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《Essential Macleod中文手册》 ibIo1i//[ yJGM"$ 目 录 UgjY 5
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T ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 f hS4Gb_ 第1章 介绍 ..........................................................1 gS$?#!f 第2章 软件安装 ..................................................... 3 7"0l>0 \ 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 3T7,Y(<V 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 U" ;8zplU 第5章 软件结构 ............................................................... 21 | Xv]s61 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 wtpz ef= 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 :Lze8oY(D} 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 `X ;2lgL 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 mcFJ__3MAV 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 (c=.?{U 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 iR(jCD?) Y 第12章 优化和综合 ..................................................................120 !w}cKm 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 ytg' {) 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 a-<&(jV 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 WfF~\DlrD 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 TowRY=#jiS 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 (viGL|Ogn 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 Y ~%9TC 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 |E#+X 第20章 运行表单 .................................................................... 251 WY 'QhieH 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 ql_GN[c/ 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 b6y/o48 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 u~y0H 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 IGC:zZ~z 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 e qzmEg 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 suP/I?4'@ 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 ]= nM|e 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 u|}p3-z|Y 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 ./#F,^F2 7g&"clRGO )ir*\<6Y= 9p{7x[ C *[SOz) mv;;0xH 内容简介 wq@{85 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 C0> Z<z 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 n?=d)[] 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 )J<VDO:_YA 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 6<
