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《Essential Macleod中文手册》 KIuYWr7& 0?sIod 目 录 }K&K{ 9} yyiZV\ / ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 pR~PB 第1章 介绍 ..........................................................1 p?dMa_g 第2章 软件安装 ..................................................... 3 |5Z@7 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 "+7~C6[s 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 o}NKqA3 第5章 软件结构 ............................................................... 21 55yP.@i9J 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 t(ZiQ<A 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 A70_hhP 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 n#x{~oQc 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 AWf zMJ;VS 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 Z0-W%W 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 a_pkUOu6 第12章 优化和综合 ..................................................................120 [#)$BXG~y 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 d/* [t! 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 Fl|u0SY 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 !H.&"~w@ 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 HPU7
` b4 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 H]}-
U8}sp 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 Q<78<#I 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 nYE_WXY3V 第20章 运行表单 .................................................................... 251 ~){*XJw6 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 h`5au<h< 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 Ujw^j 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 KsHovv-A 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 p6jR,m8S 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 VS 8|lgQ 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 )iEK7d^- 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 A$^}zP'u0< 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 .Yh-m 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 YDDwvk
H VQLo
vt" \8<bb<` LkNfcBa_ Y`c\{&M6 "qwRcuHY 内容简介 iVmf/N@A| Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 hbN*_[ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ~A"ODLgU9 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 A
#ZaXu/:X 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 $`]<4I9d TmO\!` 目录 FJ#V"|} Preface 1 qQVqS7 t 内容简介 2 5"@<7/2qI 目录 i g#Yqw 1 引言 1 `uGX/yQ#= 2 光学薄膜基础 2 Tm`QZh3 2.1 一般规则 2 VEz&TPu 2.2 正交入射规则 3 *Z{W,8h*s 2.3 斜入射规则 6 Ue-HO 2.4 精确计算 7 X'iki4 2.5 相干性 8 sPbtv[bC 2.6 参考文献 10 cZ o]*Gv. 3 Essential Macleod的快速预览 10 T@k&YJ
