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光学测量 > 干涉测量 s, XM9h>P4 p4> ,Fwy2 任务/系统说明 iP "EA8
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SLoo:) 亮点 f0o ek{
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.Z%G@X* •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； *^h_z;{, •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； +v15[^F
]}2Zt r)zZ 具体要求：光源 @
yxt($G S()Za@ [a$  ~ FUa: KYD {4rQ7J4Ux 具体要求：用于准直的消色差透镜 mU G
%LM ~7SH4Cr &KqVN]1+^  ;n B2o-% _P 5P(^/ 2k1 aX~?  .nZ3kT` P*G+eqX 具体要求：分束器 Q$=*a UU%G 9*}gl3y  QzthTX<
\*"`L3 具体要求：参考光路反射镜 T-8J 9 P"i uU  8/Rm!.8+~
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 gfo}I2"
$a.u05 具体要求：测试光路反射镜 O&$0&dhc ?R6`qe_F  D1 X{:#|
3] 76fF\^[ 具体要求：探测器 H(qm>h$bU ^
KH>1!
 xncwYOz xP@ /9SM 结果：3D光线追迹 kO  =nhzMU9c\y b5 Q NEi 结果：场追迹 nj2gs,k ULl_\5s2
 @"8R3BN
N@1 p]\ 结果：移动样品的场追迹结果 _413\`%8? s4,(26y  v0 ];W| 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 }lfn0 %(@
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