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《Essential Macleod中文手册》 &1l~&,, zC#%6@P\ 目 录 6`Lcs $cu]_gu ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 L ?Cjo4xS 第1章 介绍 ..........................................................1 hVkO%]? 第2章 软件安装 ..................................................... 3 djfU:$!j& 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 L0xsazX:x 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 ++0rF\& 第5章 软件结构 ............................................................... 21 &Q~)]|t 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 a MsJO*;> 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 >MPa38 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 m
&!XA 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 'gCZ'edM 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111
w{r8kH 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 x)$2nonM 第12章 优化和综合 ..................................................................120 ?aFZOc4
第13章 材料管理 ........................................................................ 149 ; [FLT:$ 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 _N@(Y : 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 xj7vI&u. 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 #N$9u"8C 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 H nd+l)ng 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 9(Jy0]E~ 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 W"t"X ~T3 第20章 运行表单 .................................................................... 251 Z0W0uP;J 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 #2N_/J(U 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 #
M>wH`Q# 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 -x5F;d} 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 O+b6lg)q 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301
7O$ & 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 YD9!=a$ 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 %I0}4$ 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 WN\PX!K9 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 MyFCJJ/ ^vM_kArA z37Z%^ &(7$&Q Why"G1` D J_DonO] 内容简介 8)?_{ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Zw24f1iY 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ~of,,& 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Pk:zfC?4 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 | k}e&Q_/G ?Sw /(}|m 目录 !5~k:1= Preface 1 7>mhK7l 内容简介 2 #j.FJFGX 目录 i ayeCi8 1 引言 1 ?;RD u[eD 2 光学薄膜基础 2 =f `=@] 2.1 一般规则 2 N iISJWk6' 2.2 正交入射规则 3 $Elkhe]O % 2.3 斜入射规则 6 gwq`_/d} 2.4 精确计算 7 URQ@=W7 2.5 相干性 8 3HKxYvc C 2.6 参考文献 10 C=[Ae, 3 Essential Macleod的快速预览 10 /ao<A\KR 4 Essential Macleod的特点 32 ](nH{aY! 4.1 容量和局限性 33 x?=B\8m 4.2 程序在哪里? 33 /GN4I!LA 4.3 数据文件 35 L#!$hq9{_ 4.4 设计规则 35 {$|/|* 4.5 材料数据库和资料库 37 #D0W7a 4.5.1材料损失 38 `)2[ST 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ll2Vk*xs 4.5.2 材料库 41 8W$L:{ez 4.5.3导出材料数据 43 5us^B8Q 4.6 常用单位 43 0R4akLW0 4.7 插值和外推法 46 bQj`g2eyM 4.8 材料数据的平滑 50 .l=p[BI 4.9 更多光学常数模型 54 C=yD3mVz 4.10 文档的一般编辑规则 55 J'Gm7h{
4.11 撤销和重做 56 )mG0g@ qOK 4.12 设计文档 57 k}s+ca!B 4.10.1 公式 58 BjvdnbJg 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 y;r"+bS8 4.10.3 沉积密度 59 8,y{q9O 4.10.4 平行和楔形介质 60 FR["e1<0 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 zQ<88E&&Xs 4.10.4 性能 61 69iM0X!'u 4.10.5 保存设计和性能 64 F1J#Y$q~L
4.10.6 默认设计 64 0O[l?e4,8{ 4.11 图表 64 >j:|3atb 4.11.1 合并曲线图 67 UO1$UF!
