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《Essential Macleod中文手册》 Qb)C[5a} 1gmt2>#v% 目 录 z]2]XTmWs zN{K5<7o ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 $ &P>r 第1章 介绍 ..........................................................1 )$`wIp 第2章 软件安装 ..................................................... 3 (tCUlX2 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 HcedE3Rg 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 -T&.kYqnb$ 第5章 软件结构 ............................................................... 21 G!Um,U/g 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 es>W$QKlo 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 05snuNt]- 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 ~BDu$ 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 Mz1G5xcl 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 e"'#\tSG 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 [74F6Qp 第12章 优化和综合 ..................................................................120
qNm$Fx 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 2*N_5&9mE 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 Q>R>R*1.j 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 OvUI@,Ef 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 \mw(cM#: 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 ;b`[&g 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 ^-rfvc 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 \MK*by 第20章 运行表单 .................................................................... 251 F:D
orE 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 #fJ] o_ 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 (`6T&>(4 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 _:X|.W 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 *J+_|_0nlW 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 u~3%bJ] 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 z81esXl 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 {q<03d~9|G 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 ,(.MmP` 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 <L{(Mj%Z _[Vf547vS P ~#>H{ t^[8RhD M.nvB) S a4W` 内容简介 =56T{N Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 +uBLk0/)> 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 q~@]W= 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 UjOB98Du 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 "Tm[t?FMbe ]$p{I)d& 目录 `Pw*_2 Preface 1 F q!fWl 内容简介 2 M:P0m6ie 目录 i }lK3-2Pk 1 引言 1 k^ YO%_ 2 光学薄膜基础 2 dJv!Dts')C 2.1 一般规则 2 4GR!y) 2.2 正交入射规则 3 8/t$d#xHI 2.3 斜入射规则 6 +rIL|c}J 2.4 精确计算 7 1Nu1BLPm 2.5 相干性 8 5OO'v07b 2.6 参考文献 10 @]qBF]6 3 Essential Macleod的快速预览 10 7@6g<"I 4 Essential Macleod的特点 32 2DB7+aZ* 4.1 容量和局限性 33 pGSai& 4.2 程序在哪里? 33 s;1]tD 4.3 数据文件 35 it>r+% 4.4 设计规则 35 A<\JQ 4.5 材料数据库和资料库 37 Hg9CZMko 4.5.1材料损失 38 JT9N!CGZ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Y-'78BJk 4.5.2 材料库 41 * ,v|y6 4.5.3导出材料数据 43 f30Pi1/h=c 4.6 常用单位 43 n!6Z]\8~$ 4.7 插值和外推法 46 be e5 4.8 材料数据的平滑 50 lNv".Y=l 4.9 更多光学常数模型 54 [ >^PRs 4.10 文档的一般编辑规则 55 $5L0.$Tj 4.11 撤销和重做 56 lCF`*DM# 4.12 设计文档 57 1xU3#b&2tC 4.10.1 公式 58 ^'p|!`: 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 +[J/Zw0{ 4.10.3 沉积密度 59 g~BoFc.V2~ 4.10.4 平行和楔形介质 60 Qu<Bu)` 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 aF|d^ 4.10.4 性能 61 <xJ/y|{ 4.10.5 保存设计和性能 64 )HD`O~M> 4.10.6 默认设计 64 M7>(hVEAW' 4.11 图表 64 -`f04_@>d 4.11.1 合并曲线图 67 *_ +7ni 4.11.2 自适应绘制 68 )RYG% 4.11.3 动态绘图 68 $
