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《Essential Macleod中文手册》 d Z x {'6-;2& f
目 录 xTy)qN]P
3il/{bgM ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 >AW&Lfw$ 第1章 介绍 ..........................................................1 @c=bH >Oz 第2章 软件安装 ..................................................... 3 %FJB9?9=| 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 oO9yI^ 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 %=)%$n3=-M 第5章 软件结构 ............................................................... 21 s1J( -O 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 i2!0bY 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 ,|?rt`8)Q 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 0Vj!'=Ntv 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 A5~OHmeK 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 Mo] 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 cHon' tS 第12章 优化和综合 ..................................................................120 .[o`TlG% 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 s lYC\"$ 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 WfYC`e7q 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 8aI^vP"7`= 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 -H$C3V3] 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 B<jVo %og 第18章 堆栈 ......................................................................... 213
AtP!.p"j 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 <[V1z=Eo/] 第20章 运行表单 .................................................................... 251 U98e=57 N 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 f`-UC_(; 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 +THK
Jn!> 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 k < 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 2Zr,@LC 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 Rw|P$dbu 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 Is>~ P*2Y= 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 R_Uy.0=4 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 N a<);Pg 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316
Wux[h 8G
L/)Q1Mm *mkL>v &
-EG=}uT['b G=& nwSL
z0?IQzR^T
内容简介 9lB$i2G>Zw
Macleod软件自带的用户手册功能全面，其介绍涵盖了软件的方方面面，能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而，为了顺应目前薄膜行业的需求，急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍，以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作，因此，我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 %VS+?4ww
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》（原著第二版）是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结，结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod，其内容丰富，实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法，还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题，如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节，首先，从光学薄膜的基本理论出发（第2章），为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次，在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作，以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后，从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合，从而使大家将理论知识与实际经验结合起来，对实际镀膜提出实用的建议，以减少设计时间并降低生产成本。 !"dAwG ?S
薄膜光学涵盖范围很广，书中并附设计光盘和参考文献，有兴趣者可依此深入研究，为精准起见，在不影响理解的情况下，尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助，通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限，书中错误纰漏之处在所难免，本书若有不周之处，尚请读者不吝赐教。 U<wM#l
P|Z
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 +O@|bd \
9
OZXs2~x
目录 :~' R| l
Preface 1 A }d\ ND
内容简介 2 ~c@@m\C"b
目录 i H4uHCkj
1 引言 1 # O!gjZ,
2 光学薄膜基础 2 !_>o2
2.1 一般规则 2 e,T^8_>
2.2 正交入射规则 3 y':65NMda
2.3 斜入射规则 6 /.Jq]"
2.4 精确计算 7 c1 Hp
2.5 相干性 8 CM;B{*En
2.6 参考文献 10 C;']Fm K]
3 Essential Macleod的快速预览 10 z|O3pQn~
4 Essential Macleod的特点 32 u|75r% p>
