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《Essential Macleod中文手册》 w5&UG/z%l wS:323
!l$ 目 录
YemOP9 J@R+t6$3O ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 @&2T0UB 第1章 介绍 ..........................................................1 "ENgu/A! 第2章 软件安装 ..................................................... 3 Rf8|-G-}# 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 SJy? ^ 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 >iG` 第5章 软件结构 ............................................................... 21 6.By)L 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 QY{f= 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 C6/,-?%) 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 2&=;$2?} 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 : ;d&m 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 "@Te!.~A. 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 |Yk23\! 第12章 优化和综合 ..................................................................120 9MGA#a 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 }K&K{ 9} 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 [F6=JZ 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 i#Wl?(-i 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 v#nFPB=z 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 ff{ESFtD 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 i5)trSM| 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 ;vd%=vR 第20章 运行表单 .................................................................... 251 T!/$@]%\7 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 .j;My%)?p 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 );$~/H4 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 {N
_v4}) 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 2o/AH \=2 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 38 B\ \ 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 ^ ]`<nO 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 X?1 :Z|pJ 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 lffw7T~ 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 m&;
t; K` U\+AE ~v<r\8`OI2 h~F uuL BD9` +9 P=S)V 内容简介 *D|6g|Hb Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 wRLkO/Fw 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 b@5bN\"x$ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 W'6*$Ron 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ){gO b u/k#b2BqL 目录 Q}]Q0'X8 Preface 1 Q&n|tQ*4 内容简介 2 +z9;BPw% 目录 i &jg,8 1 引言 1 y0rT=kU 2 光学薄膜基础 2 bC)<AG@Z\ 2.1 一般规则 2 g]d@X_ &D 2.2 正交入射规则 3 -|V@zSKr3 2.3 斜入射规则 6 v&uIxFCR 2.4 精确计算 7 i?mDR$X: 2.5 相干性 8 SX*os$ 2.6 参考文献 10 SHhg&~B 3 Essential Macleod的快速预览 10 *d(wOl5[ 4 Essential Macleod的特点 32 =Ybbh`$< 4.1 容量和局限性 33 /V3*[ 4.2 程序在哪里? 