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《Essential Macleod中文手册》 qXn%c" 6~ev5SD;f 目 录 K%Vl:2#F Azxy!gDT" ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 IwiR2K 第1章 介绍 ..........................................................1 L*6Tz'Qp 第2章 软件安装 ..................................................... 3 P"cc$lB~ I 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 L ![b f5T 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 %TyR8
% 第5章 软件结构 ............................................................... 21 iL\<G}
I 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 1;i[H[hNY 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 LBk1Qw}- 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 \=?f4*4|/ 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 GE\@mu *pO 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 5lu620o 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 ^D/:[ 第12章 优化和综合 ..................................................................120 7N+No.vR. 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 H^Ik FEVs 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 .36z 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 g|a2z_R 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 s_yY,Z: 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 T_lexX[\ 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 QHUoAa`6v 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 DI'wZySS^ 第20章 运行表单 .................................................................... 251 Vf`n> 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 f`*Ip? V- 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 Mf^ ;('~ 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 X<9jBj/t 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 3(Kj|u 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 lY
yt8H 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 L&+XFntR 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 w^sM,c5d 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 a.L ?J 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 CaX&T2( S\JV96 #(FG+Bk n a])bBn ]i3 2-8% v4kk4}lE 内容简介 %,g6:Zc@ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ?*zRM?* 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Z#IRNFj 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 2u4aCfIx 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 /v7U~i5 O:"gJ4D 目录 ZC'(^liAp Preface 1 a$.(Zl 内容简介 2 }@_F( B 目录 i t5G@M&d4Eo 1 引言 1 }:P/eY 2 光学薄膜基础 2 H.qp~-n 2.1 一般规则 2 tJy6\~ 2.2 正交入射规则 3 \b?z\bC56 2.3 斜入射规则 6 %,Xs[[?i 2.4 精确计算 7 QXqBb$AXi, 2.5 相干性 8 _[zO?Div[ 2.6 参考文献 10 '\Z54$ 3 Essential Macleod的快速预览 10 hJ 4]GA' 4 Essential Macleod的特点 32 B v/]>Z 4.1 容量和局限性 33 23BzD^2a 4.2 程序在哪里? 