4.1 容量和局限性 33 #1Ie v7w
4.2 程序在哪里？ 33 ( PSL [P
4.3 数据文件 35 fzzk#jU
4.4 设计规则 35 hSG1f`
4.5 材料数据库和资料库 37 ))E| SAr
4.5.1材料损失 38 tfVlIY<
4.5.1材料数据库和导入材料 39 a$$aM2 .2
4.5.2 材料库 41 ~$m:j ];
4.5.3导出材料数据 43 z~#d@c\
4.6 常用单位 43 ; jFUtG
4.7 插值和外推法 46 kn}bb *eZ
4.8 材料数据的平滑 50 .y Q<
4.9 更多光学常数模型 54 R[}fr36>/
4.10 文档的一般编辑规则 55 N$M:&m3^
4.11 撤销和重做 56 6\xfoy|j
4.12 设计文档 57 jz,Gj}3;
4.10.1 公式 58 -?vVV@W-O^
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 _eUd
RL>
4.10.3 沉积密度 59 a!\^O).pA
4.10.4 平行和楔形介质 60 S>y}|MG
4.10.5 渐变折射率和散射层 60 eJE!\ucS2W
4.10.4 性能 61 3 V$
\s8
4.10.5 保存设计和性能 64 A}_0i wG
4.10.6 默认设计 64 /g$8JL
4.11 图表 64 lA n^ )EL
4.11.1 合并曲线图 67 U+:Mu]97
4.11.2 自适应绘制 68 0](V@F"~
4.11.3 动态绘图 68 Bs^p!4=
4.11.4 3D绘图 69 ko6[Ej:TBo
4.12 导入和导出 73 d)L,kzN
4.12.1 剪贴板 73 hI,+J>
4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ]fJ9.Js
4.12.3 不通过剪贴板导出 76 .Zr3!N.t
4.13 背景 77 $'COsiK7
4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 M2LW[z
4.15 生成Rugate 84 !&pk^VFl+
4.16 参考文献 91 `_(N(dm
5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 %!]CP1S
5.1 Jobs 92 lKV7IoJ& ;
5.2 创建一个新Job（工作） 93 a Maqlqf
5.3 输入材料 94 B
!Z~ j T
5.4 设计数据文件夹 95 T2 /u7<D-
5.5 默认设计 95 \o mfWWpK
6 细化和合成 97 <=@6UPsn2
6.1 优化介绍 97 % S<))G
6.2 细化 (Refinement) 98 =H?^G[ y
6.3 合成 (Synthesis) 100 X)S4vqf}
6.4 目标和评价函数 101 x/IAc6H~_8
6.4.1 目标输入 102 NGkWr
6.4.2 目标 103 } []1`2qD
6.4.3 特殊的评价函数 104 6k; >:[p
6.5 层锁定和连接 104 %9 _jF"
6.6 细化技术 104 [S?`OF12
6.6.1 单纯形 105 j a^
6.6.1.1 单纯形参数 106 yLQwG.,
6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 "MgTfUIiyD
6.6.2.1 Optimac参数 108 U%KsD 4B
6.6.3 模拟退火算法 109 YZz8x tM<2
6.6.3.1 模拟退火参数 109 +Oc |Oo
6.6.4 共轭梯度 111 ,<U
6.6.4.1 共轭梯度参数 111 j4$NQ]e^4
6.6.5 拟牛顿法 112 7A{,)Y/w ^
6.6.5.1 拟牛顿参数： 112 $|7;(2k
6.6.6 针合成 113 8^hbS%s!
6.6.6.1 针合成参数 114 T*](oA@
6.6.7 差分进化 114 #ib?6=sPC
6.6.8非局部细化 115 -"}nm!j /5
6.6.8.1非局部细化参数 115 |] ]Rp
6.7 我应该使用哪种技术？ 116 F,@uYMQs
6.7.1 细化 116 fn Pej?f:
6.7.2 合成 117 y (Tb= :
6.8 参考文献 117 p`}G" DM
7 导纳图及其他工具 118 bkIQ?cl<at
7.1 简介 118 UGQH wz
7.2 薄膜作为导纳的变换 118 pW-aX)\DR
7.2.1 四分之一波长规则 119 XF`?5G~~#
7.2.2 导纳图 120 nmClP
7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 CMU\DO
7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 7$7#z\VWu
7.5 斜入射导纳图 141 c='uy x
7.6 对称周期 141 ~U1M -<IX
7.7 参考文献 142 t ]P^6jw'
8 典型的镀膜实例 143 1!A 'mkk8
8.1 单层抗反射薄膜 145 f#
sDG
8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 0134mw%jk
8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 /8LTM|(
8.4 W-膜层 148 @}hdMVi
8.5 V-膜层 149 %!OA/7XbG
8.6 V-膜层高折射基底 150 "\rR0V!wA
8.7 V-膜层高折射率基底b 151 >44,Dp]
8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 d1u6*&@lf
8.9 四层抗反射薄膜 153 B=|m._OL]n
8.10 Reichert抗反射薄膜 154 oe{,-<yck
8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 H+ 7Fw'u
8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 %dq |)r
8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 :-e[$6}S
8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 73kI%nNB
8.15十五层宽带抗反射膜 159 x k&# fW^r
8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 8GT4U5c
;
8.17 1/4波长堆栈 162 A (ZtA[G
8.18 陷波滤波器 163 M6z$*? <
8.19 厚度调制陷波滤波器 164 SAokW,
8.20 褶皱 165 7loIjT7
8.21 消偏振分光器1 169 [*d<LAnuWP
8.22 消偏振分光器2 171 m&k l_f7
8.23 消偏振立体分光器 172 9lc{{)m2)
8.24 消偏振截止滤光片 173 p~h [4h P
8.25 立体偏振分束器1 174 AzFS6<_
8.26 立方偏振分束器2 177 9&'HhJm
8.27 相位延迟器 178 RpU.v
`
8.28 红外截止器 179 l vfplA
8.29 21层长波带通滤波器 180 )q>q]eHz
8.30 49层长波带通滤波器 181 4/ Xu,pT
8.31 55层短波带通滤波器 182 *&$2us0%%
8.32 47 红外截止器 183 0 ;2ApYks
8.33 宽带通滤波器 184 P/T`q:<H
8.34 诱导透射滤波器 186 ETrL3W <
8.35 诱导透射滤波器2 188 rz.`$
8.36 简单密集型光波复用（DWDM）滤波器 190 5@ `dKFB5
8.37 高级密集型光波复用技术（DWDM）滤波器 192 @8U8> 'zDE
8.35 增益平坦滤波器 193 oU) 3du
8.38 啁啾反射镜 1 196 pu
Z0_1uN
8.39 啁啾反射镜2 198 &6\f;T4
8.40 啁啾反射镜3 199 K'S \$
8.41 带保护层的铝膜层 200 z Qx6r
.
