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《Essential Macleod中文手册》 [?>\] >U\1*F,Om, 目 录 XoNBq9Iu n2A
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`= ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 Oa.84a 第1章 介绍 ..........................................................1 OsT|MX 第2章 软件安装 ..................................................... 3 c-VIp A1 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 }INj~d<: 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 !jWE^@P/B 第5章 软件结构 ............................................................... 21 h0.2^vM)R 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 X
aE;i57$l 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 ]9$iUA%Ef 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 jK-b#h.gL 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 3N[Rrxe2 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 *fCmZ$U:{ 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 c_4K 第12章 优化和综合 ..................................................................120 H\fsyxM7 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 gNHS:k\" 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 b#nI#!p' 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 pC~M5(F_ 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 h6b(FTC^ 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 g@2KnzD 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 .H@b zm 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 m'zve%G 第20章 运行表单 .................................................................... 251 \
)WS^KR% 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 Xp+lpVcJ 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 i!{A7mo 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 \Up~"q>Kb 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 )+Y"4?z~ 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 l6*MiX]q 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 W)Ct*I^ 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 9Nw&l@ 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 I&U.5wf 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 Z;<:=# GT7&>}FJ) {/j gB"9 |}? H$d %M3L<2 &,P; 7 R 内容简介 .07"I7 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 _N {4Rs0 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 WG&! VK 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 *_Vv(H& 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ypgM&"eR BRy3D\} 目录 +%f6{&q$ Preface 1 "} "/d( 内容简介 2 +T&YYO8>5 目录 i km*Y#`{ 1 引言 1 5 JlgnxRq 2 光学薄膜基础 2 ?7]G)8G6 2.1 一般规则 2 O/U? Wq 2.2 正交入射规则 3 tI@aRF=p]2 2.3 斜入射规则 6 1eywnOjrj 2.4 精确计算 7 1>uAVPa 2.5 相干性 8 J'ZC5Xr 2.6 参考文献 10 3%+!qm 3 Essential Macleod的快速预览 10 GM8Q#vc 4 Essential Macleod的特点 32 !?>QN'p.b 4.1 容量和局限性 33 8_E(.]U 4.2 程序在哪里? 33 _Vl~'+ e 4.3 数据文件 35 'A>?aUq]: 4.4 设计规则 35 ;Xf1BG r 4.5 材料数据库和资料库 37 dl"=ZI