4 Essential Macleod的特点 32 ty/jTo} 4.1 容量和局限性 33 \`4}h[ 4.2 程序在哪里? 33 m>UJ; F 4.3 数据文件 35 b_][Jye&P 4.4 设计规则 35 9}3W0F; 4.5 材料数据库和资料库 37 zW+Y{^hf 4.5.1材料损失 38 MA"iM+Ar 4.5.1材料数据库和导入材料 39 v "oO
4.5.2 材料库 41 a}e7Q<cGj 4.5.3导出材料数据 43 \'1%"JWK
4.6 常用单位 43 .R:eN&Y8y 4.7 插值和外推法 46 ,j2qY'wi 4.8 材料数据的平滑 50 S;*,V|#QD 4.9 更多光学常数模型 54 {feS-.Khv 4.10 文档的一般编辑规则 55 ,riwxl5*E/ 4.11 撤销和重做 56 h2,AcM 4.12 设计文档 57 I,?bZ&@8 4.10.1 公式 58 u}#rS%SF* 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 YM#XV*P0 q 4.10.3 沉积密度 59 )vPce 4.10.4 平行和楔形介质 60 AV%Q5Mi} 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 [IW@mn> 4.10.4 性能 61 z.[L1AGa|s 4.10.5 保存设计和性能 64 hRA.u'M 4.10.6 默认设计 64 B&L{/.v_z\ 4.11 图表 64 TcRnjsY$ 4.11.1 合并曲线图 67 i|=}zR 4.11.2 自适应绘制 68 V&GFGds 4.11.3 动态绘图 68 *~fN^{B'! 4.11.4 3D绘图 69 BH*vsxe 4.12 导入和导出 73 <5L!.Ci 4.12.1 剪贴板 73 -3KB:K< 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 4"7Qz z 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 e {c.4'q 4.13 背景 77 9|'bPOKe 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 o AQ92~b 4.15 生成Rugate 84 %/'[GC'y! 4.16 参考文献 91 Ke,-8e#Q 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 "~FXmKcX 5.1 Jobs 92 oWJ}]ip 5.2 创建一个新Job(工作) 93 w7%N=hL1 5.3 输入材料 94 .+B!mmp 5.4 设计数据文件夹 95 3bPVKsY 5.5 默认设计 95 ]enqkiS 6 细化和合成 97 5B98}N 6.1 优化介绍 97 H ) (K 6.2 细化 (Refinement) 98 wmoOp;C 6.3 合成 (Synthesis) 100 sIELkF?. 6.4 目标和评价函数 101 E}a3. 6)p 6.4.1 目标输入 102 $_)f|\s 6.4.2 目标 103 A+[wH( 6.4.3 特殊的评价函数 104 FtF!Dtv 6.5 层锁定和连接 104 XK&#K? M 6.6 细化技术 104 Jg%sl&65 6.6.1 单纯形 105 OTV)#,occ 6.6.1.1 单纯形参数 106 'TbA^U[ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 uCUBs(iD 6.6.2.1 Optimac参数 108 WUqAPN 6.6.3 模拟退火算法 109 <F!:dyl 6.6.3.1 模拟退火参数 109 Ex*g>~e 6.6.4 共轭梯度 111 ,e>ugI_;* 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 $G=\i>R. 6.6.5 拟牛顿法 112 s:fnOMv
" 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 AJmS1 B 6.6.6 针合成 113 ^_<pc|1 6.6.6.1 针合成参数 114 NS&~n^*k< 6.6.7 差分进化 114 se)I2T{J 6.6.8非局部细化 115 P-vA.7 6.6.8.1非局部细化参数 115 _IY)<'d 6.7 我应该使用哪种技术? 116 =jG3wf* 6.7.1 细化 116 .b]oB_ 6.7.2 合成 117 525xm"Bs 6.8 参考文献 117 :ss9- 7 导纳图及其他工具 118 m\~[^H~g 7.1 简介 118 >U) ,^H( 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 a%-Yl%# 7.2.1 四分之一波长规则 119 3^`bf=R 7.2.2 导纳图 120 50'6l
X(v, 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 5hDE&hp 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 1hMk\ -3S 7.5 斜入射导纳图 141 r@n% 7.6 对称周期 141 ' u0{h 7.7 参考文献 142 /
