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《Essential Macleod中文手册》 V9%!B3Sb lCAD $Ia~ 目 录 {^jk_G\ys Q`{2yU:r ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 Q%Fa1h:2& 第1章 介绍 ..........................................................1 bAVlL&^@| 第2章 软件安装 ..................................................... 3 ]?3-;D.eG 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 LeTOVgjA| 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 @?!&M c2 第5章 软件结构 ............................................................... 21 WPpS? 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 7q;wj~ 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 L63B# H" 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 lv=rL 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 w$1B|7tX;2 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 6Ex16 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 r 1x2) 第12章 优化和综合 ..................................................................120 l =Is-N` 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 C>gC99 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 ucwUeRw, 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 ]qPrXuS/ 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 Gj ka % 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 :% m56 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 OS]FGD3a 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 `vc?*" 第20章 运行表单 .................................................................... 251 =`W#R 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 XRx^4]c 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 aP}30E*Y 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 ,GTIpPj 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 L2}p<?f 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 f~-qjEWm 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 Q@aDa 8Z 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 .jK,6't^ 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 3@8Zy:[8< 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 S #6:! 9J4gDw4< l37)
Q 1}XESAX;0 &(/QJ `*8 <#>{7" } 内容简介 e4<[|B!O Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Cak-J~= 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Zg;%$ kSQ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 h'|J$ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 t1rAS.z& ^nGKuW7\ 目录 s.j6"
Q[W Preface 1 ~;D5j ) 9I 内容简介 2 Zv^n 目录 i <4,LTB]9- 1 引言 1 PGNH<E) 2 光学薄膜基础 2 <
s1 2.1 一般规则 2 f*E#E=j 2.2 正交入射规则 3 8;GuJP\ 2.3 斜入射规则 6 d6vls7J/4 2.4 精确计算 7 ?f&O4H 2.5 相干性 8 8L _]_ 2.6 参考文献 10 qfS