33 `~*qjA 4.3 数据文件 35 m6g+ B > 4.4 设计规则 35 @.MM- 4.5 材料数据库和资料库 37 lOZ.{0{f, 4.5.1材料损失 38 Tm`QZh3 4.5.1材料数据库和导入材料 39 VEz&TPu 4.5.2 材料库 41 *Z{W,8h*s 4.5.3导出材料数据 43 Ue-HO 4.6 常用单位 43 X'iki4 4.7 插值和外推法 46 sPbtv[bC 4.8 材料数据的平滑 50 cZ o]*Gv. 4.9 更多光学常数模型 54 [S$)^>0 4.10 文档的一般编辑规则 55 (4b&}46 4.11 撤销和重做 56 E{lq@it32p 4.12 设计文档 57 4W^0K|fq 4.10.1 公式 58 oYOf<J 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 GK\'m@k 4.10.3 沉积密度 59 r;S%BFMJS 4.10.4 平行和楔形介质 60 [[TB.'k 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 Sgr<z d'b 4.10.4 性能 61 #<se0CJB 4.10.5 保存设计和性能 64 7b
Gzun& 4.10.6 默认设计 64 l`,`N+FG 4.11 图表 64 ir/ 2/
E 4.11.1 合并曲线图 67 KF7f< 4.11.2 自适应绘制 68 <pi q?:ac 4.11.3 动态绘图 68 HlV3rYh 4.11.4 3D绘图 69 36lIV,YnU 4.12 导入和导出 73 :B"'49Q` 4.12.1 剪贴板 73 `DJIY_{-2 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 R_Eu*Quj 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 8l)l9;4 6 4.13 背景 77 J"[OH,/_ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 hRA.u'M 4.15 生成Rugate 84 B&L{/.v_z\ 4.16 参考文献 91 TcRnjsY$ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 i|=}zR 5.1 Jobs 92 V&GFGds 5.2 创建一个新Job(工作) 93 *~fN^{B'! 5.3 输入材料 94 Up/1c:<J 5.4 设计数据文件夹 95 k&^Megcb 5.5 默认设计 95 -3KB:K< 6 细化和合成 97 4"7Qz z 6.1 优化介绍 97 e {c.4'q 6.2 细化 (Refinement) 98 w*bVBuXs 6.3 合成 (Synthesis) 100 zBc7bbK 6.4 目标和评价函数 101 g"zk14' 6.4.1 目标输入 102 x<= ;=893 6.4.2 目标 103 iUl{_vb 6.4.3 特殊的评价函数 104 MTqbQ69v 6.5 层锁定和连接 104 flb3Iih 6.6 细化技术 104 gg8T],s1!a 6.6.1 单纯形 105 R~c(^.|r 6.6.1.1 单纯形参数 106 H|,{^b@9 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 O4-UVxv} 6.6.2.1 Optimac参数 108 O<%U*:B 6.6.3 模拟退火算法 109 Y}|78|q* 6.6.3.1 模拟退火参数 109 d2(eX\56Z 6.6.4 共轭梯度 111 ]Q,RVEtKp 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ?xeq*<qfI 6.6.5 拟牛顿法 112 OU{PVF={
6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 %%-kUe 6.6.6 针合成 113 SX
FF 6.6.6.1 针合成参数 114 EA8(_} 6.6.7 差分进化 114 =`/X
Wem 6.6.8非局部细化 115 I5 2wTl0
6.6.8.1非局部细化参数 115 sRoZvp5 6.7 我应该使用哪种技术? 116 TyK;
q{ 6.7.1 细化 116 ~I'Z=Wo 6.7.2 合成 117 {0QA+[Yd&! 6.8 参考文献 117 ,e>ugI_;* 7 导纳图及其他工具 118 $G=\i>R. 7.1 简介 118 s:fnOMv
" 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 FyY;F;4P 7.2.1 四分之一波长规则 119 heh!cDK 7.2.2 导纳图 120 VD=$:F] 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 bH,Jddc 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 tB1Qr** 7.5 斜入射导纳图 141 Th!S?{v 7.6 对称周期 141 +ckj]yA; 7.7 参考文献 142 Kfj*#)SZ 8 典型的镀膜实例 143 -7+Fb^"L 8.1 单层抗反射薄膜 145 -<<!eH 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 0 TS:o/{(a 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 .{8lG^0U< 8.4 W-膜层 148 C{>?