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光学测量>显微 P5_Ajb(@' +M
I{B="7. 任务/系统视图 .i4aM;Qy lgU!D |v X<;. f't.?M 亮点 !s=$UC 15j5F5P %BkE %ZcZ X13+n2^8] 显微镜系统中光栅的全矢量分析 6;'[v}O^^ 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 6J,h}S 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 ,#ZPg_x?1 ?tjEXg>ny 说明:光源 +S(# 7 ]z^jz#>um& wz:e\ ! Bzwll N+c|0 EZB0qZIp 说明:透镜系统 F-|DZ?)k5 G=17]>U *P*~CHx> 说明:样品结构 ]w6F%d *>=tmW;% /r~2KZE #0<pRDXj 说明:探测器 Z .gb' .2@T|WD!Ah WS n>P7sY <h/q^| tZ{
t^":.}[Q Cu#n5SF* 结果:3D光线追迹 aF?_V!#cT 2: gh q wL),/i&< ;F@Sz/ 1w7tRw jV*10kM< 结果:光线追迹 8` +=~S cOP'ql{" &qXobJRM A Qjv?
4)T 结果:光线追迹衍射级数 q$"u< ENhLonMeV R&W%E%uj -M=BD-_.h 结果:场追迹采样平面 akbB=:M,x Fc`IRPW< RM_%u=jC >WLX5i& 结果:场追迹焦平面 _?"y1L. N/0aO^"V 4Px|:7~wT8 G;cC!x< 结果:减小光栅周期 3#,6(k4> `e'wWV 随着光栅周期的减小,光栅结构不能被分辨。 Gf.ywqE$Y$ F*U(Wl=
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