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《Essential Macleod中文手册》 109dB$+$ luRtuXn[8 目 录 N]udZhkn ^0py ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 uOUgU$%zqH 第1章 介绍 ..........................................................1 ad1 I2 第2章 软件安装 ..................................................... 3 m1H_kJ 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 L|pMq!@J 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 #N9^C@ 第5章 软件结构 ............................................................... 21 W{:^P0l 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 o|O730"2F 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 y:u7*%" 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 Evu`e=LaG 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 6RV42r^pf 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 r0t4\d_& 第11章 表格窗口 ................................................................. 116
KK$t3e) 第12章 优化和综合 ..................................................................120 AGu#*,K 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 $X<O\Kna 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 djJD'JL 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 RQxL`7H 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 qM78s>\-h 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 (37dD! 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 @i2"+_}* 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 +9Q,[)e r 第20章 运行表单 .................................................................... 251 '/M9V{DD88 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 p_%dH 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 ,yc_r=_ 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 -i93 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 8p D$/ 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 G#yv$LY# 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 QL/I/EgqC 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 j'r"_*% 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 8'XAZSd( 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 t7GK\B8: w]L^)_'Th "?9rJx$ )1?#q[x C\2 rSyo NzS(,F 内容简介 ZtHTl\z Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 EZs"?A 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 c_"=G#^9@i 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 >^Rkk{cc 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 }fC= r~rft w 目录 rnAQwm-8O% Preface 1 X5U#^^O$E% 内容简介 2 Y oDL/ 目录 i 7)Cn 4{B6 1 引言 1 -sjyv/%_ 2 光学薄膜基础 2 B|WM;Y^ 2.1 一般规则 2 lo!^h]iE ! 2.2 正交入射规则 3 T)c<tIr6 2.3 斜入射规则 6 tKS'#y!R 2.4 精确计算 7 s#Ayl]8r 2.5 相干性 8 w?#s)z4}g 2.6 参考文献 10 SG$V%z"e 3 Essential Macleod的快速预览 10 e|-&h `[ 4 Essential Macleod的特点 32 deLLqdZa 4.1 容量和局限性 33 5aZbNV}- 4.2 程序在哪里? 33 @T.+:U@S 4.3 数据文件 35 ^(F@ #zN} 4.4 设计规则 35 jouA
