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光学测量 > 干涉测量 c%do NY9Q "H (3pl. 任务/系统说明 iw,uwh|L
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Q*#Lr4cm{ •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； )m7%cyfC •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； 7Fo^ :"
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具体要求：光源 U !|)M uZn_ *_J!  @QmN= X5 1w7t Rw 具体要求：用于准直的消色差透镜 qA7,txQ: C%yH}T\s TzaeE
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4)T q$" u<  ENhLonM eV R&W%E%uj 具体要求：分束器 5"nq
h}5 n^[a}DX0  9]=J + (M
~>>_ `;B 具体要求：参考光路反射镜 H[KX xNYZ_ % W D^0U|  g$GGo[_0
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1<m`3 8' 具体要求：测试光路反射镜 m@+v6&, D@uVb4uK  QYo04` Rl
||X3g"2W9 具体要求：探测器 JR `$t~0t K9xvog  h!SsIy( F;#$Q 结果：3D光线追迹 "G>d8GbIh ri4z^1\  ?=Ceo#Er a fX|R 结果：场追迹 `$jun yrEh 5v:
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* bp09XG 结果：移动样品的场追迹结果 z# &1> ]
hK}ASC  <MJU:m $3 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 eV}" L:bgJ
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