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光学测量>显微 ^M80 F 7 |SxEJ 任务/系统视图 :?p{ga9 xO.7cSqgw \O0fo^+U,, t{7l.>kf 亮点 kl={L{r r]E$uq
bR jNyC%$ )ld7^G 显微镜系统中光栅的全矢量分析 a>kDG <.A 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 ex|kD*= 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 }UO,R~q~ /F4:1
} 说明:光源 eyE&<:F#J }+lxja]C c !;wp,c m!2Dk#t 7&QVw(:)M {c1qC zM4 说明:透镜系统 +/X'QB$R 5{5ABV %*gO<U4L] 说明:样品结构 zm"\D
vN) [yyV`& |u+&xX7 yjr@v!o 说明:探测器 a(7ryl~c= NV gLq@F };j&)M Z\L@5.*ydE
Z-<u?f8{* jgstx3 结果:3D光线追迹 j"V$J8)[ D=\|teA& n>4S P_[E7 |]q=D1/A O<3,n;56Z 4
* OU 结果:光线追迹 kmoJ`W} N zb" hy"hKw \PFx#
:-c $ {+.1"/[ 结果:光线追迹衍射级数 vh HMxOZ; i#lo?\PO> J4vKfxEg uaKB 结果:场追迹采样平面 _y9P]@Q7% </X"*G't SSXS @5wg' mM 结果:场追迹焦平面 r83~o/T@ k~R[5W|' eqR#` R
u5&xIQ 结果:减小光栅周期 W,~1KUTc gp HwiFc 随着光栅周期的减小,光栅结构不能被分辨。 #H`y1zm a%!XLyq
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