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光学测量＞显微 \uT2)X( N ?Vy% <f$ 任务/系统视图 $e
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=tUdDf  v{/z`J!JR S ?ypka"L 亮点 oa4{s&d b- C,2k W`[V  '<}N`PS#N
sop *?0 显微镜系统中光栅的全矢量分析 i&%~:K* 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 op\'T;xIu 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 ~N<zv( {lG ,4O|{Iu#n 说明：光源 _$g2;X > LHQ$0LVt>T  f6\`eLG i1 ! ^~
^D<  U3R;'80 f r#svj*dn 说明：透镜系统 , ".1! [b }@Ap_xW  C`4 m# 说明：样品结构 ""0 cw X+0+ }S  Rm i4ZPb. :5Y L!D/& 说明：探测器 V 6DWYs> _#9F@SCA  t)! (s,;T
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MTmG/^ [&Yrnkgr 结果：3D光线追迹 Y@jO #6R ~Ox !7Lp  .paKV"LJ F.]D\"0`  3FD6.X>x r |H 1Yy 结果：光线追迹 <$ " HLlp+;CF><  `>i8$q% S2;u!f 结果：光线追迹衍射级数 !HV<2q() ^x BQ#p  i[IOR 0 |\# ~ 结果：场追迹采样平面 \LN! k-c >} "9heF  & U.U< ?R P&XrD 结果：场追迹焦平面 -Lo3@:2i !_yWe  |~+i=y 3qlY=5Y 结果：减小光栅周期 IonphTcU!
Z,jR:_ p 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 X[e:fW[e) Z9)-kRQz=r
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