'^ 4.5.1材料损失 38 ttdY]+Fj 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Zs]n0iwM'@ 4.5.2 材料库 41 _9]vlxgtG( 4.5.3导出材料数据 43 Qd~z<U l 4.6 常用单位 43 P z~jW):E 4.7 插值和外推法 46 }K={HW1> 4.8 材料数据的平滑 50 7H09\g& 4.9 更多光学常数模型 54 $E&T6=Wn 4.10 文档的一般编辑规则 55 =IW!ZN_ 4.11 撤销和重做 56 |gWA'O0S 4.12 设计文档 57 &l0K~7)b 4.10.1 公式 58 4 ob?M:S 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ]tXIe?>9 4.10.3 沉积密度 59 Vz$xV! 4.10.4 平行和楔形介质 60 M(nzJ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 4#}aLP 4.10.4 性能 61 sfip AM 4.10.5 保存设计和性能 64 4D2U,Ds
4.10.6 默认设计 64 *RxJ8.G 4.11 图表 64 =%<,
^2o 4.11.1 合并曲线图 67 n?nzm "g 4.11.2 自适应绘制 68 6}m `_d? 4.11.3 动态绘图 68 7)]boW~Q 4.11.4 3D绘图 69 Pjk2tf0j` 4.12 导入和导出 73 V'e%%&g~N 4.12.1 剪贴板 73 sQ340! 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 mZ2CGOR 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 @!=Ds'MJC 4.13 背景 77 l;KrFJ6 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 >I0;MNX 4.15 生成Rugate 84 aPzn4}~/_ 4.16 参考文献 91 c+&Kq.~K 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ,@c1X: 5.1 Jobs 92 r-wCAk}m*? 5.2 创建一个新Job(工作) 93 Dm{Xd+Y 5.3 输入材料 94 E&
.^|<n 5.4 设计数据文件夹 95 \#(1IC`as 5.5 默认设计 95 r:$tvT* 6 细化和合成 97 U+qyS|i 6.1 优化介绍 97 w$/lq~zU 6.2 细化 (Refinement) 98 z?<B@\~ 6.3 合成 (Synthesis) 100 =]]1x_GB 6.4 目标和评价函数 101 pJvPEKN 6.4.1 目标输入 102 r@}`Sw]@ 6.4.2 目标 103 ij!d-eM/b 6.4.3 特殊的评价函数 104 _\KFMe=PV 6.5 层锁定和连接 104 )M.s<Y 6.6 细化技术 104 gy%.+!4>v` 6.6.1 单纯形 105 =TDKU 6.6.1.1 单纯形参数 106 2zqaR[C 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 m_*wqNFA6 6.6.2.1 Optimac参数 108 `X5!s 6.6.3 模拟退火算法 109 6`O,mpPu4G 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ,IyQmN y 6.6.4 共轭梯度 111 3!b
$R?kZ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 U!o7Nw@z 6.6.5 拟牛顿法 112 F$)l8} 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ~w3u(X$m" 6.6.6 针合成 113 pe
vXixl 6.6.6.1 针合成参数 114 @JXpD8jn 6.6.7 差分进化 114 tO{{ci$-T 6.6.8非局部细化 115 zI4rAsysL 6.6.8.1非局部细化参数 115 @Suz-j(H 6.7 我应该使用哪种技术? 116 TG}owG]] 6.7.1 细化 116 ":$4/b6 6.7.2 合成 117 8j;Un] 6.8 参考文献 117 yf9"Rc~+ 7 导纳图及其他工具 118 }lIc{R@H 7.1 简介 118 v']_) 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ,)Q-o2(C 7.2.1 四分之一波长规则 119 ekvs3a^ 7.2.2 导纳图 120 a5pl/d 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 $KYGQP 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 $U*eq[ 7.5 斜入射导纳图 141 H[u9C:}9b 7.6 对称周期 141 )vS0Au^C~ 7.7 参考文献 142 u -t=M] 8 典型的镀膜实例 143 7S}0Kuk) 8.1 单层抗反射薄膜 145 s{@R|5 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 Jz`jN~ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 uP'L6p5 8.4 W-膜层 148 %`C*8fc& 8.5 