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光学测量＞显微 5u:{lcC.X nuvRjd^N 任务/系统视图 'c[|\M!u GS*Mv{JJ  %)t9b@c!} jsp)e = 亮点 dRhsnT+KX g %ZKn  u*h+ c8|zI
L!>EW0 显微镜系统中光栅的全矢量分析 )Nj xKSiU@ 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 Y-ZTv(< 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 SWq5=h 5YG %\ 说明：光源 G+k~k/D 6 ?7eD< |  th4yuDPuA >}I BPC  d*cAm$ 8T]x4JQ0 说明：透镜系统 mh$ Nwr/W: $D%[}[2  [t{ed)J 说明：样品结构 Q >QES-.l :~PzTUz  Vi:<W0: v:xfGA nP 说明：探测器 j34L*? CS\ E]f  Z\ 1wEGP7{
l,w$! FnmR
 bdBFDg ? CabVj-r 结果：3D光线追迹 \J?l7mG ^{l^Z
+b.  xlHC?d0} YT@D *\  [W*xPXr* jWE?$r" 结果：光线追迹 Ojwhcb^ +jv&V%IL  $TK<~3` (Z)F6sZ`8 结果：光线追迹衍射级数 <q<kqy5s-R M~SbIk<#a<  &}+^*X &}."sGK 结果：场追迹采样平面 S +mM S #CcC& I
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0/vB 结果：场追迹焦平面 ~L55l2u7 6 $*\%  WKDa]({k% Yg< 4}l." 结果：减小光栅周期 '^# =,+ A
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!r]** 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 #|ILeby x<lY&KQ0
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