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《Essential Macleod中文手册》 SgFyv<6>: I6'U[)% 目 录 _~=X/I R LYkW2h`JQ ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析
JTQ$p*2] 第1章 介绍 ..........................................................1 :kflq 第2章 软件安装 ..................................................... 3 {Qg"1+hhM 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 &T}~h^/t 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 .0cm
mpUNq 第5章 软件结构 ............................................................... 21 "f(iQI 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 \qi=Us|= 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 >j_,3{eJ 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 *ukugg. 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 ]f-< s,@ 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 r2qxi' 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 Mfuw y 第12章 优化和综合 ..................................................................120 Bj;Fy9[yb 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 b qEwi[` 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 g
O,X 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 \zR{D}aS 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 6#K1LY5 } 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 ke2'?,f 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 ,X)0+DNsq 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 (p-a;.Twj 第20章 运行表单 .................................................................... 251 uf^"Y3 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 t+W+f 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 8 POrD8B 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 yfnqu4Cn 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 uqnoE;57^ 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 RN]4 Is: 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 ,/C<GFae 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 .&TJSIx$ 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 ="P3TP 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 88$G14aXEk \3hhM}6)DM `QC{}Oo^ 5qGRz"\p~ ^g$k4 1%G<gbHpI 内容简介 PBTGN;y Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 nG1mx/w 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 l&dHH_m3 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Ts:3_4-k 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 MP-A^QT M6jP>fbV* 目录 cH.T6u_% Preface 1 _~d C>`K 内容简介 2 P)XkqOGpT9 目录 i G0^WQQ4 1 引言 1 4~53%=+ 2 光学薄膜基础 2 VTa?y 2.1 一般规则 2 @`t)ly#N 2.2 正交入射规则 3 FZ6.<wN 2.3 斜入射规则 6 eOt T* 2.4 精确计算 7 K8$Hg:Ky-/ 2.5 相干性 8 xC9^x7%3O 2.6 参考文献 10 8 *;G\$+ 3 Essential Macleod的快速预览 10 aEW