]E 4.5 材料数据库和资料库 37 nh
XVc(( 4.5.1材料损失 38 hs^K9Jt 4.5.1材料数据库和导入材料 39 %eOO8^N 4.5.2 材料库 41 216=7O2F 4.5.3导出材料数据 43 B,S~Idr} 4.6 常用单位 43 NHaY&\ 4.7 插值和外推法 46 ldFR%v>9 4.8 材料数据的平滑 50 }INj~d<: 4.9 更多光学常数模型 54 !jWE^@P/B 4.10 文档的一般编辑规则 55 )4#YS$B$@) 4.11 撤销和重做 56 )L/0X40<. 4.12 设计文档 57 LWdA3% 4.10.1 公式 58 WAt= T3 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ]?G|:Kx$y% 4.10.3 沉积密度 59 Y_zMj`HE 4.10.4 平行和楔形介质 60 XCyU)[wY 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 xlcL;e&^P 4.10.4 性能 61 &+5ij;AD 4.10.5 保存设计和性能 64 Sx8RH),k 4.10.6 默认设计 64 nEt{ltsS0 4.11 图表 64 S=<OS2W7+r 4.11.1 合并曲线图 67 1*GL;W~ix* 4.11.2 自适应绘制 68 6gs0Vm 4.11.3 动态绘图 68 5,R4:y ?cK 4.11.4 3D绘图 69 X5pb9zRq 4.12 导入和导出 73 R53^3"q~ 4.12.1 剪贴板 73 =`ZRPA!aY 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 riZ :#I 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 N:q\i57x 4.13 背景 77 d&* c3F 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 72CHyl`|l 4.15 生成Rugate 84 1}_4C0h\' 4.16 参考文献 91 ds2%i
5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 S]&:R)#@ 5.1 Jobs 92 ?W>`skQ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 QWc,JCu 5.3 输入材料 94 GT7&>}FJ) 5.4 设计数据文件夹 95 VOJ/I Dl 4 5.5 默认设计 95 -7KoR}Ck! 6 细化和合成 97 jF@BWPtF= 6.1 优化介绍 97 < 1%}8t" 6.2 细化 (Refinement) 98 a&2UDl% K 6.3 合成 (Synthesis) 100 Aydpr_lp 6.4 目标和评价函数 101 &]h`kvtBC 6.4.1 目标输入 102 7B<,nKd 6.4.2 目标 103 $1$0M 6.4.3 特殊的评价函数 104 jddhX]>I 6.5 层锁定和连接 104 _NB*+HVo 6.6 细化技术 104 78\j 6.6.1 单纯形 105 A`#?Bj 6.6.1.1 单纯形参数 106 boI&q>-6Re 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 &) 64:l& 6.6.2.1 Optimac参数 108 182g6/, 6.6.3 模拟退火算法 109 '?jsH+j+ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 Xj{gyLs 6.6.4 共轭梯度 111 #*q]^Is" 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Y7zs)W8xTT 6.6.5 拟牛顿法 112 &~Y%0&F,& 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 &09&;KJ 6.6.6 针合成 113 =;4K5l{c 6.6.6.1 针合成参数 114 cQ]c!G|a4 6.6.7 差分进化 114 C1fd@6 6.6.8非局部细化 115 EDz;6Z*4N 6.6.8.1非局部细化参数 115 }hsNsQ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 t7xJ$^p[|K 6.7.1 细化 116 dl"=ZI
'^ 6.7.2 合成 117 ttdY]+Fj 6.8 参考文献 117 Zs]n0iwM'@ 7 导纳图及其他工具 118 _9]vlxgtG( 7.1 简介 118 8k3y"239t 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 k33\;9@k 7.2.1 四分之一波长规则 119 `#'j3,\6 7.2.2 导纳图 120 |{Ex)hkw 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 oNIYO*[ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 8Ji`wnkXe 7.5 斜入射导纳图 141 ^.R!sQ 7.6 对称周期 141 ZY8w1:'