]vc_N 3 Essential Macleod的快速预览 10 ]!'9Y}9a 4 Essential Macleod的特点 32 DC+l3N 4.1 容量和局限性 33 u81@vEK:_ 4.2 程序在哪里? 33 4KnrQ-D 4.3 数据文件 35 ka?EXF: 4.4 设计规则 35 0jmPj 4.5 材料数据库和资料库 37 >^TcO 4.5.1材料损失 38 /j$`Cq3I 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ujan2'YT 4.5.2 材料库 41 \wM8I-f! 4.5.3导出材料数据 43 6u[
B}%l 4.6 常用单位 43 -W'T3_ 4.7 插值和外推法 46 ,]H2F']4Z 4.8 材料数据的平滑 50 MCO`\"`l 4.9 更多光学常数模型 54 ukwO%JAr 4.10 文档的一般编辑规则 55 +LB2V3UZ 4.11 撤销和重做 56 -4LckY=]1 4.12 设计文档 57 -&QTy 4.10.1 公式 58 Z>(K|3_ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ? uu, w 4.10.3 沉积密度 59 'H8;(Rw 4.10.4 平行和楔形介质 60 $c1xh. 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 kmu r={IR 4.10.4 性能 61 k r ga!,I 4.10.5 保存设计和性能 64 6O|
rI>D 4.10.6 默认设计 64 .Hm1ispq 4.11 图表 64 -a`PW 4.11.1 合并曲线图 67 YLehY 4.11.2 自适应绘制 68 {2T;^+KE 4.11.3 动态绘图 68 eiJ~1HX) 4.11.4 3D绘图 69 x03@} M1 4.12 导入和导出 73 <Oihwr@5< 4.12.1 剪贴板 73 b<8,'QgB 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 v18OUPPX 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 vTq
[Xe" 4.13 背景 77 ?AYb@&% 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 y1_z(L;I 4.15 生成Rugate 84 Bh5z4 4.16 参考文献 91 f <pJ_ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ]CGH )4Pe 5.1 Jobs 92 +V9<ug6T 5.2 创建一个新Job(工作) 93 G^2%F5@ 5.3 输入材料 94 "a=dx|
Z 5.4 设计数据文件夹 95 LtVIvZie 5.5 默认设计 95 3F?_{A 6 细化和合成 97 |"i"8~/@< 6.1 优化介绍 97 xM2UwTpW 6.2 细化 (Refinement) 98 QQ\\:]iM 6.3 合成 (Synthesis) 100 UoOxGo 6.4 目标和评价函数 101 }II)<g' 6.4.1 目标输入 102 BXa.XZ<n( 6.4.2 目标 103 &h'NC%"v 6.4.3 特殊的评价函数 104 V(P 1{g 6.5 层锁定和连接 104 o@uZU4MM 6.6 细化技术 104 qc"PTv0q 6.6.1 单纯形 105 tf4clzSTa 6.6.1.1 单纯形参数 106 $8WeWmY 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 M@<r8M]G 6.6.2.1 Optimac参数 108 Wo7`gf_ ( 6.6.3 模拟退火算法 109 \W+Hzf]
W# 6.6.3.1 模拟退火参数 109 G0b##-.'^ 6.6.4 共轭梯度 111 k~IRds@G 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 3='Kii=LA 6.6.5 拟牛顿法 112 DSL3+%KF# 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 k\Z@B!VAq 6.6.6 针合成 113 {Y1&GO; 6.6.6.1 针合成参数 114 gPcOm
b 6.6.7 差分进化 114 }S 6h1X 6.6.8非局部细化 115 NKMVp/66D 6.6.8.1非局部细化参数 115 'H-hp
6.7 我应该使用哪种技术? 116 Tl L\&n.$ 6.7.1 细化 116 2U&+K2 6.7.2 合成 117 >6Ody<JPHP 6.8 参考文献 117 ~ugH2jiB 7 导纳图及其他工具 118 6[\1Nzy> 7.1 简介 118 hUe\sv!x? 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 {Lugdf' 7.2.1 四分之一波长规则 119 >/G[Oo 7.2.2 导纳图 120 ih(A l<IS 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 52.%f+Oa 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 tu6<> 7.5 斜入射导纳图 141 .s\_H, 7.6 对称周期 141 3*#$:waGd 7.7 参考文献 142 cf%aOHYI* 8 典型的镀膜实例 143 1^tM%2rP' 8.1 单层抗反射薄膜 145 <$Djags,F 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ?\_vqW 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 FB2{qG3 8.4 W-膜层 148 yi*EE% 8.5 V-膜层 149