8.42 增加铝反射率膜 201 #EIcP=1m4
8.43 参考文献 202 SfUbjs@a
9 多层膜 204 a`8svo;VUO
9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 4[n[Ch=lu
9.2 内部透过率 204 p%- m" u
9.3 内部透射率数据 205 ?T_bjA LW
9.4 实例 206 Y>I9o)KR
9.5 实例2 210 Nuc2CB)J
9.6 圆锥和带宽计算 212 o3a%u(
9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 =$WDB=i
10 光学薄膜的颜色 216 /R[P sB
10.1 导言 216 7nk3^$|
10.2 色彩 216 x(y=.4Y f+
10.3 主波长和纯度 220 %QFeQ(b/(
10.4 色相和纯度 221 DUyUA'*4n|
10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 #s|,o Im
10.6 色差 226 ?EA&kZR]
10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 (]sk3
A
10.8 颜色渲染指数 234 z i3gE$7
10.9 色差计算 235 YbP}d&L
10.10 参考文献 236 C &&33L
11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 F{F SmUxzK
11.1 短脉冲 238 xZ>@wBQ
11.2 群速度 239 e)A{
{wD/
11.3 群速度色散 241 t[X,m]SX
11.4 啁啾(chirped) 245 P B"nf|pm
11.5 光学薄膜—相变 245 ]vq=~x
11.6 群延迟和延迟色散 246 2GJp`2(%dA
11.7 色度色散 246 dyuT-.2
11.8 色散补偿 249 tq2Ti Xo%
11.9 空间光线偏移 256
2>Sr04Pt
11.10 参考文献 258 d?>pcT)G_
12 公差与误差 260 48[b1#q]
12.1 蒙特卡罗模型 260 VpWpC&
12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 xqzB= 0
12.2.1 误差工具 267 9~yp =JOV@
12.2.2 灵敏度工具 271 y+P$}Nru
12.2.2.1 独立灵敏度 271 yI8
/m|
12.2.2.2 灵敏度分布 275 Rmh u"N/q
12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 +M.!_2t$2
12.3 参考文献 276 7:X@lmBz=
13 Runsheet 与Simulator 277 4nGr?%>
13.1 原理介绍 277 },vVc/
13.2 截止滤光片设计 277 XMm (D!6
14 光学常数提取 289 w"A%@<V3Ec
14.1 介绍 289 5c-'m? k
14.2 电介质薄膜 289 BnIZ+ fg=
14.3 n 和k 的提取工具 295 `&>CK`%Xu
14.4 基底的参数提取 302 UjH+BC+9`b
14.5 金属的参数提取 306 J3AS"+]
14.6 不正确的模型 306 2jH&@g$cl;
14.7 参考文献 311 $jL+15^N0+
15 反演工程 313 0A.9<&Lod
15.1 随机性和系统性 313 VMV~K7%0
15.2 常见的系统性问题 314 bb"x^DtT
15.3 单层膜 314 -mqTlXM
15.4 多层膜 314 Nj;G%KA P
15.5 含义 319 5vj tF4}7!
