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《Essential Macleod中文手册》 g0QYBrp PYNY1|3 目 录 N/#x @+
T33X)h% ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 Myn51pczl 第1章 介绍 ..........................................................1 ;P}007; 第2章 软件安装 ..................................................... 3 }Q9+krrow 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 kZ6:=l 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 !]fSS)\H 第5章 软件结构 ............................................................... 21 eu]qgtg~U 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 YuHXm3[ 第7章 设计窗口 .................................................................. 62
KR R)pT 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 GbQg(%2F 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 *Jt+-ZM 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 f6\4,() 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 pI.8Ip_r 第12章 优化和综合 ..................................................................120 o*E32#l 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 !M)] 1Y 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 Z:<wB#G 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 -glGOTk 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 S|KUh|=Q 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 2[1t
)EW 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 uK#2vgT 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 p Djt\R<f 第20章 运行表单 .................................................................... 251 +~:OUR*> 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 XL; WU8> 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 B+jh|@- 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 B>S>t5$ 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 eHIcfp@& 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 +BhJske 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307
JJs*2y 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 B\aVE|~PB 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 ?|Z~mE 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 g-ZXj4Ph! {,(iL8,^ q<^MC/] ]Nssn\X7 C7AD1rl iv],:|Mbd 内容简介 j0Cj&x%qF} Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Brd9"M|d 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 z TPNQ0=| 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 C CLc,r>) 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 OTAe#]# 6kAGOjO 目录 WjSu4 Preface 1 l&kZ6lZ 内容简介 2 [#G*GAa6* 目录 i $-jj%kS 1 引言 1 AOwmPHEL 2 光学薄膜基础 2 O'@[f{ 2.1 一般规则 2 XWNo)#_3 2.2 正交入射规则 3 RE D@|[Qh 2.3 斜入射规则 6 `|v/qk7
^? 2.4 精确计算 7
}J-e:FUF# 2.5 相干性 8 8^_e>q*W 2.6 参考文献 10 Lm<WT*@ 3 Essential Macleod的快速预览 10 C9""sVs 4 Essential Macleod的特点 32 f+1'Ah0'E 4.1 容量和局限性 33 vl+bc[ i~ 4.2 程序在哪里? 33 5'V-Ly)*% 4.3 数据文件 35 f<|*^+ 4.4 设计规则 35 ^K4?uABc 4.5 材料数据库和资料库 37 9d( M%F 4.5.1材料损失 38 XIdC1%pr; 4.5.1材料数据库和导入材料 39 tJ8:S@E3, 4.5.2 材料库 41 gq4X(rsyD 4.5.3导出材料数据 43 to1r
88X 4.6 常用单位 43 s%>8y\MaK 4.7 插值和外推法 46 8TU(5:xJo 4.8 材料数据的平滑 50 p8?"} 4.9 更多光学常数模型 54 =8rNOi 4.10 文档的一般编辑规则 55 Tdz#,]Q 4.11 撤销和重做 56 KDV.ZSF7 4.12 设计文档 57 wuk\__f4 4.10.1 公式 58 -okq=9 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 K_:2sDCaN 4.10.3 沉积密度 59 T5I#7LN# 4.10.4 平行和楔形介质 60 5Fj9.K~k 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 4%_xTo 4.10.4 性能 61 vM$hCV~N 4.10.5 保存设计和性能 64 agkKm?xIL 4.10.6 默认设计 64 6R$Yh0% 4.11 图表 64 F?cwIE\J 4.11.1 合并曲线图 67 rO{?.#~ 4.11.2 自适应绘制 68 $"MVr5q6 4.11.3 动态绘图 68 wf\7sz 4.11.4 3D绘图 69 D:z_FNN 4.12 导入和导出 73 ]|=`-)AP3 4.12.1 剪贴板 73 7fS NF7/+ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 mI:^lp 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 #N~1Ye 4.13 背景 77 qHo Hh 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 @0C[o9 4.15 生成Rugate 84 QP%Hwt]+ 4.16 参考文献 91 9Nx%Sdu 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 AGjjhbGB 5.1 Jobs 92 ,w9|?%S 5.2 创建一个新Job(工作) 93 BSJS4+,E 5.3 输入材料 94 -AolW+Y 5.4 设计数据文件夹 95 C+%eT&OO 5.5 默认设计 95 @,c`#,F/ 6 细化和合成 97 n6M #Xc'JA 6.1 优化介绍 97 ^K_FGE0ec 6.2 细化 (Refinement) 98 b353+7"| 6.3 合成 (Synthesis) 100 VN\VTSZh?\ 6.4 目标和评价函数 101 v"mZy,u 6.4.1 目标输入 102 "68X+! 6.4.2 目标 103 PX2b(fR8_O 6.4.3 特殊的评价函数 104 #Q-#7|0& 6.5 层锁定和连接 104 @#-\BQ; 6.6 细化技术 104 =YfzB!ld 6.6.1 单纯形 105 'O.f}m SS 6.6.1.1 单纯形参数 106 FZZO-,xa 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 9vwm
