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光学测量 > 干涉测量 1YK(oRSDn XBoq/kbw! 任务/系统说明 NfUt\ p* >,[@SF%
@VPmr}p:{ Q(36RX%@ 亮点 "9 f+F *YSRZvD<\
C;j&Vbf IVY)pS"pR" •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; L0oVXmlr •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; v&bG`\ ! Evd|_ W- 具体要求:光源 ?}uuTNLl) W.NZ%~|+e/ 1jej7p>K ]f0OmUHR5i 具体要求:用于准直的消色差透镜 QFMAy>Gdn Ek1c >s,t "Kdn`zN{ :AS`1\ C em'ADRxG+ `XpQR=IOMb ?xrOhA9 SnR2o3r-Of 具体要求:分束器 4Y$\QZO aydNSgu %IZd-N7i^ $rI 1|;^ 具体要求:参考光路反射镜 GX0zirz &a;?o~%*]i IzJq:G. I}m20|vv
N!Rt040.% S>r",S 具体要求:测试光路反射镜 a]T&-#c,} -rn6ZSD) NB4O,w fP V n; 具体要求:探测器 "L:4 7!8 U(9_&sL y?3.W //_H_ue$ 结果:3D光线追迹 31@Lr[! tKeTHj;jO s<)lC;#e q+y\pdhdO 结果:场追迹 XS">`9o! uO`MA%
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>a,D8M? Cf3!Ud 结果:移动样品的场追迹结果 o]Rlivahm G %6P`: 2h'Wu
qO 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 }}{n|l+R5
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