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光学测量＞显微 f'*-< sSr ^ij0<*ca9 任务/系统视图 f$lb.fy5 hYJzF.DW<$  8b/$Qp4d J"r?F0 亮点 &;@L]
o +z;*r8d<X  :iE b^F}
z gb $@JC 显微镜系统中光栅的全矢量分析 8['R D`O 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 QH'*MY 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 _p )NZ7yC HI8mNX3 "j 说明：光源 <[dcIw<7 }5
rR^ryA  2zC4nF)>O iWCYK7c@.-  9?l a 5 R"t#dG]1t 说明：透镜系统 m+c-"arIpA d/d)MoaJ*t  Q|_F
P: 说明：样品结构 8C3k:
D[ e9LX0=  -@> {q/ 7#LIG r 说明：探测器 F- ,gj{s =KPmZ ,/w  ;<+efYmyc
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 o#qdgZ !5*VBE\ 结果：3D光线追迹 dseI~} j yHa}OT  !JCs'?A
$ f :uBhM  tJ(xeb OUulG16kK 结果：光线追迹 YSnh2 Bq bDl:,7;  fK/ : P+CV4; Xz 结果：光线追迹衍射级数 ;$D,w " c%wq 0  |
Y:`>2ev O nXo0PV/( 结果：场追迹采样平面 gP MR,TU 'w:ugb9]  O=Su
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结果：场追迹焦平面 U%vTmdOY }3z3GU8Q-  e r3M vw |V3 4;} \4 结果：减小光栅周期 A'EI1_3{
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t#{i 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 /d&m#%9Up] hDXTC_^s
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