33 V4ml& D 4.3 数据文件 35 wyeiz7 4.4 设计规则 35 02q]^3 4.5 材料数据库和资料库 37 q$7WZ+Y\ 4.5.1材料损失 38 USy^Y?~; 4.5.1材料数据库和导入材料 39 3yn>9qt 4.5.2 材料库 41 M^DYzJ 4.5.3导出材料数据 43 Wg9q_Ql 4.6 常用单位 43 Eqj&SA 4.7 插值和外推法 46 xH#R_ 4.8 材料数据的平滑 50 ,{MA90! 4.9 更多光学常数模型 54 #Y`GWT1== 4.10 文档的一般编辑规则 55 fx2r\ usX[ 4.11 撤销和重做 56 @U08v_, 4.12 设计文档 57 fl*]ua 4.10.1 公式 58 xhLVLXZ9 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ue@ fry 4.10.3 沉积密度 59 ;2y3i5^k 4.10.4 平行和楔形介质 60 l?LwQmq6 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 (9$z+Zmm? 4.10.4 性能 61 c,-3+b 4.10.5 保存设计和性能 64 gZF-zhnC 4.10.6 默认设计 64 *P]FX-D3 4.11 图表 64 AAUFX/}8P 4.11.1 合并曲线图 67 0+p
<Jc! 4.11.2 自适应绘制 68 60(j[d-$p 4.11.3 动态绘图 68 %H Pwu & 4.11.4 3D绘图 69 Li)rs<IX;m 4.12 导入和导出 73 b7 %Z~ 4.12.1 剪贴板 73 ,\ [R\s 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 .6z8fjttOC 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 KfD=3h= 4.13 背景 77 &g%9$*gmT 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 P Llad\ 4.15 生成Rugate 84 hF|N81T 4.16 参考文献 91 da<B6! 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 2>3#/I9Y 5.1 Jobs 92 y5gTd_- 5.2 创建一个新Job(工作) 93 mDZ/Kp{ 5.3 输入材料 94 5'>DvCp%M 5.4 设计数据文件夹 95 FY1
>{Bn 5.5 默认设计 95 AlF"1X02 6 细化和合成 97 =E?kxf[X 6.1 优化介绍 97 FJxg9!%d 6.2 细化 (Refinement) 98 R"%zmA@o= 6.3 合成 (Synthesis) 100 xe9E</M_ 6.4 目标和评价函数 101 4+Aht]$hC 6.4.1 目标输入 102 !c+,OU[ 6.4.2 目标 103 u*LMpTnn 6.4.3 特殊的评价函数 104 3fA.DK[4[ 6.5 层锁定和连接 104 gD`|N@W$5 6.6 细化技术 104 OI:G~Wg 6.6.1 单纯形 105 #pDWwnP[rt 6.6.1.1 单纯形参数 106 _D<=Yo 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 HoE@t-S 6.6.2.1 Optimac参数 108 2:b3+{\f 6.6.3 模拟退火算法 109 ;$=kfj9 :7 6.6.3.1 模拟退火参数 109 lsJl+%&8 6.6.4 共轭梯度 111 Z',Z7QW7 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 uW4)DT9[5 6.6.5 拟牛顿法 112 dQW=k^X 'U 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 C{Y0}ZrmlF 6.6.6 针合成 113 E<6Fjy 6.6.6.1 针合成参数 114 y~eQVnH5W 6.6.7 差分进化 114 }XHB7, 6.6.8非局部细化 115 R#QOG} 6.6.8.1非局部细化参数 115 s}3g+T\l1w 6.7 我应该使用哪种技术? 116
rvPY 6.7.1 细化 116 ol^uM .k%_ 6.7.2 合成 117 vlW521 6.8 参考文献 117 8<0~j 7 导纳图及其他工具 118 1{%3OG^' 7.1 简介 118 \.!+'2!m 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 :'hc&wk` 7.2.1 四分之一波长规则 119 C=k]g 7.2.2 导纳图 120 `4GEq2% 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 8kn> ? 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 )67pBj 7.5 斜入射导纳图 141 barY13)$U 7.6 对称周期 141 tNk.|} 7.7 参考文献 142 lk/T|0]) 8 典型的镀膜实例 143 ;iB9\p$K) 8.1 单层抗反射薄膜 145 [Q0n-b,Q 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 *yX5g,52-| 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ,oin<K 8.4 W-膜层 148 ,$4f#) 8.5 V-膜层 149 VK)vb.: 8.6 V-膜层高折射基底 150 +)J;4B 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 z8VcV*6 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 <I
