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光学测量 > 干涉测量 }||u{[ X):7#x@uy 任务/系统说明 M
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Mp/l*"( 5n?P}kca) 亮点 '>
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x=cucZ Z"VP<- •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; W{-g?)Tou •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; j&X&&=
fG1iq<~ 具体要求:光源 N# }A9t OKh0m_ )7 *;@wPT a,Pw2Gcid 具体要求:用于准直的消色差透镜 1
tOslP@ qFWN._R m\qeYI6, Z M z&/.A 6FzB-], [2-n*a(q KRL.TLgq) ?Kgb-bXB 具体要求:分束器 -gvfz&Lz :|n[z jK/S 9)7$U QY LWCFCkx% 具体要求:参考光路反射镜 R%KF/1;/ S L
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2 {?]W/&fS f|,Kh1{e 具体要求:测试光路反射镜 ]mMJ6n JwbZ`Z*w wj6u,+ SAdT#0J 具体要求:探测器 k&ooV4#f6 @$jV"Y >$'z4TC\T fk,Vry 结果:3D光线追迹 WnG2\(U To(I<W|{ }gQ2\6o2g nsI+04[F 结果:场追迹 \'Ae,q|w $6Q^ur:
@[lMh9` ES4Wtc)& 结果:移动样品的场追迹结果 ],SQD3~9 o=R(DK# U [eD0L71[ 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 e%[*NX/
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