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光学测量 > 干涉测量 7Pt*V@DHS R =D\VIu,Z 任务/系统说明 , N : 'Z
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4SG22$7 W 亮点 o?G^=0T
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9"yBO` •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； (wJtEoB9^ •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； Q:LyD!at
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} 具体要求：光源 //- - r5Q - t9oL3 J  {HqwpB \@ my#qmI 具体要求：用于准直的消色差透镜 h t^U VV2 )k&pp^q\ 1B 3,lYBM  h.) 2, c%.f|/.k
+n(H"I 7cU  ;WIL?[;w ~qNpPIrGr 具体要求：分束器 $ Z;HE/ 3 ?`F")y  ";~}"Yz?[
$ql-"BB 具体要求：参考光路反射镜 KmV>tn BQ ^_<>o[qE  l,/q# )5[
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@"9y\1u 具体要求：测试光路反射镜 gb:Cc,F, % K.
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\3q{E",\>@ 具体要求：探测器 #f|-l$a)3a mxHNK4/  2h&pm 9\)NFZ3Mz 结果：3D光线追迹 ,Ucb)8a wrG*1+r  `n-e.{O(( 9szE^kHS9 结果：场追迹 X_
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Ao96[2U6 结果：移动样品的场追迹结果 y<F$@ :&)RK~1m_  ;_j\E(^% 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 gb(\c:yg1R
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