3 EOuJ 8.6 V-膜层高折射基底 150 N*SUA4bnuM 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 9 e;8"rJ?C 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ;^cMP1SH 8.9 四层抗反射薄膜 153 A@jBn6 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 gUH|?@f 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 qJ[wVNHh! 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 DWupLJpk;c 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 A9y@v{txN 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ";TqYk=- 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ^f9>tI{ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 =\)76xC20 8.17 1/4波长堆栈 162 ?KG4Z 8.18 陷波滤波器 163 XwDt8TxL 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 EOXuc9>G 8.20 褶皱 165 9qm'qx 8.21 消偏振分光器1 169 %3T:W\h 8.22 消偏振分光器2 171 Mm%b8#Fe! 8.23 消偏振立体分光器 172 QY$4D;M`g6 8.24 消偏振截止滤光片 173 P7!gUxcv9Y 8.25 立体偏振分束器1 174 EHm:&w 8.26 立方偏振分束器2 177 u43-\=1$T 8.27 相位延迟器 178 EC?U#!kv 8.28 红外截止器 179 U!T#'H5'- 8.29 21层长波带通滤波器 180 9\i^.2& 8.30 49层长波带通滤波器 181 -;$jo- 8.31 55层短波带通滤波器 182 q[+V6n`Z5 8.32 47 红外截止器 183 cd$,, 8.33 宽带通滤波器 184 `7'=~BP?X 8.34 诱导透射滤波器 186 7G_OFD 8.35 诱导透射滤波器2 188 >k(AQW5? 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Hzc^fC 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 P>
~Lx 8.35 增益平坦滤波器 193 >c.HH}O0W 8.38 啁啾反射镜 1 196 )`zfDio-1V 8.39 啁啾反射镜2 198 sJ|IW0Mr 8.40 啁啾反射镜3 199 *'R2Lo<C 8.41 带保护层的铝膜层 200 k_1oj[O 8.42 增加铝反射率膜 201 F-Ywl) 8.43 参考文献 202 2_){4+,fu 9 多层膜 204 /(bn+l}W 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ;MjOs&1f0K 9.2 内部透过率 204 =[o/D0-Kn 9.3 内部透射率数据 205 [q!)Y:|u_> 9.4 实例 206 M:w]g` LKl 9.5 实例2 210 %`:+A?zL 9.6 圆锥和带宽计算 212 UFUm-~x` 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 p fg>H 10 光学薄膜的颜色 216 O9F#gO|! 10.1 导言 216 PSa"u5 O 10.2 色彩 216 qFjnuQ,w 10.3 主波长和纯度 220
="]y^&(L( 10.4 色相和纯度 221 :N>s#{+"3 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 LU@+ O12 10.6 色差 226 FBrJVaF 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 S]biN]+7s 10.8 颜色渲染指数 234 '8fL)Zk 10.9 色差计算 235 9wv 7HD| 10.10 参考文献 236 kk3G~o+ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 XwdehyPhT2 11.1 短脉冲 238 ~ph>?xuw 11.2 群速度 239 eh$T
3_#q 11.3 群速度色散 241 ZAMS;e+e 11.4 啁啾(chirped) 245 ~kPZh1n` 11.5 光学薄膜—相变 245 Y--Uo|H 11.6 群延迟和延迟色散 246 P3V}cGZ 11.7 色度色散 246 n\H.NL)
11.8 色散补偿 249 {NV=k%MTmi 11.9 空间光线偏移 256 (1Ii86EP 11.10 参考文献 258 sxQMfbN 12 公差与误差 260 JKs&!! 12.1 蒙特卡罗模型 260 +)TOcxF% 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 I`EgR?5 ` 12.2.1 误差工具 267 XJi^gT N 12.2.2 灵敏度工具 271 O.+X,CQG* 12.2.2.1 独立灵敏度 271 gNzamorv[ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 .R{P%r 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ,]-A~ ^| 12.3 参考文献 276 9$P*fx&m 13 Runsheet 与Simulator 277 X.!