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《Essential Macleod中文手册》 u<C$'V p&m
^IWD 目 录 ,.q8Xf lnjL7x ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 uYY=~o[
Tw 第1章 介绍 ..........................................................1 pbFYiu+ 第2章 软件安装 ..................................................... 3 8eN%sm 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 p^Agh
第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 xLZMpP5c 第5章 软件结构 ............................................................... 21 {Bc#?n 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 z=[l.Af_ 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 %L28$c3p 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 dUZ$wbV%h 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 K^8@'#S 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 h2AGEg'g2[ 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 q< b"M$ 第12章 优化和综合 ..................................................................120 -S7RRh'p 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 *qbRP"#[$ 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 ([1=> Jw" 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 +fkP+RVY 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 G}s;JJax 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 ~U/8 @gR 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 Pb3EnNqYbM 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 nQ!N}5[z' 第20章 运行表单 .................................................................... 251 W.z$a.<(rF 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 '}@e5^oL 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 :82?'aR 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 \I:UC
% 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 OX`?<@6 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 Z0{f 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 2NyUmJ42 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 %;'~%\|dZM 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 Zb}`sk# 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 f>|9 l ysL0hwir F{kG m\l51}xz |G>q:]+AV Y=hPErw 内容简介 t`)
'LT Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 bGhhh/n 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 $#F;xys 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 N'I?fWN!;R 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 #)Ep(2 A&D2T 目录 <.;@ksCPW{ Preface 1 mi*:S%;h 内容简介 2 Y"r3i] 目录 i ?Ozk^#H[ 1 引言 1 P0a>+^:% 2 光学薄膜基础 2 \MfR #k0 2.1 一般规则 2 M0Lon/% 2.2 正交入射规则 3 ?SHc}iaU# 2.3 斜入射规则 6 GH[
U!J 2.4 精确计算 7 `MN&(!&C* 2.5 相干性 8 5hlJbWJa 2.6 参考文献 10 H't `Q&]a
