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《Essential Macleod中文手册》 sycAAmH< +x2JC' -H 目 录 fp [gKRSF -ZaeX]^&Q\ ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 9nG^_.}| 第1章 介绍 ..........................................................1 {,%&}kd> 第2章 软件安装 ..................................................... 3 FP=B/!g 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 ;XN|dq 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 Af _4Z]F
第5章 软件结构 ............................................................... 21 IXy6Yn9l 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 4m0^
N 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 ,CqWm9 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 /s4~Ij`be 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 `dvg5qQ 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 ,';|CGI cP 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 P{o)Ir8Tt 第12章 优化和综合 ..................................................................120 K0gQr.J53 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 ^FLs_=E 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 2{=]Pf 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 1iF=~@Nz_ 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 p{w- 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 flmQNrC.8 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 .!o]oM
U/ 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 8US#SI'x 第20章 运行表单 .................................................................... 251 njs: 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 ray3gM%JLj 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 h.EI(Ev"GN 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 qZd*'ki< 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 =z'(FP5!0 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 k6bct@7 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 7P<VtS 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 `DYhGk 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 jqaX|)8|$ 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 D;R~!3f./b 3F;C{P! $?56 i4 16L YVvmW D{+@ ,C7B ;\pVc)\4" 内容简介 l 2Sar1~1 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 G0
)[(s 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Hhknjx 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 t.(
`$ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 \ptO4E M/W"M9u 目录 "
aG6u^% Preface 1 }B-$} 内容简介 2 "-&K!Vfs 目录 i u}%OC43 1 引言 1 MH.+pqIv^ 2 光学薄膜基础 2 uRb48Qy2 2.1 一般规则 2 2_wue49-l 2.2 正交入射规则 3 F*KQhH7Gf 2.3 斜入射规则 6 DzpWU8j 2.4 精确计算 7 0b{jox\!B 2.5 相干性 8 Jw]!x1rF~ 2.6 参考文献 10 !,`'VQw$ 3 Essential Macleod的快速预览 10 A$@;Q5/2 4 Essential Macleod的特点 32 cpOt?XYR~ 4.1 容量和局限性 33 u !BU^@ P 4.2 程序在哪里? 33 Y+"1'W 4.3 数据文件 35 G=cRdiy`C 4.4 设计规则 35 x {NBhq(4 4.5 材料数据库和资料库 37 PLz{EQ[cV 4.5.1材料损失 38 hQ|mow@Zmz 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Ic0Sb7c 4.5.2 材料库 41 %tVU Rj 4.5.3导出材料数据 43 +
