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光学测量＞显微 Nj#!L~^h, k B2+ Tr 任务/系统视图 hH"3 Y}U@ w$Dp m.0(  %=#&\ldPS *>_:E6) 亮点 Ba`]Sm= ;-*4 (3lu  F{ l,Tl"Jw
gl]{mUZz} 显微镜系统中光栅的全矢量分析 -uv1$| 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 y9W*/H{[` 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 I FG`
G92=b *x/ 说明：光源 6K `frt *ArzXhs[  kZz;l(?0 E8%O+x}  K\?vTgc( ?)]sfJG 说明：透镜系统 50_%Tl[ q#OLb"bTr  /^4)V8D_S 说明：样品结构 &]#D`u mT!~;] RrF  Onot< } K )j6S<mn 说明：探测器 rzqCQZHL5 N66jFRA;x  v+Mt/8
+pf 7
 {tWfLfzU ?\c*DNM' 结果：3D光线追迹 $#KSvo{otI h!d#=.R  <~:
g uX.Aq@j  VaX>tUW W9eR3q 结果：光线追迹 T( ;BEyc? 4{fi=BA  4=q\CK2 ^A {?5 EOp~ 结果：光线追迹衍射级数 o<C~6 7o_ -O( .J' =8  f3yZx!K_Br .bpxSU%X 结果：场追迹采样平面 t$Qav>D k P [ Y  ?dxhe7m hTg %T#m 结果：场追迹焦平面 u !g <y J+z0,N[  *d,SI[c%e CrqWlO 结果：减小光栅周期 [8)Zhw$
A>d*<#x 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 Y9PG W }T+8+RU
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