒙特卡罗模型 260 ?9cy5z[ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 >%,tyJ~ 12.2.1 误差工具 267 J^cDa|j 12.2.2 灵敏度工具 271 TPuzL(ws 12.2.2.1 独立灵敏度 271 I5,Fh> 12.2.2.2 灵敏度分布 275 FqfeH_-U 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 )g9qkQ 8q 12.3 参考文献 276
D6pk!mS 13 Runsheet 与Simulator 277 @U5o;X!qU 13.1 原理介绍 277 Qd&j~cG@ 13.2 截止滤光片设计 277 TEtZPGFl 14 光学常数提取 289 S6
*dp68 14.1 介绍 289 Rx.0P6s 14.2 电介质薄膜 289 6gXc-}dp 14.3 n 和k 的提取工具 295 )C[8#Q-: 14.4 基底的参数提取 302 wpdT " 14.5 金属的参数提取 306 `4MPXfoBL 14.6 不正确的模型 306 9viC3bj. o 14.7 参考文献 311 (;N_lF0 15 反演工程 313 >8Y >B) 15.1 随机性和系统性 313 D? ($R9t 15.2 常见的系统性问题 314 (iFhn*/
E 15.3 单层膜 314 qM)^]2_- 15.4 多层膜 314 -c
tZ9+LL 15.5 含义 319 d{&z^ 15.6 反演工程实例 319 P<1zXs.H 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 :n=+$Dq 15.6.2 反演工程提取折射率 327 Kfh"XpWc$ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 uB
BE!w_ 16.1 光学性质的热致偏移 329 4{TUoI6ii 16.2 应力工具 335 IaB
A 2 16.3 均匀性误差 339 B^
h!F8DC 16.3.1 圆锥工具 339 W$W7U|Z9y+ 16.3.2 波前问题 341 VCI G+Gz 16.4 参考文献 343 [M.Vu 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 N^)OlH 17.1 引言 345 <q|19fH-5 17.2 操作数 345 uAP|ASH9T 18 如何在Function中编写脚本 351 ][Kj^7/ 18.1 简介 351 R[b?kT-% 18.2 什么是脚本? 351 L(L;z'3y 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 L_(|5#IDw 18.4 基础 352 \*7Tj-# 18.4.1 Classes(类别) 352 I'";
18.4.2 对象 352 .._wTOSq 18.4.3 信息(Messages) 352 %}@^[E) 18.4.4 属性 352 CzgLgh;:T 18.4.5 方法 353 \6o
~ i 18.4.6 变量声明 353 S}>rsg! 18.5 创建对象 354 plca` 18.5.1 创建对象函数 355 QS[%`-dR2 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 g$ h!:wW 18.5.3 丢弃对象 356 b|EZ;,i 18.5.4 总结 356 {x+jFj. 18.6 脚本中的表格 357 B=f{`rM)~W 18.6.1 方法1 357 `'~|DG}a 18.6.2 方法2 357 VGSe<6Hh 18.7 2D Plots in Scripts 358 _M?:N:e 18.8 3D Plots in Scripts 359 &{$\]sv 18.9 注释 360 2`;
0y M 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 pl%ag~i5 18.11 一个更高级的脚本 362 B;EdLs} 18.12 <esc>键 364 2a{eJ89f 18.13 包含文件 365 nD!^0? 18.14 脚本被优化调用 366 QDU^yVa_ 18.15 脚本中的对话框 368 rHMsA|xz6 18.15.1 介绍 368 BQm H9g|2 18.15.2 消息框-MsgBox 368 j0Q;OKu 18.15.3 输入框函数 370 |
#,b1|af 18.15.4 自定义对话框 371 B!,})F$x 18.15.5 对话框编辑器 371 rVkHo*Q 18.15.6 控制对话框 377 !=ZbBUJF 18.15.7 更高级的对话框 380 aFLm, 18.16 Types语句 384 ~q<UE\H 18.17 打开文件 385
djk 18.18 Bags 387 2rA`y8g(L 18.13 进一步研究 388 `A#r6+ 19 vStack 389 l?ofr*U&-x 19.1 vStack基本原理 389 )+{'p0 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 /0 zk &g 19.3 五棱镜 393 {1FYHM^ 19.4 光束距离 396 7.]ZD`"Bb 19.5 误差 399 7-)Y\D 19.6 二向分色棱镜 399 |[gnWNdR$M 19.7 偏振泄漏 404 AE@*#47 19.8 波前误差—相位 405 0%vXPlfnY 19.9 其它计算参数 405 Nj?,'?'O} 20 报表生成器 406 #bnFR 20.1 入门 406 /<GygRs 20.2 指令(Instructions) 406 __)9JF 20.3 页面布局指令 406 4rv3D@E 20.4 常见的参数图和三维图 407 .a$][Jny 20.5 表格中的常见参数 408 *8Gx_$t& 20.6 迭代指令 408 KVJiCdg- 20.7 报表模版 408 dq[CT 20.8 开始设计一个报表模版 409 6zyozJA 21 一个新的project 413 HZR~r:_
i 21.1 创建一个新Job 414 0LxA+ 21.2 默认设计 415 2OEOb,` 21.3 薄膜设计 416 R7+k=DI 21.4 误差的灵敏度计算 420 }nuhLt1 21.5 显色指数计算 422 o <sX6a9e 21.6 电场分布 424 lv,<[Hw1 后记 426 &AC-?R|Dp 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! %T!UEl`v
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