Sp+MB9 8 典型的镀膜实例 143 Dxu)by 8.1 单层抗反射薄膜 145 n09|Jzv9 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 QeQbO 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 #Io#OG<7b 8.4 W-膜层 148 "Dy&` 8.5 V-膜层 149 Sa<R8X'J 8.6 V-膜层高折射基底 150 ")o.x7~N 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 *&AK.n_ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 nl?|X2?C 8.9 四层抗反射薄膜 153 ?9PNCd3$d 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ~#j`+ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 "\V:W%23W{ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 oiR`\uY 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 jEI!t^# 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 lL83LhE}< 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ^\wosB3E 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 yBr{nFOgdY 8.17 1/4波长堆栈 162 82w<q( 8.18 陷波滤波器 163 g6*}&.& 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 dk3\~m%Pv 8.20 褶皱 165 km3-Hp1 8.21 消偏振分光器1 169 xr?r3Y~^e 8.22 消偏振分光器2 171 eq/s8]uM 8.23 消偏振立体分光器 172 i?|SC= 8.24 消偏振截止滤光片 173 AM }OLHj 8.25 立体偏振分束器1 174 t>b^S, 8.26 立方偏振分束器2 177 "5YsBih 8.27 相位延迟器 178 CP?\'a"Kt 8.28 红外截止器 179 */S,CV 8.29 21层长波带通滤波器 180 dA_s7), 8.30 49层长波带通滤波器 181 /evh .S 8.31 55层短波带通滤波器 182 oF3#]6`;/ 8.32 47 红外截止器 183 %8$wod6 8.33 宽带通滤波器 184 QVFa<>8/md 8.34 诱导透射滤波器 186 BS{">lPmx 8.35 诱导透射滤波器2 188 aH>.o 1; 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 \K)q$E<! 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 w!xSYh') 8.35 增益平坦滤波器 193 $MR{3- 8.38 啁啾反射镜 1 196 ?}Mv5SO 8.39 啁啾反射镜2 198 b>waxQxjS 8.40 啁啾反射镜3 199 ; aMMIp 8.41 带保护层的铝膜层 200 )_&<u\cm
L 8.42 增加铝反射率膜 201 ao,LP,_ 8.43 参考文献 202 ~E`l4'g? 9 多层膜 204 ricDP 9#a 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 +^"|FtKhE 9.2 内部透过率 204 !WIL|\jbh 9.3 内部透射率数据 205 }ShZ4 xMz 9.4 实例 206 U 26Iz 9.5 实例2 210 Y${ $7+@ 9.6 圆锥和带宽计算 212 \^YJs? 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 $AX!L+<! 10 光学薄膜的颜色 216 .jRXHrK; 10.1 导言 216 wv*r}{%7g[ 10.2 色彩 216 |E}N8\Gr 10.3 主波长和纯度 220 ",K6zALJ 10.4 色相和纯度 221 `@:^(sMo 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 q=
tDMK'h 10.6 色差 226 D)mqe-%1 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 Eu0_/{: 10.8 颜色渲染指数 234 f"PApV9[ 10.9 色差计算 235 =izB : 10.10 参考文献 236 <2R=!n@b\ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 z?K+LTf8 11.1 短脉冲 238 iKdC2m 11.2 群速度 239 %f>V\z_C 11.3 群速度色散 241 _H;ObTiB 11.4 啁啾(chirped) 245 AAs&wYp8Yh 11.5 光学薄膜—相变 245 <CH7jbK 11.6 群延迟和延迟色散 246 <Siz5qQI4 11.7 色度色散 246 b _6j77 11.8 色散补偿 249 ]6(NeS+ 11.9 空间光线偏移 256 |M+ !O93 11.10 参考文献 258 }5%!:= 12 公差与误差 260 AMkjoy3+] 12.1 蒙特卡罗模型 260 #kxg|G[Ol 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 k3e