Z*y 4 Essential Macleod的特点 32 p{"p<XFyO 4.1 容量和局限性 33 c BQ|mA 4.2 程序在哪里? 33 S)p{4`p% 4.3 数据文件 35 hY7Q$B< 4.4 设计规则 35 Wct
+T,8 4.5 材料数据库和资料库 37 Sd2R$r 4.5.1材料损失 38 yK+76\} I 4.5.1材料数据库和导入材料 39 L%ND?'@ 4.5.2 材料库 41 C0[Rf.* 4.5.3导出材料数据 43 rteViq+|. 4.6 常用单位 43 zO<EbqNe! 4.7 插值和外推法 46 6]Q
~c"+5 4.8 材料数据的平滑 50 )NGBA."t 4.9 更多光学常数模型 54 z%Ywjfn' 4.10 文档的一般编辑规则 55 xG
7;Ps4L 4.11 撤销和重做 56 hun
LV8z 4.12 设计文档 57 c|x:]W'ij 4.10.1 公式 58 E1_FK1*V; 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 *,-)4)7d 4.10.3 沉积密度 59 (pm]U7 4.10.4 平行和楔形介质 60 dGAthbWJ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 N+rLbK* 4.10.4 性能 61 >V;JI;[ 4.10.5 保存设计和性能 64 W1$B6+}Z0V 4.10.6 默认设计 64 lY[>}L*H8 4.11 图表 64 udX4SBq-pC 4.11.1 合并曲线图 67 yHLclv 4.11.2 自适应绘制 68 PorBB7iL 4.11.3 动态绘图 68 ])!|b2:s3 4.11.4 3D绘图 69 6Ii2rEzD 4.12 导入和导出 73 -iGt]mbJkP 4.12.1 剪贴板 73 EJO:3aKa 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 oJVpNE[3] 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ,miU'<8tQ| 4.13 背景 77 pOS:/~I3 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 PQ. xmg2 4.15 生成Rugate 84 >^ 0JlL`XG 4.16 参考文献 91 "tBdz V 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 TKvUBy 5.1 Jobs 92 |jJC~/WR 5.2 创建一个新Job(工作) 93 #M&rmKv)g 5.3 输入材料 94 BoG/Hd.S 5.4 设计数据文件夹 95 &NZN_% 5.5 默认设计 95 Vj_(55WQ 6 细化和合成 97 8s-RNA>7^ 6.1 优化介绍 97 z[b,:G 6.2 细化 (Refinement) 98 B++.tQ=X. 6.3 合成 (Synthesis) 100 z{bMW^F 6.4 目标和评价函数 101 Za}*6N=?* 6.4.1 目标输入 102 f/H rO6~k% 6.4.2 目标 103 ?t$sju(\ 6.4.3 特殊的评价函数 104 HWT0oh] 6.5 层锁定和连接 104 aDb@u3X@ 6.6 细化技术 104 ePa:_?( 6.6.1 单纯形 105 cEnkt= 6.6.1.1 单纯形参数 106 YN_#x 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 6_=qpP-? 6.6.2.1 Optimac参数 108 QbP
W_)N 6.6.3 模拟退火算法 109 o<1e- 6.6.3.1 模拟退火参数 109 .FK[Y?ci# 6.6.4 共轭梯度 111 5Qd |R 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 BWFl8
!_X 6.6.5 拟牛顿法 112 >};,Byv!% 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 okoD26tK 6.6.6 针合成 113 ( t#w@< 6.6.6.1 针合成参数 114 4*&x% ~* 6.6.7 差分进化 114 Z2)f$ c 6.6.8非局部细化 115 +"Ih'bb`j 6.6.8.1非局部细化参数 115 eW"i'\`0 6.7 我应该使用哪种技术? 116 "5 PP<A,F( 6.7.1 细化 116 vP^]Y.6 6.7.2 合成 117 Zq~2 BeB 6.8 参考文献 117 Q IQB 7 导纳图及其他工具 118 D$q"k" 7.1 简介 118 C$){H"# 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 bM;yXgorU 7.2.1 四分之一波长规则 119 g9}u6q 7.2.2 导纳图 120 Vo+d3 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 !CtY.Lp 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 {R
`IA|T#k 7.5 斜入射导纳图 141 kFgN^v^t 7.6 对称周期 141 [q cT?h 7.7 参考文献 142 E:V&:9aQ@ 8 典型的镀膜实例 143 @g9j+DcU 8.1 单层抗反射薄膜 145 ;38W41d{ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 oo)P(_"u 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 a3?Dtoy' 8.4 W-膜层 148 pP68jL 8.5 V-膜层 149 @ v/%^ 8.6 V-膜层高折射基底 150 m?'5*\(ST 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ehtiu!Vk 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ogs9obbZ! 8.9 四层抗反射薄膜 153 [6V'UI6 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 (9';zw
