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光学测量 > 干涉测量 ^OjvL6A/p `&G} 任务/系统说明 +QQYPEx+ J{^n=X9M0J
B^Bbso'{1 FB.!`%{ 亮点 ${CYDD"mdy (-#rFO5~l
w1.MhA wC(XRqlE •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; v?%0~! •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; ^h"n03VFA u[:
P 具体要求:光源 3P3:F2S R (,d/JnP ,Os7T 1> 1wU=WE(kKZ 具体要求:用于准直的消色差透镜 t{[gKV-b widI
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=05iW mC%%)F'Zf K]%N-F>r N!.kq4$. #?A]v>I;C 具体要求:分束器 5_PWGaQa %e(9-M4* .wM:YX'[G nq),VPJi 具体要求:参考光路反射镜 /kAwe *) DXt]b, Rd .U;> f<) Ro$
Bmi:2} j %GNUnr$ 具体要求:测试光路反射镜 |K'Gw}fX/ B-B?Ff> r94j+$7 D9e+ 具体要求:探测器 ],H1 r.Y*{!t JTSq{NN FLi(#9 结果:3D光线追迹 `WraOsoY =W;t@"6>2
7=$+k]U8 gcQ. YP9 结果:场追迹 lNq:JVJ#\r i# CaKS
\.K\YAM< iMP*]K-O 结果:移动样品的场追迹结果 L$oia)%t- ~uP
r]# D{Hh#x8Y 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 ?ZSXoy-kr
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