T@\E N&]GPl0 目录 V0ig#?] Preface 1 ft"t 内容简介 2 wYLi4jYm 目录 i nhZ^`mP 1 引言 1 Op2@En|d 2 光学薄膜基础 2 z&a>cjt_; 2.1 一般规则 2 C@#KZ`c) 2.2 正交入射规则 3 Y"dUxv1Ap 2.3 斜入射规则 6 n |e=7?H8 2.4 精确计算 7 \J0fr'(S 2.5 相干性 8 ;[,r./XmH 2.6 参考文献 10 Pv#>j\OR& 3 Essential Macleod的快速预览 10 aR0'$*3E 4 Essential Macleod的特点 32 kl0|22"Gz 4.1 容量和局限性 33 _q7mYc 4.2 程序在哪里? 33 A0f98?j^ 4.3 数据文件 35 _d`)N 4.4 设计规则 35 %Xfy.v 4.5 材料数据库和资料库 37 @7j$$ 4.5.1材料损失 38 lI*uF~ 'D 4.5.1材料数据库和导入材料 39 a2!;$B% 4.5.2 材料库 41 Y$\c_#/] 4.5.3导出材料数据 43 31> $;" 4.6 常用单位 43 ]QJWqY 4.7 插值和外推法 46 ]aN]H a 4.8 材料数据的平滑 50 V[RsSZx
= 4.9 更多光学常数模型 54 /nas~{B 4.10 文档的一般编辑规则 55 u4QBD5T" 4.11 撤销和重做 56 5dXDL~/2p 4.12 设计文档 57 @}+F4Xh,L 4.10.1 公式 58 8uD% 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 u#^~([I 4.10.3 沉积密度 59 u P&< 4.10.4 平行和楔形介质 60 ~M?^T$5 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 /ho7O/aAa 4.10.4 性能 61 'Xb?vOU 4.10.5 保存设计和性能 64 GJo`9 4.10.6 默认设计 64 E$1P H) 4.11 图表 64 4Y
`=`{Q 4.11.1 合并曲线图 67 y|Vwy4tK9 4.11.2 自适应绘制 68
*Q XUy
4.11.3 动态绘图 68 P3op1/Np 4.11.4 3D绘图 69 Vu1swq)l 4.12 导入和导出 73 iR39lOr 4.12.1 剪贴板 73 d"U'\ID2y 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 RJ0:O 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 L+N;mI8 4.13 背景 77 *\"+/ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 N`xXH 4.15 生成Rugate 84 ^9`S`Bhp 4.16 参考文献 91 U3OXO1 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 4E0 Y= 5.1 Jobs 92 <[Y@< 5.2 创建一个新Job(工作) 93 /)/>/4O 5.3 输入材料 94 tuIQiWHbM 5.4 设计数据文件夹 95 -?Kd[Ma 5.5 默认设计 95 Cak-J~= 6 细化和合成 97 y??^[ sB 6.1 优化介绍 97 ?j|i|WUD 6.2 细化 (Refinement) 98 DR
c-L$bD 6.3 合成 (Synthesis) 100 A=bBI>GEYP 6.4 目标和评价函数 101 2'T uS? 6.4.1 目标输入 102 W)p?cK` 6.4.2 目标 103 kB3@;z: 6.4.3 特殊的评价函数 104 mh"9V5T 6.5 层锁定和连接 104 C]GW u~QF 6.6 细化技术 104 R
Y ";SfYb 6.6.1 单纯形 105 ^6i,PRScS 6.6.1.1 单纯形参数 106 #.W^7}H 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 9~ rYLR(v 6.6.2.1 Optimac参数 108 6)j/"9oY 6.6.3 模拟退火算法 109 v FWg0 $, 6.6.3.1 模拟退火参数 109 )FSa]1t;x 6.6.4 共轭梯度 111 \@F~4,VT 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 1!p7N$QR 6.6.5 拟牛顿法 112 R!y`p:O
C 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ,f)#&}x*2+ 6.6.6 针合成 113 F7lzc) 6.6.6.1 针合成参数 114 kDWMget$ 6.6.7 差分进化 114 RElIWqgY 6.6.8非局部细化 115 p|RFpn2ygF 6.6.8.1非局部细化参数 115 Qoom[@$ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 '8V>:dy> 6.7.1 细化 116 F*J@OY8i 6.7.2 合成 117 mr<camL5 6.8 参考文献 117 <BX'Owbs!O 7 导纳图及其他工具 118 owKOH{otf 7.1 简介 118 b 67l\L 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ^udl&> 7.2.1 四分之一波长规则 119 V8}jFib 7.2.2 导纳图 120 y41,T&ja 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 AEE&{_[S 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 +XoY@|Djd 7.5 斜入射导纳图 141 TS49{^d$ 7.6 对称周期 141 k r ga!,I 7.7 参考文献 142 ^j *H 8 典型的镀膜实例 143 .Hm1ispq 8.1 单层抗反射薄膜 145 -a`PW 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 YLehY 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 {2T;^+KE 8.4 W-膜层 148 eiJ~1HX) 8.5 V-膜层 149 x03@} M1 8.6 V-膜层高折射基底 150 #H-EOXy 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 }2.0e5[ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 b/6!