+L7*1t 4.6 常用单位 43 "&={E{pQ 4.7 插值和外推法 46 DSLX/uo1 4.8 材料数据的平滑 50 =p;cJ%#2]' 4.9 更多光学常数模型 54 |Y!^E %* 4.10 文档的一般编辑规则 55 d ~M; 4.11 撤销和重做 56 )]fiyXA
4.12 设计文档 57 *ak0(yLn) 4.10.1 公式 58 ZD&F ,2v 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 RnH?95n?{ 4.10.3 沉积密度 59 L/u|90)L 4.10.4 平行和楔形介质 60 d#T5=5# 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 No7-fX1B 4.10.4 性能 61 R[m-jUL 4.10.5 保存设计和性能 64 ?$/::uo 4.10.6 默认设计 64 7rdmj[vu 4.11 图表 64 -- %XkO 4.11.1 合并曲线图 67 N*A*\B%{x' 4.11.2 自适应绘制 68 2 ,nhs,FZ 4.11.3 动态绘图 68 $[X][[ 4.11.4 3D绘图 69 )|=1;L 4.12 导入和导出 73 ^|MS2' 4.12.1 剪贴板 73 }n&nuaj 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 (1CP]5W 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 bD,21,*z 4.13 背景 77 +'m9b7+v 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 M]o]D;N~l 4.15 生成Rugate 84 HAH\#WE 4.16 参考文献 91
vGi<" Sn7 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 PY.HZ/#d 5.1 Jobs 92 M5VW1Ns 5.2 创建一个新Job(工作) 93 Hdyl]q-(P 5.3 输入材料 94 $ #!oejLD 5.4 设计数据文件夹 95 5J`w8[; 5.5 默认设计 95 aA?Qr&]M 6 细化和合成 97 ,[
2N3iH 6.1 优化介绍 97 a~yiLq 6.2 细化 (Refinement) 98 3rRIrrYO 6.3 合成 (Synthesis) 100 }C @xl9S " 6.4 目标和评价函数 101 jga;q 6.4.1 目标输入 102 uYeb RCdR 6.4.2 目标 103 .M:&Aj)x16 6.4.3 特殊的评价函数 104 Qy9_tvq
X 6.5 层锁定和连接 104 B9"d7E#wHF 6.6 细化技术 104 4Y?fbb< 6.6.1 单纯形 105 q# j[0,^ $ 6.6.1.1 单纯形参数 106 J0Yb_(w 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 <7y/)b@ 6.6.2.1 Optimac参数 108 gbMA-r:IC 6.6.3 模拟退火算法 109 ;I5P<7VW 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ?*V\
-7jg 6.6.4 共轭梯度 111 1V`-D8-? 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 B\
'rxbH 6.6.5 拟牛顿法 112 d\qszYP[ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 v^eAQoFLhN 6.6.6 针合成 113 Y9mhDznS 6.6.6.1 针合成参数 114 /'8%=$2Kw 6.6.7 差分进化 114 6`2i'flv 6.6.8非局部细化 115 OX.5olb 6.6.8.1非局部细化参数 115 yPmo1|'X>d 6.7 我应该使用哪种技术? 116 \2u7>fU! 6.7.1 细化 116 &</)k|.A6\ 6.7.2 合成 117 `u3kP 6.8 参考文献 117 8T"L'{ggWB 7 导纳图及其他工具 118 qdQ4%,E[ 7.1 简介 118 1o5kP,) 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 O=}w1] 7.2.1 四分之一波长规则 119 C+\z$/q 7.2.2 导纳图 120 ^%*qe5J 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 A23K!a2u& 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 +_ehzo97 7.5 斜入射导纳图 141 Yjo$vQi 7.6 对称周期 141 UK
