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光学测量 > 干涉测量 BH+@!H3 hf H}}g\|r& 任务/系统说明 !hS~\+E
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/QT"5fxKJ 亮点 S{. G=O
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 1 Ka,u20
W]l&mr •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； p ipO ,n •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； O77bm,E
i{. %4tA4 具体要求：光源 *~H\#N|x WY3D.z-</  fAHf}j 6OOdVS3\J 具体要求：用于准直的消色差透镜 co-dq\P KM o]J1o H1^m>4ll9  kEr; p{5 F\U^ -/0, Q
q7+_,w  .
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L4@_ !`$ xN~_ 具体要求：分束器 C!%\cy%Xj 6r3.%V.&  QW[
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\n}@}E L 具体要求：参考光路反射镜 &Bfgvws; Aq~}<qkIF+  wx2 EMr
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m?4L>' 具体要求：测试光路反射镜 dd&n>A3O= 7>sNjOt@M  Rx,Qw> #
E!_mXjlPc 具体要求：探测器 Y(D&JKx tITx+i  5UU1HC;C rz'A#-?'oG 结果：3D光线追迹 YrRD3P.P [>^xMF]$2  5&QDZnsl W7 iml|WV0 结果：场追迹 rr;p; + &j &es
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m.|__L 结果：移动样品的场追迹结果 m5w ZS>@ 6~#$bp^-  qT}AY.O%^ 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 Y c]
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