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光学测量＞显微 L0UAS'hf E-X-LR{CC 任务/系统视图 nkS 6A}i3o }C/} 8<  3 V8 SKBS \z:p"eua z 亮点 `*KS`
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Ol 显微镜系统中光栅的全矢量分析 ) OZDq]mV 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 'V4.umj1~ 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 k/H<UW?Z] %T}{rU~X 说明：光源 ]
X% bU*4 qf2{Te1  `gfK# 0x# 4yQ4lU,r  XwX1i!'54 ^nkwT~Bya 说明：透镜系统 xdYjl.f aFyNm@a  P M9HfQU? 说明：样品结构 RZOk.~[v ~i))Zc3,g\  e Yyl =YW (niZ N_qv 说明：探测器 }9Y='+.%^ r vw1'y  #xYkG5`lm
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 n0 !S;HH- aFIet55o 结果：3D光线追迹 eFsku8$< 5 kC#uk  yn Z! q?} G?n 4  uBl&|yvxB Ko/_w_ 结果：光线追迹 :w:5;cm V kZUuRB~om  G?3S_3J2 "Hg n2o.;5 结果：光线追迹衍射级数 kwWO1=ikz@ &+&^Hc  ~+CNED0z+ YH<@->Ip 结果：场追迹采样平面 KgAc0pz{7H +Tq
_n@  c v#H ?ZTB u[ 结果：场追迹焦平面 ^$? 8!WE <@JU0Z"a=  S1$\D!|1 FAPgXmFzx 结果：减小光栅周期 `kekc.*-[@
qn+m lduU 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 ;GH(A=}/Y zoUW }O
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