>qMMk% 8.9 四层抗反射薄膜 153 zY2o;-d|4 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 $q 9dkt 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 9`T2 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 |DkK7gw 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ~fY\; 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ,HECHA_" 8.15十五层宽带抗反射膜 159 u`Abko<D 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 N-YCOSUu 8.17 1/4波长堆栈 162 -W.bOr 8.18 陷波滤波器 163 h)pYV>!d 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 e!oL!Zg 8.20 褶皱 165 ~=k?ea/> 8.21 消偏振分光器1 169 M+GtUE~" 8.22 消偏振分光器2 171 nNpXkI: 8.23 消偏振立体分光器 172 `L7Cf&W\l8 8.24 消偏振截止滤光片 173 O*udV E> 8.25 立体偏振分束器1 174 EWK?vs 8.26 立方偏振分束器2 177 ykD-L^} 8.27 相位延迟器 178 $5N\sdyZxg 8.28 红外截止器 179 M%v 6NxN 8.29 21层长波带通滤波器 180 \fSo9$ 8.30 49层长波带通滤波器 181 pz ~REsx 8.31 55层短波带通滤波器 182 BNq6dz$ J 8.32 47 红外截止器 183 oz&RNB.K 8.33 宽带通滤波器 184 t-?#x
8.34 诱导透射滤波器 186 !P@4d G 8.35 诱导透射滤波器2 188 P 9?I]a)G 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 K8 Hj)$E61 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 EFzPt?l 8.35 增益平坦滤波器 193 {Y1&GO; 8.38 啁啾反射镜 1 196 gPcOm
b 8.39 啁啾反射镜2 198 Q3rLCg,; 8.40 啁啾反射镜3 199 yII+#?D 8.41 带保护层的铝膜层 200 D8\9nHUD` 8.42 增加铝反射率膜 201 Y{g[LG`U 8.43 参考文献 202 }S 6h1X 9 多层膜 204 _|wnmeL* 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 L!0}&i;u~5 9.2 内部透过率 204 ("P]bU+'> 9.3 内部透射率数据 205 7=a=@D[ 9.4 实例 206 K:b^@>XH 9.5 实例2 210 =?[:Nj636 9.6 圆锥和带宽计算 212 i0'g$ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ;"JgNad 10 光学薄膜的颜色 216 C=8IQl[^e 10.1 导言 216 VYnB&3%DF 10.2 色彩 216 NS){D7T 10.3 主波长和纯度 220 & {=}U 10.4 色相和纯度 221 .\mkgAlyaM 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 NfND@m{/ 10.6 色差 226 }#phNn6 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 0.0r?T 10.8 颜色渲染指数 234 E'^ny4gL 10.9 色差计算 235 OXS.CFZM 10.10 参考文献 236 kJpr:4;@_ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 lY[\eQ
1: 11.1 短脉冲 238 Wn&9R
j 11.2 群速度 239 hCob^o 11.3 群速度色散 241 FZtT2Z4&i 11.4 啁啾(chirped) 245 D*t[5,~j 11.5 光学薄膜—相变 245 iHeu<3O 11.6 群延迟和延迟色散 246 )WsR
8tk 11.7 色度色散 246 =55V<VI 11.8 色散补偿 249 @T] G5|\ok 11.9 空间光线偏移 256 `.3{ 11.10 参考文献 258 4"#F=f0 12 公差与误差 260 &Xi]0\M) 12.1 蒙特卡罗模型 260 ";TqYk=- 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 uvJmEBL: 12.2.1 误差工具 267 5h6-aQU[ 12.2.2 灵敏度工具 271
t|C?=:_ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 XwDt8TxL 12.2.2.2 灵敏度分布 275 EOXuc9>G 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 9qm'qx 12.3 参考文献 276 S^{tRPF%d 13 Runsheet 与Simulator 277 V$bq|r 13.1 原理介绍 277 W/.Wp|C}K3 13.2 截止滤光片设计 277 ';LsEI[ 14 光学常数提取 289 F%$lcQ04% 14.1 介绍 289 .p%V]Ka 14.2 电介质薄膜 289 ='6@^6y 14.3 n 和k 的提取工具 295 N`O0jH{ 14.4 基底的参数提取 302 Kh{_BdN 14.5 金属的参数提取 306 }ISR +./+ 14.6 不正确的模型 306 {7.uwIW.1 14.7 参考文献 311 6kO+E5;X 15 反演工程 313 !'Ww%ZL\