n,Z 4.11.4 3D绘图 69 <`!PCuR 4.12 导入和导出 73 mR8W]'gl.L 4.12.1 剪贴板 73 ](eN@Xi&@ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 =`Y.=RL+'n 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 q>s-Y| 4.13 背景 77 aZKOY 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 W$qd/'% 4.15 生成Rugate 84 y fSM 4.16 参考文献 91 0F#>CmD 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ES<{4<Kpx 5.1 Jobs 92 5efxEt>U 5.2 创建一个新Job(工作) 93 \V2,pi8'v 5.3 输入材料 94 dY"}\v6 5.4 设计数据文件夹 95 vG^#Sfgtw 5.5 默认设计 95 pPVRsXy 6 细化和合成 97 o{*ay$vA] 6.1 优化介绍 97 *2}O-e 6.2 细化 (Refinement) 98 M[~{Vd 6.3 合成 (Synthesis) 100 `]$?uQ 6.4 目标和评价函数 101 yMLOUUWa8x 6.4.1 目标输入 102 mL~z~w*s 6.4.2 目标 103 8hA^`Y 6.4.3 特殊的评价函数 104 0Q5 93F 6.5 层锁定和连接 104 p.fF}B 6.6 细化技术 104 h{lDxOH* 6.6.1 单纯形 105 WxbsD S; 6.6.1.1 单纯形参数 106 9kKnAf4Z 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Sd IX-k. 6.6.2.1 Optimac参数 108 6zIgQ4Bp24 6.6.3 模拟退火算法 109 1\dn1Hh 6.6.3.1 模拟退火参数 109 6AN)vs} 6.6.4 共轭梯度 111 o2-@o= F 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ^*R(!P^ 6.6.5 拟牛顿法 112 4z:#I; 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Sx]
T/xq 6.6.6 针合成 113 Lc<eRVNd, 6.6.6.1 针合成参数 114 +Ra3bj l 6.6.7 差分进化 114 RA a[t :| 6.6.8非局部细化 115 %;z((3F 6.6.8.1非局部细化参数 115 ~un%4]U 6.7 我应该使用哪种技术? 116 J
NC 6.7.1 细化 116 :f'&z47 6.7.2 合成 117 &"uV~AM 6.8 参考文献 117 1u]P4Gf= 7 导纳图及其他工具 118 K#K\-TR|$ 7.1 简介 118
4ZT A> 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 <Wl(9$ 7.2.1 四分之一波长规则 119 AF4?IH 7.2.2 导纳图 120 K8^kJSF\ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 __p_8P 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 km:nE: | 7.5 斜入射导纳图 141 OySy6IN]q 7.6 对称周期 141 .g\6g~n 7.7 参考文献 142 {bF1\S]2 8 典型的镀膜实例 143
tUE'K.- 8.1 单层抗反射薄膜 145 tPuut\ee 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 )_jSG5k 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 1
[z'G)v 8.4 W-膜层 148 [A~G- 8.5 V-膜层 149 eIPG#A 8.6 V-膜层高折射基底 150 V7=SV:+1or 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 $%c{06Oq( 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ul5|.C 8.9 四层抗反射薄膜 153 m.%`4L^`T 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 Uhh
l3%p 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 XOb}<y)r~ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 N:+
taz- 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 g?/XZ5$a5 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 UWG+#,1J.\ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 00vBpsZj2; 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Yq'4e[i 8.17 1/4波长堆栈 162 s<T?pH 8.18 陷波滤波器 163 h.tY 'F 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 5K56!*Y 8.20 褶皱 165 e`UQz$4! 8.21 消偏振分光器1 169 S;@ay/*~ 8.22 消偏振分光器2 171 >kY p%r6 8.23 消偏振立体分光器 172 RU!?-#* 8.24 消偏振截止滤光片 173 Lue|Plm[y 8.25 立体偏振分束器1 174 fu\s`W6f& 8.26 立方偏振分束器2 177 KI&:9j+M) 8.27 相位延迟器 178 PjqeE,5 8.28 红外截止器 179 }HZ{(? 8.29 21层长波带通滤波器 180 HD # r0) 8.30 49层长波带通滤波器 181 2P~)I)3V 8.31 55层短波带通滤波器 182 hCc0sRp 8.32 47 红外截止器 183 |w)5;uQ&\ 8.33 宽带通滤波器 184 k&s; {|! 8.34 诱导透射滤波器 186 -6E K#!+ 8.35 诱导透射滤波器2 188 [ x> 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 $Tl<V/ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 }Zl"9A#K 8.35 增益平坦滤波器 193 oh}^?p 8.38 啁啾反射镜 1 196 ]EL\)xCr 8.39 啁啾反射镜2 198 v|+5:jFOqb 8.40 啁啾反射镜3 199 ZCiY,;c 8.41 带保护层的铝膜层 200 $iMC/Kym 8.42 增加铝反射率膜 201 o)]FtL:mm 8.43 参考文献 202 WfVMdwz= 9 多层膜 204 Y)p4]>lT+8 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 .|]IwyD
& 9.2 内部透过率 204 zNtq"T [ 9.3 内部透射率数据 205 +l\<? 9.4 实例 206 G%hO\EO 9.5 实例2 210 e@
