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光学测量 > 干涉测量 Ox58L>:0m 'i}Q R~pe 任务/系统说明 xk#/J]j 1&U U6| X
8kk$:8 -q[?,h 亮点 J5429Soo ^X^4R1V)
hW(Mf $cc]pJy"} •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; YI|7a#*F •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; O>UR\l|+:2 <~'\~Z d+ 具体要求:光源 ^dQ#\uy K"eW.$ ^ [2A<
g -r[l{ce 具体要求:用于准直的消色差透镜 q* +}wP t=5K#SX} 3s" Rv@ =j6f/8 %+qD-{& Eb[*nWF= 4Z,MqG> l@%MS\{ 具体要求:分束器 ckS.j)@.c voEg[Gg4%I s7[du_) [td)v, 具体要求:参考光路反射镜
pO[ @2tF ,E<(K8 oSq4g{xvMH r>+\9q1
R.-2shOE' ?#da4W 具体要求:测试光路反射镜 UiO%y &'Pwz 9ldv*9v `7[z%cuK 具体要求:探测器 WBvh<wTw; 5)bf$?d 78T9"CS >]s\%GO 结果:3D光线追迹 OeLM*Zi bk^W]<:z` &3~lZa;D ++1<A&a 结果:场追迹 HtY0=r bS7rG$n [
nE;^xMOK! 4j+FDc` 结果:移动样品的场追迹结果 @/jLN a_}k^zw( :buH\LB*P 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 2w"Xv,*.'i
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