~@z&5 8.5 V-膜层 149 E+3~w?1 8.6 V-膜层高折射基底 150 GZ4{<QG 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ?2G^6>O` 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 +bQn2PG= 8.9 四层抗反射薄膜 153 *tP,Ol 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 1r.q]^Pq~ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 +SP5+"y@ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 .y'OoDe 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 zR5D)`Ph 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 N;D+]_;0| 8.15十五层宽带抗反射膜 159 W``e6RX- 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 dm.3. xXq 8.17 1/4波长堆栈 162 :Mt/6} 8.18 陷波滤波器 163 |]B]0J#_ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ({i| 8.20 褶皱 165 w'qV~rN~tc 8.21 消偏振分光器1 169 m<076O4|` 8.22 消偏振分光器2 171 f,?7,? x 8.23 消偏振立体分光器 172 pcEB-boI9 8.24 消偏振截止滤光片 173 +B&FZ4' 8.25 立体偏振分束器1 174 %EVg.k$ 8.26 立方偏振分束器2 177 yBr{nFOgdY 8.27 相位延迟器 178 GvVuF S>y 8.28 红外截止器 179 ll5Kd=3 8.29 21层长波带通滤波器 180 ^.<IT" 8.30 49层长波带通滤波器 181 SE/@ li 8.31 55层短波带通滤波器 182 $[1 M2>[ 8.32 47 红外截止器 183 T&0tW"r? 8.33 宽带通滤波器 184 @{$SjR8Q $ 8.34 诱导透射滤波器 186 ',CcL N 8.35 诱导透射滤波器2 188 %ZZ}TUI W 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 .}0Cg2W 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 h7Ma`w\- 8.35 增益平坦滤波器 193 DSIa3!0 8.38 啁啾反射镜 1 196 Lv5AtZl} 8.39 啁啾反射镜2 198 &MKv_ 8.40 啁啾反射镜3 199 , n
EeI& 8.41 带保护层的铝膜层 200 g xLA1]>{ 8.42 增加铝反射率膜 201 f{b"=hQ 8.43 参考文献 202 J}.p6E~j 9 多层膜 204 @%jzVF7 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 qI'a|p4fn? 9.2 内部透过率 204 -'I)2/%g 9.3 内部透射率数据 205 8>epKFEg 9.4 实例 206 }y0UyOa{C 9.5 实例2 210 EM([N*8o
9.6 圆锥和带宽计算 212 ,qr)}s- 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Cf10 ud 10 光学薄膜的颜色 216 ao,LP,_ 10.1 导言 216 zPVA6~|l 10.2 色彩 216 GEvif4 10.3 主波长和纯度 220 2[:`w),. 10.4 色相和纯度 221 #ob">R 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 V&f3>#n\ 10.6 色差 226 Zwq_&cJK 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 I)sCWC:Mq~ 10.8 颜色渲染指数 234 "OWq]q# 10.9 色差计算 235 )qxL@w. 10.10 参考文献 236 gmM79^CEF 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 T[7-3[w<) 11.1 短脉冲 238 7sFjO/a* 11.2 群速度 239 ukPV nk 11.3 群速度色散 241 9EH%[wfv 11.4 啁啾(chirped) 245 .vb*|So 11.5 光学薄膜—相变 245 3|~(9b{+ 11.6 群延迟和延迟色散 246 }2{%V^D)r 11.7 色度色散 246 1ITa6vjS 11.8 色散补偿 249 GCIm_
n 11.9 空间光线偏移 256 'DKP-R" 11.10 参考文献 258 q_I ''L 12 公差与误差 260 9x:c"S* 12.1 蒙特卡罗模型 260 `5gcc7b 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 MbJV)*Q 12.2.1 误差工具 267 muY4:F.C( 12.2.2 灵敏度工具 271 b0
5h, 12.2.2.1 独立灵敏度 271 uL1-@D, 12.2.2.2 灵敏度分布 275 xo]|m\#k5E 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 W"~G]a+ 12.3 参考文献 276 }F\0Bl& 13 Runsheet 与Simulator 277
