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光学测量 > 干涉测量 @k||gQqIB U,7}VdO 任务/系统说明 9
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-nDY3$U/ 亮点 j. mla
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gvoYyO#cm •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； (W+aeB0 •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； ].Xh=7&2{
)_ SpY\J 具体要求：光源 N}KL' U}DLzn|w  y'm5Z-@o6 '>[Ut@lT; 具体要求：用于准直的消色差透镜 dK>sHUu =TJ9Gr/R&: O9_SVXWVw  3a}53? $ '+7"dHLC;
> Ft)v  ;Pe=cc"@ [I`:%y 具体要求：分束器 x.Tulo0/ }mpFo 2  L wn
]Eq wDw4 具体要求：参考光路反射镜 ;2[),k u9 N /9  +`uNO<$~f
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{%c&T S@s 具体要求：测试光路反射镜 ]Hg6Mz>Mj 2WC$r8E  5}Z>N,4
v Q,<Ke+d 具体要求：探测器 IYv.~IQO L}rYh`bUP[  (C0Wty 8J:=@X^} 结果：3D光线追迹 DMlr%)@ { Y=t? "E  / QT>" 7[ I +1 结果：场追迹 '3?-o|v@D T"1=/r$Ft
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8*Ty`G&v 结果：移动样品的场追迹结果 S_?sJwM MV] `[^xQ5  6Ta+f3V 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 ),Hr
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