3 Essential Macleod的快速预览 10 Bk\ *0B 4 Essential Macleod的特点 32 Sr4dY`V*:z 4.1 容量和局限性 33 wa9'2a1? 4.2 程序在哪里? 33 &z7N\n 4.3 数据文件 35 kxcgOjrmI 4.4 设计规则 35 #-l!`\@ 4.5 材料数据库和资料库 37 U@1#!ZZ6 4.5.1材料损失 38 %iHyt,0v2 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Tb>IHoil 4.5.2 材料库 41 ,e}mR>i=e 4.5.3导出材料数据 43 J R8 Z6 4.6 常用单位 43 " 8~f 4.7 插值和外推法 46 8 /:X&
& 4.8 材料数据的平滑 50 3Yn:fsy 4.9 更多光学常数模型 54 }dV9%0s! 4.10 文档的一般编辑规则 55 AJJ%gxqGq 4.11 撤销和重做 56 'XC&BWJ 4.12 设计文档 57 6)tB{:h&~0 4.10.1 公式 58 &!3VqHQ` 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 Gnuo-8lb 4.10.3 沉积密度 59 eH"qI2A 4.10.4 平行和楔形介质 60 g_-?h&W 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 #n6FQ$l8m 4.10.4 性能 61 RPa?Nv?e 4.10.5 保存设计和性能 64 CDwFVR'_Af 4.10.6 默认设计 64 X^?|Sz<^E 4.11 图表 64 ,"v)vTt 4.11.1 合并曲线图 67
KT]J,b 4.11.2 自适应绘制 68 '@3a,pl 4.11.3 动态绘图 68 Q6s5#7h'"
4.11.4 3D绘图 69 -(%ar%~Zd 4.12 导入和导出 73 \4]zNV ~x 4.12.1 剪贴板 73 >*<6 zQf 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 < e7<t9 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 \N-|
iq 4.13 背景 77 UH1S_:6 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 /ej/&x15 4.15 生成Rugate 84 V'f&JQA 4.16 参考文献 91 C7XS6Nqu 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 .f?qUg 5.1 Jobs 92 Lk8W&|;0| 5.2 创建一个新Job(工作) 93 hPEp0(" 5.3 输入材料 94 YI? C-, 5.4 设计数据文件夹 95 x):k#cu[L 5.5 默认设计 95 ?-RoqF 6 细化和合成 97 8VAYIxRv 6.1 优化介绍 97 )Yy#`t 6.2 细化 (Refinement) 98 ]iE.fQ?;J 6.3 合成 (Synthesis) 100 ~t.WwxY+ 6.4 目标和评价函数 101 rhzv^t 6.4.1 目标输入 102 tNi%}~Z 6.4.2 目标 103 d
=B@EyN 6.4.3 特殊的评价函数 104 y. ivz 6.5 层锁定和连接 104 Jfixm=.6 6.6 细化技术 104 8f6;y1!; 6.6.1 单纯形 105 U||w6:W5 6.6.1.1 单纯形参数 106 c],frhmyd 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 AD!<%h: 6.6.2.1 Optimac参数 108 J6^Ct 6.6.3 模拟退火算法 109 08d_DCR 6.6.3.1 模拟退火参数 109 6iV"Tl{z- 6.6.4 共轭梯度 111 HqnKpZ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 3Q!J9t5dc 6.6.5 拟牛顿法 112 n'&`9M['%d 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Wc`J`.#
6.6.6 针合成 113 6yl;o_6: 6.6.6.1 针合成参数 114 %t5BB$y 6.6.7 差分进化 114 4HJZ^bq9| 6.6.8非局部细化 115 HHu7{, 6.6.8.1非局部细化参数 115 057G;u/ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 @7[.>I( 6.7.1 细化 116 Jq+$_Uqd 6.7.2 合成 117 L@k;L 6.8 参考文献 117 XnI
;7J 7 导纳图及其他工具 118 x[O#(^q 7.1 简介 118 ?3"D|
cS1 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 BHJ'[{U*w 7.2.1 四分之一波长规则 119 mJDKxgGK 7.2.2 导纳图 120 fj
t_9-. 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 AZ9\>U@hD 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ^ yukn*L 7.5 斜入射导纳图 141 b]g&rwXYt 7.6 对称周期 141 _AFt6\ 7.7 参考文献 142 s
eZ<52f2 8 典型的镀膜实例 143 >%p