8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 E}lU?U5i 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 \hdR&f5q 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 r/HKxXT 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 cE 8vSQ% 8.15十五层宽带抗反射膜 159 [#V"a:8m} 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 J9)wt ?%j 8.17 1/4波长堆栈 162 "8ILV`[ 8.18 陷波滤波器 163 ,
M /-lW 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 {*~aVw {k 8.20 褶皱 165 4D"IAI 8.21 消偏振分光器1 169 _t6siB_u 8.22 消偏振分光器2 171 8V_
]}W 8.23 消偏振立体分光器 172 ZB:Fjq 8.24 消偏振截止滤光片 173 -kZz,pNQ, 8.25 立体偏振分束器1 174 ABNsi$]r0 8.26 立方偏振分束器2 177 [T"oqO4%] 8.27 相位延迟器 178 $qD8vu )|j 8.28 红外截止器 179 L'6_~I 8.29 21层长波带通滤波器 180 j:"+/5rV8 8.30 49层长波带通滤波器 181 nf,>l0,,' 8.31 55层短波带通滤波器 182 1]A%lud4 8.32 47 红外截止器 183 -4,qAnuMx 8.33 宽带通滤波器 184 4v3y3 8.34 诱导透射滤波器 186 &_,^OE}K_: 8.35 诱导透射滤波器2 188 uQ&&?j 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 _E)xR 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 =ADAMP 8.35 增益平坦滤波器 193 zF;}b3oIo 8.38 啁啾反射镜 1 196 y
97QqQ^ 8.39 啁啾反射镜2 198 Z@
h<xo*r 8.40 啁啾反射镜3 199 v 8{oXzyy 8.41 带保护层的铝膜层 200 )jR:\fe 8.42 增加铝反射率膜 201 hOfd<k\A 8.43 参考文献 202 KK(x)( 9 多层膜 204 HGWwGd 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 dmP*2 9.2 内部透过率 204 [H0jDbN 9.3 内部透射率数据 205 g0rdF 9.4 实例 206 ?Y
)Qy, 9.5 实例2 210 X_HR$il 9.6 圆锥和带宽计算 212 =zVbZ7 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 j2qDRI 10 光学薄膜的颜色 216 ?P<&8eY 10.1 导言 216 b$PNZC8f 10.2 色彩 216 dT/Cn v= 10.3 主波长和纯度 220 q*DR~Ov 10.4 色相和纯度 221 (d^pYPr{ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 jA=uK6m 10.6 色差 226 ]!YzbvoR 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 :b=`sUn<X+ 10.8 颜色渲染指数 234 m f4@g05 10.9 色差计算 235 2r?g|<
: 10.10 参考文献 236 A!fjw 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 zZDG5_$n 11.1 短脉冲 238 '9auQ(2 11.2 群速度 239 !\y_ik
11.3 群速度色散 241 +;Cq>1x, 11.4 啁啾(chirped) 245 6 Y&OG>_\ 11.5 光学薄膜—相变 245 <FS/'[P 11.6 群延迟和延迟色散 246 >P\Tnb"Q\ 11.7 色度色散 246 }xLwv=Ia 11.8 色散补偿 249
g/`i:= 11.9 空间光线偏移 256 c1|o^ eZ
11.10 参考文献 258 xhUQ.(S`r6 12 公差与误差 260 t~5>PS 12.1 蒙特卡罗模型 260 (4M# (I~cE 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ><\mt 12.2.1 误差工具 267 C9gF2ii|? 12.2.2 灵敏度工具 271 LE1&atq 12.2.2.1 独立灵敏度 271 z+wV(i97 12.2.2.2 灵敏度分布 275 T%P0M* 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 a2dF(H