RVN 6.6.2.1 Optimac参数 108 ~Lg ;7i1L
6.6.3 模拟退火算法 109 q4G$I?4 6.6.3.1 模拟退火参数 109 d<HO~+9 6.6.4 共轭梯度 111 V}7)>i$A 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 v&d'ABeT 6.6.5 拟牛顿法 112 R?/xH=u> 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 h| `R[ 6.6.6 针合成 113 [u^ fy<jdp 6.6.6.1 针合成参数 114 ka ;=%*7T 6.6.7 差分进化 114 #b:YY^{g_ 6.6.8非局部细化 115 A=Hv}lv 6.6.8.1非局部细化参数 115 ^q0`eS 6.7 我应该使用哪种技术? 116 +xsGa{` 6.7.1 细化 116 %6Vb1?x 6.7.2 合成 117 bmi",UZ:F 6.8 参考文献 117 S#He OPRL 7 导纳图及其他工具 118 7 b( 7.1 简介 118 `L[q`r7 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 wJp1Fl~ 7.2.1 四分之一波长规则 119 fo`R=|L[ 7.2.2 导纳图 120 8bs' Ek{'o 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 pFZ$z?lI 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ja/wI'J< 7.5 斜入射导纳图 141 &5bIM>)v 7.6 对称周期 141 [wiB1{/Ls. 7.7 参考文献 142 "!7Hu7 8 典型的镀膜实例 143 Ea'jAIFPpO 8.1 单层抗反射薄膜 145 GO@<?>K 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 72J=_d>+ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 8 4reyA 8.4 W-膜层 148 4GeN<9~YS 8.5 V-膜层 149 7ncR2-{g 8.6 V-膜层高折射基底 150 4K dYiuz0` 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 1ah,Zth2 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ?EPHq,
E 8.9 四层抗反射薄膜 153 K ;]dZ8 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 {Oq8A.daJ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 -"a(<JC^NI 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ,F`1VpTd8 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 1>Vq<z 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 h&v].l 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Kb;Pd!Q 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 0aI@m 8.17 1/4波长堆栈 162 CR2.kuM0~ 8.18 陷波滤波器 163 ;L#RFdh 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 :oC;.u<*8 8.20 褶皱 165 *zDDi(@vtK 8.21 消偏振分光器1 169 |O'*CCrCL 8.22 消偏振分光器2 171 *n#
=3D 8.23 消偏振立体分光器 172 ad47 42 8.24 消偏振截止滤光片 173 8fBhX,1 8.25 立体偏振分束器1 174 Vm8dX? 8.26 立方偏振分束器2 177 ZqpK}I 8.27 相位延迟器 178 f}4A,%:1 8.28 红外截止器 179 H.C*IL9 8.29 21层长波带通滤波器 180 V?)V2>] 8.30 49层长波带通滤波器 181 w^ofH-R/ 8.31 55层短波带通滤波器 182 4}cxSl]jf! 8.32 47 红外截止器 183 Y8IC4:EO 8.33 宽带通滤波器 184 $UK m[:7 8.34 诱导透射滤波器 186 7r)]9_[( 8.35 诱导透射滤波器2 188 p1i}fGS 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ^;( dF<?'r 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 K"5q387! 8.35 增益平坦滤波器 193 %21 |-B 8.38 啁啾反射镜 1 196 kq?:<!z 8.39 啁啾反射镜2 198 i^Jw`eAmT 8.40 啁啾反射镜3 199 +j+
v(- 8.41 带保护层的铝膜层 200 M6qNh`+HO 8.42 增加铝反射率膜 201 Mw-L?j0o[k 8.43 参考文献 202 ^-mW k?> 9 多层膜 204 iQG]v[$ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 u ysTyzx 9.2 内部透过率 204 #Z
`Tk)u/ 9.3 内部透射率数据 205 f?eq-/U R 9.4 实例 206 #Yp&yi
} 9.5 实例2 210 )\2KDXc 9.6 圆锥和带宽计算 212 F0zaA 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 VYh/URU> 10 光学薄膜的颜色 216 z[R
dM#L 10.1 导言 216 n@"<NKzh 10.2 色彩 216 &2 *
10.3 主波长和纯度 220 0Bkz)4R
10.4 色相和纯度 221 ,WnZ^R/n 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 fl9VokAT 10.6 色差 226 upZc~k!1\ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 D8PC;@m
10.8 颜色渲染指数 234 Bj><0
cNF 10.9 色差计算 235 O\Z!7UQ$ 10.10 参考文献 236 ; !t?* 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
&0|Z FXPd 11.1 短脉冲 238 P_8!Gp 11.2 群速度 239 #DJZ42 11.3 群速度色散 241 O:T
49:R}r 11.4 啁啾(chirped) 245 Z,O-P9jC 11.5 光学薄膜—相变 245 /0|1xHs 11.6 群延迟和延迟色散 246 >t'A1`W 11.7 色度色散 246 +_S0 11.8 色散补偿 249 j;D$qd'J 11.9 空间光线偏移 256 (.YSs 11.10 参考文献 258 <
]+Mdy 12 公差与误差 260 C0Fd< |