5F@pe' 8.9 四层抗反射薄膜 153 yzH(\ x 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 JCe%;U 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 9-B/n0 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 %?sPKOh3N} 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ;*J_V/&? 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 }Mv$Up 8.15十五层宽带抗反射膜 159 | XGj97#M 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 @XJzM]*w& 8.17 1/4波长堆栈 162 =\ek;d0Tqb 8.18 陷波滤波器 163 '?gF9: 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 *(+*tjcWa 8.20 褶皱 165 )G+D6s23 8.21 消偏振分光器1 169 P*
Z1Rs_ 8.22 消偏振分光器2 171 Y|
dw>qO 8.23 消偏振立体分光器 172 `T#Jiq E 8.24 消偏振截止滤光片 173 z<I@SI^> 8.25 立体偏振分束器1 174 r*F^8_YMK 8.26 立方偏振分束器2 177 .`ZuUr 8.27 相位延迟器 178 @r130eLh 8.28 红外截止器 179 #qnK nxD 8.29 21层长波带通滤波器 180 7=wPd4
8.30 49层长波带通滤波器 181 p~A6:"8s`= 8.31 55层短波带通滤波器 182 jtH>&O 8.32 47 红外截止器 183 .EfGL_ 8.33 宽带通滤波器 184 S!Bnz(z 8.34 诱导透射滤波器 186 cVYPPal 8.35 诱导透射滤波器2 188 y$,j'B:;4m 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 }VU7wMk 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 LlF|VR&P. 8.35 增益平坦滤波器 193 &=.SbS 8.38 啁啾反射镜 1 196 F?c:
).g 8.39 啁啾反射镜2 198 Tfytc$aQ 8.40 啁啾反射镜3 199 c,,(s{1 8.41 带保护层的铝膜层 200 SB)Hz8< 8.42 增加铝反射率膜 201 LLV1W0VO=P 8.43 参考文献 202 )b=m|A GX 9 多层膜 204 ~a ]R7X7 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 hfL8]d- 9.2 内部透过率 204 ugy:^U 9.3 内部透射率数据 205 ).i :C(| 9.4 实例 206 m=#< 9.5 实例2 210 95IR.Qfn! 9.6 圆锥和带宽计算 212 rvUJK,oE 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 gyT3[*eh 10 光学薄膜的颜色 216 H1or,>GoO 10.1 导言 216 JTS<n4<a 10.2 色彩 216 KB`">zq$u 10.3 主波长和纯度 220 krSOS WJ 10.4 色相和纯度 221 vO
3-B 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 hmES@^n!_ 10.6 色差 226 5M=
S7B3= 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 Y-
tK 10.8 颜色渲染指数 234 X B[C&3I 10.9 色差计算 235 $.Qu55=z< 10.10 参考文献 236 )uK Tf=; 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 oFDJwOJ'Bj 11.1 短脉冲 238
o%3VE8- 11.2 群速度 239 q +*>T=k 11.3 群速度色散 241 ~|R/w%*C 11.4 啁啾(chirped) 245 Aw,#oG {N 11.5 光学薄膜—相变 245 dMDSyd<( 11.6 群延迟和延迟色散 246 Rap =& 11.7 色度色散 246 E>L_$J -A- 11.8 色散补偿 249 9oA-Swc[ 11.9 空间光线偏移 256 &B@qb?UE1 11.10 参考文献 258
3F\UEpQ 12 公差与误差 260 _>/OqYR_jQ 12.1 蒙特卡罗模型 260 <xaB$}R 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 wrEYbb 12.2.1 误差工具 267 |>Wi5h{6X 12.2.2 灵敏度工具 271 ;_D5]kl` 12.2.2.1 独立灵敏度 271 12 S[m~L% 12.2.2.2 灵敏度分布 275 e=4k|8 G 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 wg{Y6XyH 12.3 参考文献 276 9
:FzSD 13 Runsheet 与Simulator 277 W<OO:B.ty 13.1 原理介绍 277 c
6$n: 13.2 截止滤光片设计 277 InfUH8./t 14 光学常数提取 289 JNSH'9!n6 14.1 介绍 289 nH(Hk%~ 14.2 电介质薄膜 289 fS- 31<? 14.3 n 和k 的提取工具 295 (IIOVv