QC 4.11.2 自适应绘制 68 ])=H 4.11.3 动态绘图 68 kF?S 2(vH 4.11.4 3D绘图 69 LyV#j>gD 4.12 导入和导出 73 1J&\,f& 4.12.1 剪贴板 73 i pwW%"6 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 sjb-Me? 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 6i-*N[!U 4.13 背景 77 SM$\;)L 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 0Nt%YP 4.15 生成Rugate 84 ee^4KKsh\ 4.16 参考文献 91 _jo$)x+'x 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 c&b/Joi7@ 5.1 Jobs 92 F^]aC98]1 5.2 创建一个新Job(工作) 93 eVrNYa1>H 5.3 输入材料 94 ?uig04@3 5.4 设计数据文件夹 95 F^xaz^=`u 5.5 默认设计 95 \6i9q= 6 细化和合成 97 {zu/tCq? 6.1 优化介绍 97 K k`<f d 6.2 细化 (Refinement) 98 A]#_"fayo 6.3 合成 (Synthesis) 100 m|mG;8}pI 6.4 目标和评价函数 101 <ZV7|'^ 6.4.1 目标输入 102 f}%sO 6.4.2 目标 103 DP0Z*8Ia 6.4.3 特殊的评价函数 104 aoK4Du{ 6.5 层锁定和连接 104 soDfi-2o3 6.6 细化技术 104 qhnapZJ 6.6.1 单纯形 105 1 0V+OIC 6.6.1.1 单纯形参数 106 N" ; ^S 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 :/~_sJt C 6.6.2.1 Optimac参数 108 gkLr]zv 6.6.3 模拟退火算法 109 h~:H?pj3g 6.6.3.1 模拟退火参数 109 =uS8>.Qj 6.6.4 共轭梯度 111 `u$24h'! 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 il7!} 6.6.5 拟牛顿法 112 j ~.u>4 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 /CbkqNV 6.6.6 针合成 113 so'eZ"A: 6.6.6.1 针合成参数 114 E tdd\^ 6.6.7 差分进化 114 ,rXW`7!2 6.6.8非局部细化 115 w2'
3S#nZ 6.6.8.1非局部细化参数 115 N]*!8 6.7 我应该使用哪种技术? 116 >H8^0n)? 6.7.1 细化 116 N*?
WUn9] 6.7.2 合成 117 HaS[.&\S0 6.8 参考文献 117 %$^$'6\77 7 导纳图及其他工具 118 >" i~ x 7.1 简介 118 Z"+(LO! 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 pc^E'h: 7.2.1 四分之一波长规则 119 8`6
LMQ 7.2.2 导纳图 120 aQC7 V !v 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 lf}?!*V`+ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ayHn_ 7.5 斜入射导纳图 141 5t TLMZ `o 7.6 对称周期 141 L{zamVQG 7.7 参考文献 142 rC=f#YjR 8 典型的镀膜实例 143 =y`-sU Hx 8.1 单层抗反射薄膜 145 :LG}yq^ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 *%;6P5n% 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 |I4D(#w. 8.4 W-膜层 148 oK%K+h 8.5 V-膜层 149 8}]l9"q( 8.6 V-膜层高折射基底 150 A=y24m 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 >Y44{D\` 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 +W!'B
r 8.9 四层抗反射薄膜 153 zR_9D} 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 qEPf-O:lm 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 E\W;:p,{A 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Gt?!E6^! 