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《Essential Macleod中文手册》 T5."3i _E`+0;O 目 录 #%\0][Xf 5tQz!M ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 mGj)Zrx> 第1章 介绍 ..........................................................1 #mw!_]
第2章 软件安装 ..................................................... 3 oNyYx6q:Q 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 hOUH1m. 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 $TXxhd 6 第5章 软件结构 ............................................................... 21 0bDc
4m 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 fw jo? 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 L^
J|cgmNw 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 dA~:L`A|X 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 ]=qauf>3 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 su1lv# 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 heCM+=#~ 第12章 优化和综合 ..................................................................120 }q.D)'g_ 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 LJGpa )( 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 k.ou$mIY 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 lx%c&~.DiB 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 U`ttT5; 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 I?3b}#&V9 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 T,pr&1]Lw 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 FfJp::|ddr 第20章 运行表单 .................................................................... 251 B>^6tdz 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 'K ?h6?# 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 S} m=|3%y 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 tb+gCs'D 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 @kFZN 6 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 #:gd9os : 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 DWt|lO 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 ltNCti{Q 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 JX=rL6Y@:; 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 gT+g@\u[ .n]"vpWm[ *OG<+#*\_? V/ G1C^'/ ?% 24M\ MeEa| . 内容简介 i<^X z Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 8!{*!|Xd 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 6VGY4j}:( 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 nHdQe 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 h+Co:pr 2 ?t@<M] 目录 @Z~YFnEJi Preface 1 >&PM'k 内容简介 2 !cyrt< 目录 i 9Y:I)^ek 1 引言 1 !/XNp QP 2 光学薄膜基础 2 @Lnv 2.1 一般规则 2 bw P=f. 2.2 正交入射规则 3 PlkZ)S7C 2.3 斜入射规则 6 p3=Py7iz 2.4 精确计算 7 1Toiqb/ 2.5 相干性 8 ~S8:xG+s 2.6 参考文献 10 J?8Mo=UZz 3 Essential Macleod的快速预览 10 O
k`}\NZL 4 Essential Macleod的特点 32 eP-|3$ 4.1 容量和局限性 33 o9eOp3w30 4.2 程序在哪里? 33 VHD+NY/ 4.3 数据文件 35 QRQZ{m 4.4 设计规则 35 7}X1A!1 4.5 材料数据库和资料库 37 {rKC4: 4.5.1材料损失 38 hC\
l
\y 4.5.1材料数据库和导入材料 39 +8Lbz^# 4.5.2 材料库 41 NU=ru/ 4.5.3导出材料数据 43 3a?-UT! 4.6 常用单位 43 f$C{Z9_SX 4.7 插值和外推法 46 ~Gu$EqQ 4.8 材料数据的平滑 50 8fXiadP# 4.9 更多光学常数模型 54 iW` tr 4.10 文档的一般编辑规则 55 >(Y CZ 4.11 撤销和重做 56 yvYMk(LSF 4.12 设计文档 57 -5<[oBL; 4.10.1 公式 58 a^R?w|zCX 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 E_ns4k#uG 4.10.3 沉积密度 59 nI*.(+h 4.10.4 平行和楔形介质 60 @_+aX., 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 V]zc-gYI 4.10.4 性能 61 )5}<@Ql 4.10.5 保存设计和性能 64 T*x2+(r 4.10.6 默认设计 64 aK_5@8+ZD 4.11 图表 64 wMW<lT=; 4.11.1 合并曲线图 67
=^4Z]d 4.11.2 自适应绘制 68 G}nJ3 4.11.3 动态绘图 68 b>uD-CSA 4.11.4 3D绘图 69 ~|+ ~/ 4.12 导入和导出 73 t(z]4y 4.12.1 剪贴板 73 m;@q('O 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 @2>UR9j 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 N'`X:7fN 4.13 背景 77 v;]rFc#Px[ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 2%%\jlT_ 4.15 生成Rugate 84 47q>
q 4.16 参考文献 91 *Al@|5 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 Ob$``31{s 5.1 Jobs 92 Nfa&r 5.2 创建一个新Job(工作) 93 F3|^b{'zO 5.3 输入材料 94 , PlH| 5.4 设计数据文件夹 95 FNQ<k[#K'~ 5.5 默认设计 95 }S> 4.8 6 细化和合成 97 !d72f8@9 6.1 优化介绍 97 |}=eY?iXo 6.2 细化 (Refinement) 98 E%mEfj7 6.3 合成 (Synthesis) 100 .#( vx; 6.4 目标和评价函数 101 y]h0c<NP 6.4.1 目标输入 102 ]m+%y+ 6.4.2 目标 103 MmT/J1zM 6.4.3 特殊的评价函数 104 _ ;HdX$op 6.5 层锁定和连接 104 $.`o