OhsE 7.7 参考文献 142 T}\>8EEG 8 典型的镀膜实例 143 =0&XdxX 8.1 单层抗反射薄膜 145 ecm+33C 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 BUZ74 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 $Ud9v 4 8.4 W-膜层 148 53/$8= 8.5 V-膜层 149 jA8Bmwt;w 8.6 V-膜层高折射基底 150 mmwc'-jU: 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ;|T|*0vY[ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 Kez0Bka 8.9 四层抗反射薄膜 153 s]yZ<uA 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 euY+jc% 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 w*'DlP<7 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 \aSc2Ml]3n 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 <Y /3U 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 =l2 @'Y Q 8.15十五层宽带抗反射膜 159 )%/ Ni^ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 %D-!<)z 8.17 1/4波长堆栈 162 1V5N)ty 8.18 陷波滤波器 163 }#Up:o]A! 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 E5gt_,j> 8.20 褶皱 165 B$c'^
) 8.21 消偏振分光器1 169 Bph(\=
W 8.22 消偏振分光器2 171 ?`vGpi~ 8.23 消偏振立体分光器 172 D0\*WK$ 8.24 消偏振截止滤光片 173 [)}`w;# 8.25 立体偏振分束器1 174 `0s3to%7 8.26 立方偏振分束器2 177 /W>?p@j+K 8.27 相位延迟器 178 c 9gm% 8.28 红外截止器 179 hRKJKQ@7 8.29 21层长波带通滤波器 180 6I~M8Lo; 8.30 49层长波带通滤波器 181 u YFy4E3 8.31 55层短波带通滤波器 182 X$%[%q8qg 8.32 47 红外截止器 183 .4 NcaMj 8.33 宽带通滤波器 184 b7'A5]X 8.34 诱导透射滤波器 186 @0:Eg 1- 8.35 诱导透射滤波器2 188 EP4?+"Z 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 =sAOWI,8! 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 M$v\7vBgO! 8.35 增益平坦滤波器 193 xE_~.EoB 8.38 啁啾反射镜 1 196 rk+s[Qi~ 8.39 啁啾反射镜2 198 q%s<y+ 8.40 啁啾反射镜3 199 5!i\S[: 8.41 带保护层的铝膜层 200 @B)5Ho 8.42 增加铝反射率膜 201 f U<<GK70 8.43 参考文献 202 abVEi[nP 9 多层膜 204 5[6{o$I 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 L$Xkx03lz> 9.2 内部透过率 204 +IGSOWL
9.3 内部透射率数据 205 NHdNCHhA>- 9.4 实例 206 DBfq9%J _ 9.5 实例2 210 c]ll89`|| 9.6 圆锥和带宽计算 212 zcV~)go6 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 =?M{B1;H 10 光学薄膜的颜色 216 )CH\]>-FO 10.1 导言 216 pcQzvLk 10.2 色彩 216 YFcMU5_F 10.3 主波长和纯度 220 &x.5TDB>% 10.4 色相和纯度 221 9D5v0Qi 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ]<iD'=a 10.6 色差 226 &)Vuh= 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ,=u!hg 10.8 颜色渲染指数 234 uMFV^&ZF 10.9 色差计算 235 IjPtJwW`A 10.10 参考文献 236 *6(/5V 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 #3C]" 11.1 短脉冲 238 27JZwlzZ 11.2 群速度 239 RLVz "= 11.3 群速度色散 241 {f6~Vwf 11.4 啁啾(chirped) 245 -!j5j:RR 11.5 光学薄膜—相变 245 5'rP-z~
u 11.6 群延迟和延迟色散 246 (Kkqyrb 11.7 色度色散 246 zM%2h:*+{ 11.8 色散补偿 249 N@? z&urQi 11.9 空间光线偏移 256 e&pt[W}X%u 11.10 参考文献 258 2G/CN" 12 公差与误差 260 .A6Jj4`- 12.1 蒙特卡罗模型 260 Wh?3vZ^ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 z}$!B.) 12.2.1 误差工具 267 Coe%R(x5 12.2.2 灵敏度工具 271 t] G hONN 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ]1bN cq2I 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ynq^ztBVe 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 /a-OBU 12.3 参考文献 276 CDFX>>N 13 Runsheet 与Simulator 277 #