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 _$~ex ~v 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 1V#B]x: 8.15十五层宽带抗反射膜 159 X*(gT1"t 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 'Wd3`4V$ 8.17 1/4波长堆栈 162 9(V=Ubj 8.18 陷波滤波器 163 }Z<D^Z~w 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 (8+.#1!* 8.20 褶皱 165 'cWlY3%t 8.21 消偏振分光器1 169 PpI+@:p[ 8.22 消偏振分光器2 171 &:IfhS 8.23 消偏振立体分光器 172 9N`+ O 8.24 消偏振截止滤光片 173 Fa Qu$q 8.25 立体偏振分束器1 174 _gis+f/8h 8.26 立方偏振分束器2 177 `kI?Af*;v 8.27 相位延迟器 178 )cfp(16 8.28 红外截止器 179 |E>v~qD8I 8.29 21层长波带通滤波器 180 N4[B:n 8.30 49层长波带通滤波器 181 30wYc &H 8.31 55层短波带通滤波器 182 qen44;\L 8.32 47 红外截止器 183 U0lqGEZ 8.33 宽带通滤波器 184 `HMligT 8.34 诱导透射滤波器 186 cN0~;!{i 8.35 诱导透射滤波器2 188 :Q0?ub] 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ZdJVs/33Vn 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 )m$1al 8.35 增益平坦滤波器 193 *rujdQf 8.38 啁啾反射镜 1 196 ^Y1AeJ$L 8.39 啁啾反射镜2 198
!;BZ# tF& 8.40 啁啾反射镜3 199 QH~8
aE_i 8.41 带保护层的铝膜层 200 N>uZ t2 8.42 增加铝反射率膜 201 f=-!2#% 8.43 参考文献 202 3}.mp}K5 9 多层膜 204 0%(4G83gw 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 (@N~ j& 9.2 内部透过率 204 7N-CtQnv 9.3 内部透射率数据 205 , 4h!"c 9.4 实例 206 R(n0!h4 9.5 实例2 210 v ](G?L9b 9.6 圆锥和带宽计算 212 ,Yiq$Z{qQ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 #]N&6ngJ 10 光学薄膜的颜色 216 x0TnS# 10.1 导言 216 S|z( 10.2 色彩 216 Q}k_#w 10.3 主波长和纯度 220 {!:|.!-u 10.4 色相和纯度 221 ?[*@T2Ck 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 .$}Z:,aB
10.6 色差 226 vh:UXE lm 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 oK(W)[u 10.8 颜色渲染指数 234 .wt>.mUH 10.9 色差计算 235 w2M
IY_N? 10.10 参考文献 236 ps{&WT3a 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ?$`1%Y9 11.1 短脉冲 238 8O;rp(N.n 11.2 群速度 239 lL(}dbT~N 11.3 群速度色散 241 ,i$(yx? 11.4 啁啾(chirped) 245 !pFKC) 11.5 光学薄膜—相变 245 =_H*fhXS 11.6 群延迟和延迟色散 246 p0:&7,+a, 11.7 色度色散 246 8gu7f;H/k 11.8 色散补偿 249 }y-AoG 11.9 空间光线偏移 256 cE_Xo.:Y, 11.10 参考文献 258 !@]h@MC$7 12 公差与误差 260 t0AqGrn 12.1 蒙特卡罗模型 260 iX9[Q0g=oQ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 rwV u?W 12.2.1 误差工具 267 iu:p&h 12.2.2 灵敏度工具 271 ^QHMN 7r/ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 h>`'\qy 12.2.2.2 灵敏度分布 275 f@x( ,p 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 M%Kx{*aw& 12.3 参考文献 276 G3^n_]Jb 13 Runsheet 与Simulator 277 .ON$vn7 13.1 原理介绍 277 *Tlws 13.2 截止滤光片设计 277 6lH>600]u 14 光学常数提取 289 V=8{CmqT 14.1 介绍 289 dM@k(9| 14.2 电介质薄膜 289 hnfrnYH 14.3 n 和k 的提取工具 295 7+2aG 14.4 基底的参数提取 302 bQ:3G; 14.5 金属的参数提取 306 #\!hBL
@b 14.6 不正确的模型 306 ~]t2?SqNm 14.7 参考文献 311 (w7cdqe 15 反演工程 313 Fy+7{=?^F 15.1 随机性和系统性 313 3\U,Kg 15.2 常见的系统性问题 314 fU){]YP 15.3 单层膜 314 *MyS7< 15.4 多层膜 314 AQBx