1J 14.4 基底的参数提取 302 w*qmC<D$A 14.5 金属的参数提取 306 SO}en[()O 14.6 不正确的模型 306 bl-t>aO*.V 14.7 参考文献 311 xO XCCf/ 15 反演工程 313 F<^93a9 15.1 随机性和系统性 313 fH[:S9@ 15.2 常见的系统性问题 314 tX.{+yyU 15.3 单层膜 314 Jm{~H% 15.4 多层膜 314 :rX/ILAr 15.5 含义 319 @V5'+^O 15.6 反演工程实例 319 T7!=KE_z 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 $jKeJn8, 15.6.2 反演工程提取折射率 327 bmu<V1[W 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 +H8;*uZ|k, 16.1 光学性质的热致偏移 329 `Ef&h V 16.2 应力工具 335 Mb[4G>-v= 16.3 均匀性误差 339 D[iIj_CKQ 16.3.1 圆锥工具 339 hR3Pa'/i 16.3.2 波前问题 341 $[-{Mm 16.4 参考文献 343 p!w}hB598 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 +6v;(] y 17.1 引言 345 Y'S9
17.2 操作数 345 l5d>
YTK+5 18 如何在Function中编写脚本 351 vy+9Q5@W 18.1 简介 351 ~*Ir\wE 18.2 什么是脚本? 351 SsF
5+=A 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 V7
dAB,: 18.4 基础 352 J"dp?i 18.4.1 Classes(类别) 352 BA+:}81&<q 18.4.2 对象 352 r]vD] 18.4.3 信息(Messages) 352 G$HLta 18.4.4 属性 352 sw@*N 18.4.5 方法 353 5 cE!'3Y 18.4.6 变量声明 353 r
,,A% 18.5 创建对象 354 &Jw4^ob 18.5.1 创建对象函数 355 MB,P#7| 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 hrr ;=q$ 18.5.3 丢弃对象 356 k^PqB+P! 18.5.4 总结 356 vDAv/l9 18.6 脚本中的表格 357 SY}iU@xo 18.6.1 方法1 357 ,As78^E{ 18.6.2 方法2 357 y|+ltA K 18.7 2D Plots in Scripts 358 @9rmm)TZ 18.8 3D Plots in Scripts 359 N#`aVW'{v2 18.9 注释 360 'D4KaM.d 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 m'%Z53& 18.11 一个更高级的脚本 362 7#R&
OQ 18.12 <esc>键 364 r,4V SyZF\ 18.13 包含文件 365 ?JD\pYg[/ 18.14 脚本被优化调用 366 ;,h*s,i 18.15 脚本中的对话框 368 (u
>:G6K 18.15.1 介绍 368 db!2nImNu\ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 IK6XJsz$J 18.15.3 输入框函数 370 C9}2F{8 18.15.4 自定义对话框 371 {&c%VVZb:Z 18.15.5 对话框编辑器 371 uGQCW\!"4 18.15.6 控制对话框 377 &xqe8!FeA 18.15.7 更高级的对话框 380 xIo7f 18.16 Types语句 384 NOa.K)^k 18.17 打开文件 385 XabrX|B# 18.18 Bags 387 F*d{< 18.13 进一步研究 388 1*x4T%RF$ 19 vStack 389 nWK"i\2#G 19.1 vStack基本原理 389 Xklp6{VH9 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 4[!&L:tR 19.3 五棱镜 393 ~5wCehSb 19.4 光束距离 396 1*r{%6 19.5 误差 399 lm&C!{K 19.6 二向分色棱镜 399 3A} ntA! 19.7 偏振泄漏 404 #V8='qD
19.8 波前误差—相位 405 00G[`a5 19.9 其它计算参数 405 r`cCHZo/V 20 报表生成器 406 ^U_B>0`ch 20.1 入门 406 5hp b=2 20.2 指令(Instructions) 406 U<r<$K 20.3 页面布局指令 406 *k'9 %'< 20.4 常见的参数图和三维图 407 7@Di nA! 20.5 表格中的常见参数 408 T"Q4vk,3*J 20.6 迭代指令 408 DoPm{055J 20.7 报表模版 408 %p2 C5z? 20.8 开始设计一个报表模版 409 3a{QkVeV7 21 一个新的project 413 ]'_z(s} 21.1 创建一个新Job 414 n37( sKG 21.2 默认设计 415 _'AIXez7q 21.3 薄膜设计 416 >CPkL_@VZ= 21.4 误差的灵敏度计算 420 &nn.h@zje 21.5 显色指数计算 422 |<ke>j/6n 21.6 电场分布 424 eS@RA2
后记 426 B>Nxc@=D 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! O|j5ulO}&"
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