15.1 随机性和系统性 313 1rV9dM#F 15.2 常见的系统性问题 314 ;iz3Bf1o 15.3 单层膜 314 83F]d+n 15.4 多层膜 314 tG[v@-O 15.5 含义 319 ?f*>=;7= 15.6 反演工程实例 319 `HILsU=| 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 {BZ0x2 15.6.2 反演工程提取折射率 327 U04)XfO;] 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 m5l& 16.1 光学性质的热致偏移 329 q#`;G,rs 16.2 应力工具 335 dTqL[?wH? 16.3 均匀性误差 339 O@>{%u 16.3.1 圆锥工具 339 L#fS P 16.3.2 波前问题 341 64D4*GQ 16.4 参考文献 343 5uU{!JuSa 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 T#a6X;9P 17.1 引言 345 lHO.pN`2 17.2 操作数 345 orhzeOi\ 18 如何在Function中编写脚本 351 1-Q>[Uz, 18.1 简介 351 1-PFM- 18.2 什么是脚本? 351 ;Bat--K7+ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 M1I4Ot 18.4 基础 352 !X 0 (4^ 18.4.1 Classes(类别) 352 j6Au<P 18.4.2 对象 352 (, $Lp0mB7 18.4.3 信息(Messages) 352 |T{ZDJ+ 18.4.4 属性 352 w[J.?v&^ 18.4.5 方法 353 eNrwkV^ 18.4.6 变量声明 353 Z|j\_VKhl 18.5 创建对象 354 A/.z. K 18.5.1 创建对象函数 355 N|w;wF!3 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 c3Zwp% 18.5.3 丢弃对象 356 M] W5%3do 18.5.4 总结 356 xI8v'[3 18.6 脚本中的表格 357 d4o_/[ 18.6.1 方法1 357 e)oi3d.wJf 18.6.2 方法2 357 uKo4nXVtp 18.7 2D Plots in Scripts 358 r]&&*: 18.8 3D Plots in Scripts 359 Yy_mX}\x 18.9 注释 360 A&_v:z4y/ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ]%UAN_T 18.11 一个更高级的脚本 362 ]o`FF="at 18.12 <esc>键 364 aq8mD^j -& 18.13 包含文件 365 M \>5" ,0 18.14 脚本被优化调用 366 to)Pl}9QkK 18.15 脚本中的对话框 368 aWb5w 18.15.1 介绍 368 i>;6Z s>S 18.15.2 消息框-MsgBox 368 3,Bm"'b6 18.15.3 输入框函数 370 3Ael 18.15.4 自定义对话框 371 j4h?" 18.15.5 对话框编辑器 371 +N!/>w]n 18.15.6 控制对话框 377 >Yfo $S_ 18.15.7 更高级的对话框 380 sE0,b 18.16 Types语句 384 nG"Ae8r 18.17 打开文件 385 A{Q~@1 18.18 Bags 387 eb<'>a 18.13 进一步研究 388 s$VLVT*6
19 vStack 389 /
!A&z4;D 19.1 vStack基本原理 389 (ce"ED`1 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 s4>xh=PoJ 19.3 五棱镜 393 -ha[xM05 19.4 光束距离 396 62#8c~dL 19.5 误差 399 UFUm-~x` 19.6 二向分色棱镜 399 :#UN^ "(m} 19.7 偏振泄漏 404 <(Ktf0'__ 19.8 波前误差—相位 405 92L{be;SY 19.9 其它计算参数 405 .vXe}% 20 报表生成器 406 'w}/o+x@ 20.1 入门 406 eXMl3Lxf 20.2 指令(Instructions) 406 e6^iakSd.L 20.3 页面布局指令 406 )X-TJ+d 20.4 常见的参数图和三维图 407 3<HPZWc 20.5 表格中的常见参数 408 BU;E6s>P 20.6 迭代指令 408 }ABHGr5[ 20.7 报表模版 408 V$ac}A,! 20.8 开始设计一个报表模版 409 8 9f{8B]z 21 一个新的project 413 DKqO5e\l8@ 21.1 创建一个新Job 414 [T#9#3 21.2 默认设计 415
_95`w9 21.3 薄膜设计 416 S|ADu]H( 21.4 误差的灵敏度计算 420 :@+@vM;gh 21.5 显色指数计算 422 Q?W}]RW 21.6 电场分布 424 )UG<KcdI 后记 426 ,?s:s&4 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! )L:p.E
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