7.7 参考文献 142 N,Z*d 8 典型的镀膜实例 143 Z.&/,UU:4 8.1 单层抗反射薄膜 145 W+GC3W 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 o">~ObR 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 7~FHn'xt 8.4 W-膜层 148 z"T+J?V/ 8.5 V-膜层 149 OPzudO 8.6 V-膜层高折射基底 150 &TY74w* 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 !d<R=L 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 f=k#o2 8.9 四层抗反射薄膜 153 ZG0^O"B0 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 bZ1*:k2 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 xVw@pR; 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 %L^( eTi[ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 "9r$*\wOf 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 jC_'6sc` 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Arg/ge.y 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 p5$}h,7 8.17 1/4波长堆栈 162 :A
zll s 8.18 陷波滤波器 163 f]#\&" 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 p:TE## 8.20 褶皱 165 \c<;!vkZ04 8.21 消偏振分光器1 169 WKiP0~ 8.22 消偏振分光器2 171 >t.Lc. 8.23 消偏振立体分光器 172 ?IYu"UO<)| 8.24 消偏振截止滤光片 173 kmc_%Wm} 8.25 立体偏振分束器1 174 F{;#\Ob 8.26 立方偏振分束器2 177 6i-G{)=l 8.27 相位延迟器 178 ,{!,%]bC 8.28 红外截止器 179 Y~g\peG7 8.29 21层长波带通滤波器 180 cz,QP'g 8.30 49层长波带通滤波器 181 'KIT^k0"Ih 8.31 55层短波带通滤波器 182 I]`RvT 8.32 47 红外截止器 183 QK?V^E 8.33 宽带通滤波器 184 iphC\*F 8.34 诱导透射滤波器 186 CDM6o!ur3 8.35 诱导透射滤波器2 188 {N>ju 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 e2v`
8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 J/'Fj? 8.35 增益平坦滤波器 193 ?[d4HKs 8.38 啁啾反射镜 1 196 jQ;/=9 8.39 啁啾反射镜2 198 <wk 8.40 啁啾反射镜3 199 /M%>M] 8.41 带保护层的铝膜层 200 wv\K 8.42 增加铝反射率膜 201 =X?fA, 8.43 参考文献 202 iq*im$9J 9 多层膜 204 L4Zt4Yuw 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 I{OizBom 9.2 内部透过率 204 ~*7$aj 9.3 内部透射率数据 205 JyZuj>`
6 9.4 实例 206 7JGc9K+Av 9.5 实例2 210 I4G0!"T+ 9.6 圆锥和带宽计算 212 'KA$^ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 @>Yd6C 10 光学薄膜的颜色 216 #0r~/gW 10.1 导言 216 8j;Un] 10.2 色彩 216 yf9"Rc~+ 10.3 主波长和纯度 220 }lIc{R@H 10.4 色相和纯度 221 v']_) 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ,)Q-o2(C 10.6 色差 226 S~);
10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 GMJ4v S 10.8 颜色渲染指数 234 %jzTQ+.%]^ 10.9 色差计算 235 HP.=6bJWi 10.10 参考文献 236 `s)4F~aVo 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 -n.m "O3 11.1 短脉冲 238 ,fp+nu8, 11.2 群速度 239 PP$sdmo 11.3 群速度色散 241 ]0."{^ksL 11.4 啁啾(chirped) 245 FL'}~il 11.5 光学薄膜—相变 245 ot<d
FvD 11.6 群延迟和延迟色散 246 -*'
?D@l 11.7 色度色散 246 4j=3'Z| 11.8 色散补偿 249 FuiR\"Ww 11.9 空间光线偏移 256 Cw+boB_tip 11.10 参考文献 258 m"9f( 12 公差与误差 260 xRD+!3 12.1 蒙特卡罗模型 260 rNq*z, 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 SvM\9 12.2.1 误差工具 267 FE\E%_K'n7 12.2.2 灵敏度工具 271 Uw("+[ 5O0 12.2.2.1 独立灵敏度 271 LZn'+{\` 12.2.2.2 灵敏度分布 275 LG&BWs! 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 TI DgIK 12.3 参考文献 276 Ab ,^y 13 Runsheet 与Simulator 277 RqTO3Kf 13.1 原理介绍 277 ML_VD*t9 13.2 截止滤光片设计 277 m`-);y 14 光学常数提取 289 N1ipK9a 14.1 介绍 289 _/LGGt4&% 14.2 电介质薄膜 289 !:|*! 