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    [技术]用于光学相干断层扫描技术的迈克尔逊干涉仪 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光学测量 > 干涉测量 gdKn!; ,w#  
    ,y%4QvG7a  
    任务/系统说明 *W&}}iL  
    R3,O;9i  
    .W/#$s|X\  
    .{}=!>U2  
    亮点 d} {d5-_a  
    ~n<U8cm O  
    -Nn@c|fz  
    Z&w/JP?  
    •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; 34e> R?J  
    •对相干效应以及干涉图样的高速仿真 L2GUrf  
    $MPh\T  
    具体要求:光源 LFHzd@Y7"  
    "jFRGgd79  
    y53f73Cg  
    X4z6#S58  
    具体要求:用于准直的消色差透镜 l%^VBv> 2  
    d=J$H<  
    (^)" qs B  
    g4"0:^/  
    ,|u^-J@  
    wEu"X  
    hnf7Q l}  
    m5w ZS>@  
    具体要求:分束器 =iZj&B X  
    hynX5,p;.  
    (}jYi*B  
    S="teH[  
    具体要求:参考光路反射镜 <.6bni )  
    ZM$}Xy\9  
    3\~ RWoB0u  
    D;RZE  
    <R%]9#re  
    H/Wo~$  
    具体要求:测试光路反射镜 |#x]FNg  
    V/; / &  
    H[S 4o,  
    `EjPy>kM  
    具体要求:探测器 ]EhU8bZ  
    H7=[sL^  
    `tZ-8f  
    vI)-Zz[3  
    结果:3D光线追迹 O5;$cP:  
    =5PNH2  
    &1k2J   
    rEl bzL"&<  
    结果:场追迹 >AsrPU[  
    Ie14`'  
    B"9/+Yj  
    '=^$ ;3Z  
    结果:移动样品的场追迹结果 K}(0H[P  
    Q:/BC= ~  
    2G4OK7x  
    通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 "N|gU;~W  
     
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