m"+h{ 8.1 单层抗反射薄膜 145 c]>&6-;rf 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ;iC'{S 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 5q_OuZ/6 8.4 W-膜层 148 z)Q^j>% 8.5 V-膜层 149 M6hvi(!X2 8.6 V-膜层高折射基底 150 ,M/#Q6P0} 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 <%3SI. 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 l;Wy,?p 8.9 四层抗反射薄膜 153 6 XOu~+7 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 %d[xr h 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 zyp"*0zUr 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 548[!p4 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ]20"la5 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 =u3@ Dhw 8.15十五层宽带抗反射膜 159 L5 k>;|SA 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 };|PFWs 8.17 1/4波长堆栈 162 ks#Z~6+3 8.18 陷波滤波器 163 *"QE1Fum' 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 t|U2ws# 8.20 褶皱 165 i(f;'fb* 8.21 消偏振分光器1 169 !E:Vn *k; 8.22 消偏振分光器2 171 Y\z\{JW 8.23 消偏振立体分光器 172 `w=H'"Zv 8.24 消偏振截止滤光片 173 J_[[BJ&}x 8.25 立体偏振分束器1 174 ~q T1<k 8.26 立方偏振分束器2 177 L|1zHDxQ 8.27 相位延迟器 178 Nb!6YY=Ez- 8.28 红外截止器 179 F3 l^^Mc 8.29 21层长波带通滤波器 180 j]l}K*8( 8.30 49层长波带通滤波器 181 !>2\OSp! 8.31 55层短波带通滤波器 182 4d._Hd=' 8.32 47 红外截止器 183 6L> "m0 8.33 宽带通滤波器 184 ^'I5]cRa 8.34 诱导透射滤波器 186 |m 5;M$M) 8.35 诱导透射滤波器2 188 y"
6~9j 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 NDa|., 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ]|LaMMD 8.35 增益平坦滤波器 193
T!xy^n]} 8.38 啁啾反射镜 1 196 '-]BSU 8.39 啁啾反射镜2 198 . nF 8.40 啁啾反射镜3 199 ?M-8Fp3 + 8.41 带保护层的铝膜层 200 >fj$wOq 8.42 增加铝反射率膜 201 p,u<gJUL 8.43 参考文献 202 s>``-
]3 9 多层膜 204 ODvpMt:+ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 $~@096`QL< 9.2 内部透过率 204 7RFkHME 9.3 内部透射率数据 205 V1 #aDfiW 9.4 实例 206 Ww
tQ>'R" 9.5 实例2 210 ^RAFmM#F 9.6 圆锥和带宽计算 212 2-c0/?_4 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 [5eT|uy 10 光学薄膜的颜色 216 TIhzMW\/K 10.1 导言 216 9w<Bm"G 10.2 色彩 216 h5JwB<8 10.3 主波长和纯度 220 wVJFA1 10.4 色相和纯度 221 eL?si!ZL^ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 qq_,"~ 10.6 色差 226 \Y[)bo6s 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 Hpg;?xAT 10.8 颜色渲染指数 234 Y <k,E 10.9 色差计算 235 :QL p`s 10.10 参考文献 236 M*6@1.n 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 3X,{9+(F 11.1 短脉冲 238 2\tjeg 11.2 群速度 239 Z:$b)+2:\ 11.3 群速度色散 241 }~'Wz*Gm 11.4 啁啾(chirped) 245 de47O 11.5 光学薄膜—相变 245 *>$)#?t 11.6 群延迟和延迟色散 246 4^ 6L ])y 11.7 色度色散 246 fToI,FA 11.8 色散补偿 249 _1c_TM h}9 11.9 空间光线偏移 256 6jo&i 11.10 参考文献 258 6MNA.{Jdd 12 公差与误差 260 *9(1:N;# 12.1 蒙特卡罗模型 260 '0$[Ujc 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Byj~\QMD| 12.2.1 误差工具 267 kD7(}N8YR 12.2.2 灵敏度工具 271 iQ"F`C 12.2.2.1 独立灵敏度 271 `#8R+c=$ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 gK\7^95 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 azc:C 12.3 参考文献 276 ~'.yhPog 13 Runsheet 与Simulator 277 O~'yP@&` 13.1 原理介绍 277 ;O|63 13.2 截止滤光片设计 277 ,6Q-k4_ 14 光学常数提取 289 yP4.Z9 14.1 介绍 289 K61os&K 14.2 电介质薄膜 289 ymX,k|lh 14.3 n 和k 的提取工具 295 4H)"d 14.4 基底的参数提取 302 |bnjC $b * 14.5 金属的参数提取 306 -Ep6.v 14.6 不正确的模型 306 \%Q