12.3 参考文献 276 WgE~H)_% 13 Runsheet 与Simulator 277 S`0@fieOf 13.1 原理介绍 277 >:OOuf# 13.2 截止滤光片设计 277 ;-*4 (3lu 14 光学常数提取 289 F{l,Tl"Jw 14.1 介绍 289 WpTC,~- 14.2 电介质薄膜 289 p@cPm8L3 14.3 n 和k 的提取工具 295 @|-ydm0 14.4 基底的参数提取 302 U?#6I- 14.5 金属的参数提取 306 *ZN"+wf\ 14.6 不正确的模型 306 Aba6/ 14.7 参考文献 311 "ajZ&{Z 15 反演工程 313 #\`6ZHW 15.1 随机性和系统性 313 Yv"uIj+'] 15.2 常见的系统性问题 314 Lb2Bu > 15.3 单层膜 314 Z]9
)1& 15.4 多层膜 314 -|f9~(t 15.5 含义 319 }E?s*iP 15.6 反演工程实例 319 /^4)V8D_S 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 &]#D`u 15.6.2 反演工程提取折射率 327 X+&@$v1 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 _;'}P2&Q 16.1 光学性质的热致偏移 329 1ed#nB% 16.2 应力工具 335 _9L2JN$R6 16.3 均匀性误差 339 5n(p1OM2q 16.3.1 圆锥工具 339 r\Man'h$ 16.3.2 波前问题 341 m{b(^K9} 16.4 参考文献 343 cG"jrQ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 z2"2Xqy<U 17.1 引言 345 @Ki`g(],P 17.2 操作数 345 u;=("S{"0 18 如何在Function中编写脚本 351 7RdL/21K 18.1 简介 351 bE0S)b) 18.2 什么是脚本? 351 X-n'?= 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 z#,?*v 18.4 基础 352 o
&Nr5S 18.4.1 Classes(类别) 352 jRgv
8n 18.4.2 对象 352 1
#EmZ{* 18.4.3 信息(Messages) 352 (%I`EAR 18.4.4 属性 352 g1&GX(4[ 18.4.5 方法 353 \;P Bx & 18.4.6 变量声明 353 apw8wL2 18.5 创建对象 354 k)S7SbQ 18.5.1 创建对象函数 355 Q@d X2 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 &3u*
zV$ 18.5.3 丢弃对象 356 jriliEz;f 18.5.4 总结 356 #}k^g:l1 18.6 脚本中的表格 357 [bGdg 18.6.1 方法1 357 F}sfk}rp 18.6.2 方法2 357 t5 5k#`Z 18.7 2D Plots in Scripts 358 QV?\?9( 18.8 3D Plots in Scripts 359 :j9;P7&"? 18.9 注释 360 8dL(cC 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 H 5sj%
v 18.11 一个更高级的脚本 362 {0Leua 18.12 <esc>键 364 gVZ~OcB!W 18.13 包含文件 365 )0UQy#r 18.14 脚本被优化调用 366 $9hOWti 18.15 脚本中的对话框 368 Cu/w><h) 18.15.1 介绍 368 1h)I&T"kZ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 =&}dP%3LC) 18.15.3 输入框函数 370 |@d7o]eM| 18.15.4 自定义对话框 371 CZbp}:| 18.15.5 对话框编辑器 371 ?]sj!7 18.15.6 控制对话框 377 8c~b7F
\ 18.15.7 更高级的对话框 380 I^lb;3uR 18.16 Types语句 384 @$~%C) %u 18.17 打开文件 385 d]a*)m& 18.18 Bags 387 ?[VS0IBS 18.13 进一步研究 388 iCw~4KG 19 vStack 389 le8n!Dk( 19.1 vStack基本原理 389 eb+[=nmP 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 L{\B9b2 19.3 五棱镜 393 eqjl$QWPJS 19.4 光束距离 396 &4BN9`|: 19.5 误差 399 Soop)e 19.6 二向分色棱镜 399 UHR)]5Lt 19.7 偏振泄漏 404 [QL)6Xr 19.8 波前误差—相位 405 A\z[/3& RK 19.9 其它计算参数 405 lDAw0 C3 20 报表生成器 406 b`%/* 20.1 入门 406 dq|z;,` 20.2 指令(Instructions) 406 A
u(Ng q 20.3 页面布局指令 406 8 Z#)Xb4 20.4 常见的参数图和三维图 407 WU}JArX9 20.5 表格中的常见参数 408 ea7v:#O[S 20.6 迭代指令 408 0~^opNR 20.7 报表模版 408 V-I_SvWv\ 20.8 开始设计一个报表模版 409 )7J@A%u 21 一个新的project 413 (u$Q 21.1 创建一个新Job 414 tJg 21.2 默认设计 415 \_BaV0< 21.3 薄膜设计 416 (obeEH5J 21.4 误差的灵敏度计算 420 +KD~/}C%- 21.5 显色指数计算 422 LI(Wu6*Y 21.6 电场分布 424 v\f 41M7D 后记 426 5z#>>|1># 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! 7?cZ9^z`w
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