6.6 细化技术 104 @:>"VP<( 6.6.1 单纯形 105 mnpk9x}m 6.6.1.1 单纯形参数 106 T fLqxioqZ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 4XpWDfa.} 6.6.2.1 Optimac参数 108 c1f"z1Z 6.6.3 模拟退火算法 109 a-NTA 6.6.3.1 模拟退火参数 109 Rc1j^S;> 6.6.4 共轭梯度 111 JEto_&8,C 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 }A3/( 6.6.5 拟牛顿法 112 Q#eMwM#~ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 @c|=onx5 6.6.6 针合成 113 ~o'1PAW7 6.6.6.1 针合成参数 114 <%)vl P#@ 6.6.7 差分进化 114 H*W>v[> 6.6.8非局部细化 115 dNe!X0[ 6.6.8.1非局部细化参数 115 ~c)&9' 6.7 我应该使用哪种技术? 116 TQ"XjbhU;X 6.7.1 细化 116 Q"&Mr+ 6.7.2 合成 117 3TwjC:Yhv2 6.8 参考文献 117 5Tl5T& 7 导纳图及其他工具 118 KFrsXf 7.1 简介 118 io#}z4"'qY 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 !Tnjha* 7.2.1 四分之一波长规则 119 YdD; Qx#O 7.2.2 导纳图 120 5AT^puL]] 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 XL*M#Jx 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 6lzjaW5h 7.5 斜入射导纳图 141 b`e_}^,c 7.6 对称周期 141 ?e9tnk3 7.7 参考文献 142 jr6 0;oK+ 8 典型的镀膜实例 143 2P:X_:`~[ 8.1 单层抗反射薄膜 145 %;&lVIU0 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 [P}Bq6;p 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 t'K+)OK 8.4 W-膜层 148 U)dcemQY 8.5 V-膜层 149 e"866vc, 8.6 V-膜层高折射基底 150 jwwRejNV 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 $z!G%PO1% 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 {/noYB<; 8.9 四层抗反射薄膜 153 6vNW)1{nn 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 >FE8CH!W& 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 C2<TR PT 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ^mC~<pP( 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 5 =;cN9M@ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 gb,ZN^3<- 8.15十五层宽带抗反射膜 159 2wpJ)t*PF 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 2>jk@~Z1:u 8.17 1/4波长堆栈 162 !$n@:W/ 8.18 陷波滤波器 163 FKL4`GEm 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ?Nt( sZ- 8.20 褶皱 165 jA"}\^%3 8.21 消偏振分光器1 169 A^}# 8.22 消偏振分光器2 171 k*_Gg 8.23 消偏振立体分光器 172 `N[@lV\xp! 8.24 消偏振截止滤光片 173 Op0*tj2i), 8.25 立体偏振分束器1 174 o;c"-^> 8.26 立方偏振分束器2 177 <Ve0Ph K 8.27 相位延迟器 178 DWtITO> 8.28 红外截止器 179 38sLyoG=i 8.29 21层长波带通滤波器 180 @Yt394gA%\ 8.30 49层长波带通滤波器 181 uWx<J3~q. 8.31 55层短波带通滤波器 182 glC,E> 8.32 47 红外截止器 183 r!b>! 8.33 宽带通滤波器 184 yoGG[l2k>s 8.34 诱导透射滤波器 186 'LoWp} f9 8.35 诱导透射滤波器2 188 2lfEJw($ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 r]6+&K 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ~AWn 1vFc 8.35 增益平坦滤波器 193 #i~P])%gNP 8.38 啁啾反射镜 1 196 H%vgPQ8 8.39 啁啾反射镜2 198 N!.o`4 "z 8.40 啁啾反射镜3 199 ]ovtH.y 8.41 带保护层的铝膜层 200 Gt{%O>P8t 8.42 增加铝反射率膜 201 A*BN
8.43 参考文献 202 %KF I~Qk 9 多层膜 204
Wx}-H/t'2 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 7x.j:{2 9.2 内部透过率 204 n-K/dI 9.3 内部透射率数据 205 4Kt0}W 9.4 实例 206 H6Zo|n 9.5 实例2 210 "~ =O`5V 9.6 圆锥和带宽计算 212 7/M[T\c 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 AxEdQRGk 10 光学薄膜的颜色 216 &@xm< A\S 10.1 导言 216 w3i74C&0 10.2 色彩 216 <c5g-*V: 10.3 主波长和纯度 220 DN%JT[7 10.4 色相和纯度 221 WUauKRR. 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 E4=D$hfq` 10.6 色差 226 c)Ng9p 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ^PC;fn,I 10.8 颜色渲染指数 234 E<D^j^T 10.9 色差计算 235 N MkOx$ 10.10 参考文献 236 Eve,*ATI 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 3w>1R>7 11.1 短脉冲 238 KtJc9dnX 11.2 群速度 239 EPwU{*F 11.3 群速度色散 241 zk1]? 11.4 啁啾(chirped) 245 tSni[,4Kq 11.5 光学薄膜—相变 245 D?dS/agA 11.6 群延迟和延迟色散 246 %<+Ku11 11.7 色度色散 246 <k3KCt 11.8 色散补偿 249 TPx`qyW 11.9 空间光线偏移 256 PDH|=meXM 11.10 参考文献 258 8B+C[Q:+' 12 公差与误差 260 H/*slqL 12.1 蒙特卡罗模型 260 3-AOB3]( 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 _s<BXj 12.2.1 误差工具 267 mz x$(u 12.2.2 灵敏度工具 271 pm9sI4S 12.2.2.1 独立灵敏度 271 G,+3(C 12.2.2.2 灵敏度分布 275 b7+(g[O 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 45BpZ~- 12.3 参考文献 276 \d.\M 13 Runsheet 与Simulator 277 R4 b!?}d 13.1 原理介绍 277 3A0Qjj= 13.2 截止滤光片设计 277 mQt0?c _ 14 光学常数提取 289 2zbn8tO 14.1 介绍 289 d~6UJ=]@8 14.2 电介质薄膜 289 w`< |