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光学测量＞显微 =K2Dxu_: [d!C6F T 任务/系统视图 &sL5 Pt_ wxZnuCO%H8  lwLK#_5u $P]% Px!x 亮点 %5RYa<oP ovCk :Vz  a<Pi J?
K G~](4JE( 显微镜系统中光栅的全矢量分析 XzQ=8r>l 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 :EyH'v 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 #ITx[X 89| fD q,
)~D 说明：光源 ac.O#6& #I@]8U#,":  ^e8R 43w:! { mL /)\  ~U8#Iq1 c} mJ6 Pt 说明：透镜系统 p'k stiB ^Gv<Xl  GT%V,OJ
说明：样品结构 7V0:^Jov [RD ^@~x  6u7 (}K !N,Z3p>Q 说明：探测器 +,>f-kaV @.*[CC;&  *ILS/`mdav
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 8<P $E! CpS' 2@6 结果：3D光线追迹 ~B (]0: T9Vyj3!i_  q22cp&gmX p{Pa(Z]G  F.A<e #e? ;~]&$ 2sk 结果：光线追迹 K?[pCF2C c7s4 g-  |@nvg>mu =AL95"cH~ 结果：光线追迹衍射级数 lha )' 8fM}UZI  xOT'4v&. T|.Q81.NE 结果：场追迹采样平面 10#!{].#x ,zXL8T  ]Jnf. 3 c;U\nC<Y 结果：场追迹焦平面 9 ^a>U(, C2<y(GU[Bh  %\~;I73 !a~x |pjJ 结果：减小光栅周期 7Wb.(` a<
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m<R!( 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 ynOp7ZN$ d `~#uN {
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