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《Essential Macleod中文手册》 fQxlYD'peb 9^CuSj 目 录 mKJO?7tj q*!Vyk ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 =5O&4G`} 第1章 介绍 ..........................................................1 CG
,H 第2章 软件安装 ..................................................... 3 rRXF@ 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 vt#&YXu{A 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 JMfv|>= 第5章 软件结构 ............................................................... 21 gm$<U9L\v 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 +^q-v- 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 [dy0aR$>d 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 <9[>+X 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 62o nMY 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 GPrq( 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 =%S*h)}@ 第12章 优化和综合 ..................................................................120 PKZMuEEy, 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 l'1_Fb 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 WM0-F@_ 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 lQL/I[} 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 H on,-< 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 7yal T. 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 ?NxaJ^ 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 %~\I*v04 第20章 运行表单 .................................................................... 251 6RfS_ 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 Hv*+HUc(: 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 &r!jjT 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 ?s]?2>p 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 m' eM&1Ba 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 q4niA 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 {
3Qlx/6< 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 i'`>YX 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 +vYVx<uTQ 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 @Ll^ze&HI s,j=Kym% g{Hb3id9 \/!jGy* op,mP0b EdCcnl?R6 内容简介 t?FPmbjv Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 rW2l+:@c 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 lrmz'M' 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 .G>6_n3 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 HHZrovA# Aj+0R?9tG 目录 ei
@$_w*TH Preface 1 +L
