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光学测量 > 干涉测量 se\f be ^0 eAf i!!Z< 任务/系统说明 {1)A"lQu F{0\a;U@^
,B[j{sE /~Y\KOH| 亮点 WeM38&dWY 7v*gwBH
ysz =Xw 2)n`Bd •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; uZC=]Ieh •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; 1uAjy(y 0G+Q^]0 具体要求:光源 ob\-OMNs@ A`n>9|R #7i*Diqf9 /K#k_k 具体要求:用于准直的消色差透镜 VHxBs ,AP0*Ln ~w?02FU =6u@JpOl Zz0bd473k? G:<f(Gy <rBW6o7 }R%H?&P 具体要求:分束器 /'sv7hg+ N1$u@P{ {y9G
" suY47DCX) 具体要求:参考光路反射镜 k,:W]KD DZSS 0$*7lQ<a#M h}
`v0E
Az&>.* i g(O$y 具体要求:测试光路反射镜 $aV62uNf /65YHXg, <tD,Uu{P gXxi; g 具体要求:探测器 Y4rxnXGw BU:;;iV8 8!E.3'jb !*-|!Vz 结果:3D光线追迹 F7DA~G! ], lLDUZ\ AY /9Io- |0n )U( 结果:场追迹 8ymdg\I+L )x6&Y
]3LLlXtK[ (!*
l+} 结果:移动样品的场追迹结果 `?z('FV }9^:(ty2A cYA:k 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 !D=!
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