V-膜层 149 UE'=9{o` 8.6 V-膜层高折射基底 150 u9"yU:1keb 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ?YW~7zG 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 `f; w 8.9 四层抗反射薄膜 153 ;[::&qf 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 KkZx6A)$u 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 4C =W~6~ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 GK}52,NM 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 S/XU4i:aV 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 QEs$9a5TE 8.15十五层宽带抗反射膜 159 =\< 7+nv 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 k`m7j[A]l 8.17 1/4波长堆栈 162 RqTO3Kf 8.18 陷波滤波器 163 ML_VD*t9 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 m`-);y 8.20 褶皱 165 N1ipK9a 8.21 消偏振分光器1 169 "@&TC"YG0 8.22 消偏振分光器2 171 ekhv.;N~ 8.23 消偏振立体分光器 172 *)Qv;'U=rn 8.24 消偏振截止滤光片 173 %*gf_GeM 8.25 立体偏振分束器1 174 :cC$1zv@ 8.26 立方偏振分束器2 177 3 09
pl 8.27 相位延迟器 178 aj`&ca8 8.28 红外截止器 179 2|>\A.I|= 8.29 21层长波带通滤波器 180 >}V?GK36 8.30 49层长波带通滤波器 181 GM6,LzH 8.31 55层短波带通滤波器 182 1Z}5ykM3 8.32 47 红外截止器 183 S?0o[7(x* 8.33 宽带通滤波器 184 8 ??-H0P 8.34 诱导透射滤波器 186 )$n%4 : 8.35 诱导透射滤波器2 188 !kE5]<H\ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 O=2|'L'h! 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 J{ju3jo 8.35 增益平坦滤波器 193 zl1*GVg 8.38 啁啾反射镜 1 196 ^!1!l- 8.39 啁啾反射镜2 198 H.ZIRt!RB 8.40 啁啾反射镜3 199 yl-:9|LT 8.41 带保护层的铝膜层 200 {]Zan'{PCO 8.42 增加铝反射率膜 201 mw
28E\U 8.43 参考文献 202 Y*c]C;%= 9 多层膜 204 :oIBJ u%/ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 !rUP&DA 9.2 内部透过率 204 jA{5)-g 9.3 内部透射率数据 205 jo:Z 9.4 实例 206 efQ8jO 9.5 实例2 210 |qw0:c=7! 9.6 圆锥和带宽计算 212 z;qDl%AF 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 [KK
|_ 10 光学薄膜的颜色 216 z+"$G 10.1 导言 216 4EqThvI{ 10.2 色彩 216 h0PDFMM< 10.3 主波长和纯度 220 gI^&z 10.4 色相和纯度 221 -%`~3*L 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 0zr27ko 10.6 色差 226 { ptdOrN 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 eg;7BZim{ 10.8 颜色渲染指数 234 lMY\8eobcB 10.9 色差计算 235 .C^P6S2oJ 10.10 参考文献 236 8o5[tl
?w 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 *E/Bfp1LIe 11.1 短脉冲 238 fB$a)~ 11.2 群速度 239 4eHSAN"$ 11.3 群速度色散 241 eS8(HI6{^ 11.4 啁啾(chirped) 245 [inlxJD 11.5 光学薄膜—相变 245 4zMvHe 11.6 群延迟和延迟色散 246 m# {'9 | 11.7 色度色散 246 g"P%sA/E+ 11.8 色散补偿 249 M|DMoi8x 11.9 空间光线偏移 256 MRLiiIrq,5 11.10 参考文献 258 cI2Ps3~"Q 12 公差与误差 260 +KTfGwKt 12.1 蒙特卡罗模型 260 *$eH3nn6g 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 w5m/[Z 12.2.1 误差工具 267 c u/"=]D 12.2.2 灵敏度工具 271 DsHF9Mn 12.2.2.1 独立灵敏度 271 s%D%c;.| 12.2.2.2 灵敏度分布 275 <&E}db 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 tRoSq;VrS 12.3 参考文献 276 d {!P