pMNnl6 内容简介 2 /<\do 1 目录 i +2m\Sv V 1 引言 1 zrV~7$HL 2 光学薄膜基础 2 T*#< p; 2.1 一般规则 2 ~g &Gi)je 2.2 正交入射规则 3 -V52?Hq 2.3 斜入射规则 6 \; zix(N[5 2.4 精确计算 7 Gu%}B@ 4^ 2.5 相干性 8 AE4>pzBe 2.6 参考文献 10 Zv8G[( 3 Essential Macleod的快速预览 10 b\+9#)Up@ 4 Essential Macleod的特点 32 F"a31`L>H 4.1 容量和局限性 33 ~GjM:* 4.2 程序在哪里? 33 9]|G-cyt 4.3 数据文件 35 2w:cdAv$ 4.4 设计规则 35 ETaLE[T%1 4.5 材料数据库和资料库 37 gX]'RBTb 4.5.1材料损失 38 74a>}+" 4.5.1材料数据库和导入材料 39 5dhT?/qvc 4.5.2 材料库 41 T]?QCf 4.5.3导出材料数据 43 0GnbE2& 4.6 常用单位 43 k^\>=JTq= 4.7 插值和外推法 46 vH vwH 4.8 材料数据的平滑 50 bdr!|WZ 4.9 更多光学常数模型 54 8yCQWDE} 4.10 文档的一般编辑规则 55 WQ1*)h8,9 4.11 撤销和重做 56 fYgX|#Me 4.12 设计文档 57 ipJnNy; 4.10.1 公式 58 R^GLATM 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 CfjVx 4.10.3 沉积密度 59 @Ke3kLQ_\X 4.10.4 平行和楔形介质 60 `L
{dF 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 /qO?)p3gk 4.10.4 性能 61 oW8 hC 4.10.5 保存设计和性能 64 B#(2,j7M 4.10.6 默认设计 64 lof}isOz 4.11 图表 64 }aa ~@K<A 4.11.1 合并曲线图 67 #'Lt_Yf! 4.11.2 自适应绘制 68 +X7+:QQ} 4.11.3 动态绘图 68 IF.6sJg: 4.11.4 3D绘图 69 ceGo:Aa<) 4.12 导入和导出 73 qU:Mvb^5& 4.12.1 剪贴板 73 m_r_4BP 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 x 0x/2re 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Zkn1@a 4.13 背景 77 UP |#WegO 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 [<7Vv_\Q 4.15 生成Rugate 84 oj~0zJI 4.16 参考文献 91 zmh3
Qa( 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 |DMa2}% 5.1 Jobs 92 7eekTh, ? 5.2 创建一个新Job(工作) 93 *27*&&=)H 5.3 输入材料 94 cdfvc0 5.4 设计数据文件夹 95 z'ZGN{L 5.5 默认设计 95 cakb.Q 6 细化和合成 97 [vY? ! 6.1 优化介绍 97 Yet!qmZ 6.2 细化 (Refinement) 98 PEX(*GS 6.3 合成 (Synthesis) 100 '1yy&QUZq 6.4 目标和评价函数 101 YPqp#X* 6.4.1 目标输入 102 *,d>(\&[f 6.4.2 目标 103 VC@{cVT 6.4.3 特殊的评价函数 104 {9C+=v? 6.5 层锁定和连接 104 ['rqz1DL5 6.6 细化技术 104 f,}]h~w\ 6.6.1 单纯形 105 @( H 6.6.1.1 单纯形参数 106 ce\ F~8y 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 zg83->[ 6.6.2.1 Optimac参数 108 {^VvL'n 6.6.3 模拟退火算法 109 P2;I0 ! 6.6.3.1 模拟退火参数 109 tJ,x>s?Y 6.6.4 共轭梯度 111 -w:F8k ~ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 s8]9OG3g 6.6.5 拟牛顿法 112 < l%3P6| 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 aD:vNX 6.6.6 针合成 113 -] .Y"; 6.6.6.1 针合成参数 114 \#; -C<[b 6.6.7 差分进化 114 "'
hc)58y 6.6.8非局部细化 115 $}G03G@ 6.6.8.1非局部细化参数 115 =?/RaK/
w 6.7 我应该使用哪种技术? 116 x\Det$3Kx 6.7.1 细化 116 UR&Uwa&. 6.7.2 合成 117 6{r^3Hz 6.8 参考文献 117 $G5;y> 7 导纳图及其他工具 118 6T5nr 7.1 简介 118 s]=s| 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 &k+'TcWm 7.2.1 四分之一波长规则 119 $6XCHVx 7.2.2 导纳图 120 jWd 7 >1R? 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 t%n3~i4X: 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 {IW pI * 7.5 斜入射导纳图 141 )MKzAAt~ 7.6 对称周期 141 /f7Fv*z/ 7.7 参考文献 142 /v1Rn*VF! 8 典型的镀膜实例 143 1cyX9X 8.1 单层抗反射薄膜 145 e'c~;Z\A 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 FasA f(3 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ;@@1$mzK 8.4 W-膜层 148 OwwlQp ~!J 8.5 V-膜层 149 FSqS]6b3 8.6 V-膜层高折射基底 150 z6K"}C% 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 1YA_`_@w 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 8S>T1st 8.9 四层抗反射薄膜 153 Gv!*
