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光学测量＞显微 4z? l hQ i2U 任务/系统视图 =}*0-\QG :r[`.`  pUTr!fR '%D7 C =;^ 亮点 pFXEu= $3 J *yg&  (?c-iKGc
] 3gSQ 7 显微镜系统中光栅的全矢量分析 }}[2SH'nH 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 eJSxn1GW 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 P%6~&woF ]A"h&`Cvt 说明：光源 ~`/V(r;o RpK@?[4s  1,~D4lD | ~BF&rx5Q  ~zgGa:uU R=dC4; 说明：透镜系统 q<J~ ~' 6mE\OS-I  VQs5"K" 说明：样品结构 n?Q|)2 2 2|,VqVb  /{[o ~:'p : +u]S2 u{ 说明：探测器 l.]xB,k H.;Q+A,8^  ==B6qX8T
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 (BM47 D=v jy lD6IT 结果：3D光线追迹 KXrjqqXs Y@v>FlqI{  *hrvYil2b -/4P3SG/  $x qa{L%B gr{ DWCK 结果：光线追迹 So6x"1B DH=hH&[e(d  xLE)/}y_7H 7^Uv7< pw 结果：光线追迹衍射级数 7=uj 2.J6 WA qINLdX  ^Pf WG* IBGrt^$M 结果：场追迹采样平面 l] vm=7: xk5 ]^yDp  3q.q
YX iscz}E,Y 结果：场追迹焦平面 s.rm7r@ # LeQjvW9y  `L
zPotz =|=(l)8 结果：减小光栅周期 0Gk<l{o?^
9$t( & z= 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 =l6mL+C I]575 \bA
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