14.3 n 和k 的提取工具 295 7<xnE]jdq 14.4 基底的参数提取 302 RRt(%Wm* 14.5 金属的参数提取 306 23):OB>S` 14.6 不正确的模型 306 ^xa, r#N:V 14.7 参考文献 311 ZRxOXt&; 15 反演工程 313 J#..xJ?XRD 15.1 随机性和系统性 313 2|>\A.I|= 15.2 常见的系统性问题 314 >}V?GK36 15.3 单层膜 314 GM6,LzH 15.4 多层膜 314 1Z}5ykM3 15.5 含义 319 S?0o[7(x* 15.6 反演工程实例 319 8 ??-H0P 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 )$n%4 : 15.6.2 反演工程提取折射率 327 !kE5]<H\ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 O=2|'L'h! 16.1 光学性质的热致偏移 329 J{ju3jo 16.2 应力工具 335 zl1*GVg 16.3 均匀性误差 339 bgorW"' 16.3.1 圆锥工具 339 m;dwt1'Zw 16.3.2 波前问题 341 P4[kW}R 16.4 参考文献 343 '|IcL1c=I 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 >B{NxL3-> 17.1 引言 345 pt<zyH3Z 17.2 操作数 345 5tlRrf 18 如何在Function中编写脚本 351 [7@g*!+d 18.1 简介 351 3NpB1lgh&: 18.2 什么是脚本? 351 ^o3,YH 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Rml'{S 18.4 基础 352 #3rS{4[ 18.4.1 Classes(类别) 352 StI
N+S@Z 18.4.2 对象 352 MLWHO$C~T 18.4.3 信息(Messages) 352 dVb6u 18.4.4 属性 352 }93kHO{ 18.4.5 方法 353 *9j'@2!M 18.4.6 变量声明 353 )s
$]+HQs 18.5 创建对象 354 w jkh*Y 18.5.1 创建对象函数 355 A"JdG%t>.h 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 1b9S";ct0 18.5.3 丢弃对象 356 Fv~lasW[ 18.5.4 总结 356 '3>;8(sl 18.6 脚本中的表格 357 ;@ePu 18.6.1 方法1 357 [{7#IZL 18.6.2 方法2 357 y*iZ;Bv j 18.7 2D Plots in Scripts 358 nONuw;K 18.8 3D Plots in Scripts 359 arL>{mj 18.9 注释 360 ;_cTrjMv\ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 =d{6=2Pt 18.11 一个更高级的脚本 362 z&%i"IY 18.12 <esc>键 364 $@z77td3 18.13 包含文件 365 xWG@<}H 18.14 脚本被优化调用 366 P~\rP6
; 18.15 脚本中的对话框 368 ZexC3LD" 18.15.1 介绍 368 ZE=sw}= 18.15.2 消息框-MsgBox 368 XJ<"S
p 18.15.3 输入框函数 370 z0}j7ns] 18.15.4 自定义对话框 371 dtR"5TL<~} 18.15.5 对话框编辑器 371 h[remR#3\ 18.15.6 控制对话框 377 V+`kB3GV 18.15.7 更高级的对话框 380 x4q}xwH 18.16 Types语句 384 P =X]'m_B 18.17 打开文件 385 tRoSq;VrS 18.18 Bags 387 d {!P
c< 18.13 进一步研究 388 O=o}uB-*6 19 vStack 389 W> pe- 19.1 vStack基本原理 389 J>_mDcPo 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 pQa51 nc 19.3 五棱镜 393 MLdwf}[ 19.4 光束距离 396 =z# trQ{ 19.5 误差 399 9kD#'BxC 19.6 二向分色棱镜 399 oXG_6E!^ 19.7 偏振泄漏 404 Vh\_Ko\V5 19.8 波前误差—相位 405 wo`.sB&T 19.9 其它计算参数 405 [K4cxqlfk 20 报表生成器 406 hV7EjQp 20.1 入门 406 e@h{Ns.1- 20.2 指令(Instructions) 406 G+c&e:ip< 20.3 页面布局指令 406 bsQ'kBD 20.4 常见的参数图和三维图 407 `LkrG9KV{ 20.5 表格中的常见参数 408
|#yu 20.6 迭代指令 408 1TZ[i 20.7 报表模版 408 m^ xTV-#l@ 20.8 开始设计一个报表模版 409 gNZwD6GMe? 21 一个新的project 413 nd'D0<% 21.1 创建一个新Job 414 M1Q&)am 21.2 默认设计 415 ]ae(t`\l^ 21.3 薄膜设计 416 1`8s
"T 21.4 误差的灵敏度计算 420 +
f6LG 0q 21.5 显色指数计算 422 zB%~=@Q^6 21.6 电场分布 424 o26Y}W 后记 426 L~&S<5? 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! :qo[@ x{
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