oWwhpE 9.6 圆锥和带宽计算 212 >!BFt$sd 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 3IyZunFT 10 光学薄膜的颜色 216 o bGWxI%a 10.1 导言 216 T_ ^C#> 10.2 色彩 216 uW[3G 10.3 主波长和纯度 220 ,{<Fz% 10.4 色相和纯度 221 Di.;<v#FL 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 q Z\L 10.6 色差 226 yq*JdTF 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 5#uO'<2$ 10.8 颜色渲染指数 234 T\3 [F%? 10.9 色差计算 235 ,YlQK; 10.10 参考文献 236 do'ORcZ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 s-6:N9- 11.1 短脉冲 238 rWr/ p^~ 11.2 群速度 239 ,f<B}O 11.3 群速度色散 241 (+MC<J/i 11.4 啁啾(chirped) 245 =R9*;6?N 11.5 光学薄膜—相变 245 %cj58zO|y 11.6 群延迟和延迟色散 246 W8*
2;F] 11.7 色度色散 246 Bcaw~WD 11.8 色散补偿 249 5P\N"Yjx' 11.9 空间光线偏移 256 wgZrrq/W| 11.10 参考文献 258 Mo|yv[(K, 12 公差与误差 260 )0|):g 12.1 蒙特卡罗模型 260 $c9=mjwH 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 l\aUresm 12.2.1 误差工具 267 FfXZ|o$; 12.2.2 灵敏度工具 271 ak2dn]]D 12.2.2.1 独立灵敏度 271 csvOg[ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 41'EA\V 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 _80ns&q 12.3 参考文献 276 +S0u=u65 13 Runsheet 与Simulator 277 C1ZyB"{
13.1 原理介绍 277 ZYKd 13.2 截止滤光片设计 277 ?#ihJt, 14 光学常数提取 289 u:5IjOb2^ 14.1 介绍 289 sY^lQN 14.2 电介质薄膜 289 *H*\gaSh 14.3 n 和k 的提取工具 295 A;t
zRe 14.4 基底的参数提取 302 ,RN|d0dE 14.5 金属的参数提取 306 T/Q==Q{W: 14.6 不正确的模型 306 L]>4Nd 14.7 参考文献 311 3{q[q#" 15 反演工程 313 <?4cWp|i 15.1 随机性和系统性 313 Mk "vvk 15.2 常见的系统性问题 314 w`-$-4i 15.3 单层膜 314 }{=8&gA0 15.4 多层膜 314 \CwtX(6. 15.5 含义 319 NxB+? 15.6 反演工程实例 319 "uS7PplyO 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 5%'S 15.6.2 反演工程提取折射率 327 gPp(e
j7 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ?&\h;11T 16.1 光学性质的热致偏移 329 *k[kV 16.2 应力工具 335 *+W6 P.K 16.3 均匀性误差 339 @ AggznA8 16.3.1 圆锥工具 339 $2is3;h 16.3.2 波前问题 341 We\Y \*!v 16.4 参考文献 343 i :EO(` 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 Ff&R0v 17.1 引言 345 t.L4%1OF 17.2 操作数 345 Yg|"- 18 如何在Function中编写脚本 351 g~|y$T 18.1 简介 351
,| <jjq) 18.2 什么是脚本? 351 7y>(H<^> 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 c-`37. J 18.4 基础 352 }M?|,N6 18.4.1 Classes(类别) 352 l\Cu1r-z 18.4.2 对象 352 pd7O`.3 18.4.3 信息(Messages) 352 >*{:l,LH 18.4.4 属性 352 15JsmA*Q 18.4.5 方法 353 H8sK}1. 18.4.6 变量声明 353 k_BSY=$e*D 18.5 创建对象 354 =kF?_K N 18.5.1 创建对象函数 355 Tfr`?:yF 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 W1;=J^<&1 18.5.3 丢弃对象 356 >mew"0Q 18.5.4 总结 356 avVmY|I 18.6 脚本中的表格 357 B#Qpd7E+* 18.6.1 方法1 357 gINwvzW{ 18.6.2 方法2 357 A ^-Z)0: 18.7 2D Plots in Scripts 358 5'62ulwMP= 18.8 3D Plots in Scripts 359 oFb\TiLu 18.9 注释 360 G~`'E&/ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 .@Hmg 18.11 一个更高级的脚本 362 QYH."7X
> 18.12 <esc>键 364 u*U_7Uw$ 18.13 包含文件 365 LH,]vuXh 18.14 脚本被优化调用 366 ,T/GW,? 18.15 脚本中的对话框 368 "2%y~jrDN 18.15.1 介绍 368 r)c+".0d^ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 {[my"n2 18.15.3 输入框函数 370 F68},N>vr@ 18.15.4 自定义对话框 371 F:M/z#:~ 18.15.5 对话框编辑器 371 Z4\tY^NI 18.15.6 控制对话框 377 4bPqmEE 18.15.7 更高级的对话框 380 prqyoCfq 18.16 Types语句 384 7KeXWW/ d 18.17 打开文件 385 4v0dd p 18.18 Bags 387 +jv}\Jt 18.13 进一步研究 388 L,E-z_<p 19 vStack 389 ^M[#^wv, 19.1 vStack基本原理 389 U
7EHBW 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 "IOC[ #&G 19.3 五棱镜 393 a^%8QJW 19.4 光束距离 396 <=$rU232} 19.5 误差 399 ix(U:'{ 19.6 二向分色棱镜 399 ;tXB46 19.7 偏振泄漏 404 K<RmaXZ 19.8 波前误差—相位 405 !?S5IGLOj 19.9 其它计算参数 405 $xLEA\s 20 报表生成器 406 M\9at\$ 20.1 入门 406 5z9JhU 20.2 指令(Instructions) 406 =VCi8jDkP 20.3 页面布局指令 406 _RN/7\ 20.4 常见的参数图和三维图 407 {bW"~_6} 20.5 表格中的常见参数 408 !}z%#$ 20.6 迭代指令 408 A J<iM)l| 20.7 报表模版 408 9 )ACgz&( 20.8 开始设计一个报表模版 409 f:n] Exsy 21 一个新的project 413 <GSQ2bX[ 21.1 创建一个新Job 414 X@i+&Nv"< 21.2 默认设计 415 @QvfN>T 21.3 薄膜设计 416 ],!\IqO 21.4 误差的灵敏度计算 420 m}; ~JMo] 21.5 显色指数计算 422 M|1eqR%x-? 21.6 电场分布 424 t^`<*H 后记 426 ] dW%g? 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! (K^YD K
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