Qk4 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ~5HI9A4^ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 i`^`^Ka 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 hY.zwotH 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 #`C;@#xr 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 %:/_O*~)Yg 8.15十五层宽带抗反射膜 159 3+;}2x0-F 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 :o}Ju}t 8.17 1/4波长堆栈 162 !Q`GA<ikv 8.18 陷波滤波器 163 V=}b>Jo2j 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 `um#}ify# 8.20 褶皱 165 PX3rHKK{ 8.21 消偏振分光器1 169 dE*n!@ 8.22 消偏振分光器2 171 ?#^_yd|< 8.23 消偏振立体分光器 172 Dq!Vo ;s2 8.24 消偏振截止滤光片 173 1FS Jqad 8.25 立体偏振分束器1 174 d*Y&V$?zl 8.26 立方偏振分束器2 177 'Pudy\Ab 8.27 相位延迟器 178 8VJUaL@ 8.28 红外截止器 179 v?)-KtX| 8.29 21层长波带通滤波器 180 DYU+?[J 8.30 49层长波带通滤波器 181 ;%Jw9G\h 8.31 55层短波带通滤波器 182 4}{HRs? 8.32 47 红外截止器 183 Memz>uux 8.33 宽带通滤波器 184 &UUIiQm~ 8.34 诱导透射滤波器 186 [ds:LQq)/ 8.35 诱导透射滤波器2 188 d*=P8QwL| 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 }"<|.[V) 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 /a\6&Eb 8.35 增益平坦滤波器 193 ln7{c #lE 8.38 啁啾反射镜 1 196 edqek jh 8.39 啁啾反射镜2 198 D L_{q6ZK 8.40 啁啾反射镜3 199 bE2^sx`( 8.41 带保护层的铝膜层 200 kScq#<Y& 8.42 增加铝反射率膜 201 AHP_B&s,Qe 8.43 参考文献 202 maLKUSgo 9 多层膜 204 ZD] ^Y} 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 KAm v7 9.2 内部透过率 204 iK6L\'k 9.3 内部透射率数据 205 V+X>t7.Q 9.4 实例 206 D;It0" 9.5 实例2 210 'H2TwSbIXI 9.6 圆锥和带宽计算 212 ^c}Z$V 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 RF
4u\ \ 10 光学薄膜的颜色 216 ^WP`;e 10.1 导言 216 F_=RY] 10.2 色彩 216 o~,dkV 10.3 主波长和纯度 220 RV5X0 10.4 色相和纯度 221 E)m{m$Hb 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 7</&=lly 10.6 色差 226 IMjnj|Fj 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 Ns2M8 10.8 颜色渲染指数 234 bo rt2k 10.9 色差计算 235 wxXp(o( 10.10 参考文献 236 GFOd9=[ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 o&1ewE(O] 11.1 短脉冲 238 BEyg63= 11.2 群速度 239 ^!-*xH.dK 11.3 群速度色散 241 n4+l,~ 11.4 啁啾(chirped) 245 jEsP: H(0^ 11.5 光学薄膜—相变 245 F0%FX`b{{ 11.6 群延迟和延迟色散 246 S1&mY'c 11.7 色度色散 246 k'X
v*U 11.8 色散补偿 249 W XDl\*n 11.9 空间光线偏移 256 &a% |L=FY 11.10 参考文献 258 1HG~}E 12 公差与误差 260 {wRs V=* 12.1 蒙特卡罗模型 260 7.$0LN/a!Z 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 );V6YE 12.2.1 误差工具 267 zME75;{ 12.2.2 灵敏度工具 271 nVV>;e[ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 Iodk1Y; 12.2.2.2 灵敏度分布 275 "qUUH4mR` 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 |GtTz& 12.3 参考文献 276 t\E#8 13 Runsheet 与Simulator 277 x):cirwkl 13.1 原理介绍 277 r k;k:<c 13.2 截止滤光片设计 277 5\}A8Ng 14 光学常数提取 289 H#x=eDU|k 14.1 介绍 289 9nlfb~F~P 14.2 电介质薄膜 289 \];0S4SBy 14.3 n 和k 的提取工具 295 XtVx