rN+WQ 14.7 参考文献 311 #zs\Z]3# 15 反演工程 313 4PM`hc 15.1 随机性和系统性 313 G@!9)v]9 15.2 常见的系统性问题 314 g^UWf <xp 15.3 单层膜 314 #'h CohL 15.4 多层膜 314 r!,V_a4n 15.5 含义 319 3*2pacHpE 15.6 反演工程实例 319 U/o}{,$A 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 s2=X>,kz? 15.6.2 反演工程提取折射率 327 nn%xN\~< 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 z5vI0 N$ 16.1 光学性质的热致偏移 329 _ u2 16.2 应力工具 335 $Xc<K_Z 16.3 均匀性误差 339 -V/i%_+Ze 16.3.1 圆锥工具 339 toJ&$HrE 16.3.2 波前问题 341 KZfRiCZ 16.4 参考文献 343 5K~6` 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 |R/50axI 17.1 引言 345 dwMwd@*j 17.2 操作数 345 Z"+!ayA7D 18 如何在Function中编写脚本 351 ", ) 18.1 简介 351 i%8 sy 18.2 什么是脚本? 351 ]bweQw@i 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 c%.&F 18.4 基础 352 oH"N>@ Vl 18.4.1 Classes(类别) 352 {2@96o2} 18.4.2 对象 352 \9QOrjiw 18.4.3 信息(Messages) 352 *$D-6}Oay 18.4.4 属性 352 =
g}yA=. 18.4.5 方法 353 zUqDX{I8 18.4.6 变量声明 353 ht9b=1wd%s 18.5 创建对象 354 ?s33x# 18.5.1 创建对象函数 355 P$I\)Q H 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 G].KJ5,y
18.5.3 丢弃对象 356 }L9j`17 18.5.4 总结 356 @CF4:NNHw 18.6 脚本中的表格 357 1PSb72h< 18.6.1 方法1 357 lZ_k307 18.6.2 方法2 357 UI;{3Bn 18.7 2D Plots in Scripts 358 BUyA] 18.8 3D Plots in Scripts 359 m.1BLN[9 18.9 注释 360 6~>k]G 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 a~>h'}C> 18.11 一个更高级的脚本 362 7!%"8Rl- 18.12 <esc>键 364 sXu+F2O 18.13 包含文件 365 W$S.?[X 18.14 脚本被优化调用 366 `l"~"x^Rr 18.15 脚本中的对话框 368 *cI Xae^Y7 18.15.1 介绍 368 e_TDO 18.15.2 消息框-MsgBox 368 9G~P)Z!0 18.15.3 输入框函数 370 EA.U>5Fq 18.15.4 自定义对话框 371 SZvsJ) 18.15.5 对话框编辑器 371 i;Y^}2 18.15.6 控制对话框 377 4>* `26 18.15.7 更高级的对话框 380 8t%1x|! 18.16 Types语句 384 W( YJz#]6_ 18.17 打开文件 385 +E4_^ 18.18 Bags 387 K<GCP2 18.13 进一步研究 388 Lt_]3go 19 vStack 389 y e'5A 19.1 vStack基本原理 389 }R$%MU5:: 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 rY}ofq7b 19.3 五棱镜 393 F1>,^qyG6 19.4 光束距离 396 :cTi$n 19.5 误差 399 T*m21< 19.6 二向分色棱镜 399 t
,$)PV 19.7 偏振泄漏 404 1CbC|q 19.8 波前误差—相位 405 UB}mI0/w 19.9 其它计算参数 405 qv6]YPP 20 报表生成器 406 2+PIZ6=hN 20.1 入门 406 ikQ2x]Sp 20.2 指令(Instructions) 406 > R=YF*t 20.3 页面布局指令 406 X6RM2 20.4 常见的参数图和三维图 407 B|v
fkX2f 20.5 表格中的常见参数 408 CR<l"~X 20.6 迭代指令 408 \m&:J>^ 20.7 报表模版 408 K-ebAaiC 20.8 开始设计一个报表模版 409 .+yJ'*i$d 21 一个新的project 413 S[M$> 21.1 创建一个新Job 414 *?{)i~ 21.2 默认设计 415 M3%<kk-_ 21.3 薄膜设计 416 ']Z8C)tK 21.4 误差的灵敏度计算 420 t&_lpffv 21.5 显色指数计算 422 fJuJ#MX{: 21.6 电场分布 424 }R^{<{KVJ 后记 426 iYnt:C 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! +\4=G@P.J
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