vk$]$6l2 13.1 原理介绍 277 ++FMkeHZ 13.2 截止滤光片设计 277 Nc]]e+N#V 14 光学常数提取 289 '\\J95*` 14.1 介绍 289 7o;}"Y1 14.2 电介质薄膜 289 udw5A*Ls 14.3 n 和k 的提取工具 295 _jr%s 14.4 基底的参数提取 302 vZk+NS< 14.5 金属的参数提取 306 6>KDK<5NQ 14.6 不正确的模型 306 |KkVt]ZQe9 14.7 参考文献 311 d F), 15 反演工程 313 "Z,'NL>& 15.1 随机性和系统性 313 8_:jPd!3 15.2 常见的系统性问题 314 F+}MW/ra@ 15.3 单层膜 314 92S<TAdPP 15.4 多层膜 314 B`
n!IgF8 15.5 含义 319 (h2bxfV~+ 15.6 反演工程实例 319 2!l)%F` 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 fRq2sK;+ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 F9Mv$g79 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 SB]|y-su 16.1 光学性质的热致偏移 329 A]W`r} 16.2 应力工具 335 Pxl7zz&pl= 16.3 均匀性误差 339 `L0}^|`9 16.3.1 圆锥工具 339 $Y>LUZ)b&8 16.3.2 波前问题 341 y%z$_V] 16.4 参考文献 343 |2^cPnv?G& 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 2#p6.4h= 17.1 引言 345 cn Q(
G$kh 17.2 操作数 345 @m#7E4+ 18 如何在Function中编写脚本 351 A5/Q:8b 18.1 简介 351 6 Rg{^E Rf 18.2 什么是脚本? 351 m~%IHWO' 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 z0doLb^! 18.4 基础 352 F4KXx^~o 18.4.1 Classes(类别) 352 bluhiiATd 18.4.2 对象 352 f%d7?<rw 18.4.3 信息(Messages) 352 Bg Uf:PT 18.4.4 属性 352 uh@ZHef[l 18.4.5 方法 353
jsH7EhF{' 18.4.6 变量声明 353 1VH7z 18.5 创建对象 354 S9U`-\L0 18.5.1 创建对象函数 355 j<e`8ex? 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ^vfp; 18.5.3 丢弃对象 356 0c
/xE<h 18.5.4 总结 356 P^T]U bv" 18.6 脚本中的表格 357 SW#
5px` 18.6.1 方法1 357 l/#;GYB] 18.6.2 方法2 357 gT?:zd=; 18.7 2D Plots in Scripts 358 0%#ZupN 18.8 3D Plots in Scripts 359 6XKiVP;h% 18.9 注释 360 Y{6y.F*Q# 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 :$L^l{gT 18.11 一个更高级的脚本 362 MB%yC]w8 18.12 <esc>键 364 M e_.X_ 18.13 包含文件 365 vYcea 18.14 脚本被优化调用 366 (V!:6 18.15 脚本中的对话框 368 :I[nA?d[& 18.15.1 介绍 368
W0R<^5_ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 .SAOE'Foo 18.15.3 输入框函数 370 s\@RJ[(<
18.15.4 自定义对话框 371 a=]tqV_ 18.15.5 对话框编辑器 371 o]u,<bM$ 18.15.6 控制对话框 377 GHaD32 18.15.7 更高级的对话框 380 l`>|XUf6 18.16 Types语句 384 =c8xg/ 18.17 打开文件 385 h/?$~OD 18.18 Bags 387 bwG$\Oe6 18.13 进一步研究 388 w&8N6gA14 19 vStack 389 o9*}>J<+RQ 19.1 vStack基本原理 389 ^T2o9f 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 62)Qr
19.3 五棱镜 393 aQzx^%B1 19.4 光束距离 396 :qy< G!o 19.5 误差 399 Kg4\:A7Sa. 19.6 二向分色棱镜 399 d< j+a1& 19.7 偏振泄漏 404 "MM)AY*b 19.8 波前误差—相位 405 g3B%}!| 19.9 其它计算参数 405 RrA9@95+ 20 报表生成器 406 w#0/&\b= 20.1 入门 406 |Y"nZK, 20.2 指令(Instructions) 406 5 6w6=Is 20.3 页面布局指令 406 $`;1][OD 20.4 常见的参数图和三维图 407 (qo
?e2K 20.5 表格中的常见参数 408 %dn!$[D@ 20.6 迭代指令 408 ^__';! e 20.7 报表模版 408 qca,a3k 20.8 开始设计一个报表模版 409 &UrPb%=2H 21 一个新的project 413 2zE gAc 21.1 创建一个新Job 414 gV~_m 21.2 默认设计 415 BRSIg] 21.3 薄膜设计 416 \D67J239E 21.4 误差的灵敏度计算 420 5y^I~"_i 21.5 显色指数计算 422 V?t56n Y} 21.6 电场分布 424 )IBvm1 后记 426 9696EQ,I 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! f(S9>c2
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