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光学测量 > 干涉测量 Ox58L>:0m 'i}Q R~pe 任务/系统说明 x k#/J]j
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-q[?,h 亮点 J5429Soo
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$cc]pJy"} •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； YI|7a#*F •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； O>UR\l|+:2
<~'\~Z d+ 具体要求：光源 ^dQ#\uy K"eW.$  ^ [2A<
g -r[l{ce 具体要求：用于准直的消色差透镜 q* +}wP t=5 K#SX} 3s" Rv@  =j6f/8 %+qD-{& Eb[*nWF=  4Z,MqG> l@%MS\{ 具体要求：分束器 ckS.j)@.c voEg[Gg4%I  s7[du _)
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?#da4W 具体要求：测试光路反射镜 U iO%y &'Pw z  9ldv*9v
`7 [z% cuK 具体要求：探测器 WBv h<wTw; 5)bf$?d  78T9" CS >]s\% GO 结果：3D光线追迹 O eLM*Zi bk^W]<:z`  &3 ~l Za;D ++1<A& a 结果：场追迹 HtY0=r bS7rG$n [
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4j+FDc` 结果：移动样品的场追迹结果 @/jL N a_}k ^zw(  :buH\LB*P 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 2w"Xv,*.'i
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