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光学测量＞显微 _4]dPk#^ t1^96@m^ 任务/系统视图 0E[Se|! A UV$ S2  k~dr;j .>&fwG 亮点 OK}"|:hrd #"JU39 e  Q[KR,k
}YO}LQ-| 显微镜系统中光栅的全矢量分析 Fgk/Ph3r 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 0xcqX!( 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 B E)l77=/ uS jMqfK 说明：光源 ?Sxnq#r # {jI/9  I SmnZ@ |L&V-f&K  [_- K K_}a cU 说明：透镜系统 t7 9MBgZ 7 d5x4^EYE  RI;RE/Z 说明：样品结构 Vba}RF[b .Ps;O  -~k2Gy;E STI3|}G*P 说明：探测器 ]FBfh .#X@ gjV&X N  NU[{oI<a
xWm'E2
 8ic_|hfY mUbaR 结果：3D光线追迹 bJ D" &h5 =Yk$Q\c  AF-.Nwp [PT_ y3'%  ijB,Q>TgO y w0uF 结果：光线追迹 aRmS{X3 =l +p nG  @C2<AmY9q* W>y_ q[m 结果：光线追迹衍射级数 $7,dKC & b4wJnmC8  oSoG&4 TxWj gW~ 结果：场追迹采样平面 n'H\ *9t I"1\R8
R  s7?kU3 y=s S}E@*t2 h 结果：场追迹焦平面 V1 G]LM hbK+\X  THJ+OnP ln .~ >FO 结果：减小光栅周期 &}uO ]0bR
&g`a [# 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 9[!
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