k[ 15.5 含义 319 l.W 1$g 15.6 反演工程实例 319 %~v76;H< 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 gCBZA;/ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 /Z9`uK 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 fN? Lz%z3 16.1 光学性质的热致偏移 329 0T{Y_IG 16.2 应力工具 335 Zv7$epDUz 16.3 均匀性误差 339 6;=wuoJi 16.3.1 圆锥工具 339 ^{]sD}Q" 16.3.2 波前问题 341 ~6kA<(x 16.4 参考文献 343 ~Sem_U`G 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 {CyPcD'$s 17.1 引言 345 KL_}:O68 17.2 操作数 345 cd%g]T)#1 18 如何在Function中编写脚本 351 . L6@Rs 18.1 简介 351 ]e3}9. 18.2 什么是脚本? 351 moM&2rgdrQ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 !v;_@iW3e 18.4 基础 352 Q9'p3"yoE 18.4.1 Classes(类别) 352 k~EPVJh" 18.4.2 对象 352 kviSQM2 18.4.3 信息(Messages) 352 @IKe<{w 18.4.4 属性 352 ((IBaEq 18.4.5 方法 353 z{M,2 18.4.6 变量声明 353 PHL@1K{) 18.5 创建对象 354 J,M5<s[Xqt 18.5.1 创建对象函数 355 (9q {J(44 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 +Q#Qu0_
18.5.3 丢弃对象 356 rls#gw 18.5.4 总结 356 2B?i2[a, 18.6 脚本中的表格 357 MldL"*HW: 18.6.1 方法1 357 &^D@(m7>{K 18.6.2 方法2 357 C-
Rie[ 18.7 2D Plots in Scripts 358 dGW7,B~ 18.8 3D Plots in Scripts 359 g[+Q~/yq 18.9 注释 360 -/{}^QWB 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 jHw2Q8s|R 18.11 一个更高级的脚本 362 WM l ^XZO 18.12 <esc>键 364 ]SR`96vG 18.13 包含文件 365 4g^+y.,r_f 18.14 脚本被优化调用 366 tNf" X! 18.15 脚本中的对话框 368 : )*Ge3 18.15.1 介绍 368 ]M"'qC3g 18.15.2 消息框-MsgBox 368 4W-+k 18.15.3 输入框函数 370 T[=cKYp8\ 18.15.4 自定义对话框 371 c89vx 9 18.15.5 对话框编辑器 371 8t
\> 18.15.6 控制对话框 377 /+U)!$zm* 18.15.7 更高级的对话框 380 uiEA=*axp 18.16 Types语句 384 ,ST.pu8N. 18.17 打开文件 385 [MP:Eeg 18.18 Bags 387 )P+GklI{4 18.13 进一步研究 388 *pUV-^uo 19 vStack 389 +((31l 19.1 vStack基本原理 389 =9@yJ9c- 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 "fJ|DE&@<i 19.3 五棱镜 393 ~"0X,APR5 19.4 光束距离 396 O9&:(2'f 19.5 误差 399 a-2
{x2O 19.6 二向分色棱镜 399 Z6@J-<u 19.7 偏振泄漏 404 ho$%7mc 19.8 波前误差—相位 405 la 7QN QW 19.9 其它计算参数 405 Rw8m5U 20 报表生成器 406 |^{" 2l"j 20.1 入门 406 TN_$E&69I 20.2 指令(Instructions) 406 V
*y 20.3 页面布局指令 406 7f,WzvV 20.4 常见的参数图和三维图 407 80>!qG 20.5 表格中的常见参数 408 *%BI*p 20.6 迭代指令 408 ,WK$jHG] 20.7 报表模版 408 )Dpt<}}\ 20.8 开始设计一个报表模版 409 g}KZL-p4\m 21 一个新的project 413 xmx;tq 21.1 创建一个新Job 414 g$LwXfg 21.2 默认设计 415 @&yj7-] 21.3 薄膜设计 416 '
uw&f;/E 21.4 误差的灵敏度计算 420 TBT*j&!L 21.5 显色指数计算 422 rL"k-5>fd 21.6 电场分布 424 vBnHG-5;P 后记 426 Pk_{{Z(1o 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! BQg]$Tr?
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