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光学测量 > 干涉测量 gdKn!; ,w# ,y%4QvG7a 任务/系统说明 *W&}}iL R3,O;9i
.W/#$s|X\ .{}=!>U2 亮点 d} {d5-_a ~n<U8cm O
-Nn@c|fz Z&w/JP? •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; 34e>R?J •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; L2GUrf $MPh\T 具体要求:光源 LFHzd@Y7" "jFRGgd79 y53f73Cg X4z6#S58 具体要求:用于准直的消色差透镜 l%^VBv>
2 d=J$H< (^)" qsB g4"0:^/ ,|u^-J@
wEu"X hnf7Q l} m5w ZS>@ 具体要求:分束器 =iZj&B X hynX5,p;. (}jYi*B S="teH[ 具体要求:参考光路反射镜 <.6bni
) ZM$}Xy\9 3\~
RWoB0u D;RZE
<R%]9#re H/Wo~$ 具体要求:测试光路反射镜 |#x]FNg V/; / & H[S 4o, `EjPy>kM 具体要求:探测器 ]EhU8bZ H7=[sL^ `tZ-8f vI)-Zz[3 结果:3D光线追迹 O5;$cP: =5PNH 2
&1k2J
rElbzL"&< 结果:场追迹 >AsrPU[ Ie14`'
B"9 /+Yj '=^$;3Z 结果:移动样品的场追迹结果 K}(0H [P Q:/BC= ~ 2G4OK7x 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 "N|gU;~W
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