c< 13 Runsheet 与Simulator 277 O=o}uB-*6 13.1 原理介绍 277 W> pe- 13.2 截止滤光片设计 277 W3.[d->X 14 光学常数提取 289 =!\Nh,\eQ 14.1 介绍 289 +VUkV-kP 14.2 电介质薄膜 289 y[ dBmTY 14.3 n 和k 的提取工具 295
p'h'Cz 14.4 基底的参数提取 302 ,%9XG077 14.5 金属的参数提取 306 _BewaI;w 14.6 不正确的模型 306 S\:^#Yi` 14.7 参考文献 311 1ubu~6 15 反演工程 313 E22o-nI?1 15.1 随机性和系统性 313 |Rfj
0+ 15.2 常见的系统性问题 314 KTm^}')C8 15.3 单层膜 314 M}|(:o3Yo 15.4 多层膜 314 #z(:n5$F 15.5 含义 319 1TZ[i 15.6 反演工程实例 319 m^ xTV-#l@ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 gNZwD6GMe? 15.6.2 反演工程提取折射率 327 kZ%
AGc 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 E^-c,4'F 16.1 光学性质的热致偏移 329 !BoGSI 16.2 应力工具 335 !4p{b f 16.3 均匀性误差 339 ;?Pz0,{h 16.3.1 圆锥工具 339 9
/H~hEVK 16.3.2 波前问题 341 l+Wux$6U 16.4 参考文献 343 Gld~GyB\k 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 JO|j?%6YY 17.1 引言 345 {vD$od i 17.2 操作数 345 'Dfs&sm 18 如何在Function中编写脚本 351 n5QO'Jr%[ 18.1 简介 351 (pELd(*Ga 18.2 什么是脚本? 351 W et0qt] 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 BwHJr(n 18.4 基础 352 LDg9@esi 18.4.1 Classes(类别) 352 s\d3u`G 18.4.2 对象 352 P@O_MT 18.4.3 信息(Messages) 352 :I#.d7`uk 18.4.4 属性 352 mlByE,S2E 18.4.5 方法 353 .F ?ww}2p] 18.4.6 变量声明 353 t=7Gfv 18.5 创建对象 354 EE'2<"M 18.5.1 创建对象函数 355 kQ=bd{a6 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 F+*E}QpM 18.5.3 丢弃对象 356 I{$suPk 18.5.4 总结 356 od!44p] 18.6 脚本中的表格 357 Ft>B% -; 18.6.1 方法1 357 >M5}L< 18.6.2 方法2 357 RC7F/|w.z 18.7 2D Plots in Scripts 358 f,ro1Nke 18.8 3D Plots in Scripts 359 O<vBuD2 18.9 注释 360 Qh@Q6 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 EeYL~ORdi 18.11 一个更高级的脚本 362 WoXAOj%iW 18.12 <esc>键 364 g+o$&'\ 18.13 包含文件 365 !/}4_s`, 18.14 脚本被优化调用 366 x)?V{YAL 18.15 脚本中的对话框 368 %/2
` u 18.15.1 介绍 368 `O7vPE 18.15.2 消息框-MsgBox 368 G4i%/_JU 18.15.3 输入框函数 370 1XN%&VR>^D 18.15.4 自定义对话框 371 'N{1b_v? 18.15.5 对话框编辑器 371 +vZYuEq_ 18.15.6 控制对话框 377 =)bOteWM 18.15.7 更高级的对话框 380 IEm?'o: 18.16 Types语句 384 7}xQ4M\u$ 18.17 打开文件 385 Y's=31G@ 18.18 Bags 387 G:e=9qTf 18.13 进一步研究 388 }zA|M9%E 19 vStack 389 @C-dCC? 19.1 vStack基本原理 389 1
k!gR 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ^fKKsfIf 19.3 五棱镜 393 Ie!KIU 19.4 光束距离 396 UusAsezm: 19.5 误差 399 b$2=w^* 19.6 二向分色棱镜 399 {ZUk!o>m@ 19.7 偏振泄漏 404 nIH(2j 19.8 波前误差—相位 405 @IL@|Srs8 19.9 其它计算参数 405 ,GWa3.&.d 20 报表生成器 406 <w&'E6mU 20.1 入门 406 !o|
ex+z; 20.2 指令(Instructions) 406 +!@xH]; 20.3 页面布局指令 406 gB#!g@ 20.4 常见的参数图和三维图 407 23LG)or.JC 20.5 表格中的常见参数 408 jYU0zGpj 20.6 迭代指令 408 eZ)
|m 20.7 报表模版 408 LEKE+775 20.8 开始设计一个报表模版 409 wPghgjF{ 21 一个新的project 413 4P Sbr$ 21.1 创建一个新Job 414 Le~D"d8 21.2 默认设计 415 T>|+cg 21.3 薄膜设计 416 oItC;T 21.4 误差的灵敏度计算 420 `mkOjsj & 21.5 显色指数计算 422 ?z`yNx6 21.6 电场分布 424 UHY)+6qt] 后记 426 >a@1y8B 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! CEk[&39"
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