i|pi'Ij 13.1 原理介绍 277 F$,i_7Z&6 13.2 截止滤光片设计 277 H1ox>sC 14 光学常数提取 289 KFHcHz 14.1 介绍 289 |/RZGC4 14.2 电介质薄膜 289 csv;u' 14.3 n 和k 的提取工具 295 /n 1H;~f] 14.4 基底的参数提取 302 $2v{4WP7G 14.5 金属的参数提取 306 *edhJUT 14.6 不正确的模型 306 JW=P}h 14.7 参考文献 311 Z&Z=24q_ 15 反演工程 313 D7,{p2<2T 15.1 随机性和系统性 313 V%w]HIhq 15.2 常见的系统性问题 314 X|pOw," 15.3 单层膜 314 \ci[<CP 15.4 多层膜 314 :&=`xAX- 15.5 含义 319 {r[g.@ 15.6 反演工程实例 319 |("zW7g 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 &n2dL->*# 15.6.2 反演工程提取折射率 327 dj:6c@n 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 m^YYdyn]M 16.1 光学性质的热致偏移 329 5l
/EZ\q 16.2 应力工具 335 oAq<ag\qV 16.3 均匀性误差 339 iJEKLv 16.3.1 圆锥工具 339 "D/\&1.& 16.3.2 波前问题 341 y[~w2a&+ 16.4 参考文献 343 mRD '@n 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 V%'+ ob6 17.1 引言 345 :J;*]o: 17.2 操作数 345 =7%c*O < 18 如何在Function中编写脚本 351 Xp_G9I,+ 18.1 简介 351 MN. $a9m 18.2 什么是脚本? 351 Jbqm?Fy4X 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 [f@[gE 18.4 基础 352 #BwkbOgr 18.4.1 Classes(类别) 352 gK>aR ^* 18.4.2 对象 352 k|F TT 18.4.3 信息(Messages) 352 \~@a/J 18.4.4 属性 352 &-M}:' 18.4.5 方法 353 lX|d:HFtP 18.4.6 变量声明 353 : x@j)& 18.5 创建对象 354 Jhr3[A 18.5.1 创建对象函数 355 \6c8Lqa 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 3Ay<2v 18.5.3 丢弃对象 356 ]='zY3 18.5.4 总结 356 )2y#
cM* 18.6 脚本中的表格 357 .0u@PcE:O 18.6.1 方法1 357 =S}SZYwl 18.6.2 方法2 357 /.%AE|0+X 18.7 2D Plots in Scripts 358 J^<}fRw 18.8 3D Plots in Scripts 359 yM*f}S/
( 18.9 注释 360 -_"6jU 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 je^=g nq 18.11 一个更高级的脚本 362 "1%YtV5R{ 18.12 <esc>键 364 pv ;ZR 18.13 包含文件 365 T9O3$1eqfo 18.14 脚本被优化调用 366 o[E|xw 18.15 脚本中的对话框 368 &Uu8wFbIJ 18.15.1 介绍 368 K&>+<bJ_ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 1;N5@0%p 18.15.3 输入框函数 370 =^S1+B
MY- 18.15.4 自定义对话框 371 O7D61~G] 18.15.5 对话框编辑器 371 z ,q1TU9 18.15.6 控制对话框 377 Ij9ezNZT= 18.15.7 更高级的对话框 380 "YePd*W 18.16 Types语句 384 Yl0_?.1 z 18.17 打开文件 385 b1ma(8{{{ 18.18 Bags 387 eg
Zb)pP 18.13 进一步研究 388 f{eMh47 NC 19 vStack 389 o!>h
Q#h 19.1 vStack基本原理 389 /r@~"Rx ' 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 y?@(%PTp 19.3 五棱镜 393 P\2UIAPa\b 19.4 光束距离 396 TuX9:Q 19.5 误差 399 :B"Y3~I 19.6 二向分色棱镜 399 Fl0 :Z 19.7 偏振泄漏 404 <maYS2 19.8 波前误差—相位 405 Tkf
JC|6 19.9 其它计算参数 405 :FqHMN 20 报表生成器 406 v3/l=e?u 20.1 入门 406 *wD| eK7 20.2 指令(Instructions) 406 UUaC@Rs2 20.3 页面布局指令 406 oVYW'~OID 20.4 常见的参数图和三维图 407 =UMqa;\K 20.5 表格中的常见参数 408 # 8fq6z|JZ 20.6 迭代指令 408 WXX)_L$2 20.7 报表模版 408 sbV
{RSl 20.8 开始设计一个报表模版 409 rwSmdJ~ 21 一个新的project 413 aokV'6 21.1 创建一个新Job 414 40)Ti 21.2 默认设计 415 %AnqT|\#, 21.3 薄膜设计 416 yTwtGo& 21.4 误差的灵敏度计算 420 {Jn*{5tZ> 21.5 显色指数计算 422 HHcWyu 21.6 电场分布 424 N!iugGL 后记 426 @_4E^KgF 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! 7r,h[9~e
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