|#FWb+ 13.1 原理介绍 277 XxE>KeP 13.2 截止滤光片设计 277 OPVcT 14 光学常数提取 289 /h73'"SpDy 14.1 介绍 289 @60/IE{-v 14.2 电介质薄膜 289 VcR(9~ 14.3 n 和k 的提取工具 295 w97B)Kn6 14.4 基底的参数提取 302 {V~Gr 14.5 金属的参数提取 306 J2~oIe2!+ 14.6 不正确的模型 306 uSK<{UT~3 14.7 参考文献 311 C8.MoFfhe 15 反演工程 313 _D?`'zN 15.1 随机性和系统性 313 :HG5{zP 15.2 常见的系统性问题 314 ~eHu+pv 15.3 单层膜 314 `@|Kx\y4=j 15.4 多层膜 314 \d{S3\7 15.5 含义 319 "+:IA|1wD 15.6 反演工程实例 319 au 5qbP 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 6@o *"4~Q 15.6.2 反演工程提取折射率 327 Qcr-|?5L 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 S?Z"){ 16.1 光学性质的热致偏移 329 ?_7^MP> 16.2 应力工具 335 VCUEzR0 16.3 均匀性误差 339 \4|o5, +(@ 16.3.1 圆锥工具 339 2DTBL:?` 16.3.2 波前问题 341 p/!P kKJ 16.4 参考文献 343 o>Jr6:D( 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 7cJh^M 17.1 引言 345 <:UP 17.2 操作数 345 -Lbi eS% 18 如何在Function中编写脚本 351 gT~Yn~~b 18.1 简介 351 T.p:`}Ma 18.2 什么是脚本? 351 N61\]BN< 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
Gt;59} 18.4 基础 352 @-QDp`QtI 18.4.1 Classes(类别) 352 ;J3
(EB 18.4.2 对象 352 oaJnLd90W 18.4.3 信息(Messages) 352 c/G]r|k 18.4.4 属性 352 +Qe"O0 18.4.5 方法 353
6:vdo~ 18.4.6 变量声明 353 ![*7HE>}, 18.5 创建对象 354 sAz]8(Fi0 18.5.1 创建对象函数 355 @"=wn:O+ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 _YgvLz
% 18.5.3 丢弃对象 356 _Q1[t9P" 18.5.4 总结 356 #ig* ! 18.6 脚本中的表格 357 J< U,~ra\ 18.6.1 方法1 357 To"J>:l 18.6.2 方法2 357 !Yan}{A, 18.7 2D Plots in Scripts 358 e2PM^1{_ 18.8 3D Plots in Scripts 359 _7LZ\V+MLW 18.9 注释 360 Mli`[8@( 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 <>FpvdB 18.11 一个更高级的脚本 362 g$j ZpU 18.12 <esc>键 364 %"0g}tK6 18.13 包含文件 365 R2[-Q"|Ra 18.14 脚本被优化调用 366 RIO4`, 18.15 脚本中的对话框 368 $M=W`E[g 18.15.1 介绍 368 *U=%W4?W 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ()>,L?y 18.15.3 输入框函数 370 06#40- 18.15.4 自定义对话框 371 It/IDPx4ga 18.15.5 对话框编辑器 371 V
2WcPI^ 18.15.6 控制对话框 377 6X@$xe847[ 18.15.7 更高级的对话框 380 hh<Es|v 18.16 Types语句 384 S!;:7?mq 18.17 打开文件 385 eJ23$VM+9 18.18 Bags 387 _v9P0W^.7 18.13 进一步研究 388 igD,|YSK`z 19 vStack 389 XeT{y]lkd 19.1 vStack基本原理 389 Z/S7ei@56 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 D!oELZ3 19.3 五棱镜 393 voHFU#Z$ 19.4 光束距离 396
jo_wBJKE 19.5 误差 399 _s_%}8o 19.6 二向分色棱镜 399 yfd$T}WW6 19.7 偏振泄漏 404 <+oTYPgD9 19.8 波前误差—相位 405 Dr!g$,9 19.9 其它计算参数 405 D^5bzZk
N 20 报表生成器 406 m%bw$hr 20.1 入门 406 Iw<:
k 20.2 指令(Instructions) 406 uzx?U3.\ 20.3 页面布局指令 406 0Lo)Ni^" 20.4 常见的参数图和三维图 407 oe8sixZ[ 20.5 表格中的常见参数 408
{|kEGq~aE 20.6 迭代指令 408 *)jhhw=34 20.7 报表模版 408 -W:te7 20.8 开始设计一个报表模版 409 f/Lyc=-] 21 一个新的project 413 7jZ=+2 21.1 创建一个新Job 414 [Ie;Jd>gG 21.2 默认设计 415 BSGC.>$s 21.3 薄膜设计 416 JAK+v 21.4 误差的灵敏度计算 420 tX$v)O| 21.5 显色指数计算 422 !Cpy
)D( 21.6 电场分布 424 ~P47:IZf 后记 426 {Di()]/ 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! v?U;o&L(
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