H4q 14.4 基底的参数提取 302 wl #Bv,xf 14.5 金属的参数提取 306 Lt0JUUa0 14.6 不正确的模型 306 #N_C|v/ 14.7 参考文献 311 2`I"
QU 15 反演工程 313 "S.5_@? 15.1 随机性和系统性 313 &U ]L@]x 15.2 常见的系统性问题 314 PXG)?`^NX 15.3 单层膜 314 `q7O\ 15.4 多层膜 314 R9nW5f
Nf 15.5 含义 319 yB\}e'J^ 15.6 反演工程实例 319 Tz3 L#0:j 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 0gw0 15.6.2 反演工程提取折射率 327 :@{(^}N8u 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
fy" q 16.1 光学性质的热致偏移 329 yKF"\^`@ 16.2 应力工具 335 VVO C-: 16.3 均匀性误差 339 _Q,`Qn@|BD 16.3.1 圆锥工具 339 NrT!&>M 16.3.2 波前问题 341 dO}6zQ\ 16.4 参考文献 343 Y~#m-y 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ec+&K?T 17.1 引言 345 ~wf&78 17.2 操作数 345 #4iSQ$0 18 如何在Function中编写脚本 351 hRTw8-wy: 18.1 简介 351 }Tf~)x 18.2 什么是脚本? 351 \,)('tUE 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 {J;[
Hf5 18.4 基础 352 +X(@o 18.4.1 Classes(类别) 352 :["iBrFp 18.4.2 对象 352 H)z}6[` 18.4.3 信息(Messages) 352 ] W39HL 18.4.4 属性 352 HZC^Q7]hy 18.4.5 方法 353 pA7& 18.4.6 变量声明 353 >Q#h,x~vu 18.5 创建对象 354 7p*PDoM6` 18.5.1 创建对象函数 355 low
0@+Q 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 3*x_S"h 18.5.3 丢弃对象 356 &7_xr.c7 18.5.4 总结 356 K8M[xaI@ 18.6 脚本中的表格 357 69ZGdN 18.6.1 方法1 357 %^tKt 18.6.2 方法2 357 ]R[j]E. 18.7 2D Plots in Scripts 358 N\{Xhr7d 18.8 3D Plots in Scripts 359 -L&r2RF/ 18.9 注释 360 x9Um4!/t 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 zLEl/yPE 18.11 一个更高级的脚本 362 ;Gixu9u' 18.12 <esc>键 364 jez=q 18.13 包含文件 365 TLbnG$VQS 18.14 脚本被优化调用 366 oS3'q\ 18.15 脚本中的对话框 368 MJ "ug8N 18.15.1 介绍 368 6Hoc F/Ye 18.15.2 消息框-MsgBox 368 4.Luy 18.15.3 输入框函数 370 f_v@.vnn. 18.15.4 自定义对话框 371 8h"Val|qP 18.15.5 对话框编辑器 371 WjLy7& 18.15.6 控制对话框 377 ]S!:p>R 18.15.7 更高级的对话框 380 FyleK+D? 18.16 Types语句 384 Q(v*I&k 18.17 打开文件 385 d [K71 18.18 Bags 387 v$~1{}iI5 18.13 进一步研究 388 *-Y`7=^$ 19 vStack 389 } )DE 19.1 vStack基本原理 389 I)7STzlMj. 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ybk~ m 19.3 五棱镜 393 rywui10x* 19.4 光束距离 396 4z6i{n-k 19.5 误差 399 _mSDz=!Z3 19.6 二向分色棱镜 399 WEy$SN+P 19.7 偏振泄漏 404 v *'anw&Z 19.8 波前误差—相位 405 yC#%fgQ r 19.9 其它计算参数 405 DzZEn]+zt 20 报表生成器 406 xib?XzxGo 20.1 入门 406 Aw?i6d 20.2 指令(Instructions) 406 J>D+/[mFt 20.3 页面布局指令 406 U-^qVlw 20.4 常见的参数图和三维图 407 U'4j+vUc 20.5 表格中的常见参数 408 %vF,wQC 20.6 迭代指令 408 l$[7pM[ 20.7 报表模版 408 >-S? rXO 20.8 开始设计一个报表模版 409 jGm`Qg{< 21 一个新的project 413 SXqWq 21.1 创建一个新Job 414 P}"=67$ 21.2 默认设计 415 zEM c) 21.3 薄膜设计 416 RBOb/.$ 21.4 误差的灵敏度计算 420 M~/Pk7CC 21.5 显色指数计算 422 Z%&$_-yJ 21.6 电场分布 424 |:7
^ 后记 426 K Eda6zZH 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! nR%ey"
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