$0`Q 12.2.1 误差工具 267 Ddu$49{S: 12.2.2 灵敏度工具 271 /*8"S mte 12.2.2.1 独立灵敏度 271 oinF<-( 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Ok,hm.| 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 6 .*=1P*? 12.3 参考文献 276 uODpIxN 13 Runsheet 与Simulator 277 ,qC_[PUT 13.1 原理介绍 277 BG=h1ybz 13.2 截止滤光片设计 277 Dn9Ta}miTO 14 光学常数提取 289 3s$m0 14.1 介绍 289 4sG^bZ, 14.2 电介质薄膜 289 qf'uXH 14.3 n 和k 的提取工具 295 O! ;!amvz 14.4 基底的参数提取 302 ]ErAa"? 14.5 金属的参数提取 306 A}W&=m8! 14.6 不正确的模型 306 7gvkd+-* 14.7 参考文献 311 #LcF;1o%o2 15 反演工程 313 _o<8R@1 15.1 随机性和系统性 313 whD%Oz*f 15.2 常见的系统性问题 314 tcmG>^YM 15.3 单层膜 314 xeZ,}YP) 15.4 多层膜 314 (LGx;9S? 15.5 含义 319 qQ^]z8g6P 15.6 反演工程实例 319 ^[5yff 4 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 QQ pe.oF 15.6.2 反演工程提取折射率 327 #N7@p}P 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 $n>.;CV 16.1 光学性质的热致偏移 329 =)'AXtvE 16.2 应力工具 335 cn Q(
G$kh 16.3 均匀性误差 339 @m#7E4+ 16.3.1 圆锥工具 339 A5/Q:8b 16.3.2 波前问题 341 6 Rg{^E Rf 16.4 参考文献 343 e6,/i 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 k;q|pQ[ 17.1 引言 345 yn`H }@`k 17.2 操作数 345 MdCEp1Z 18 如何在Function中编写脚本 351 \z0" 18.1 简介 351 <Ms,0YKx 18.2 什么是脚本? 351 mpN|U(n 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ]iYjS 18.4 基础 352 D/Bb)]9I 18.4.1 Classes(类别) 352 :+Y+5:U] 18.4.2 对象 352 IJ[#$I+Z% 18.4.3 信息(Messages) 352 D1#fy=u69| 18.4.4 属性 352 UoBmS5 18.4.5 方法 353 qVE6ROSh
18.4.6 变量声明 353 ^~(@QfY 18.5 创建对象 354 v2/@Pu!kg 18.5.1 创建对象函数 355 qfx= 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 l3rr2t 18.5.3 丢弃对象 356 a%V6RyT4qW 18.5.4 总结 356 [|E
93g 18.6 脚本中的表格 357 w}X <]u 18.6.1 方法1 357 A^*0{F?,) 18.6.2 方法2 357 ms`R^6Ra 18.7 2D Plots in Scripts 358 #]cO]
I 18.8 3D Plots in Scripts 359 8<{)|GoqB 18.9 注释 360 ~*ST fyFw 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 2E;UHR 18.11 一个更高级的脚本 362 `[X5mEe 18.12 <esc>键 364 R:fERj<s 18.13 包含文件 365 /X9K g 18.14 脚本被优化调用 366 tp7cc;0 18.15 脚本中的对话框 368 ^FIpkhw 18.15.1 介绍 368 \mbm$E+X 18.15.2 消息框-MsgBox 368 T2Ms/1FH/@ 18.15.3 输入框函数 370 !.Eua3:V* 18.15.4 自定义对话框 371 M4~^tML>Ey 18.15.5 对话框编辑器 371 .}=gr+<bf 18.15.6 控制对话框 377 bXmX@A$#Io 18.15.7 更高级的对话框 380 4|ML#aRz 18.16 Types语句 384 :6:;Z
qn 18.17 打开文件 385 7A<X!a 18.18 Bags 387 {mr!E 18.13 进一步研究 388 !?#B*JGFS 19 vStack 389 @FO=0_;y 19.1 vStack基本原理 389 ga%gu9 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 YHSdaocp 19.3 五棱镜 393 mu@He&w" 19.4 光束距离 396 Utd`T+AF* 19.5 误差 399 ~
HN 19.6 二向分色棱镜 399 $F2A 19.7 偏振泄漏 404 4L)#ku$jW 19.8 波前误差—相位 405 n
W:P"L 19.9 其它计算参数 405 +#ufW%ZG 20 报表生成器 406 9EHhVi 20.1 入门 406 zZR_&z< 20.2 指令(Instructions) 406 0 w Q'~8 20.3 页面布局指令 406 ~}Xd{afo 20.4 常见的参数图和三维图 407 J[ ;g
\ 20.5 表格中的常见参数 408 NhG?@N 20.6 迭代指令 408 r}T(?KGx 20.7 报表模版 408 x
*:v]6y 20.8 开始设计一个报表模版 409 z{$2bV 21 一个新的project 413 N)CM^$(T| 21.1 创建一个新Job 414 B6UTooj 21.2 默认设计 415 \Hb"bv 21.3 薄膜设计 416 %JoHc? 21.4 误差的灵敏度计算 420 ^hZZ5(</8P 21.5 显色指数计算 422 inQ1$ 21.6 电场分布 424 l5P!9P 后记 426 $y{rM%6JU 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! GW{e"b/x
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