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光学测量＞显微 d(vsE%/! 2LrJ>Mi 任务/系统视图 Q~R
~xz Hsih[f  w%WF-:u7| >AoK/(yL. 亮点 Z3>N<u8) gu #-O ?B  ,yd
MU\so(
mNmLyU=d 显微镜系统中光栅的全矢量分析 D:k 3"
E"S 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 o]nw0q?
光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 m(], r}) `_b`kzJ 说明：光源 uwRr LF <0yE
5Mrf  1;Pv0&[q/ R' kyrEO  /Q,{?';~ "ZTTg>r 说明：透镜系统 N `)$[&NG] y5Tlpi`g  e]jH+IR:> 说明：样品结构 2o>)7^9|#< TCT57P#b  Hm+O Dv9 \*,=S52 说明：探测器 {R/C0-Q^^ ,K:ll4{b  Vmzb ZTup
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 piU /& 3Tn )Z1o 结果：3D光线追迹 Cy*|&=>j 0 IQ'3 _  odg<q$ 34 O?<&+(uMTT  ?$e9<lsQq) 0* /{4)r 结果：光线追迹 ',GS#~ %,hV [[ @.  qF 9NQ; < >m }}^ 结果：光线追迹衍射级数 K |DWu8 g;ZxvR)ZJk  1SrJ6W @j[ Cg z D $`~ 结果：场追迹采样平面 ~+Z{ Q25R 'ejvH;V3i  YC_1Ks jE#O>3+. 结果：场追迹焦平面 Yq(G;mjM *xp \4;B
 &-5_f* { LN_ xq&. 结果：减小光栅周期 : >itXD!
<cA/<3k) 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 E*?<KZe" tDr#H!2
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