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光学测量 > 干涉测量 TMD*-wYr @o6! 任务/系统说明 XPLm`Q|1#t : cPV08i
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%h z+c'-!e/ 亮点 ~xJ^YkyH _^D -nk?
#V.u[:mO "iJAM`Hi •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; G_}oI|B •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; ~i0>[S3' j:$Z-s 具体要求:光源 M hjIE<OI= Of#"nu f\z9?Z(~ wj8\eK)]L 具体要求:用于准直的消色差透镜 ]}pAZd (!a\23 :4)lmIu w+{{4<+cd [$M l;K o\qeX|.70 (`<B#D;
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GYonb)F 具体要求:测试光路反射镜 <)+;Bg =nCV.Wf HS|x V/ZWyYxjLi 具体要求:探测器 9Dyw4'W.N R%JEx3)0m mG%cE(j*D nTsPX Tat 结果:3D光线追迹 Y5TBWcGU% 7N0m7SC tfv@
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L'My$ 结果:场追迹 we?t/YB= M+4S >Sjw
th=45y"C <4;f?eu 结果:移动样品的场追迹结果 d%Ku'Jy CF5%&B R xWD>: 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 n4zns,:)/
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