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光学测量＞显微 ?uk|x!Ko] :3Ty%W&& 任务/系统视图 S9U9 ;>g r/:9j(yxr  i T
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> 亮点 2>ce(4Gky 'ZL)-kbI  d<`Z{"g NS
e] **Z,Z 显微镜系统中光栅的全矢量分析 zh*NRN 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 i]8zZRe 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 G]QD6b9~ "W\
#d 说明：光源 |\~cjPX( KXicy_@DC`  w`F}3zm ~Z.lvdA_5  @@SG0YxZ { P1W{| 说明：透镜系统 AL
H^tV? /x0zZ+}V  1G{$ B^
f 说明：样品结构 +es.V
/ D' uz H|z8  +~w '?vNc ( Pvch! 说明：探测器 r4!z A-{ 4V43(G  ,lL0'$k~
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 ,^AkfOY7" Rjm5{aa- 结果：3D光线追迹 } KS[( Q DC[ - <:B  oVc_ (NH- KZ/ }Iy>As  Q'$aFl' NR bG2 !5m4L 结果：光线追迹 Fc 5g~T t?YGGu^  &W".fRH_O mgH4)!Z*56 结果：光线追迹衍射级数 KY2xK co
(nvSB}?  TyGXD U LR -op?W 结果：场追迹采样平面 P(A%z2Ql 0($MN]oZa  )Cu"M #` iwr dZLE 结果：场追迹焦平面 Qs I$4:yl Z{u*vUC&  P9X/yZ42 ZFz> " vt@ 结果：减小光栅周期 ffuV$#
> Mi A|N= 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 $n (@hT>? " F)7!e
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