15.6 反演工程实例 319 yMBFw:/o
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 $/;<~Pzi
15.6.2 反演工程提取折射率 327 HD9+4~8
16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 r_e]sOCb
16.1 光学性质的热致偏移 329 p$bR M`R&s
16.2 应力工具 335 XOd
16.3 均匀性误差 339 mKhlYV n
16.3.1 圆锥工具 339 J7s\
16.3.2 波前问题 341 . DZ8kKY
16.4 参考文献 343 iM{UB =C
17 如何在Function（模块）中编写操作数 345 K 6HH_T
17.1 引言 345 (vr
v -4
17.2 操作数 345 hPgDK.R'
18 如何在Function中编写脚本 351 $Qq5Fx9kU
18.1 简介 351 F)4;:".zna
18.2 什么是脚本？ 351 j[\aGS7u
18.3 Function中脚本和操作数对比 351 7s.vJdA]6
18.4 基础 352 -H
AUKY@;5
18.4.1 Classes（类别） 352 S`Wau/7t
18.4.2 对象 352 ~h6aTN
18.4.3 信息（Messages） 352 !nyUAZ9 :
18.4.4 属性 352 ]^?V8*zL]
18.4.5 方法 353 N.qS;%*o{e
18.4.6 变量声明 353 %2`geN<
18.5 创建对象 354 o9L$ B
18.5.1 创建对象函数 355
Xw{Q ktn
18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 #J)8 3
18.5.3 丢弃对象 356 0FEn& \2<
18.5.4 总结 356 ) Qx&m}
18.6 脚本中的表格 357 :h60
18.6.1 方法1 357 + q@g
18.6.2 方法2 357 LFV',1+
18.7 2D Plots in Scripts 358 ?^W`7H F%0
18.8 3D Plots in Scripts 359 \' ;zD-MX
18.9 注释 360 \)m V2r!%
18.10 脚本管理器调用Scripts 360 #Yr/GNN
18.11 一个更高级的脚本 362 6qzy eli
18.12 <esc>键 364 5Bog\m S
18.13 包含文件 365 hp)k[|u;
18.14 脚本被优化调用 366 T *8rR"
18.15 脚本中的对话框 368 )A H)*Mg
18.15.1 介绍 368 }_ "<2|~_
18.15.2 消息框-MsgBox 368 8.R~Ys*
18.15.3 输入框函数 370 +^v]d_~w_
18.15.4 自定义对话框 371 r>gU*bs(
18.15.5 对话框编辑器 371 dqo&3^px
18.15.6 控制对话框 377 WjsE#9D!of
18.15.7 更高级的对话框 380 "I`g(q#Uo
18.16 Types语句 384 !K319 eE
18.17 打开文件 385 li~ #6$
18.18 Bags 387 Q]o CzSi
18.13 进一步研究 388 `SGI
Qrb
19 vStack 389 Zo(p6rku
19.1 vStack基本原理 389 {u,yX@F4l
19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 Da 8{==
19.3 五棱镜 393 Fi!XaO
19.4 光束距离 396 xfJ&11 fG2
19.5 误差 399 skR I \
19.6 二向分色棱镜 399 >[|Y$$
19.7 偏振泄漏 404 C=|X]"*:u0
19.8 波前误差—相位 405 SF2<
19.9 其它计算参数 405 V]I+>Zn| 7
20 报表生成器 406 #3m7`}c
20.1 入门 406 C].w)B
20.2 指令(Instructions) 406 ,Xt!dT-
20.3 页面布局指令 406 k%S;N{Qh@
20.4 常见的参数图和三维图 407 ^~:&/ 0
20.5 表格中的常见参数 408 1}"PLq(
20.6 迭代指令 408 pJpTOq\h
20.7 报表模版 408 W
n43TSs-
20.8 开始设计一个报表模版 409 ?}g#Mc
21 一个新的project 413 `zZGL&9m`
21.1 创建一个新Job 414 .*>pD/
21.2 默认设计 415 ELWm>'Q#9
21.3 薄膜设计 416 O=LiCSNEV
21.4 误差的灵敏度计算 420 Lj(y>{y
21.5 显色指数计算 422 4`mF6%UC
21.6 电场分布 424 $NG |z0
后记 426 !W ,pjW%Y
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